SEM分析

指数标定
孪晶的衍射斑点
3.单晶体和 多晶体电子衍射花样指数标定
★复杂电子衍射花样 1.高阶劳埃带
3.单晶体和 多晶体电子衍射花样指数标定
2.菊池线
3.单晶体和 多晶体电子衍射花样指数标定
另外，复杂电子衍射花样还包括二次电子 衍射、孪晶衍射、双晶带衍射等.
电子衍射
111 200
Bulk materialsபைடு நூலகம்Coatings 1 Coatings 2
relative intensity(cps)
220 311 222
400 420
331
422
20
40
60
80
100
2
透射电子显微镜的主要功能
成像： 明场像，暗场像 格子像，原子像
衍射
1.电子衍射与电子衍射仪
3.单晶体和多晶体电子衍射花样指数标定
★多晶体衍射花样 电子束受到多晶体衍射，也可以产生许多衍射圆锥， 但圆锥角比较小。多晶环多用在仪器常数的校正工作。 最常用的是金的衍射花样
3.单晶体和 多晶体电子衍射花样指数标定
★单晶体衍射花样 其特征是衍射斑点规
则排列。在衍射斑点花 样中最基本的是简单电 子衍射花样—单晶带电 子衍射花样，它是通过 倒易点阵原点的一个二 维倒易面的放大像
★薄晶体的电子衍射特征：
⑴厄瓦尔球半径比倒易矢量 大几十倍
⑵衍射角很小，衍射线集中 在前方
⑶倒易点被拉长为倒易杆， 倒易杆方向垂直于薄膜厚度
★以上三个原因决定使得电子 束相对晶体任何取向，在倒 易原点附近都会有许多倒易 杆与球面接触或交截，从而 可以得到许多衍射线。衍射 线的方向为连接球心和倒易 杆与球的交点，如图所示
倒易点阵的扩展
3.单晶体和 多晶体电子衍射花样指数标定 其中各衍射斑点对应的倒易点指数如下图
[001]
[011]
[111]
[012]
2.电子显微镜中的电子衍射
所以 其中
Rd L L f1M iM p
rd f1
r R MiM p
即为电子显微镜的有效相机长度，称
L 为电子显微镜的有效相机常数