脆性材料磨削模式与表面粗糙度
表面粗糙度
• ⑵物理因素: 指工件材料、磨削用量、冷却液等方面 的影响。 • a铜、铝及和金材料工件,一般采用精切方法来或得粗糙 度数值小的表面,若采用磨削加工,普通砂轮很容易堵塞, 破坏表面粗糙度,必须采用金刚石砂轮。硬脆材料的工件, 如花岗岩,硬质合金,淬火钢等可选用金刚石砂轮。CBN 砂轮和橡胶结合剂的砂轮。耐热钢磨削时还会发生磨削烧 伤,影响工件的表面质量。所以,根据工件材料选用合适 材质的砂轮,以便满足工件粗糙度的要求。
磨削加工表面的粗糙度
• 磨削加工表面粗糙度的形成是磨料颗粒在工件表面的划痕 和材料的塑性变形来决定的,若工件表面划痕越细越密越 均匀,则表面粗糙度数值就越小,若工件表面塑性变形越 小,则划痕两侧翻起越小,则表面粗糙度数值越小。 • ⑴几何因素的影响: a砂轮粒度,粒度号越大,即砂 粒越细,工件表面的划痕就越多越细,表面粗糙度数值就 越小。但磨粒过细,则易发生砂轮堵塞,破坏表面粗糙度。 所以一般粗磨、精磨、铣磨时使用砂轮粒度号应逐步增大。
• ⑵评定长度Ln 为了充分反映微观几何形状误差不均匀 的程度,测量评定粗糙度轮廓所必须的一段长度。一般情 况,评定长度取为取样长度的5倍,并以5个取样长度内的 粗糙度数值的平均值作为评定长度内的粗糙度的可靠值。 均匀性较差的粗糙度轮廓可选用大于5L的评定长度值,均 匀性较好的粗糙度轮廓可选用小于5L的评定长度值。 • ⑶轮廓中线m 是具有几何轮廓形状并划分轮廓的基准 线,是在取样长度内,按最小二乘法拟合所确定的轮廓线。
精磨高硬脆材料表面形貌分析及工具浓度的选择
21 0 0年 l O月
超 硬
材 料 工 程
V o .2 I 2 o c .2 0 t 01
SU PERH A RD A TERI EN G I M AI NE ER I G N
精 磨 高 硬脆 材 料 表 面 形 貌分 析 及工 具 浓 度 的选 择 ①
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Ab t a t n hi p pe s r c :I t s a r, t e a a t r o wor i c s r a e h p pr me e s f kp e e u f c we e o p r d r c m a e whe n
选取 相 同材质 玛瑙 石块 , 别切割 成 3 8 ×1 分 块 0 O
×8 mm 的样 块 , 编号 分 别 为 mn 1 mn 、 一 、 一2 mn一3 。
首先 用C 1 2试验 机采 用 2 0 2 0砂 带将 3块样块 M6 5 0 /3
磨 出斜 面 , 然后 用 w 4 一1 w4 一2 w4 一3分别 磨 O 、 O 、 O
刘 志 环 ,王进 保 ,肖乐银
表面粗糙度及其影响因素
表面粗糙度及其影响因素
一、切削加工中影响表面粗糙度的因素
影响表面粗糙度的因素主要有几何因素和物理因素。
1.几何因素:
式中 f ——进给量。
Kr ——主偏角。
Kr’——副偏角
考虑刀尖圆弧角:
式中 f ——进给量。
r ——刀尖圆弧半径。
如图11-8、9所示,用刀尖圆弧半径r=0的车刀纵车外圆时,每完成一单位进给量f后,留在已加工表面上的残留面积,它的高度Rmax即为理论粗糙度的轮廓最大高度Ry。
图11- 8 图11- 9
图11- 10 加工后表面实际轮廓和理论轮廓
切削加工后表面粗糙度的实际轮廓形状,一般都与纯几何因素所形成的理论轮廓有较大的差别,如图11-10。这是由于切削加工中有塑性变形发生的缘故。
生产中,若使用的机床精度高和材料的切削加工性好,选用合理的刀具几何形状、切削用量和在刀具刃磨质量高、工艺系统刚性足够情况下,加工后表面实际粗糙度接近理论粗糙度,这样减小表面粗糙度数值、提高加工表面质量的措施,主要是减小残留面积的高度Ry。
2.物理因素
多数情况下是在已加工表面的残留面积上叠加着一些不规则的金属生成物、粘附物或刻痕。形成它们的原因有积屑瘤、鳞刺、振动、摩擦、切削刃不平整、切屑划伤等。
3.积屑瘤的影响
积屑瘤的生成、长大和脱落将严重影响工件表面粗糙度。
同时,由于部分积屑瘤碎屑嵌在工件表面上,在工件表面上形成硬质点。见图11-11。
图11- 11 图11- 12
鳞刺的影响鳞刺的出现,使已加工表面更为粗糙不平。
鳞刺的形成分为:
抹拭阶段:前一鳞刺已经形成,新鳞刺还未出现;而切屑沿着前刀面流出,切屑以刚切离的新鲜表面抹拭刀——屑摩擦面,将摩擦面上有润滑作用的吸附膜逐渐拭净,以致摩擦系数逐渐增大,并使刀具和切屑实际接触面积增大,为这两相摩擦材料的冷焊创造条件,如图11-12(a)。
脆性材料磨削加工损伤及工件强度研究
脆性材料磨削加工损伤及工件强度研究
摘要:通过汇总脆性材料的磨削数据进行数据分析,说明脆性材料中强度的各种属性与磨削加工的方向有关。并且尝试提供柱状脆性材料的外圆磨床加工方法,对这种加工模式下的实验件进行各项测试和分析。其结果说明了在外圆磨削方式下加工的方向不同,工件各方向下的韧性,强度可增加30%。
关键词:磨削加工;脆性材料;损伤;强度
1.磨削加工对于工件的损伤
1.1.通过近几年研究数据证实,脆性材料表面微损伤的形成是由于磨削加工造成的,并且与加工方法有着极大关系。
1.2.在一个实例中,我们用锥状金刚石对陶瓷工件进行磨削加工,对磨削伤痕形成的原理进行研究。通过实验我们发现磨削的损伤与静止损伤有着极大的区别。如果是磨削加工,工件平面会产生拉应力,这会使工件上沿着磨削加工方向形成中位裂纹,而如果是垂直于加工方向,裂纹方向则是横向,且比中位裂纹短,伤口浅。并且中位裂纹方向朝材料内部,这对于工件来说伤害极大,会让材料的耐用度降低。而横向裂纹可以通过切割等方法去除,对材料损伤并不大。且磨削方向若为平行,纵向断裂强度会大于垂直方向的横向断裂强度。
1.3.通过实际例子的研究,我们发现如果磨削加工方向是平行加工,对材料造成的损伤远小于垂直方向加工,抗拉强度要比垂直于磨削加工方向的材料好得多。所以在对脆性材料的磨削加工方向时可以选择合适的方向,使工件的抗拉强度增大,损失减小。
1.4.就工件强度而言,平面加工可以改变磨削加工的方向去实现不同的要求。而对于柱状工件,磨削加工常用的是外圆磨床加工,是用砂轮的旋转为主,辅以工件自身的旋转同时平行移动作为磨削运动。方向为工件自身原面及与工件中轴方向垂直,中位裂纹在工件直径方向且沿此方向拓展。这种磨削方式会使工件抗拉强度降低。
脆性材料去除机理差异性分析
研究生课程论文《不同脆性材料加工去除机理差异性分析》
课程名称专题报告
姓名岳磊
学号1200203023
专业机械制造及自动化
任课教师沈剑云
开课时间2013.2
教师评阅意见:
论文成绩评阅日期
课程论文提交时间:2013年9月18日
不同脆性材料加工去除机理差异性分析
摘要:脆性材料的共性是具有高强度、高硬度、高脆性、耐磨损和腐蚀、隔热、低密度和膨胀系数及化学稳定性好等特点,是一般金属材料无法比拟的。然而,脆性材料具有的低塑性、易脆性破坏、微裂纹以及加工方法选择不当会引起工件表面层组织的破坏的缺点,使得脆性材料的加工十分困难。本文综述了三种脆性材料:岩石、结构陶瓷、硅片在不同条件下的去除机理,总结了三种材料去除机理的差异性。
关键字:去除机理岩石结构陶瓷硅片延性域去除
脆性材料由于具有独特性能,而得到迅速的应用。特别是,近几年脆性材料正广泛地用于光学、计算机、汽车、航空航天、化工、纺织、冶金、矿山机械、能源和军事等领域。脆性材料的共性是具有高强度、高硬度、高脆性、耐磨损和腐蚀、隔热、低密度和膨胀系数及化学稳定性好等特点,是一般金属材料无法比拟的。但是通常脆性材料坯料必须经过机械加工才能应用。然而,脆性材料具有的低塑性、易脆性破坏、微裂纹以及加工方法选择不当会引起工件表面层组织的破坏的缺点,使得脆性材料的加工十分困难[1]。因此,如何实现脆性材料高质量加工表面是目前先进制造技术领域一个重要的研究主题,去除机理的研究是一个重要的方向。到目前为止,国内外很多学者对典型脆性材料的加工去除机理进行了研究。但是,不同脆性材料在不同的加工方式下的去除机理有很大的差异,本文综述了典型脆性材料:岩石、结构陶瓷、硅片的去除机理,并进行了差异性分析。
浅谈加工表面粗糙度和物理力学性能的影响因素研究
浅谈加工表面粗糙度和物理力学性能的影响因素研究浅谈加工表面粗糙度和物理力学性能的影响因素研究
机械零件的破坏,一般总是从表面层开始的。产品的性能,尤其是它的可靠性和耐久性,在很大程度上取决于零件表面层的质量。表面面质量对零件耐磨性、疲劳强度、耐蚀性、配合质量都有严重的影响。机械机械加工表面质量的内容主要包括:表面粗糙度、表面层的物理力学性能和表面波度等。本文主要以影响加工表面粗糙度和加工表面物理力学性能变化的因素进行分析研究。
1 影响表面粗糙度的因素
1.1 切削加工影响表面粗糙度的因素
从几何因素方面分析,刀具相对于工件作进给运动时,在加工表面留下了切削层残留面积,其形状是刀具几何形状的复映。残留面积的大小与进给量、刀尖圆弧半径及刀具的主偏角、副偏角有关。对于宽刃刀具、定尺寸刀具和成形刀具等,其切削刃本身的表面粗糙度对加工表面粗糙度的影响也很大。
从物理因素方面分析,主要是切削过程中刀具刃口钝圆半径及后刀面对工件的挤压、摩擦作用使金属材料发生塑性变形,使表面粗糙度恶化。当低速切削塑性材料(如低碳钢和不锈钢等)时,由刀具对金属的挤压产生了塑性变形,加之刀具迫使切屑与工件分离的撕裂作用,产生积屑瘤和鳞刺,使表面粗糙度值加大。工件材料韧性愈好,金属的塑性变形愈大,加工表面就愈粗糙。当加工脆性材料时,其切屑呈碎粒状,由于切屑的崩碎而在加工表面留下许多麻点,使表面粗糙。精加工时,因切削深度小,刀刃容易打滑,也影响表面粗糙度。
综上所述,在切削加工中影响表面粗糙度的工艺因素主要有:
1)切削用量
切削速度v在一定的范围内容易产生积屑瘤和鳞刺;减少进给量f可降低残留面积高度。因些合理选择切削用量是降低粗糙度的重要条件。
2、机械加工表面质量及影响因素
机械加工外表质量及影响因素
一、外表质量定义
任何机械加工所得的外表,实际上不行能是抱负的光滑外表,总是存在确定的微观几何外形误差。另外,外表材料在加工时受切削力、切削热的影响,也会使原有的物理—机械性能发生变化。因此,加工外表质量应包括:
1、加工外表粗糙度。是指加工外表的较小间距和微小峰谷的微观几何外形误差。它主要是由于切削加工过程中的刀痕、切削分别时的塑性变形、刀具与被
加工外表的摩擦、工艺系统的高频振动等缘由造成的。
2、外表层的物理———机械性能变化。外表层的材料在加工时,物理—机械性能变化主要有以下三个方面的内容:
1)外表层的冷作硬化。工件在机械加工过程中,外表层金属产生猛烈的塑性变化,使表层的强度和硬度都有所提高,这种现象称外表冷作硬化。
2)外表层剩余应力。在切削加工过程中,由于切削变形和切削热的影响,在加工外表会产生剩余应力,假设剩余应力超过材料的屈服强度,就会产生外表裂纹,外表的微观裂将给零件带来严峻的隐患。
3)外表层金相组织的变化。工件外表经磨削精加工时,磨削产生的高温,一般可达800~1000 ℃,高的磨削温度会烧坏工作外表,使淬火钢件外表退火,引起表层金属发生相变,将大大降低外表层的物理—机械性能。
二、影响外表粗糙度的因素
1、切削加工影响外表粗糙度的因素
刀具几何外形及切削运动的影响刀具相对于工件作进给运动时,在加工外表留下了切削层残留面积,从而产生了外表粗糙度,残留面积的外形是刀具几何外形的复映,其高度H 受刀具的几何角度和切削用量大小的影响。减小进给量vf、主偏角、副偏角以及增大刀尖圆弧半径,均可减小残留面积的高度。此外,适当增大刀具的前角,以减小切削时的塑性变形的程度,合理选择润滑液和提高刀具刃磨质量,以减小切削时的塑性变形和抑制刀瘤、鳞刺的生成,也是减小外表粗糙度值的有效措施。
表面粗糙度影响的因素及改善措施@
1、 切削加工表面粗糙度的形成原因大致可归纳为(1)几何因素刀尖圆弧半径rε、主偏角kr、副偏角kr′、进给量f(2)物理力学被加工材料的性能——塑性变形的影响切削过程中刀具的刃口圆角及后刀面对工件挤压与摩擦而产生塑性变形。与切削机理有关的物理因素——刀瘤和鳞刺的影响切削用量的影响刀具材料的影响刀瘤切削过程中切屑底层和前刀面发生冷焊的结果。鳞刺的产生:切屑在前刀面上的摩擦和冷焊作用造成周期性的停留,代替刀具推挤切削层,造成切削层和工件之间出现撕裂现象。①工件材料的影响韧性材料:工件材料韧性愈好,金属塑性变形愈大,加工表面愈粗糙。故对中碳钢和低碳钢材料的工件,为改善切削性能,减小表面粗糙度,常在粗加工或精加工前安排正火或调质处理。脆性材料:加工粗糙度接近理论值。加工脆性材料时,其切削呈碎粒状,由于切屑的崩碎而在加工表面留下许多麻点,使表面粗糙。②切削速度的影响积屑瘤和鳞刺仅在低速时产生。切削速度越高,塑性变形越不充分,表面粗糙度值越小;选择低速宽刀精切和高速精切,可以得到较小的表面粗糙度。 ③进给量的影响减小进给量f固然可以减小表面粗糙度值,但进给量过小,表面粗糙度会有增大的趋势。④其它因素的影响合理使用冷却润滑液,适当增大刀具的前角,提高刀具的刃磨质量等,均能有效减小表面粗糙度值。(3)工艺系统振动工艺系统的低频振动,一般在工件的已加工表面上产生表面波度,而工艺系统的高频振动将对已加工表面的粗糙度产生影响。为降低加工表面的粗糙度,则必须采取相应措施防止加工过程中产生高频振动。2磨削加工后表面粗糙度的形成工件的磨削表面是由砂轮上大量磨粒刻划出无数极细的刻痕形成的,工件单位面积上通过的砂粒数越多,则刻痕越多,刻痕的等高性越好,表面粗糙度值越小。磨削速度比一般切削速度高得多,且磨粒大多数是负前角,切削刃又不锐利,大多数磨粒在磨削过程中只是对被加工表面挤压,没有切削作用。加工表面在多次挤压下出现沟槽与隆起,又由于磨削时的高温更加剧了塑性变形,故表面粗糙度值增大。(1)磨粒在砂轮上的分布越均匀、磨粒越细,刃口的等高性越好。则砂轮单位面积上参加磨削的磨粒越多,磨削表面上的刻痕就越细密均匀,表面粗糙度值就越小。(2)砂轮修整除了使砂轮具有正确的几何形状外,更重要的是使砂轮工作表面形成排列整齐而又锐利的微刃。因此,砂轮修整的质量对磨削表面
陶瓷材料磨削加工的技术研究与发展现状
陶瓷材料磨削加工的技术讨论与进呈现状
工程陶瓷具有很多优良的性能,比如较高的硬度和强度,很强的耐腐蚀、耐磨损、耐高温本领和良好的化学惰性等,因此在航空航天、化工、军事、机械、电子电器以及精密制造领域的应用日益广泛。目前各发达国家如德、日、美、英等国特别重视工程陶瓷的开发及应用。80时代以来,各国竞相投人大量的资金及人力,在工程陶瓷加工理论和技术、产品开发和应用等方面取得了很大的进展。
由于陶瓷材料的高硬度和高脆性,被加工陶瓷元件大多会产生各种类型的表面或亚表面损伤,这会导致陶瓷元件强度的降低,进而限制了大材料去除率的采纳。对陶瓷高效磨削加工而言,根本目标就是在保持材料表面完整性和尺寸精度的同时获得最大的材料去除率。目前陶瓷的加工成本己达到整个陶瓷元件成本的80%~90%,高加工成本以及难以测控的加工表面损伤层限制了陶瓷元件更广泛的应用。
陶瓷材料广阔的应用前景和多而杂的加工特性,都要求对陶瓷的磨削加工过程进行全面而深入的了解。从上世纪90时代开始,国内外学者进行了大量的讨论,在陶瓷磨削的新型方式、陶瓷磨削的材料去除机理、磨削烧伤、磨削表面完整性等的影响因素、不同磨削条件的最佳磨削参数等多方面都取得了积极的讨论成果。本文重要就陶瓷磨削的讨论现状及进展情形进行了归纳和总结。
1陶瓷材料磨削机理的进展
1)磨削机理的讨论
由于砂轮的磨粒尺寸、形状和磨粒分布的随机性以及磨削运动规律的多而杂性,给磨削机理的讨论带来了很大的困难。在陶瓷磨削方面由于陶瓷的高硬度和高脆性,大多数讨论都使用了“压痕断裂力学”模型或“切削加工”模型来貌似处理。20世纪80时代初,Frank和Lawn 首先建立了钝压痕器、尖锐压痕器和接触滑动三种机理分析讨论模型,提出了应力强度因子公式K=aEP/C2/3,依据脆性断裂力学条件KKC,导出了脆性断裂的临界载荷PBC=CbK,他又依据材料的屈服条件ssY,导
硬脆材料超声振动磨削的试验研究
引 言
主轴
近 些年 ,硬 脆材 料 ( 如工 程 陶瓷 、硅片 等 )的
超 声振 动磨 削加 工技 术 一直是 研 究 的热 点 。超 声 振
超 声波发生器 超 声波振动输 入
动 磨 削是 利 用 超 声 振 动 和 砂 轮 磨 削 的复 合 加 工 方 法 ,D m效 率较高 。缺 点是加 工变质层 较深 【。已有 i e J J 研 究表 明 :当磨 削深度 小 于某 临界值 时 ,硬脆 材 料
Ab t a t n o d r t n e t ae t e l w f c e c r b e i r d n a d b i l tra s n u ta o i s r c :I r e o iv s g t h o e in y p o lm n g n i g h r — rt e ma e i l,a l s n c i i i t r
r u hn s o g e swast se Alo t c nim fr m o n pl si nd b i l o ri so r — rtl tra swa e td. s , heme ha s o e vig a tc a rt epr pe te fha d b itema e l s t i
g id n n r d to a r d n ,t e i a t o a y n rn i g p r me e s o r d n o c d s ra e r i g a d ta i n l g i i g h mp c f v r i g g i d n a a tr n g i i g f r e a u f c n i n n n
磨削加工硬脆材料的延性域研究进展
2021年5月
第49卷第9期
机床与液压
MACHINETOOL&HYDRAULICS
May2021
Vol 49No 9
DOI:10.3969/j issn 1001-3881 2021 09 033
本文引用格式:李征,刘飞,文振华.磨削加工硬脆材料的延性域研究进展[J].机床与液压,2021,49(9):177-181.
LIZheng,LIUFei,WENZhenhua.Researchprogressonductilitydomainofgrindinghardandbrittlematerials[J].Ma⁃
chineTool&Hydraulics,2021,49(9):177-181.
收稿日期:2020-01-07
基金项目:国家自然科学基金面上项目(51975539);航空科学基金项目(2018ZD55008);河南省科技攻关项目
(212102210057);河南省高等学校重点科研项目(21A460025;19A460030)
作者简介:李征(1982 ),男,博士,讲师,主要研究方向为难加工材料的磨削加工技术㊂E-mail:lz1982131@163 com㊂
磨削加工硬脆材料的延性域研究进展
李征1,2,刘飞3,文振华1
(1 郑州航空工业管理学院航空工程学院,河南郑州450046;2 南京航空航天大学机电学院,
江苏南京210016;3 河南科技大学机电工程学院,河南洛阳471003)
摘要:为实现硬脆材料在磨削过程中处于延性域加工,以提高材料的表面质量㊁增加材料的使用寿命,使材料具有优良的抗疲劳㊁耐磨损性能,从试验研究㊁理论建模㊁仿真分析3个方面介绍了国内外学者对硬脆材料磨削加工过程中的脆塑转变现象的研究㊂分析了超声辅助振动磨削加工中脆塑转变的国内外研究现状,提出将高速㊁超高速与超声辅助振动磨削相结合的加工方式㊂研究结果表明:磨削速度对硬脆材料的最大未变形切屑厚度影响较大;引入超声辅助振动容易实现硬脆材料延性域磨削;施加不同方向的超声辅助振动对材料脆塑转变的临界切削深度影响不同㊂提出未来应从磨削热㊁预热处理㊁仿真分析模型㊁磨削加工模型4个方面对硬脆材料延性域磨削进行更深层次的研究㊂研究成果为实现硬脆材料延性域磨削和实际生产提供了参考㊂
表面粗糙度与加工方法
序号=12 Ra 值不大于\μm=0.025 表面状况=镜面光泽面 加工方法=超级加工 应用举例=高压柱塞泵中柱塞和柱塞套的配合表面,中等精度仪器零件配合表面,尺寸大于 120mm 的 IT6 级孔用量规、小于 120mm 的 IT7~IT9 级轴用和孔用量规测量表面
8.条件屈服强度 大多数金属材料在拉伸时没有明显的屈服现象,按 GB228-87 要求,取规定非比例伸长与 原标距长度比为 0.2%时的应力,记为 σp0.2,作为屈服强度指标,称为条件屈服强度,可 用 σ0.2 表示。 9.硬度 布氏硬度、洛氏硬度、维氏硬度的使用如下: 布氏硬度因压痕面积较大,能反映出较大范围内被测金属的平均硬度,故试验结果较精确。 但因压痕较大,所以不宜测试成品或薄片金属的硬度。 洛氏硬度试验法的优点是操作迅速简便,由于压痕较小,故可在工件表面或较薄的金属上试 验。同时,采用不同标尺,可测出从极软到极硬材料的硬度。其缺点是因压痕较小,对组织 较粗大且不均匀的材料,测得的硬度不精确。洛氏硬度虽可测极软到极硬的材料,但不同标 尺的硬度值之间没有简单的换算关系,使用上很不方便。 维氏硬度与洛氏硬度试验相同,但其试验时所加载荷小,压入深度浅,故适用于测试零件表 面淬硬层及化学热处理的表面层(如渗氮层、渗碳层等),同时维氏硬度是一个连续一致的 标尺,试验时载荷可任意选择而不影响其硬度值的大小。但其测定较麻烦,工作效率较低。 10.冲击韧度 ① ak 没有确切的力学意义,它表明在高应变速率时 ,材料的脆性发展趋势。 ② 一次冲击试验能灵敏地揭示材料的冶金及加工缺陷和产生的脆性。 ③ 不同温度下的系列冲击试验,可揭示材料的低温脆化倾向(冷脆转变)。 ④ 材料碳含量愈高脆性愈大。 ⑤ 冲击试验得到广泛应用,但 Ak、a k 不能直接用于计算。 11.断裂韧度 在材料所承受的应力低于许用应力的情况下,突然发生的无明显塑性变形的脆性断裂,称为
脆性材料超精密磨削时脆转变临界条件的研究
0
引言
随着尖端科学技术ห้องสมุดไป่ตู้不断发展 , 需要高质量的
刚石压头作用于脆性材料表面的作用过程如图 2 所 示 , 首先, 当压头压入材料表面时, 压应力的作用 使得压头正下方的试件材料发生非弹性流动, 如果 载荷不大时 ( 图 2 ( a) ) , 卸载后压痕保 留, 但无 裂纹产生, 这表明脆性材料也存在一个塑性变形的 区域范围 , 如图 2 ( b) 所示。对于高韧性的脆性 材料, 有时会在压头侧面出现类似于金属被切削进 的隆起现象 , 但并不是很显著, 这说明脆性材料也 存在着显微的塑性流动。当压痕仅由材料的显微塑 性变形形成时 ( 图 1 ( a) ) 则作用的压力载荷 P 与 压痕特征尺寸 dj 有如下关系 :
脆性材料产品, 如激光与红外光学晶体、航天所用 的陶瓷轴承、工业及民用的石 英玻璃和陶瓷 玻璃 等, 因此 , 需要对它们进行精密及超精密加工。这 些材料虽然用处 十分的广泛 , 但其硬度高 , 脆性 大、其物理机械性能尤其是韧性和强度与金属材料 相比有很大差异。由于脆性材料在韧性和强度方面 相互之间差异较大, 所以脆性材料的磨削既不同于 一般高脆性材料 ( 金刚石 ) 的纯断裂过程, 又不同 于金属材料的塑性剪切过程。为了获得高质量的脆 性材料产品, 现在一般采用研抛技术加工获得, 但 研抛技术生产周期长 , 产品成本高。近年来 , 随着 超精密磨削技术的进步, 使得磨削表面的质量等同 甚至优于研抛表面[ 1, 2] , 并且加工效率大幅度得以 提高。因此, 研究不同脆性材料超密磨削过程中的 磨削特性是很有必要的 , 这将对脆性材料 的超精 密加工提供一定的科学参考价值。
硬脆材料的磨削特点
磊晶:在半导体 器件制造过程中 在原有晶片上长 出新结晶,以制 成新半导体层的 技术。
蓝宝石外延层上表面制作的n型和p型电极
三.硅片的磨削
1单晶硅的 材料特性
2单晶硅片 磨削特点
3.单晶硅片 磨削技术
5硅片表面 4.超精密磨削硅 2单晶硅片 的磨削纹 片的材料去除机理 磨削特点 理
制造工程研究院
• •
Fe元素被离子化后在碱性冷却液中最终 生成氧化铁薄膜粘附砂轮表面,随着磨 削的进行又逐渐剥落。 应控制磨粒脱落速度小于结合剂电解蚀 速度以保证砂轮表面始终有相当多的磨 粒参与磨削。
制造工程研究院
2.8蓝宝石的性能及应用
• 1.六方晶系简介
• • • 根据六方晶系 的对称特点, 对六方晶系采 用a1,a2,a3,c 四个晶轴。 • 纯氧化铝结晶——透明无色 Ti3+、Fe3+——蓝色蓝宝石 Cr3+——红宝石 Ni3+——黄色蓝宝石。
制造工程研究院
2.2典型的工程陶瓷类型
• 1.氧化铝(Al2O3)陶瓷 • 用量最大,用途最广,价格低 廉,硬度高(97HRA),高温 1200℃仍为80HRA,主要用来制 作刀具,内燃机火花塞,密封环等。 3.氮化硅(Si2N3 )陶瓷 有三个共有电子对Si-N键,有很 高的弹性模量,高温力学性能稳定, 摩擦系数低,可用做蜗轮转子、汽 缸体和活塞及阀门等零件。
硬脆材料的磨削特点
•
4、磨削的单晶硅片易产生变形和 碎裂
在磨削加工过程中单晶硅片亚表面会产 生残余应力,易引起大直径薄硅片的翘 曲或弯曲变形,尤其是引起背面减薄硅 片的严重变形,使硅片自动输运困难, 很容易产生破碎。
制造工程研究院
3.3单晶硅片的磨削技术
• 1、转台式磨削 硅片分别固定于旋转台的吸盘上,在转 台的带动下同步旋转,硅片本身并不绕 其轴心转动;砂轮高速旋转的同时沿轴向 进给,砂轮直径大于硅片直径。 • 不足:磨削加工中实际磨削区面积B和 切入角θ均随着砂轮切入位置的变化而 变化,导致磨削力不恒定,难以获得理 想的面型精度,并容易产生塌边、崩边 等缺陷
优点:与研磨方法相比,转台式磨削具 有去除率高、表面损伤小、容易实现自 动化等优点
•
应用场合:转台式磨削技术主要应用于 Φ200mm以下单晶硅片的加工。单晶硅 片尺寸增大,对设备工作台的面型精度 和运动精度提出了更高的要求,因而转 台式磨削不适合Φ300mm以上单晶硅片 的磨削加工。
制造工程研究院
比磨削 能组成
显微塑性变形剪切能
磨粒与磨屑摩擦功
比磨削能: 金属材料>陶瓷材料
Si2N3 > Al2O3
制造工程研究院
2.7工程陶瓷ELID镜面磨削
• 在线电解修整(ELID)镜面磨削技术可以 • 保证金属结合剂超硬磨料砂轮始终保持 锐利状态,不会产生切削堵塞ห้องสมุดไป่ตู้轮现象, 从而可以采用微细、超细超硬磨料砂轮 ELID镜面磨削原理
表面粗糙度与加工方法
表面粗糙度与加工方法
表面粗糙度选用与加工方法
表面粗糙度选用
序号=1
Ra值不大于\μm=100
表面状况=明显可见的刀痕
加工方法=粗车、镗、刨、钻
应用举例=粗加工的表面,如粗车、粗刨、切断等表面,用粗镗刀和粗砂轮等加工的表面,一般很少采用
序号=2
Ra值不大于\μm=25、50
表面状况=明显可见的刀痕
加工方法=粗车、镗、刨、钻
应用举例=粗加工后的表面,焊接前的焊缝、粗钻孔壁等
序号=3
Ra值不大于\μm=12.5
表面状况=可见刀痕
加工方法=粗车、刨、铣、钻
应用举例=一般非结合表面,如轴的端面、倒角、齿轮及皮带轮的侧面、键槽的非工作表面,减重孔眼表面
序号=4
Ra值不大于\μm=6.3
表面状况=可见加工痕迹
加工方法=车、镗、刨、钻、铣、锉、磨、粗铰、铣齿
应用举例=不重要零件的配合表面,如支柱、支架、外壳、衬套、轴、盖等的端面。紧固件的自由表面,紧固件通孔的表面,内、外花键的非定心表面,不作为计量基准的齿轮顶圈圆表面等
序号=5
Ra值不大于\μm=3.2
表面状况=微见加工痕迹
加工方法=车、镗、刨、铣、刮1~2点/cm^2、拉、磨、锉、滚压、铣齿
应用举例=和其他零件连接不形成配合的表面,如箱体、外壳、端盖等零件的端面。要求有定心及配合特性的固定支承面如定心的轴间,键和键槽的工作表面。不重要的紧固螺纹的表面。需要滚花或氧化处理的表面
序号=6
Ra值不大于\μm=1.6
表面状况=看不清加工痕迹
加工方法=车、镗、刨、铣、铰、拉、磨、滚压、刮1~2点/cm^2铣齿
应用举例=安装直径超过80mm的G级轴承的外壳孔,普通精度齿轮的齿面,定位销孔,V型带轮的表面,外径定心的内花键外径,轴承盖的定中心凸肩表面
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3
影响脆性材料表面粗糙度的因素
脆性材料的磨削模式直接影响工件的 表面质 量, 表面质量包括表面粗糙度、 裂纹、 烧伤和残余应 力等。表面粗糙度是描写脆性材料表面质量的参数 之一 , 也是人们在磨削加工中普遍关注的首要问题。 对同一材料, 表面粗糙 度受砂轮磨粒 尺寸、 磨 削用 量, 光磨次数及磨削液等因素的综合影响。 3 1 砂轮磨粒尺寸 图 1 为精磨光学玻璃时砂轮磨粒尺寸与表面粗 糙度的关系[ 7] 。由图可见 , 砂轮磨粒尺寸越小 , 磨削 表面粗糙度 R a 值越小。这是由于砂轮磨粒尺寸越 小, 同时参与磨削的磨粒越多 , 磨刃密度系数 c 1 越 大, 越易形成塑性域磨削 , 所以粗糙度值越低, 文献 [ 7] ~ 文献[ 12] 都得出上述结论。
[ 10]
工 具技 术
Optical Finishing, 1990, 9: 38~ 41 4 T G Bifano, T A Dow, R O Scattergood. Ductile Regime Grind ing: A New Technology for Machining Brittle Materials. Journal of Engineering for Industry , 1991, 113: 184~ 189 5 任敬心 , 华定安 . 磨削原理 . 西北工业大学出版社 , 1988 6 陈明君 , 董 ~ 4 7 陈明君 , 张飞虎 , 董 申等 . 光 学玻璃 塑性 模式超 精密 磨 削加工的研究 . 中国机械工程 , 2001, 12( 4) : 460~ 462 8 N S Ong, V C Venkatesh. Semi ductile grinding and polishing of Pyrex glass. Journal of Materials Processing T echnology, 1998, 83: 261~ 266 9 陈明君 , 董 申 , 张飞虎等 . 陶瓷材料的超精密 磨削加工 . 工具技术 , 1999, 33( 9) : 3~ 4 10 K W Lee, P K Wong, J H Zhang. Study on the grinding of ad 申, 李 旦 , 张飞虎 . 脆性材料 超精密磨削 时 影响表面质量因 素的研 究 . 机 械工程 学报 , 2001, 37( 3) : 1
42 为磨削深度增大导致单颗磨粒的未变形切屑厚度增 加。而文献[ 10] 则得出与之不同的结论: 当磨削深 度小于一定数值时, 随磨削深度的增大 , 磨削表面粗 糙度值变大; 但当磨削深度大于一定数值时, 随磨削 深度继续增大, 磨削表面粗糙度值迅速变小。因为 此时随着磨削深度的增加 , 法向力增大 , 同时砂轮磨 损加剧, 使得实际磨削深度减小( 如图 4
式中 , E 为材料的弹性模量 ( MPa) ; H 为材料的硬度
2004 年第 38 卷
11
41 的影响大于前者。而文献 [ 14] ~ 文献 [ 16] 中却认 为 : 砂轮速度越大 , 表面粗糙度越小, 因为砂轮速度 增加使得单颗磨粒的未变形切屑厚度减小。其中, 文献 [ 13] 指出, 提高砂轮速度比降低工件横向进给 速度及磨削深度更能有效地降低表面粗糙度。文献 [ 13] 还认为 , 采用高的砂轮速度 , 将使表面粗糙度得 到明显改善 , 其原因有三个: 一是砂轮速度提高, 磨 削力降低, 对于氧化铝砂轮来说 , 可降低磨粒的破碎 和磨损 , 提高磨粒的寿命, 增加与工件表面的摩擦抛 光时间 ; 二是砂轮速度提高, 磨削区的温度升高, 使 材料有可能发生塑性变形 , 促进砂轮对工件表面的 挤压摩擦作用; 三是砂轮速度提高, 单位时间内砂轮 与工件之间的接触次数增多 , 对工件表面的摩擦抛 光作用增强。 ( 2) 砂轮进给量 文献[ 7] 、 [ 9] 、 [ 13] 都认为 , 随着砂轮进给量的 减少 , 表面粗糙度 值减小。图 2 为在塑性磨削模 式下精磨光学玻璃时砂轮进给量与表面粗糙度的关 系。可以看出, 在塑性磨削模式下, 随着砂轮进给量 的减少 , 表面粗糙度值迅速减小。
1
引言
( MPa) ; Kc 为材料的断裂韧性( MPa m) 。 通过对磨削过程中砂轮与工件的接触状态进行 分析, 得到砂轮单个磨粒的最大切削深度为[ 5]
h cmax = ( 4vw vsN d C a p/ d e ) 1/ 2 ( 2)
随着尖端科学技术的不断发展, 高质量的脆性 材料产品 , 如航空航天用陶瓷轴承、 工业及民用的石 英玻璃和陶瓷玻璃、 激光与红外光学晶体等的应用 越来越广泛 , 对脆性材料的精密及超精密加工的研 究也日益深入。脆性材料虽然用途十分广泛, 但硬 度高, 脆性大 , 为了获得高质量的脆性材料产品 , 克 服研抛技术生产周期长、 产品成本高的缺点, 近年来 出现了超精密磨削加工技术。对于脆性材料的磨削 加工, 材料的磨削模式对已加工表面质量有很大的 影响 , 根据最新研究 , 脆性材料在选择适当的参数条 件下仍能以塑性磨削模式加工 , 使得磨削表面的质 量等同甚至优于研抛表面[ 1~ 3] 。因此, 研究脆性材 料的磨削模式及表面粗糙度, 以及它们与刀具和加 工工艺参数之间的关系是非常重要的, 将会对脆性 材料的磨削加工起到一定的指导作用。
40
工 具技 术
脆性材料磨削模式与表面粗糙度
孟剑峰 李剑峰
山东大学
摘 要 : 对国内外有关脆性材料的磨削模式及表 面粗糙 度的研 究进展进 行了综 述 , 为获得高 质量的 脆性材 料 产品、 实施脆性材料的精密与超精密磨削提供有 益的参考。 关键词 : 脆性材料 , 磨削模式 , 表面粗糙度
葛培琪
图 2 砂轮进给量与 粗糙度的关系
( 3) 工件速度
图1 金刚石砂轮磨粒尺寸与粗糙度的关系
如图 3[ 17] 所示, 在不同的光磨 次数下, 磨削表 面的粗糙度值都随工作台速度的降低而降低。因工 件速度减小 , 单颗磨粒的未变形切屑厚度减小, 所以 磨削表面粗糙度降低[ 16, 17] 。
但文献[ 13] 用氧化铝砂轮光磨氮化硅陶瓷镶块 却得出与此相反的结论, 即随着磨粒尺寸的增大, 表 面粗糙度值降低。这是因为砂轮磨削陶瓷表面的加 工过程可分为砂轮磨粒与工件表面凸峰的碰撞、 碰 撞与摩擦共同作用、 摩擦抛光三个阶段 , 当磨粒尺寸 较大时, 磨粒强度较高 , 不易破碎和脱落, 与工件之 间的摩擦抛光作用时间增加; 而当磨粒较小时 , 磨粒 易脱落, 与工件之间的摩擦抛光作用时间减弱。 3 2 磨削用量
[ 7]
作者 通 过 磨 削 Pyrex 玻 璃 ( 砂 轮 的 线 速 度 v s = 1800m/ min, 工件速度 v w = 1 1m/ min, 磨削深度 a p = 2 m) 得出如下结论 : 当磨粒尺寸为 30~ 110 m 时 , 为断裂模式, 加工表面粗糙度 R a 为 471 3~ 867nm; 磨粒尺寸为 12~ 25 m 时, 断裂模式占 95% , 加工表 面粗糙度 R a 为 172nm; 磨粒尺寸为 2~ 6 m 时 , 磨削 模式为塑性, 加工表面粗糙度 R a 为 52 3nm 。
N d= A g ( c 1) 2/ 3 2 ks
1/ 3
- 2
vw vs
1/ 3
ap de
1/ 6
( 3)
式中, A g 为与静态磨刃数的比例系数 , A g
-3
1 2; c 1
为与磨刃密度有关的系数( mm ) ; k s 为与砂轮磨刃 形状有关的系数。 由此可见, 根据 h c 与 h cmax 的关系 , 脆性材料存 在三种磨削模式: 断裂模式、 断裂 & 塑性模式及塑 性模式。对同一材料, 由式 ( 2) 与式 ( 3) 可知, 砂轮的 平均磨粒尺寸对磨削模式的影响最大 , 砂轮速度、 工 件速度的影响较小 , 而磨削深度的影响最小。哈工 大的陈明君
所示) 。
图 4 磨削深度 与粗糙度的关系
vanced ceramics with slotted diamond wheels. Journal of Mate rials Processing Technology, 2000, 100: 230~ 235 11 Yesha Zheng , Joaquim Manuel Vieira, Filipe Jose Oliveira et al . Relationship between flexural strength and surface rough ness for hot pressed Si3N4 self reinforced ceramics. Journal of the European Ceramic Society, 2000, 20: 1345~ 1353 12 Nobuhide Itoh, Hitoshi Ohmori. Grinding characteristics of hard and brittle materials by fine grain lapping wheels with ELID. Journal of Materials Processing Technology, 1996, 62: 315~ 320 13 胡 军 , 徐燕申 , 谢 艳 等 . 氮化 硅陶 瓷镶 块低 粗糙 度
[ 7]
2
Biblioteka Baidu
脆性材料的磨削模式
国内外研究人员通过大量理论分析和 试验证 明, 脆性材料在适当的加工条件下仍能以塑性磨削 模式进行加工, 并得到粗糙度很低的光滑表面。实 现脆性材料塑性域磨削的条件是 : 砂轮单个磨粒的 最大切削深度应小于脆性材料的临界切削深度。T G Bifano [ 4] 应用显微压痕法建立了玻璃材料不产生 裂纹时的临界切削深度。通过应用扫描电镜观察玻 璃的压 痕形貌 发现 , 要使 玻璃 表面的 裂纹 数少 于 10% , 压痕的临界深度满足:
[ 10]
图 3 工作台速度与 粗糙度的关系
( 1) 砂轮速度 K W Lee 通过陶瓷材料磨削试验认为 : 砂轮 速度越大 , 表面粗糙度越大。因为砂轮速度增加, 虽 然单颗磨粒的未变形切屑厚度减小 , 粗糙度应减小 , 但砂轮速度增加导致磨削系统的振动加剧, 且后者
( 4) 磨削深度 文献 [ 9] 认为 , 在塑性模式条件下进行磨削时, 表面粗糙度不受磨削深度的影响。史兴宽[ 17] 指出, 随着磨削深度的增大, 磨削表面的粗糙度值变大 , 因
hc = 0 15 ( E Kc 2 )( ) H H ( 1)
通过对光学 玻璃 ( NbF1) 进行超精密
磨削 ( 磨削时砂轮的线速度 v s = 1200m/ min, 工件速 度 vw = 0 5m/ min, 磨 削深 度 a p = 1 m ) 发 现: 当用 W40 型金刚石砂轮磨削时磨削模式为断裂模式, 磨 削后工件表面有大量的磨削条纹 , 表面不透明, 表面 粗糙度 R a 为 5 36 m; 当砂轮为 W20 型时 , 磨削模式 为断裂与塑性模式, 工件表面上的磨削条纹是断续 的 , 表面呈部分透明状, 表面粗糙度 R a 为 0 11 m; 当砂轮为 W10 型时 , 磨削模式为塑 性模式, 表面上 看不到任何微裂纹缺陷 , 表面完全透明。文献[ 8] 的
Grinding Mode of Brittle Material and Surface Roughness
Meng Jianfeng Li Jianfeng Ge Peiqi
Abstract: The research status about the grinding modes and surface roughness of brittle materials at home and abroad are summarized. The reference for gaining better products and operating precise and ultraprecise grinding brittle materials is provided. Keywords: brittle material, grinding mode, surface roughness
式中 , h cmax 为单个磨粒的最大切削深度 ( mm) ; Vs 为 砂轮速度( m/ s) ; Vw 为工件进给速度 ( mm/ s) ; a p 为 磨削 深 度 ( mm ) ; N d 为 砂 轮 动 态 有 效 磨 刃 数 ( mm ) ; C 为磨削常数; d e 为砂轮当量直径( mm) 。 考虑金刚石砂轮的磨粒顶角为三角形, 可得砂 轮动态有效磨刃数 [ 6]