几种新型传感器
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3.3 光纤传感器
2)光相位调制型光纤传感器 光相位调制型光纤传感器是利用被测量引起光纤中光相 位变化的原理制成的。这种传感器具有灵敏度高、灵活性好 和多样的特点。常见的有迈克尔逊、马赫-琴特、萨占纳克和 法勃-帕脱四种相位干涉型。它们的共同点是:光源发出的光 都要经棱镜分成两束或更多束的光,这些光沿不同的路径传 播后,分离出的光束又组合在一起去激励一个光敏元件或显 示干涉条纹。 如图3-10所示为利用马赫-琴特干涉仪测量压力或温度的 相位调制型光纤传感器的组成原理图。
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图3-4 CCD尺寸检测系统组成框图
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3.2 触觉传感器
触觉传感器的原型是模仿人的触觉功能,目的是通过触 觉传感器与被识别物体的接触或相互作用来完成对被识别物 体表面特征及物理性能的感知。为了实现这一功能,研究者 们设计了各种形式的触觉传感器以满足多种需要。
开关式 压电式 光电式 电容式 电磁式 压阻式
线阵CCD
面阵CCD
• 结构较简单、容易增加像素数 • CCD 尺寸较大、易产生垂直拖影
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3.1 CCD图像传感器
3.1.4 CCD 图像传感器的应用 CCD 工件外形检测 在机械零部件生产过程中,零件外径尺寸的测量占有重 要地位,快速、准确地测量出零件的主要参数可以缩短整个 产时的生产周期,并有利于实现自动化。 图3-4 所示为CCD 工件尺寸检测系统组成框图。该检测 系统主要由传感器系统、测量平台、运动控制系统及软件系 统等几部分构成。
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图3-6 利用破坏全内反射原理的触觉传感 器原理图
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3.2 触觉传感器
3.2.3 压阻阵列触觉传感器 压阻式阵列触觉传感器的基本结构是由外接引线、上 (行)下(列)电极及压阻材料等构成,上(行)电极与下 (列)电极相垂直,上(行)下(列)电极的交叉点定义为 阵列触觉的一个触觉单元,外接引线从相互平行的触觉单元 上引出,压阻材料放在上(行)下(列)电极中间。 在压阻式阵列触觉传感器中,最关键的构件是敏感材料 和电极。 另外,各向异性压阻材料的应用也受到广泛的重视,如敏 感材料在z 方向有压阻变化特性,在x , y 方向则无论受压与 否,均有较大的阻值。
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图3-10 相位调制型光纤压力(温度)传感器 组成原理图
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3.3 光纤传感器
3)光偏振态调制型光纤传感器 偏振态调制型光纤传感器能检测出由于外界因索引起的 光纤内部光的偏振态的变化。最典型的是光纤电流传感器, 其工作原理是根据磁旋效应做成的,主要应用于高压传输线 中。 如图3-11 所示为光纤大电流传感器原理框图。 除利用磁旋效应的光偏振调制外,还可以利用光旋效应、 光弹效应、电光效应和电旋效应等制成光偏振态调制型光纤 传感器,所以是应用很广、开发潜力很大的一类光纤传感器。
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3.1 CCD图像传感器
CCD 传感器工作时,图像经物镜在成像区成像,给成像 区上面的电极加上适当的偏压时,光生电荷被收集到电极下 方的势阱里,这样就将光学图像变成了电荷包图像。当光积 分周期结束时,加到成像区和暂存区电极上的时钟脉冲使所 有收集到的信号电荷迅速转移到暂存区中,然后经由水平读 出寄存器,在时钟脉冲控制下,通过输出极逐行输出一帧信 息,在第一帧读出的同时,第二帧信息通过光积分又收集到 势阱中,这样,就可以一帧一帧连续地读出。
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3.4 磁性传感器
(3)温度特性。磁敏二极管的温度特性是指温度的变化与输出 电压变化之间的关系。磁敏二极管的温度特性有正温度系数 和负温度系数两种,如锗磁敏二极管是负温度系数,硅磁敏 二极管是正温度系数。 (4)频率特性。磁敏二极管的频率特性取决于注入载流子在本 征区域内被复合和保持动态平衡的时间,而与元件的尺寸大 小无关,载流子复合和保持动态平衡的时间越短,频率特性 越好.
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3.4 磁性传感器
3.4.1 磁敏电阻器 将一载流导体置于外磁场中,其电阻随磁场变化而变化 的现象称为磁电阻效应,简称磁阻效应。磁敏电阻器就是利 用磁阻效应制成的一种磁敏元件。当温度恒定时,在弱磁场 范围内,磁阻与磁感应强度B 的平方成正比。用公式表示为:
磁场一定时,迁移率高的材料磁阻效应明显。所示为利 用这种效应制成的磁敏电阻器。
B 0 (1 0.传感器
主要特性: (1)伏安特性。磁敏二极管所加正向偏压与二极管流过电流的 关系称为伏安特性,不同磁场作用下,其伏安特性不同。 (2)磁电特性。磁敏二极管输出电压的变比与外加磁场的关系 称为磁电特性。磁敏二极管随外加磁场方向的变化可以产生 正负输出电压的变化,在正磁场作用下电压升高,在负磁场 作用下电压降低。磁电特性与线路的连接形式有关,通常有 单只接法和互补接法两种电路基本形式。
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3.4 磁性传感器
3.4 .3 磁敏三极管 1.磁敏三极管的结构 磁敏三极管的结构如图3-11 所示。在弱P 型或弱N 型本 征半导体上用合金法或扩散法形成发射极、基极和集电极。 其最大的特点是基区较长,基区结构类似磁敏二极管,也有 高复合速率的:r 区和本征I 区。长基区分为运输基区和复合 基区,运输基区主要是将发射极注人的载流子输运到集电极, 复合基区的作用是使从发射极和基极注入的载流子复合。
3-2传感器概述
传感器是实现自动测试和自动控制的首要 环节,对原始信息进行精确可靠的采捕获 和转换,相当于人体神经 定义:将被测物理量转换为与之对应的有 确切对应关系的输出量的器件或装置,或 者把从被测对象中感受到的有用信息进行 转换、传送的器件 测量非电量,转换为电量
传感器概述
传感器作用:将如温度、压力、流量等被 控参数转换为电信号, 传感器组成:
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3.1 CCD图像传感器
CCD 图像传感器的种类 用于图像传感器的CCD 又称摄像或像敏CCD 。它的功 能是把二维图像光学信号转变成一维视频信号或数字信号。 从结构上可分为线阵CCD 和面阵CCD 两大类。
• 成本较低,可以同时储存一行电视信号, 能够实现动态测量,并能在低照度下工 作 • 线阵CCD 广泛地应用于产品尺寸测量、 非接触尺寸测量、条形码等许多领域
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图3-2 CCD的三层结构示意图
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3.1 CCD图像传感器
3.1.2 CCD 系统构成
像索(Pixel ) (成像单元)
成像区 暂存区(遮光 处理) 水平读出寄存 器(遮光处理)
转移沟道
CCD 传感器
放大器 CCD图像传 感器 缓存
模数转换器
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图3-3 CCD系统构成
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图3-1 CCD外形图
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CCD图像传感器
3.1.1 CCD图像传感器的结构 CCD更接近于人的视觉的工作方式,只不过人眼的视网 膜是由负责光强度感应的杆细胞和色彩感应的锥细胞分工合 作组成视觉感应。CCD经过长达35年的发展,大致的形状和 运作方式都已经定型,如图3-2示为CCD的三层结构示意图, 上层为增光镜头,中层为分色滤色片,下层为感光层。
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图3-8 光导纤维结构
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3.3 光纤传感器
3.3.2 光纤的工作原理 下面以阶跃型多模光纤为例,来说明光纤的工作原理。 如图3-9所示,当光线从空气(折射率为n0)中射入光纤 的一个端面,并与其轴线的夹角为θ时,在光纤内折射成角 θ ’,然后以角 90 入射到纤芯与涂层的交界面上。若 C 入射角 大于临界角 ,则入射的光线就能在交界面上产生 全反射,并在光纤内部以同样的角度反复包层全反射向前传 播,直至从光纤的另一端射出。若光纤两端同处于空气之中, 则出射角也将为θ。
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CCD图像传感器
图像传感器是采用光电转换原理,用来摄取平面光学图 像并使其转换为电子图像信号的器件。图像传感器必须具有 两个作用,一是具有把光信号转换为电信号的作用;二是具有 将平面图像上的像素进行点阵取样,并把这些像素按时间取 出的扫描作用。 电荷耦合器件又称为CCD器件,如其外形如图3-1所示, 它是近年来新发展起来的一种半导体功能器件,能够把光学 影像转化为数字信号。
电量输出
被测非电量
敏感元件
转换元件
测量
辅助电路
第3章 新型传感器简介
1 CCD图像传感器 2 触觉传感器 3 光纤传感器 4 磁性传感器 5 集成温度传感器
新型传感器简介
随着科学技术的发展,在不断发现新现象、采用新原理、 开发新材料和采用新工艺的基础上,传感器技术得到了很大 的进步与提高。同时,与单片机或者微计算机相结合的智能 式传感器、生物传感器也有了很大的发展。 新型传感器技术含量高、功能强,相对传统传感器具有 很多优点。了解和学习这些新型的传感器有助于我们打一大 视野,及时了解、掌握新型传感器技术并加以应用。本章将 介绍最近几年发展起来的新型传感器,包括CCD图像传感器、 触觉传感器、光纤传感器、磁性传感器和集成温度传感器。
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3.3 光纤传感器
3.3.1 光纤的结构 光纤由纤芯、包层及外套组成,如图3-8 所示。 纤芯是山玻璃、石英或塑料等制成的圆柱体,一般直径 约为5~150μm。包在纤芯外的一层叫包层,材料也是玻璃或 塑料等。纤芯的折射率大于涂层的折射率,所以光纤具有使 光束封闭在纤芯里面传输的功能。外套起保护光纤的作用, 它的折射率大于涂层的折射率。人们通常把较长的或多股的 光纤称之为光缆。
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图3-5 遮光板开关式触觉传感器原理图
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3.2 触觉传感器
3.2.2 光学式触觉传感器 光照射到界面的角度通过界面法线测量。若光照射到有 机玻璃和空气界面的角度大于θC,则光沿着有机玻璃光波导 传播,光波导表面跟外部物体接触时,接触点处全内反射被 破坏,光从光波导相反一侧出射。 利用这种原理可以制成高分辨率的触觉传感器在实际应 用中,通常用一块韧性的薄膜层设置在外部物体和光波导之 间,以便保护光波导并隔断外部光源。图3-6所示为采用这种 效应的触觉传感器原理图。
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图3-11 光纤大电流传感器原理框图
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3.4 磁性传感器
磁是人们所熟悉的一种物理现象,因此磁传感器具有占老的 历史。最简单的把磁转换成电的磁传感器就是线圈,根据电 磁感应定律,在切割磁通的电路里,产生的感应电动势与磁 通的变化速率成正比。随着科学技术的发展,利用磁场作用 使物质的电性能发生变化的各种物理效应,制成了固体化磁 传感器,从而使磁场强度转换为电信号。磁传感器的种类较 多,制作磁传感器的材料有半导体、磁性体、超导体等,不 同材料制作的传感器其工作原理和特性也不相同。本节重点 介绍一些常用的磁传感器
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3.3 光纤传感器
光纤传感器相对于常规传感器具有以下特点: 1抗电磁干扰能力强 2 灵敏度高 3 重量轻、体积小 4 适于遥测 由于光纤传感器的这些独特优点和广泛的潜在应用,使 其得以迅速发展。自1977 年以来已研制出多种光纤传感器, 测量范围包括位移、速度、加速度、液位、压力、流量、振 动、水声、温度、电流、电压、磁场和核辐射等。
触觉传感 器
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3.2 触觉传感器
3.2.1 开关式触觉传感器 开关式触觉传感器是用于检测物体是否存在的一种最简 单的触觉制动器件。开关内部分隔成两个电接点。当一个电 极上承受大于阀值的力时,该电极与另一个电极接触,这样 可以用一个电路来检测该开关是否接触。 工业上利用小型开关阵列形成一种价廉触觉传感器,但 是这种阵列的空间分辨率较低。这种跟输出信号的二进制相 对应的二值阵列触觉传感器,严重地限制、影响了其提供信 息的质量。图3-5所示即为开关式传感器的原理图。
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图3-9 光纤的传光原理
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3.3 光纤传感器
3.3.4 光纤传感器 光纤传感器有功能型光纤传感器和非功能型光纤传感器 两大类。 功能型光纤传感器 功能型光纤传感器主要有光强调制型光纤传感器、光 相位调制型光纤传感器、光偏振态调制型光纤传感器三种。 1)光强调制型光纤传感器 光纤微弯位移(压力)传感器是光强调制型光纤传感器 的一个典型例子,它是基于光纤微弯而产生的弯曲损耗原理 制成的。