玻璃基板介绍
玻璃基板简介
四.制程DEFECT
造成不良現的原因大多來自於上游玻璃制程.一般來說基板周邊因制程中央取搬送 之需求,刮傷不良通常不計,但如遇有進行性的玻璃裂痕為避免下游制程產生破 片之情況通常將此判為不良,而CF制程中由CF取放,抽取之動作及切裂工程通 常會造成里面刮傷,擦傷,里面異物及基板端破損或貝殼狀欠陷等不良,如圖:
玻璃基板簡介
玻璃基板的結構 玻璃基板的制造流程簡介 玻璃基板的具體流程簡介 制程DEFECT 發展趨勢
一.玻璃基板的結構
玻璃基板由CF和TFT兩部分組成,如圖:
光擴散板
導光板
棱鏡板
反射板
背光燈管
下偏光板 異方性導電 膜
補價電容
ITO顯示電 極
液晶 ITO共用極 保護膜 顏色區 TAB 驅動IC 上玻璃
3)面板切割 以TFT與CF的封准組合再以超硬質鋼刀滾輪切割再壓裂的方式得到每一片面板. 以后隋著外型,大小及模組外型的狹框化,薄型化的發展,以超硬質鋼刀無法潢足 要求,以后以雷射切割的方式. 4)液晶注入 I將玻璃在機台上用外框固定好,用直下式的方法注入液晶注入液晶時,應注意避 免造成spacer broken及spacer聚集.) II先讓CELL內部真空化后,將CELL的液晶注放口浸入液晶槽中,再以氮氣 作破真 空的動作,內外壓力差與毛細現會使液晶注入CELL內部 當液晶注入時的形狀及排列方式
四種常見的TFT結構示意圖
正常型 堆疊型
gate drain
反轉型
source
gate
drain
gate
source
共平面
drain
source
drain
source
gate
基板玻璃的种类-概述说明以及解释
基板玻璃的种类-概述说明以及解释1.引言1.1 概述概述基板玻璃是一种应用广泛的材料，被广泛运用于电子、光学、建筑等领域。
它是一种具有特殊物理性质和化学性质的玻璃材料，具备良好的导电、信号传输、隔热、光学透明等特性。
通过不同的制造工艺和配方，可以获得多种不同类型的基板玻璃。
基板玻璃在现代科技中扮演着至关重要的角色。
无论是在智能手机、电视、计算机显示器，还是在太阳能电池板、LED照明和光纤通信等领域，我们都可以发现基板玻璃的身影。
它不仅为这些设备提供了坚固的结构支撑，还具备了优异的光学性能，为显示和光学传输提供了稳定可靠的平台。
本文将介绍几种常见的基板玻璃种类，包括玻璃基板、硅基板、陶瓷基板等。
通过对这些基板玻璃的分析与比较，我们可以更好地了解它们的特性和适用领域。
此外，文章还将探讨基板玻璃在电子、光学和建筑等领域的应用。
它们在电子设备中作为电路板的支撑物，有着重要的作用。
在光学领域，人们利用基板玻璃的良好透明性和光学性能，制造各种高品质的光学器件。
同时，基板玻璃还广泛应用于建筑玻璃领域，为现代建筑提供了优雅、安全和环保的解决方案。
通过全面了解基板玻璃的种类和应用领域，我们可以更好地掌握它在现代科技中的重要性。
对于科研工作者、技术人员和相关行业从业者而言，对不同类型的基板玻璃有一个清晰的认识，可以帮助他们在工作中做出明智的选择，并为相关领域的发展做出更大的贡献。
接下来，我们将详细介绍不同种类的基板玻璃及其特性。
文章结构非常重要，它有助于读者更好地理解和组织文章的内容。
以下是本文的结构：1. 引言1.1 概述引言部分将介绍基板玻璃作为一种关键材料的背景和意义。
说明基板玻璃在现代技术和工业中的重要地位，并引出本文的主题。
1.2 文章结构文章结构部分将详细说明本文的组织和内容安排。
它包括各个部分的标题和主题，并简要介绍每个部分的内容。
1.3 目的在本节中，将明确本文的目的和写作意图。
对读者解释为什么撰写这篇文章以及它的价值所在。
TFT_LCD玻璃基板简介
（ ４） 薄 膜 晶 体 管 型 （ ＴＦＴ－ Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）。
ＴＦＴ－ＬＣＤ是 有 源 矩 阵 类 型 液 晶 显 示 器 ＡＭ－ ＬＣＤ中的一种，ＴＦＴ在液晶的背部设置特殊光管，可 以“主动的”对屏幕上的各个独立的像素进行控制， 这也就是所谓的主动矩阵ＴＦＴ（ａｃｔｉｖｅｍａｔｒｉｘＴＦＴ）的 来历，这样可以大大地提高反应时间，一般ＴＦＴ的反 应时间比较快，约８０ｍｓ，而ＳＴＮ则为２００ ｍｓ，如果要 提高就会有闪烁现象发生。而且由于ＴＦＴ是主动式矩 阵ＬＣＤ可让液晶的排列方式具有记忆性，不会在电流
［ ２］ Ｅｎｅｒｇｙ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ａｄｍｉｎｉｓｔｒａｔｉｏｎ， Ｍｏｎｔｈｌｙ Ｅｎｅｒｇｙ Ｒｅｖｉｅｗ Ｆｅｂ ２００７， ｐａｇｅ ２５ ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｅｉａ．ｄｏｅ．ｇｏｖ／ｅｍｅｕ／ ｍｅｒ／ｃｏｎｔｅｎｔｓ．Ｈｔｍｌ Ｖｉｅｗｅｄ Ｊａｎｕａｒｙ １８， ２００９ ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．Ｅｉａ． Ｄｏｅ．ｇｏｖ／ｅｍｅｕ／ｍｅｒ／ｃｏｎｔｅｎｔｓ． Ｈｔｍｌ Ｖｉｅｗｅｄ Ｊａｎｕａｒｙ １８， ２００９ ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｅｉａ．ｄｏｅ．ｇｏｖ／ｅｍｅｕ／ｍｅｒ／ｃｏｎｔｅｎｔｓ．Ｈｔｍｌ Ｖｉｅｗｅｄ Ｊａｎｕａｒｙ １８， ２００９
［７］ＥＦＥＮ Ｓｏｆｔｗａｒｅ ｂｙ Ｃａｒｌｉ Ｉｎｃ ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｄｅｓｉｇｎｂｕｉｌｄｅｒｓｏｆｔｗａｒｅ． ｃｏｍ／ｅｆｅｎ．ｐｈｐ ｖｉｅｗｅｄ Ｊａｎｕａｒｙ １８， ２００９
［８］ＵＳ Ｍｉｌｉｔａｒｙ ｓｔａｎｄａｒｄ ８１０Ｄ Ｊｕｌｙ ３１， １９８６ Ｐａｇｅ ５０５．２－４
从产能和综合实力对比看，全球液晶领域由中 国台湾地区、韩国和日本掌控。作为中间环节的液 晶面板全球的占有率，中国台湾地区居首位（约占 ４３％），其次为韩国（约占３３％），日本第三。
浮法液晶玻璃基板产线结构概述
综 述
升，耐高温性能提升，传动辊道最好使用陶瓷辊，加 热器布局要可以覆盖更大的板面范围，适当增加加 热分区和温度测量点。
1.5 切裁和清洗
配 料 塔 楼 碎玻璃加工车间
原材料堆放区
图 1 原料车间结构示意图
王保平，等：浮法液晶玻璃基板产线结构概述
力将原料一步步送到称量、混合和运输设备，原料通 过螺旋给料机或震动给料机送料到混合机，经过气 体输送或料罐输送到炉头料仓或投料层平台。碎玻 璃加工线，则由若干皮带机和破碎机、筛分机组成。 通常将配料塔楼置于原料车间中间位置，可以兼顾 各种原材料运输的方便高效。
（3）成型段 ：浮法工艺与溢流法存在设置上的 不同，溢流法是垂直拉伸，浮法是水平拉伸。
（4）冷加工段 ：主要体现在精切研磨和对洁净 度的要求，设置庞大的压差系统和空调系统。
综上所述，不论是液晶玻璃基板还是普通浮法 玻璃生产线，其产线结构需要根据玻璃料方特性、 玻璃熔化能力、玻璃生产方式等因素综合选择。
恒温恒湿间
铂金通道主体
地坑
图 5 通道区域垂直结构布局图
加热变压器和冷却水系统设备 操作通道 铂金通道主体
工艺操作区域
图 6 通道恒温间设备平面布局图
1.4 锡槽和退火窑
锡槽通过流道连接于铂金通道出口，设计有流 量调节闸板，流道有四周辅助加热器，保证玻璃液 在通过流槽期间温度均匀受控［7-9］。由于液晶基板 玻璃液本身特殊的料性和质量要求，锡槽内需设置 较普通浮法玻璃更多对拉边机和更密集的加热分 区，有更大的整体加热功率相匹配。需要设置更多 组排废装置，并根据锡槽整体尺寸合理布置，以减 少锡斑和锡蒸汽在玻璃板面的冷凝。设置较厚的顶 盖保温层，增加顶罩分区。增加钢结构稳定性。增 加拉边机杆保温性能，提高边封保温性能。
TFTLCD玻璃生产简介
学习总结目前在商业上应用的玻璃基板，其主要厚度为0.5 mm到0.7 mm，且即将迈入更薄（如0.4 mm）厚度之制程。
一片TFT- LCD面板需使用两片玻璃基板，分别供作底层玻璃基板（TFT）及彩色滤光片(Col or Filter )底板。
所谓TFT-LCD几代生产线,实际是指液晶面板的经济切割尺寸,即TFT-LCD生产线的代数越高,基板经济切割尺寸越大。
业界公认的液晶面板经济切割数值为6片。
5代线和5代线以下主要是以生产笔记本和台式电脑用的显示器为主,液晶材料某些参数要求相对要低些;而6代线、7代线或更高代次则以生产液晶电视为主,液晶材料参数要求相对要高点。
玻璃基板的生产工艺比较复杂，目前该技术主要集中在美国康宁( Corning )公司、日本的旭硝子（AGC）、电气硝子（NEG）、板硝子（NHT）、德国肖特公司等手中，肖特的产销量非常小，并于2008年退出了玻璃基板行业。
超薄平板玻璃基材之特性主要取决于玻璃的组成，而玻璃的组成则影响玻璃的热膨胀、黏度(应变、退火、转化、软化和工作点)、耐化学性、光学穿透吸收及在各种频率与温度下的电气特性，产品质量除深受材料组成影响外，也取决于生产制程整个玻璃基板的制程中，主要技术包括进料、薄板成型及后段加工三部分，其中进料技术主要控制于配方的好坏，首先是在高温的熔炉中将玻璃原料熔融成低黏度且均匀的玻璃熔体，不但要考虑玻璃各项物理与化学特性，并需在不改变化学组成的条件下，选取原料最佳配方，以便有效降低玻璃熔融温度，使玻璃澄清，同时达到玻璃特定性能，符合实际应用之需求。
而薄板成型技术则攸关尺寸精度、表面性质和是否需进一步加工研磨，以达成特殊的物理、化学特性要求，后段加工则包含玻璃之切割、研磨、清洗等制程。
到目前为止，生产平面显示器用玻璃基板有三种主要之制程技术，分别为浮式法(Float Process)、槽口下拉法(SDDP)及溢流法(Fusion overflow)。
基板玻璃的种类
基板玻璃的种类
基板玻璃是电子元件制造中常用的一种材料，主要用于半导体、平板显示器、光电子器件等领域。
不同的应用需要不同种类的基板玻璃，以下是几种常见的基板玻璃种类：
1.硅基板玻璃（Silicon Substrate Glass）：硅基板玻璃是一种用于制造集成电路（IC）和光电子器件的基板材料。
其具有优良的化学稳定性、热稳定性和机械强度，适用于高密度集成电路的制造。
2.玻璃基板（Glass Substrate）：玻璃基板通常用于液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）等平板显示器件的制造。
根据具体应用的要求，玻璃基板可以采用不同的材料和加工工艺，如钠钙玻璃、硼硅玻璃等。
3.石英基板（Quartz Substrate）：石英基板具有优异的光学性能和化学稳定性，常用于制造光电子器件、激光器件等高精密度器件。
石英基板可以承受高温高压的加工条件，适用于微纳米加工工艺。
4.氧化铝基板（Alumina Substrate）：氧化铝基板具有优良的绝缘性能和热导率，适用于制造高功率、高频率的电子器件，如功率放大器、射频（RF）元件等。
5.氮化硅基板（Silicon Nitride Substrate）：氮化硅基板具有优异的热稳定性和机械强度，常用于制造高温高压传感器、微机电系统（MEMS）等微纳米器件。
以上所列举的基板玻璃种类仅为常见的几种，随着科技的进步和应用领域的不断拓展，还会有更多新型基板玻璃材料的出现。
选择合适的基板玻璃种类需要根据具体的应用要求、工艺需求和性能指标进行综合考虑。
玻璃基板概述
根据是否含有碱金属分为碱玻璃和无碱玻 璃。碱 玻璃 包 括钠 钙 硅 玻璃 及 中性 硼 硅 酸玻 璃 ２ 种 ，多应 用 于
Ｔ Ｎ — Ｌ Ｃ Ｄ 及Ｓ Ｔ Ｎ — Ｌ Ｃ Ｄ 上 ；无碱玻璃碱金属 总含量在 １ ％ 以下Ⅲ ，属于硼硅酸盐玻璃 ，主要 用于Ｔ Ｆ Ｔ —Ｌ Ｃ Ｄ 上，
全球主要 玻璃基板供 应商见 表 １ 。此外 ，玻璃基板 中 还掺 有 Ｍ ｇ Ｏ、Ｃ ａ Ｏ、Ｂ ａ Ｏ、Ｚ ｎ Ｏ 等 用来 调 节玻 璃 的性
供应商
康宁
Ｎ Ｈ Ｔ Ｅ Ｃ Ｈ ０ Ｇ Ｉ Ｊ Ａ Ｓ Ｓ 日本电气硝子
市场 占有率
４ ０ ％
２ １ ％ ２ Ｏ ％
供应商
日本板硝子
日本旭硝子 日本中央硝 子
市场占有率
３ ９ ％
３ ９ ％ ｌ ９ ％
日 本旭硝子
其它
１ ８ ％
ｌ ％
其它
并 介绍 了玻璃 基板 的发 展 现状 与趋 势 。
关 键 词 玻 璃 基板
成分
特性
生 产工 艺
发 展 现状
中图分 类 号 ：Ｔ Ｑ１ ７ １ 文献 标 识码 ：Ａ 文 章编 号 ：１ ０ ０ ３—１ ９ ８ ７（ ２ ０ １ ３） ０ ９— ０ ０ ３ ０—０ ４
Ｏｖ ｅ ｒ ｖ ｉ ｅ ｗ ｏ ｆ Ｇｌ ａ ｓ ｓ Ｓｕｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｔ ｅ
全国性建材科技期刊—— 《 玻璃 》 ２ ０ １ ３ 年
第９ 期
总第２ ６ ４ 期
玻 璃 基 板 概 述
陈向 阳 韩 荣荟
北京市 １ ０ ０ ０ ２ ４） （ 中国建 材检验认 证集 团股份有 限公 司
5代线玻璃基板标准
密度
<2.55
g/cm(20℃)
杨氏模量
>7000
Kgf/mm2
剪切模数
>2600
Kgf/mm2
光学特性
透射率
>90%
波长400~800nm
折射率指数变化率
<0.003
Nd line at 587.6nm
电学特性
介电常数
>5
1MHZ,RT
传导损耗因数
<0.2
%,1MHZ,RT
3、成品的外观指标
项目
规格
备注
厚度
0.7（0.63）±0.05mm
厚度偏差
≤30μm
尺寸偏差
±0.5mm
直角度
±L/1000
翘曲度
≤500μm
全幅
≤300μm
300mm×400mm
波纹度
≤0.06μm
0.8~8mm波长
波纹度
≤0.33μm
8~25mm波长
内部缺陷
≥100μm不可见
5klux光照强度卤素灯
表现缺陷
A面，不可见
W（mm）×L（mm）×T（mm）
1100×1300×0.7
长度-拉引方向
mm
1300~1360
板宽
mm
1100
厚度
mm
0.7
面积
m2
1.43
重量
kg
~2.513
2、玻璃物理特性
项目
规格
单位
热稳定性
热膨胀系数
32~38.5
10-7/℃（33~380℃）
软化点
>920
℃
退火点
TFT-LCD用玻璃基板简介
35
TFT-LCD
玻璃規格
36
TFT-LCD
玻璃的規格要求項目
• 外觀 • 寸法
• 組成
• 熱收縮度
• 特性值
37
TFT-LCD
New AN Design Objectives
• Higher Strain Point • Lower Thermal Expansion • Lower Density • Higher Young’s Mldulus • Asahi Float Process capable
25
TFT-LCD
TFT-LCD用玻璃基板特性要求 •化學的耐久性 (耐藥性) 經濕製程必須耐酸, 鹼, 氫氟酸
•表面精度 • 彎曲度: 與玻璃的承載, 吸著, 曝光精度有關 • 起伏度: um 級之表面形狀變化,影響cell gap 造成表示mura • 表面粗度: um 級以下之表面形狀變化, 會造成pattern 之斷線 • 表面與內部欠陷 傷, 泡, 異物, 脈理(影響玻璃之強度, 視覺效果)
9
TFT-LCD
Si O Na
10
TFT-LCD
玻璃的性質11Fra bibliotekTFT-LCD
玻璃的性質 玻璃的物理與化學的性質, 是由其組成決定
玻璃轉變
Tf2
Volume 急冷玻璃 緩冷玻璃 Solid 晶體
Tf1
Liquid
Tf: Fictive Temp. Tm: Melting Temp. Tm
Temperature
TFT-LCD
TFT-LCD用玻璃基板簡介
壹. 貳. 參. 肆. 伍. 陸. 柒. 概述TFT-LCD製程 玻璃的簡介 玻璃的性質 TFT-LCD用玻璃基板特性要求 今後TFT-LCD用玻璃基板的動向 平板玻璃製程 玻璃規格
研究TFT-LCD玻璃基板板面划伤管控措施
研究TFT-LCD玻璃基板板面划伤管控措施摘要：TFT-LCD玻璃基板是液晶显示屏的主要材料，它由基板玻璃、保护膜、涂覆层、ITO膜等组成。
当液晶显示器件处于显示状态时，液晶盒内的TFT-LCD面板表面会有一层保护膜，当受到外力作用时，保护膜会被划伤，从而影响液晶显示效果，而划伤的程度与生产过程中的人为因素、材料性质、机械设备等因素有关。
基于此，本文首先针对TFT-LCD玻璃基板板面划伤产生机理及表现进行介绍，同时对TFT-LCD玻璃基板板面划伤问题的管控措施进行探索，旨在为相关工作开展提供参考。
关键词：TFT-LCD玻璃；基板；板面划伤；控制玻璃基板是TFT-LCD的关键原材料，是一种特殊的玻璃材质，具有极强的耐腐蚀性、抗冲击性和抗化学性。
TFT-LCD玻璃基板表面划伤会导致其表面抗划痕性能下降，进而影响产品质量。
为避免因表面划伤导致产品出现问题，从材料选择、工艺参数控制、设备管控等方面采取相应的管控措施，保证TFT-LCD玻璃基板材料可以得到有效利用。
1TFT-LCD玻璃基板板面划伤产生机理及表现1.1划伤的产生机理从力学角度分析，在生产过程中，薄膜与基板之间的作用力主要是拉伸力和剪切力，在生产过程中薄膜与基板之间的摩擦力主要是摩擦力，由于薄膜表面具有较强的附着力，所以在生产过程中薄膜不会被轻易划伤。
但是在生产过程中由于生产工艺不当或机械设备存在问题等原因造成了薄膜表面与基板之间存在相对滑动，这就会使薄膜表面产生划伤。
TFT-LCD玻璃基板表面划伤一般是由于基板与薄膜之间存在较大的摩擦力导致的，而当基板与薄膜之间存在较大的摩擦力时，如果基板材质太硬或者薄膜过于粗糙，会使二者产生相对滑动而导致划伤，当划伤产生后，通过放大镜观察可以看到划伤有明显的划痕[1]。
1.2划伤的类型表现第一，机械损伤：一般表现为在玻璃表面出现明显划痕，且划痕方向与玻璃的边缘成90°角；第二，人为划伤：在生产过程中，由于操作者对生产工艺不熟悉或经验不足，造成在对TFT-LCD面板进行点胶或其它处理时，导致面板上出现划痕。
液晶面板主要材料之基板玻璃篇
液晶面板主要材料之基板玻璃篇基板玻璃是构成液晶面板重要的原材料之一。
液晶面板的关键结构类似于三明治，两层“面包”（TFT基板和彩色滤光片）夹“果酱”（液晶），故制作一片TFT-LCD面板需要用到两片玻璃，分别作为底层玻璃基板和彩色滤光片底板使用。
基板玻璃在TFT-LCD原材料成本中占比约20%，对面板产品性能的影响十分巨大，面板成品的分辨率、透光度、厚度、重量、可视角度等指标都与所采用的基板玻璃质量密切相关，作为重要的基底材料，基板玻璃之于TFT-LCD产业的意义相当于硅晶圆之于半导体产业。
TFT-LCD液晶面板结构基板玻璃分为含碱和无碱两种。
有碱玻璃主要用于TN/STN型液晶面板中，但对于TFT-LCD，由于玻璃中碱金属离子会影响薄膜晶体管栅压的稳定性，故基板的制造必须使用无碱配方，不可以含有氧化钠和氧化钾等成分；但氧化钠和氧化钾可以降低玻璃的融化温度，故无碱玻璃的制造需要更高的炉温，这也是无碱玻璃生产技术难度高于有碱玻璃的原因之一。
TFT-LCD液晶产业链基板玻璃作为液晶面板基础原材料之一，占据液晶产业链顶端。
上游原材料是一些最基础的化工原料如石英粉、氧化铝等，下游主要是面板厂和彩色滤光片供应商，分别供给他们制作TFT阵列和彩色滤光片，再在成盒段进行灌液晶、组装，制成Open Cell面板。
基板玻璃供应链基板玻璃作为薄膜显示产业的基石，不仅广泛应用在TN/STN、TFT等液晶面板结构中，也是OLED必不可少的基底材料，基板玻璃重要性受显示机理变化的影响有限，具有不可替代性，未来产业地位稳固。
基板玻璃特性介绍化学特性主要理化参数（1）应变点在制造TFT工艺过程中，基板需要反复地热处理，温度最高要加热到625℃，要求基板在这一温度下保持刚性，不能有任何黏滞流动现象，否则不仅玻璃变形和降温时带来热应力，还会造成尺寸的变化。
因此要求基板玻璃的应变点高于625℃，再加上25℃的保险量，玻璃的应变点至少要在650℃以上。
TFT-LCD 制程玻璃基板洗净原理介绍++
TFT-LCD 製程玻璃基板洗淨原理介紹Nixon Shen 作成(06.04.18)捷胤總合研究所前 言 依實際的TFT-LCD 製造工程流程，從化學氣相沉積(CVD)、微影(Photo)、蝕刻(Etch)、至濺鍍(Sputter)等製程多次重複循環，每一到製程步驟都是潛在性的污染源，可導致(Defect)的生成，造成元件特性失效。
日常見到的污染物如粒子(Particles)、無機物金屬離子(Metal Ions)、有機物雜質(Organic Impurity)、原生氧化薄膜(Native Oxide)和水痕(Water Mark)等因素，對元件的特性都會造成重大影響。
玻璃基板洗淨是TFT 製程中重複使用頻率最高的步驟，在每一道製程步驟之前都必須將玻璃基板表面清洗乾淨，以去除上述之污染物並控制基板表之化學性避免原生氧化物薄膜之生成。
隨著玻璃基板的尺寸愈來愈大，對基板表面的潔淨度要求也不斷提高。
玻璃基板洗淨的目的在於清除基板表面的髒污(Contamination)如圖二所示，如微粒、有機物及無機物金屬離子等雜質，因此必須確保基板在洗淨完成後其電性參數及特性，確保元件的品質與可靠度。
(圖二)要做到基板的洗淨，須先瞭解污染的來源，以及各種污染物在元件可靠度上的不同影響。
表三所列主要是以閘極氧化成完整性來分析考量，因閘極氧化層品質是決定電路之良率、可靠度與性能之關鍵製程步驟。
除了一開始玻璃基板原材料所產生的污染物之外，大部分的污染物是來自機器設備與製程環境。
雖然有不斷的洗淨設備被開發出來，但是最重要的還是避免在製造流程中污染玻璃基板原甚於在製程中將基板洗淨；因此製程設備、環境及材料均需隨時保持潔淨，並隨時監控機台有無微粒產生，長期觀察改善，以符合統計製程控制(Statistic Process Control ，SPC)之管制規格及停機標準。
表面反應化學平衡與作用力在基板洗淨的過程中，反應室周遭空氣、化學藥劑及DI water ，三態之間形成物理化學作用，如氣液態間、液固態間及液態溶液間各有其作用力之產生形成各種物理化學現象，造成基板表面反應平衡(Substance Surface Reaction Chemical Equilibrium)之J E I N.C O .L T D洗淨機制。
玻璃基板和封装玻璃载板
玻璃基板和封装玻璃载板林金堵【摘要】文章概评了玻璃基板的优势和制造技术.玻璃基板具有最好的尺寸稳定性、良好的导热率和光的各向同性,在LED照明和IC封装基板等领域有广阔应用与发展前景.【期刊名称】《印制电路信息》【年(卷),期】2017(025)006【总页数】5页(P38-41,55)【关键词】玻璃基板;封装玻璃基板;热膨胀系数;导热率;光的各向同性【作者】林金堵【作者单位】【正文语种】中文【中图分类】TN41随着科技进步与发展和玻璃的特点，使玻璃为基板的应用不断得到扩展和深化。
由于玻璃材料具有高的尺寸稳定性、各向同性的高透光性能和高绝缘性能，同时通过改善其脆性和提高导热性能，必然还会进一步扩大其应用价值和领域！目前除了平板显示（如TFT-LCD等）广泛应用的玻璃基板外， LED照明的COB光源封装用的玻璃基板和封装（IC）玻璃载板也被提到应用的日程上来了！1.1 尺寸稳定性好玻璃是一种尺寸高稳定性的材料。
玻璃的尺寸稳定性表现在：（1）热膨胀系数低[CTE=(4～6)×10-6/℃]低，非常接近元组件的热膨胀系数[CTE=(2～4)×10-6/℃]；（2）尺寸的湿度系数为“0”，不受湿度的影响；（3）玻璃还具有玻璃化转变温度很高（Tg大约为800 ℃左右），可在很大的工作范围内稳定地工作，还可以通过存在的玻璃化转变温度进行加工处理获得有价值的性能。
因此，玻璃材料广泛应用于建筑行业、仪器仪表、电子工业、医疗产业、航天航空和国防军事等领域。
1.2 透光性极佳玻璃对光是“透明”的，加上玻璃还是“各向同性”的，因此，玻璃是360°全方位透光。
它具有好的显色系数（达到80%以上），可用于显示和照明等领域。
还可加入某些微量元素，制造各种各样颜色和特性的玻璃。
1.3 可改善玻璃的脆性和导热性由于常规的玻璃脆性大和导热性差，在应用于PCB领域时要改善或采用脆性好和导热性高的非普通玻璃基板材料。
玻璃基板行业产业政策
玻璃基板行业产业政策1. 引言1.1 背景介绍玻璃基板是电子信息产业中的重要材料，广泛应用于显示器、光学玻璃、太阳能电池、半导体封装等领域。
随着全球电子信息产业迅猛发展，对玻璃基板的需求也在不断增加。
中国作为全球最大的电子信息消费市场之一，玻璃基板行业也逐渐成为国家关注的重点产业。
近年来，随着国家经济转型升级和产业结构调整，玻璃基板行业也在不断调整发展模式，加大技术创新力度，提升产品质量和产能。
为了加强对市场的监管和规范产业发展，政府出台了一系列支持和引导政策，推动玻璃基板行业的健康发展。
在当前经济形势下，玻璃基板行业正面临着机遇和挑战并存的局面。
政府的产业政策将起到关键作用，引领玻璃基板行业朝着技术创新、市场开拓、品质提升的方向前进，从而实现产业的升级和可持续发展。
【背景介绍】2. 正文2.1 行业发展现状玻璃基板行业是电子信息产业的重要支撑之一，随着电子产品的普及和更新换代，玻璃基板的需求量持续增长。
目前，全球玻璃基板行业总体处于稳步发展阶段，市场规模不断扩大。
在国内市场方面，中国玻璃基板行业在近年来快速发展，已成为全球最大的玻璃基板生产国。
中国的玻璃基板生产技术水平不断提升，产品质量也得到了很大的提升，逐渐走向国际市场。
国内玻璃基板行业市场竞争激烈，企业间竞争加剧，不同规模和类型的玻璃基板生产企业并存。
在国际市场方面，玻璃基板领域的技术创新不断涌现，产品种类和规格不断丰富。
全球各大玻璃基板生产商纷纷加大研发投入，提升产品品质和技术水平，以适应市场需求的不断变化。
玻璃基板行业发展现状呈现出快速增长、技术不断创新、市场竞争激烈的特点。
随着技术的不断进步和市场需求的不断增长，玻璃基板行业有望进一步壮大和发展。
2.2 产业政策指导产业政策指导包括制定和实施相关的法规和政策，以引导和规范玻璃基板行业的发展。
政府应该加强产业规划和政策支持，提出明确的发展目标和措施，指导企业加大技术研发投入，提高产品质量和技术水平。
ITO玻璃基础知识
L2
I
R=ρ×L1/(d×L2)
d L1
20
五、ITO玻璃的评价参数
5.3平整度:
平整度可用h/1表示，意思为在长度为L的范围内，表面最高点与最低 点的差值为h。
h
玻璃微
L
观表面
ITO玻璃基板平整度参数包括： 1、玻璃表面粗糙度； 2、基板表面波纹度； 3、基板翘曲度； 4、基板垂直度； 5、ITO膜表面粗糙度； 6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。
倒角后原 片抛光
清洗
检查 包装
入库
16
四、ITO玻璃的生产工艺流程
（3）镀膜工艺流程：
17
ห้องสมุดไป่ตู้
四、ITO玻璃的生产工艺流程
镀膜方法：
镀膜的方法有：喷雾法；涂覆法；浸渍法；化学气相沉积法；真 空蒸发法；测射法，但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。
磁控测射法： 在高真空反应室中充入一定比例的02和Ar的混合气体，在直流高压下，
硼硅型玻璃
玻璃硬度高,透 过率好
成本较高
钠钙型玻璃基本成份:
成份
Al2O3 CaO Fe2O3
MgO
Na2O+ K2O
SO2
SiO2
含量 0.5-1.9 7-12 0-0.2 1.0-4.5 13-15 0-0.3 70-73
8
Si02层：
（1）Si02层的作用: 主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散 渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力. （2）SiO2层的膜厚:
6
ITO玻璃的基本结构: ITO
sio2
基板
7
基板:
常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm 基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子
玻璃基板的构造和原理
玻璃基板的构造和原理
玻璃基板通常是由特殊材料制成的薄而平整的板块，用于支撑和保护电子元件或电路。
玻璃基板的构造通常包括以下几个部分：
1. 玻璃材料：玻璃基板通常采用特殊材料制成，具有优良的电气绝缘性能和机械强度，以确保电子元件的可靠性和稳定性。
2. 表面处理：玻璃基板的表面通常会进行特殊处理，例如镀膜或涂层，以提高其表面光滑度、耐腐蚀性能和粘附性能，以便于电路元件的固定和连接。
3. 电路连接：玻璃基板上通常会印制或沉积导电材料，通过金属线路或导体与其他元件进行连接，从而构成电路板。
玻璃基板的工作原理主要是利用其优良的绝缘性能和平整的表面特性，作为电路元件的支撑和保护。
在电子元件的制造过程中，首先在玻璃基板表面印制或沉积导电材料，然后通过金属线路或导体将各个元件相互连接，最终形成完整的电路板。
玻璃基板的特殊材料和表面处理可确保电路元件与外部环境有效地隔离，从而保证电路的稳定运行和可靠性。
因此，玻璃基板在电子元件制造和电路连接中扮演着重要的角色。
LCD玻璃基板的基本要求及性能指标分析
LCD玻璃基板的基本要求及性能指标分析液晶显示器(LCD)是在两个玻璃基片之间填充液晶介质，再加上一定形状的极化层，当电压通过导电栅网施加于液晶介质时，液晶介质起着光开关的作用，从而形成一定的图像。
一、各类LCD显示器对基板的要求液晶(LC)及液晶显示器(LCD)研究的飞速发展带动了所需基板的更新换代。
LCD为有源显示器，依靠外部光源来显示。
其基板需要两种不同的短阵.第一种是内部矩阵型，依靠液晶材料的阀值性质.第二是外部矩阵或有源矩阵(AM)型.由二极管阵列、金属-绝缘体-金属(MIM)装置或薄膜晶体管汀兀)来为每个像素电子转换。
两层之间是厚度为5-101am的隔阻层。
1968年美国RCA公司的Heilmeir使用向列型液晶的动态散射效应发明了液晶数字手表，开创了内部矩阵型液晶研究的新时代，1971年Schadt提出利用向列液晶的电场效应的扭曲向列液晶显示技术(TN LCD)。
在此基础上，1983年，又发明了超扭曲向列型液晶显示器(STN LCD)。
其扭曲角为240°-270°，预倾角为5°-20°左右，后来又相继出现了非晶硅的有源矩阵薄膜晶体管液晶显示器(a-Si AM TFT LCD)和多晶硅的有源矩阵薄膜晶体管液晶显示器(p-Si AMTFT LCD)。
含有一硅阻隔层的钠钙硅玻璃完全可满足内部矩阵型LCD 的要求。
在内部矩阵LCD中具有较高性能的超扭曲向列性(STN)中，为满足其间隙尺寸的大小一致，就要求基板格外平整。
所以.应用于这种显示器时，钠钙硅玻璃就必须精密抛光。
但精确成型的Corning7059玻璃则可以应用。
外部矩阵LCD可进一步细分为两种类型，一种是基于MIM 或非晶硅(a-Si)器件，另外一种是基于多晶硅(p-Si)器件。
MIM 或非晶硅(a-Si)型对基板的要求和STN一致。
Corning7059薄板玻璃由于钠含量较低(0.1wt%)、尺寸精确和具有商业可行性而成为较为理想的基板。
光控玻璃原理
光控玻璃原理1. 介绍光控玻璃是一种能够根据外界光照条件自动调节透明度的特殊玻璃，也被称为可变透光玻璃或智能玻璃。
它能够在不同光照条件下改变其透明度，从而实现调节室内外采光、遮阳、保护隐私等功能。
光控玻璃的应用领域非常广泛，包括建筑、交通工具、家居用品等。
它不仅提供了更好的使用体验，还能够节能减排，提高建筑的可持续性。
在本文中，我们将深入探讨光控玻璃的基本原理，了解它是如何实现自动调节透明度的。
2. 光控玻璃的构成光控玻璃主要由以下几个组件构成：2.1. 玻璃基板光控玻璃的基础是一块玻璃基板，通常是透明的，并且具有足够的厚度和强度以满足使用要求。
2.2. 互连电极在玻璃基板的两侧分别沉积有透明的导电薄膜，即互连电极。
这些电极可以实现对光控玻璃的控制。
2.3. 电压源为了能够对光控玻璃进行控制，需要提供一个电压源。
该电压源会向光控玻璃施加电压，从而改变其透明度。
2.4. 电阻层在互连电极上沉积有一层电阻层，其作用是通过电阻调节电压在玻璃表面的分布情况，从而实现对光控玻璃的控制。
2.5. 光调节层光控玻璃的核心是一层光调节层，它是由含有特殊材料的亲水胶构成。
这种亲水胶具有特殊的光学性质，可以根据外界光照条件改变其透明度。
3. 光控玻璃的工作原理了解了光控玻璃的构成组件后，我们进一步深入了解其工作原理。
3.1. 光控层原理光控玻璃的核心是光控层。
该层包括亲水胶和光调节材料。
亲水胶在制造光控玻璃时被涂覆在玻璃表面上。
当亲水胶受到光控层上方的光线照射时，亲水胶会吸收光线并将其转化为热能。
在亲水胶吸收光线转化为热能后，其温度升高，导致亲水胶膨胀。
与此同时，光调节材料也会被拉伸，从而改变了整个光控层的密度。
3.2. 控制电压的作用在光控层上方和下方的互连电极之间施加电压可以改变光控层的密度。
当电压被施加到互连电极上，电流会通过电阻层分布在光控层上。
由于光控层的密度取决于亲水胶的膨胀程度，而亲水胶的膨胀程度又取决于温度，因此通过施加电压可以改变光控层的密度，从而改变光控玻璃的透明度。