LSI版图曝光单元集的算法

LSI版图曝光单元集的算法
王结钧
【期刊名称】《微细加工技术》
【年(卷),期】1995(000)001
【摘要】本文给出划分一种ＬＳＩ版图设计图形为曝光单元集的一个算法。

该算法可同时获正、反两种曝光单元集，为曝光方式的选择提供了灵活性。

【总页数】6页(P1-6)
【作者】王结钧
【作者单位】无
【正文语种】中文
【中图分类】TN470.598
【相关文献】
1.基于单元的快速的大数据集离群数据挖掘算法 [J], 王柯柯;崔贯勋;倪伟;苟光磊
2.CMOS单元版图生成中的晶体管布局算法 [J], 马琪;王旭
3.光刻单元集的切割重组选择算法 [J], 王绍钧;杨立才
4.基于基本门单元完全测试集的测试生成算法研究 [J], 张帆;姚曜;孔巧
5.CMOS单元版图生成算法综述 [J], 马琪;罗小华;严晓浪
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