激光干涉仪操作规程

激光干涉仪操作规程

一、操作步骤

1.系统的相互连接

·将PC10计算机系统与ML10 激光干涉仪用通讯电缆连接。

·如果需要，将PC10计算机系统与EC10 环境补偿单元用通讯电缆连接。

·将PC10、ML10、EC10分别接上电源线，再接到电源插板上。·通过稳压电源，将总电源线接到220V接地电源上。

2.激光的预热

闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约15～20分钟，等激光指示灯出现绿色后，表明激光已稳定。

3.测量软件的启动

打开计算机，在“C”提示符下依次键入：

·CD/RENISHAW (RETURN)

·RCS (RETURN)

·a (RETURN)

·b (RETURN)

完成以上步骤后，测量软件已被启动。

4.光学镜的安装

·将反射镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。

·将反射镜和分光镜组合组成干涉镜；将干涉镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上。

5.激光调整

·调整激光，使其与测量方向一致。调整时，首先用粗光束调，然后用细光束调，保证信号强度达到测量精度要求并恒定（由计算机上信号强度指示确定）。

·调整透射光线和折射光线重合。

6.目标值设定

根据测量要求，设定目标值，目标值的设定应尽可能的覆盖整个行程范围。

7.数据采集

·按目标值设定要求编制数控测量程序，在每个测量点必须有足够的延时设定（由机床操作人员完成）。

·设定数据采集参数，主要包括；线性/圆周、测量次数、单向/双向、测量信息等。

·按“ALI+D”进行数据采集。

·数据采集完后，按“ESC”终止采集过程。

8.数据分析

选择“数据分析”菜单，按相关标准要求进行数据分析，分别给出双向定位精度、重复性、反向偏差等精度指标。

9.计算机系统的退出

按以下步骤退出系统：

·按“ALT+X”退回到“主菜单

·按“x”退出本软件

·按“CD\”退出子目录

·关机

10. 测量完成后的工作

·关闭ML10。

·关闭EC10。

·关闭电源插板开关。

·拆掉所有电源线及电缆线。

·拆掉光学镜、夹紧块、安装杆、磁性表座。

·按附件表所列项目清点所有附件，并放入附件箱。

二、注意事项

1.搬运仪器附件箱时，应轻拉轻放，防止振坏激光干涉仪或其它附件。

2.三角架在使用时，应将各紧固螺钉固紧，防止意外事故的发生。

3.激光干涉仪在使用时，应用两松紧带固紧。

4.安装光学镜时，要小心谨慎，防止摔坏或碰坏光学镜，特别禁止“悬空”安装光学镜。

5.严禁用手触摸光学镜镜面，保持镜面干净。

6.必须确保电源线有地线，并且地线必须在电源线供电端接地，否则，会有触电（电击伤）的危险。

7.眼睛不能对准输出光束直视，否则会伤害眼睛。

8.在测量现场操作人员不得随意离开，以防意外事件的可能发生。若有事确需离开，应有其它计量人员在现场看护仪器。

9.测量完后，应将电源线、连接电缆、电源插板及电缆线等擦拭干净。

10.测量完毕后，应仔细清点仪器所有附件，防止丢失。

11.本规程未涉及到的其它常识性的、基本的注意事项。

质量检查处

2004年元月6日