无尘车间洁净度标准
千级无尘车间空气洁净度标准
千级无尘车间空气洁净度标准
千级无尘车间空气洁净度标准如下:
1. 每立方米空气中直径大于的微粒数不超过1000个,也即微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内。
2. 温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
此外,不同的洁净等级洁净度标准如下:
1. 10级:浓度≤10,浓度≤2。该级别属于高等级净化工程,适用于精密、微型的电子科技行业。
2. 1000级:浓度≤1000,浓度≤237,浓度≤102,浓度≤35,浓度≤8。该级别应用于生产微型轴、光学器件。
3. 10000级:浓度≤10000,浓度≤2370,浓度≤1020,浓度≤352,浓度
≤83。该级别应用于生产液压设备或食品饮料。
4. 级:浓度≤,浓度≤237000,浓度≤102000,浓度≤35200,浓度≤8320,浓度≤293。该级别净化程度较低,主要应用于印刷厂、包装厂等对洁净度
要求不高的行业。
以上内容仅供参考,如有需要建议查阅《无尘车间技术规范》等专业书籍或咨询无尘车间行业专家。
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求
无尘车间是一种特殊的生产环境,主要用于对产品进行精密加工和装配,以确
保产品的质量和可靠性。为了保证无尘车间的正常运行和产品的质量,制定一系列的标准要求是必要的。以下是针对无尘车间的标准要求的详细说明。
1. 空气洁净度要求:
无尘车间的空气质量是保证产品质量的关键因素之一。根据不同的行业和产
品要求,空气洁净度等级可以有不同的要求。常见的空气洁净度等级包括ISO 14644-1标准中的ISO 5级(类100)至ISO 8级(类100,000)。在无尘车间中,
应根据具体的生产需求确定所需的空气洁净度等级,并采取相应的措施来满足要求。
2. 温度和湿度要求:
温度和湿度是无尘车间中需要严格控制的环境参数。根据不同的生产工艺和
产品要求,温度和湿度的要求也会有所不同。普通来说,无尘车间的温度应控制在20℃至25℃之间,湿度应控制在40%至60%之间。同时,还应采取相应的措施来
避免温度和湿度的波动,以确保生产过程的稳定性和产品的质量。
3. 空气流速要求:
无尘车间中的空气流速对于控制颗粒物的扩散和沉降非常重要。普通来说,
无尘车间中的空气流速应满足以下要求:水平流无尘车间应控制在0.25m/s至
0.45m/s之间,垂直流无尘车间应控制在0.35m/s至0.55m/s之间。此外,还应避免
空气流速的波动和不均匀分布,以确保空气洁净度的稳定性。
4. 通风系统要求:
无尘车间的通风系统是保证空气质量和温湿度控制的重要设备。通风系统应
具备以下要求:能够满足无尘车间的空气流速要求;能够过滤空气中的颗粒物和有
无尘车间等级标准划分
无尘车间等级标准划分
无尘车间等级标准划分大致分为以下几类:
1. 一级无尘车间:空气洁净度为100级,用于微观粒子的研究
和制造等精密实验室。
2. 二级无尘车间:空气洁净度为1000级,用于精密零部件生产、半导体加工、精细化学试验等。
3. 三级无尘车间:空气洁净度为10000级,用于电子元器件、
精密仪器、食品生产等严格要求无尘环境的场所。
4. 四级无尘车间:空气洁净度为100000级,用于药品制造、食
品加工、精细加工等对空气质量要求较高的场所。
其中,达到一级无尘车间的洁净度标准较高,要求除尘设备、洁
净工具、无菌室等设施有更高的要求,而四级无尘车间的洁净度标准
相对较低,但仍然需要保持一定的洁净环境,以确保生产的产品质量。这些不同的等级要求在不同的行业和生产过程中应用。
无尘车间等级划分标准
无尘车间等级划分标准
无尘车间是一种具有无菌和洁净环境的特殊生产场所,广泛应用于电子、制药、食品、化工等行业。为了确保无尘车间的洁净度和无菌度,通常会根据不同的需求和产品要求,对无尘车间进行不同等级的划分。下面将详细介绍无尘车间等级划分标准。
1级无尘车间(Class 1):允许的最大颗粒数为0.1个/立方米。主要应用于高精密电子器件制造、半导体生产等需要极高洁净度的领域。
2级无尘车间(Class 10):允许的最大颗粒数为10个/立方米。在电子、半导体、光学仪器等需要高洁净度的场所广泛使用。
3级无尘车间(Class 100):允许的最大颗粒数为100个/立方米。主要应用于制药、生物技术、食品加工等需要较高洁净度的领域。
4级无尘车间(Class 1,000):允许的最大颗粒数为1,000个/立方米。通常适用于制造微电子元件、医疗器械等产品的场所。
5级无尘车间(Class 10,000):允许的最大颗粒数为10,000个/立方米。常见于生物制药、化妆品制造等领域。
6级无尘车间(Class 100,000):允许的最大颗粒数为100,000个/立方米。适用于制造一般医疗设备、普通电子产品等场所。
7级无尘车间(Class 1,000,000):允许的最大颗粒数为1,000,000个/立方米。通常适用于一些一般性的装配车间、车间办公区等场所。
8级无尘车间(Class 10,000,000):允许的最大颗粒数为
10,000,000个/立方米。主要用于一些不太严格的生产现场、实验室等地方。
9级无尘车间(Class 100,000,000):允许的最大颗粒数为
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求
引言概述:
无尘车间是一种高度洁净的工作环境,广泛应用于电子、制药、食品等行业。为确保无尘车间的洁净度和工作效率,制定了一系列的标准要求。本文将详细介绍无尘车间标准要求的五个方面内容。
一、空气净化要求:
1.1 空气过滤器:无尘车间要求安装高效过滤器,能够有效过滤空气中的微粒和有害物质,保持车间空气质量。
1.2 空气流速:无尘车间的空气流速应符合规定的标准范围,通常为0.3-0.5米/秒,以确保空气能够有效地带走悬浮颗粒物。
1.3 空气洁净度等级:根据不同的工作需求,无尘车间的空气洁净度等级分为不同级别,如ISO 5级、ISO 6级等。要求车间内的空气中悬浮颗粒物的浓度达到规定的标准。
二、地面要求:
2.1 地面材质:无尘车间的地面应选用防尘、易清洁的材质,如环氧地坪、PVC地板等,以减少灰尘的产生和积累。
2.2 地面平整度:地面应平整,不得有凹凸不平的情况,以保证车间内设备的稳定运行和操作人员的安全。
2.3 地面密封性:地面应具备一定的密封性,以防止灰尘和异味的渗透,同时便于清洁和维护。
三、墙面和天花板要求:
3.1 材质选择:墙面和天花板应选择光滑、不易积尘的材质,如不锈钢板、铝合金板等,便于清洁和维护。
3.2 防尘处理:墙面和天花板应进行防尘处理,如涂刷防尘漆、安装防尘板等,以减少灰尘的产生和附着。
3.3 密切连接:墙面和天花板的连接处应密切,不得有缝隙,以防止灰尘和异味的渗透。
四、设备要求:
4.1 设备密封性:无尘车间内的设备应具备良好的密封性,以防止灰尘和有害物质的泄露,同时减少噪音和振动的产生。
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求
一、引言
无尘车间是一种特殊的生产环境,其主要目的是为了防止灰尘、微粒等杂质对产品质量的影响。本文将详细介绍无尘车间的标准要求,包括空气洁净度、温湿度控制、设备要求、人员要求等方面。
二、空气洁净度要求
1. 空气洁净度等级:无尘车间的空气洁净度应符合国家相关标准,普通要求达到ISO 14644-1标准中的等级5或者更高等级。
2. 空气流速:无尘车间内的空气流速应符合相关标准要求,普通控制在0.2-0.5m/s之间。
3. 空气负压控制:无尘车间应保持负压状态,避免污染物外泄。
三、温湿度控制要求
1. 温度控制:无尘车间的温度应根据生产工艺要求进行控制,普通控制在20-25摄氏度之间。
2. 湿度控制:无尘车间的湿度应根据生产工艺要求进行控制,普通控制在40%-60%之间。
四、设备要求
1. 空气净化设备:无尘车间应配备高效过滤器、空气净化设备等,以保证空气质量。
2. 地面材料:无尘车间的地面应选择易清洁、防尘的材料,如环氧地坪等。
3. 壁面材料:无尘车间的壁面应选择光滑、易清洁的材料,如不锈钢板等。
4. 照明设备:无尘车间的照明设备应符合相关标准要求,保证光照充足且不产
生灰尘。
五、人员要求
1. 培训要求:无尘车间的操作人员应接受相关培训,了解无尘车间的操作规程、卫生要求等。
2. 服装要求:无尘车间的操作人员应穿戴符合要求的无尘服装、鞋套、帽子等
防护用品。
3. 人员流动控制:无尘车间应设立洁净区和非洁净区,严格控制人员流动,减
少灰尘和污染物进入无尘区域。
六、总结
无尘车间的标准要求涉及空气洁净度、温湿度控制、设备要求和人员要求等方面。通过严格遵守这些要求,可以保证无尘车间的生产环境达到预期的洁净程度,从而确保产品质量的稳定性和可靠性。在实际操作中,应根据具体的生产工艺和产品要求,进一步细化和完善无尘车间的标准要求,以满足不同行业和产品的特殊需求。
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求
无尘车间是一种高洁净度的生产环境,广泛应用于电子、医药、食品等行业。
为了确保无尘车间的正常运行和产品质量,制定一系列的标准要求是必要的。以下是对无尘车间标准要求的详细描述。
1. 空气洁净度要求:
无尘车间的空气洁净度是衡量其质量的重要指标。根据不同行业的需求,空
气洁净度分为多个等级,如ISO 14644标准中的1至9级。对于电子行业,通常要
求达到ISO 14644-1标准中的5级,即每立方米空气中的颗粒物不应超过0.5微米。
2. 温度和湿度要求:
温度和湿度是无尘车间正常运行的基本条件。普通来说,温度应保持在20-
25摄氏度之间,湿度应控制在40-60%之间。温度和湿度的稳定性对产品质量和操
作人员的舒适度都有重要影响。
3. 静电控制要求:
无尘车间中静电的产生和积累会对产品造成伤害。为了避免静电的影响,需
要采取一系列的控制措施,如使用防静电地板、静电消除器等设备,并培训操作人员正确使用防静电工具。
4. 照明要求:
无尘车间的照明要求较高,要保证光线充足、均匀,并且不产生眩光。常用
的照明设备包括荧光灯、LED灯等。同时,照明设备应具备防尘、防水、防爆等
特性,以确保其安全性和可靠性。
5. 噪声控制要求:
无尘车间中的噪声对操作人员的健康和工作效率有很大影响。为了控制噪声,需要采取隔音措施,如使用吸音材料、隔音门窗等。此外,还应定期检测噪声水平,确保其符合相关标准要求。
6. 通风要求:
无尘车间的通风系统应能有效地排除室内的污染物和异味,并保持空气流通。通风系统应具备过滤、换气、调湿等功能,以确保室内空气的质量和稳定性。
无尘车间等级划分标准
无尘车间等级划分标准
无尘车间是一种对环境要求非常高的生产场所,它的等级划分标准对于保障生
产过程的洁净度至关重要。无尘车间等级的划分标准主要是根据车间内空气中悬浮颗粒物的数量和大小来确定的。根据国际标准,无尘车间的等级划分主要包括ISO 14644-1和GMP两种标准。
ISO 14644-1标准是国际上对无尘车间等级划分的基本标准,它将无尘车间的
洁净度等级划分为ISO 1至ISO 9共10个等级。ISO 1级是洁净度最高的等级,允
许的最大颗粒物数量为每立方米不超过10个;而ISO 9级则是洁净度最低的等级,允许的最大颗粒物数量为每立方米超过35,200个。ISO 14644-1标准的等级划分主
要是根据车间内空气中的颗粒物数量来确定的,这些颗粒物的大小范围从0.1微米
到5微米不等。
GMP是药品生产领域常用的无尘车间等级划分标准,它将无尘车间的洁净度
等级划分为A、B、C、D四个等级。其中A级是洁净度最高的等级,适用于对洁
净度要求非常高的生产环境,比如药品生产;而D级则是洁净度最低的等级,适
用于对洁净度要求较低的生产环境,比如普通物流仓储。
在无尘车间的等级划分标准中,除了空气中悬浮颗粒物的数量和大小外,还包
括了空气流速、温度、湿度、静电等因素。这些因素的控制对于保障无尘车间的洁净度至关重要,它们直接影响着生产过程的质量和效率。
在实际生产中,无尘车间的等级划分标准需要根据具体的生产环境和产品要求
来确定。不同行业、不同产品对于无尘车间的洁净度要求是不同的,因此在设计和运行无尘车间时,需要根据实际情况来确定适合的洁净度等级划分标准。
无尘车间参数标准
无尘车间参数标准
一、引言
无尘车间是为了满足特定行业对洁净环境的需求而设计的一种特殊工作场所。为了确保无尘车间的正常运行和达到预期的洁净度要求,需要制定相应的无尘车间参数标准。本文将详细介绍无尘车间参数标准的制定内容和要求。
二、无尘车间洁净度要求
1. 空气洁净度要求:
a. 空气中颗粒物浓度不得超过每立方米0.5微克;
b. 空气中微生物浓度不得超过每立方米100个。
2. 表面洁净度要求:
a. 水平表面洁净度要求为每平方米不得超过100个颗粒物直径大于0.5微米的颗粒;
b. 垂直表面洁净度要求为每平方米不得超过10个颗粒物直径大于0.5微米的颗粒。
三、无尘车间温湿度要求
1. 温度要求:
a. 普通情况下,无尘车间的温度要求在20℃-25℃之间;
b. 高温工艺要求的无尘车间,温度要求在25℃-30℃之间;
c. 低温工艺要求的无尘车间,温度要求在15℃-20℃之间。
2. 湿度要求:
a. 普通情况下,无尘车间的相对湿度要求在45%-55%之间;
b. 高湿度工艺要求的无尘车间,相对湿度要求在55%-65%之间;
c. 低湿度工艺要求的无尘车间,相对湿度要求在35%-45%之间。
四、无尘车间静电控制要求
1. 静电电位要求:
a. 无尘车间内的静电电位不得超过100V;
b. 静电敏感区域的静电电位不得超过50V。
2. 静电放电时间要求:
a. 静电放电时间不得超过0.1秒。
五、无尘车间通风要求
1. 无尘车间的通风量要求:
a. 普通情况下,无尘车间的通风量要求为每小时6-8次;
b. 高洁净度要求的无尘车间,通风量要求为每小时8-12次。
无尘车间洁净度等级标准
无尘车间洁净度等级标准
无尘车间是指将空气中的压力、湿度、温度等控制在一定指标,使空间环境符合一定的生产条件。无尘车间按照清洁等级划分为不同标准,不同的清洁等级洁净度标准如下:
一、10级:0.1um浓度≤10,0.2um浓度≤2。该级别属于高等级净化工程,适用于精密、微型的电子科技行业。
二、100级:0.1um浓度≤100,0.2um浓度≤24,0.3um浓度≤10,
0.5um浓度≤4,该级别为常见等级,应用于医药行业的无菌制造。
三、1000级:0.1um浓度≤1000,0.2um浓度≤237,0.3um浓度≤102,0.5um浓度≤35,1.0um浓度≤8,该级别应用于生产微型轴、光学器件。
四、10000级:0.1um浓度≤10000,0.2um浓度≤2370,0.3um 浓度≤1020,0.5um浓度≤352,1.0um浓度≤83,该级别应用于生产液压设备或食品饮料。
五、100000级:0.1um浓度≤100000,0.2um浓度≤23700,0.3um 浓度≤10200,0.5um浓度≤3520,1.0um浓度≤832,5.0um浓度≤29,该级别应用于很多工业领域。
六、1000000级:0.1um浓度≤1000000,0.2um浓度≤237000,
0.3um浓度≤102000,0.5um浓度≤35200,1.0um浓度≤8320,5.0um浓度≤293,该级别净化程度较低,主要应用于印刷厂、包装厂等对洁净度要求不高的行业。
无尘车间等级标准
无尘车间等级标准
无尘车间,又称洁净车间,是一种具有特殊环境要求的生产场所,主要用于生
产对环境要求非常高的产品,如电子产品、医药产品、食品等。为了确保无尘车间的正常运行和产品的质量,各国都制定了相应的无尘车间等级标准。无尘车间等级标准主要包括空气洁净度等级、洁净区域分类、洁净区域的压力等级、洁净区域的温湿度等级等内容。
首先,无尘车间的空气洁净度等级是衡量无尘车间洁净程度的重要指标。根据
国际标准ISO14644-1,空气洁净度等级分为等级1至等级9共10个等级,等级1
表示空气洁净度最高,等级9表示空气洁净度最低。不同的生产需要对应不同的空气洁净度等级,以确保产品的质量和安全。
其次,根据洁净区域的不同,无尘车间可以分为不同的洁净区域分类。常见的
洁净区域分类包括A、B、C、D四个等级。A级洁净区域要求最高,适用于对洁
净度要求非常高的生产环境,如医药生产。D级洁净区域要求相对较低,适用于对洁净度要求不是很高的生产环境,如一般电子产品生产。
此外,洁净区域的压力等级也是无尘车间等级标准的重要内容之一。根据国际
标准ISO14644-1,洁净区域的压力等级分为正压、负压和平衡压三种。不同的生
产需要对应不同的压力等级,以确保洁净区域内外空气流动的合理性,避免外界空气污染进入洁净区域。
最后,洁净区域的温湿度等级也是无尘车间等级标准的重要内容之一。洁净区
域的温湿度对产品的生产和贮存都有一定的影响,因此需要根据不同的生产需要对洁净区域的温湿度进行合理的控制和调节,以确保产品的质量和安全。
综上所述,无尘车间等级标准是保障无尘车间正常运行和产品质量的重要依据,各项标准都是为了满足不同生产环境的需要而制定的。在实际生产中,企业需要根
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求
一、引言
无尘车间是指在生产过程中,通过控制空气中的颗粒物浓度,使其达到一定的
洁净度要求的车间。本文将详细介绍无尘车间的标准要求,包括空气洁净度、温湿度控制、压差控制、噪声控制、照明要求等方面。
二、空气洁净度要求
1. 空气洁净度等级:无尘车间的空气洁净度等级应根据生产工艺要求确定,常
见的等级有ISO 5、ISO 6、ISO 7和ISO 8等。其中,ISO 5级要求每立方米空气中的颗粒物直径不得超过0.1微米。
2. 空气流速:无尘车间的空气流速应符合相应的标准要求,一般为0.2-0.5米/秒。
三、温湿度控制要求
1. 温度范围:无尘车间的温度应根据生产工艺要求确定,一般为20-25摄氏度。
2. 相对湿度范围:无尘车间的相对湿度应根据生产工艺要求确定,一般为
45%-60%。
四、压差控制要求
1. 压差设定值:无尘车间的压差设定值应根据空气洁净度等级确定,一般为
10-20帕。
2. 压差控制精度:无尘车间的压差控制精度应达到±1帕。
五、噪声控制要求
1. 噪声限值:无尘车间的噪声限值应符合国家相关标准要求,一般为65分贝。
2. 噪声控制措施:无尘车间应采取合适的噪声控制措施,如隔声墙、隔声门等。
六、照明要求
1. 照明强度:无尘车间的照明强度应符合国家相关标准要求,一般为300-500
勒克斯。
2. 照明设备:无尘车间的照明设备应选用防尘、防爆、防静电等特殊要求的灯具。
七、结论
无尘车间的标准要求主要包括空气洁净度、温湿度控制、压差控制、噪声控制
和照明要求等方面。通过控制这些要求,可以确保无尘车间的生产环境达到一定的洁净度,从而提高产品质量和生产效率。在实际应用中,还需要根据具体的生产工艺要求进行相应的调整和优化。
车间无尘等级标准
车间无尘等级标准
车间无尘等级标准是指根据车间内空气中的颗粒物浓度来划分车间的无尘等级的一种标准。车间无尘等级标准主要用于电子、光学、制药、食品等领域对车间洁净度要求较高的场所。
一般来说,车间无尘等级标准主要分为ISO(国际标准化组织)和FS(联邦标准)两种标准。其中,ISO标准通常使用数字
表示车间无尘等级,数字越小表示无尘等级要求越高;而FS
标准则使用字母和数字组合表示车间无尘等级,组合中的字母和数字都代表不同的无尘等级要求。
具体的车间无尘等级标准可以根据不同行业和应用的需求而有所差异,以下是一般常见的ISO车间无尘等级标准:
- ISO 1:车间内每立方米空气中的颗粒物不超过10个(粒径
大于0.1μm)
- ISO 2:车间内每立方米空气中的颗粒物不超过100个(粒径大于0.1μm)
- ISO 3:车间内每立方米空气中的颗粒物不超过1,000个(粒
径大于0.1μm)
- ISO 4:车间内每立方米空气中的颗粒物不超过10,000个
(粒径大于0.1μm)
- ISO 5:车间内每立方米空气中的颗粒物不超过100,000个
(粒径大于0.1μm)
- ISO 6:车间内每立方米空气中的颗粒物不超过1,000,000个(粒径大于0.1μm)
- ISO 7:车间内每立方米空气中的颗粒物不超过10,000,000个
(粒径大于0.1μm)
- ISO 8:车间内每立方米空气中的颗粒物不超过100,000,000个(粒径大于0.1μm)
需要注意的是,车间无尘等级标准不仅仅限于以上的ISO标准,还可以根据具体要求进行更详细的划分和要求。因此,在实际使用时,需要根据具体行业和应用的需求来确定车间无尘等级标准。
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求
引言概述:
无尘车间作为一种高度洁净的生产环境,广泛应用于电子、医药、食品等行业。为了确保无尘车间的正常运作,一系列标准要求被制定出来。本文将详细介绍无尘车间标准要求的四个方面。
一、空气净化要求:
1.1 过滤器等级要求:无尘车间的空气净化系统必须配备合适的过滤器,过滤器的等级应符合国际标准。通常情况下,无尘车间需要使用高效过滤器,如HEPA 过滤器,能够有效过滤空气中的微尘颗粒。
1.2 空气流速要求:无尘车间内的空气流速应根据不同工艺要求进行调整。普通情况下,空气流速应保持在0.2-0.5米/秒之间,以确保微尘颗粒不会在空气中停留太久。
1.3 空气洁净度要求:无尘车间的空气洁净度应符合特定的等级要求,如ISO 14644标准。根据不同行业的需求,空气洁净度等级可分为ISO 5-ISO 9级别,ISO 5级别表示空气中每立方米不得超过100颗直径大于0.5微米的颗粒。
二、表面洁净度要求:
2.1 清洁区域划分:无尘车间应根据不同工艺要求划分为清洁区域和非清洁区域,以确保产品不会受到污染。清洁区域通常要求工作人员穿戴洁净服,并采取适当的措施,如使用吸尘器清理地面,保持表面洁净度。
2.2 清洁度监测:无尘车间应定期进行表面洁净度监测,以确保清洁区域的洁净度符合要求。监测方法可以采用粒子计数器等设备,对表面进行采样检测,根据检测结果进行调整和改进。
2.3 清洁区域维护:无尘车间的清洁区域应定期进行维护,包括清洁设备的维护和更换、地面的清洁和消毒等。维护工作应由专业人员进行,以确保清洁区域的洁净度能够持续保持。
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求
标题:无尘车间标准要求
引言概述:
无尘车间是一种高度洁净的生产环境,广泛应用于电子、医药、食品等行业。为了确保无尘车间的有效运行和产品质量,各国都有一系列的标准要求。本文将详细介绍无尘车间的标准要求。
一、空气洁净度要求
1.1 空气净化级别:无尘车间的空气洁净度通常根据ISO 14644标准进行分类,常见的级别有ISO 5、ISO 6、ISO 7、ISO 8等。
1.2 空气流速要求:根据车间内的工艺要求和设备布局,空气流速应符合相应标准,确保污染物得以有效排除。
1.3 空气过滤要求:无尘车间内的空气过滤系统需要定期维护和更换,以确保过滤效果和空气质量。
二、温湿度控制要求
2.1 温度控制:无尘车间内的温度应符合生产工艺的要求,通常要求在一定的范围内保持稳定。
2.2 湿度控制:对于某些特殊的生产工艺,无尘车间内的湿度也需要进行控制,以确保产品质量和生产效率。
2.3 温湿度监测:无尘车间需要安装温湿度监测设备,实时监测环境参数,及时调整控制参数。
三、地面和墙面要求
3.1 地面材质:无尘车间地面通常采用防静电、防滑、易清洁的材料,以确保无尘环境的维护和清洁。
3.2 墙面涂料:墙面要求采用防尘、易清洁的涂料,确保车间内的空气质量和产品质量。
3.3 地面和墙面清洁:无尘车间需要定期清洁地面和墙面,避免灰尘和污垢对生产环境的影响。
四、设备和工具要求
4.1 设备密封性:无尘车间内的设备需要具有良好的密封性,防止污染物进入设备内部影响生产质量。
4.2 工具选择:在无尘车间内使用的工具需要符合相关标准,避免产生尘埃或者污染物。
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求
一、引言
无尘车间是一种具备高洁净度的特殊工作环境,广泛应用于电子、半导体、光学、医药等行业。为了确保无尘车间的洁净度和工作效率,制定一套严格的标准要求是非常必要的。
二、洁净度要求
1. 空气洁净度:
a. 根据国际标准ISO 14644-1,无尘车间应达到ISO 5级别,即每立方米空气中的颗粒物不超过100个(直径大于0.5μm)。
b. 定期进行空气质量检测,确保洁净度符合要求。
2. 地面洁净度:
a. 地面应平整、无积尘,不得有坑洞、裂缝等缺陷。
b. 地面材料应选用耐磨、易清洁的材质,如环氧地坪。
c. 定期进行地面清洁和维护,确保地面洁净度符合要求。
3. 墙面洁净度:
a. 墙面应光滑、无灰尘,不得有起泡、脱落等问题。
b. 墙面材料应选用不易积尘、易清洁的材质,如不锈钢板。
c. 定期进行墙面清洁和维护,确保墙面洁净度符合要求。
4. 天花板洁净度:
a. 天花板应平整、无尘埃,不得有漏水、渗水等问题。
b. 天花板材料应选用不易积尘、易清洁的材质,如铝合金板。
c. 定期进行天花板清洁和维护,确保天花板洁净度符合要求。
三、温湿度要求
1. 温度要求:
a. 无尘车间的温度应控制在20℃-25℃之间,以适应工作人员的舒适度和设备的正常运行。
b. 定期进行温度检测,确保温度符合要求。
2. 湿度要求:
a. 无尘车间的湿度应控制在40%-60%之间,以防止静电产生和设备受潮。
b. 定期进行湿度检测,确保湿度符合要求。
四、通风要求
1. 通风系统:
a. 无尘车间应配备高效的通风系统,保证空气流通和排除有害气体。
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2.14 30.9 7.50 106 21.4 309
0.875 10.0 3.00 35.3 8.75 100
0.283 --
--
1.00 --
--
2.83 --
--
M2.5 1000 M3 10000
12000 350 2650 75.0 1060 30.0 353 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000
( +1.3 ) 25
特别
特别 0.45m/s -1620
10000 ≧ 5
10
以上
时为
时为 ±0.1m/s
100000 ≧ 0.5 10000
± 1.4
± 5 非层流方
源自文库
≧5
65
式
≧ 0.5 10000
≧20 次/h
≧5
0
700
表 8, 美国联邦规格 No.209E 的洁净度级别分类
级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度(单位堆积粒子数)表示。
精心整理
无尘车间洁净度如何确定详细分析
一、净化车间的规格
净化 车间的规格一般适用于美国联邦规格 No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净
度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规
格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为 No209E,名称也进行了变更。 No.209E 的级别表示是把 0.5um 以上的颗粒数为 10x 个 /m3,把 X 表示成级别,同时加上米制 M的意
工厂等里边,根据作业内容,要求有 M1(10)— M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,
根据产品的纯度、作业工序,需有从 M3.5 到 M6.5( 100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此
说,各种产业所需要的净化间, 其要求的洁净度是不同的。 就一般级别而言, 表 11 可以作为参考。
非层流式
≧5
65( 2.3 ) 2.5
30000
≧ 20 次/h
100000
( 0.0884 ) ( 323000)
( 3500)
700(25)
三、不同用途所要求的洁净度
如前所述, 净化间的级别一般分成 M3.5(100)、M4.5( 1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)
4 个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造
表 7 美国联邦规格 No.209B
净化间 粒子
室内压力
温度
湿度
气流
照度
级别
粒径 累计
Pa
范围
推荐值 差
高
最 误差 换气次数
um
粒子
mmH2O
(℃) (℃) (℃) (%) 低 %
数
%
100
≧ 0.5 100
+13
19.4 — 22.2
± 2.8 45
30 ± 10 层流方式 1080-
1000
≧ 0.5 1000
10.0 --
--
28.3 --
--
M3.5 100000 --
M4
--
M4.5
--
--
26500 750 10600 300 3530
100
--
--
--
75700 2140 30900 875 1000035300 283
--
--
--
--
--
--
--
100000
1000 247 7.00
M5 M5.5
思,表示成 M3.5 等等。在表 7 里表示的是美国联邦规格 No.209B,表 8 表示的是美国联邦规格
No.209E。在日本,相应的规格是 JISB9920。JIS9920 的级别表示是把 0.1um 以上的颗粒数规定为 10X 个,用 Y 表示级别。表 9、图 2 表示了 JISB9920 的级别的主要内容。
图 1, 209E 的洁净度级别(图略) 图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
()内数值是用 Englishunit 表示级别。
图 2, JISB9920 的洁净度级别的上限浓度
表 9, JISB9920 主要内容
净化间级别
标准粒径( um)
累计粒子数 ( 个
/m3)
1
0.1
101
2
0.1
102
--
--
--
--
--
--
353000
2380 618 17.5
--
--
--
--
--
--
1000000
10000 2470 70.0
M6 M6.5 M7
--
--
--
--
--
--
3530000
28300 6180 175
--
--
--
--
--
--
100000 24700 700
--
--
--
--
--
--
283000 61800 1750
级别名称 **
级别上限值
粒径
粒径
粒径
粒径
SI***
English
0.1um
0.2um
0.3um
(m3)
(ft 3) (m3)
(ft 3) (m3)
(ft 3)
0.5um (m3)
Unit
* (ft 3)
粒径
5um (m3)
(ft 3)
MI
1
M1.5 10
M2 100
350 9.91 75.7 1240 35.0 265 3500 99.1 757
* 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的,并不表示实际的粒径分布值。
精心整理
** 针对中间级别的浓度上限值,用如下的公式进行计算。 粒子直径 /m3=10M(0.5/d) 2.2,其中, M:SI 单位里的级别名称, D:粒径( um)
*** 国际单位( SystemeInternationald ’ Unites 的缩写)
3
0.1
103
4
0.1
104
5
0.1
105
6
0.1
106
7
0.1
107
8
0.1
108
表 10,美国航空宇宙局规格主要内容
生物 粒子
生物粒子
室内 温 湿 气流
照
净化 粒 累计
浮游量
沉降量 压力 度 度 换气次 度
间级 径 粒子数 个 /ft
Pa
℃ %数
Lx
别
um 个/ft
( 个/l)
mmH2O
( 个/l)
表 11,各产业所要求的净化间级别一览
领域和产业
洁净度标准(级别) 内容
SI Englishunit
半导体工业
掩模板对准工艺
M3.5 100
( IC、 LSI 等)
刻蚀工艺
M3.5 100
腐蚀加工
扩散工艺
M3.5 100
高纯度扩散
蒸着工艺
M3.5 100
高纯度电镀
涂布工艺
M3.5 100
100
≧ 0.5 100
0.1
1200
+13
推
40 层流方式
1080
10000 ≧ 0.5 ( 3.5 )
( 0.0035 ) ( 12900) ( +1.3 ) 荐
— 0.45m/s
—
100000 ≧ 5
10000
0.5
6000
以上
值
50 ± 0.1m/s
1620
≧ 0.5 ( 350)
( 0.0176 ) ( 64000)