七星电子流量计 D07-7B_7BM使用手册
七星电子流量计 D08-2F-3F-4F 使用手册
7 流量检测Ⅰ
8 流量检测Ⅱ
9 流量检测Ⅲ
10 流量检测Ⅳ
11
阀控Ⅰ
12
阀控Ⅱ
13
阀控Ⅲ
14
阀控Ⅳ
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表 3 中各信号说明如下： a. 外设Ⅰ～Ⅳ分别对应 MFC1～4 路 MFC 的外设输入。设定时从“外设”
与“信号地”之间引入设定信号即可。如果用户外接电位器设定，可以 用一个 3.3K 左右的多圈电位器，将两端连接到此插座的“+5.00V”和 “信号地”上，将中间抽头接到“外设”上即可。也可直接与计算机的 数模转换器连接，实现自动控制。注意：流量设定的输入阻抗大于 10KΩ。 b. 流量检测Ⅰ～Ⅳ分别输出各路 MFC（或 MFM）的流量检测信号，该信 号为 0～+5V 电压信号。 c. 阀控Ⅰ～Ⅳ仅对我公司生产的 MFC 适用。当阀控线接+15V 时，阀门关 闭；当阀控线接-15V 时，阀门开到最大，处于清洗状态；当阀控线悬 空时，阀门处于自动控制状态。注意：如果用户要使用外部（计算机控 制）的阀控线功能时, 需要将显示仪前面板上的“阀控”开关置于中间 的“阀控”位。
4.7 电源开关 用于控制显示仪内部电路的通断。
4.8 电源插座 用电源线将外部交流电源（~220V±10% 50Hz 或~110V±10% 60Hz）接入显示仪。
4.9 保险丝盒 本显示仪使用容量为 1A 的保险丝管。如果显示仪通电后没有显示，则应检查是否为保
险丝断，并根据情况更换保险。
4.10 电源电压转换开关 从 2005 年 4 月以后生产的本系列显示仪, 在后面板上加装有电源电压 220VAC/110VAC
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。 本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。
质量流量计简明使用手册
P/N2007年7月简明使用手册目录第一章传感器安装 (3)1.1概述 (3)1.2安装注意事项 (3)1.3传感器的安装方向 (4)1.4电气连接注意事项 (5)第二章仪表接线与上电 (6)2.1概述 (6)2.2变送器的型号识别。
(6)2.3变送器与传感器连接 (7)2.4最大布线距离 (8)2.5电源规格 (9)2.6变送器、显示组件方向调整 (10)2.7变送器输出 (12)第三章流量计组态 (15)3.1概述 (15)3.2组态项目 (15)3.3变送器的显示器面板结构 (16)3.4组态过程变量的测量单位 (16)3.5组态变送器的毫安输出 (17)3.6组态变送器的脉冲/频率输出 (17)3.7变送器的回路测试 (18)3.8 显示器菜单功能 (3)3.9流量计调零 (27)第四章流量计投用及报警状态 (28)4.1流量计投用 (28)4.2获取报警 (28)附录1报警代码含义表 (29)附录2核心处理器检查 (34)附录3传感器检查 (35)附录4软件版本4.x变送器的显示器菜单 (37)第一章传感器安装1.1 概述相对于其他类型的流量计，质量流量计具有安装简便、易于使用、测量精度高以及直接质量测量等优点，尤其是没有直管段要求的特点，用户可因地制宜的选择安装位置，节约安装成本。
1.2 安装注意事项1.2.1 安装位置应避免电磁干扰。
传感器、变送器的安装位置以及电缆铺设应尽量远离易产生强电磁场的设备，如大功率马达、变压器设施、变频设备等。
1.2.2 工艺管道应对中，两侧法兰应平行。
严禁用传感器硬行拉直上、下游工艺管道，否则将影响测量甚至损坏传感器。
另外在两侧的工艺管道近法兰处（约2～10倍管径处）应有稳固的支撑。
1.2.3 在传感器的上、下游管道上，建议安装截止阀及旁路以方便调零、日常维护及确保传感器在不工作时亦可处于满管状态。
使用流量计下游的调节阀进行流量控制。
1.2.4 在测量易汽化介质时，流量计下游建议安装压力表，供检查下游压力，流量计后建议工艺管与流量计保持同口径一段距离，以及流量计后有阀门可以用以调节适当的背压，防止汽化或气穴发生。
D08-1F、D08-1FP、D08-1FM 型 流 量 显 示 仪 使用 手 册说明书
D08-1F 、D08-1FP 、D08-1FM 型流 量 显 示 仪使 用 手 册版本2 0 1 5 . 1 2使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的D08系列流量显示仪。
本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。
本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。
目录1. 用途和特点 (1)2. 主要技术指标 (2)3. 外观和操作面板 (2)4. 结构说明 (3)4.1 ±15V电源 (3)4.2 基准源和流量设定 (4)4.3 数字显示器 (4)4.4 阀控开关 (4)4.5 调零电位器 (4)4.6 1FP型的设定显示功能 (4)5. 安装和接线 (4)5.1 外形和开孔尺寸 (5)5.2 安装 (5)5.3 1F、1FP型接线 (6)5.4 1FM型接线 (8)5.5 保护板的安装 (8)5.6 MFC/MFM信号接线图 (9)6. 操作方法 (9)7. 参数设置 (10)7.1 流量单位指示的改变 (10)7.2 小数点位置改变 (11)7.3 显示量程的改变 (11)8. 注意事项 (12)9. 选型与订货规格填写 (13)D08 SERIES FLOW READOUT BOXESD08-1F、D08-1FP、D08-1FM型流量显示仪1. 用途和特点流量显示仪用于为气体质量流量控制器（MFC）和质量流量计（MFM）提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。
D08系列流量显示仪可直接与我公司生产的D07系列MFC（或MFM）配套使用。
同时原则上也可以与世界上其它型号的MFC（或MFM）配合使用。
D08-1F、1FM、1FP型流量显示仪采用小型塑料机壳，体积较小，便于安装。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(A,C,D)(+profibus+0-20ma)(su)
输入信号
输出信号 零漂 电源 表面化学成分 表面粗糙度
标准接头形式
电源接头形式 重量
CS200-A
CS200
CS200-C
CS200-D
常开(流量规格≤30SLM) 或常闭
无
常开或常 闭
无
常开或常闭
无
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
北京七星华创电子股份有限公司
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1.2 使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容。
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i）请使产品在安全入口压力下工作 请勿使仪器的入口压力超出最大工作压力（请参阅产品说明书中的最大工作压力） j）请使整个系统远离污染 系统在运行过程中，请勿使用含有污染物的气体。如气体中含有灰尘、污垢、纤维、玻 璃碎片或者铁屑等。 k）请预热仪器后再使用 请预热后再使用，尤其是危险气体，更加应该注意。请使用绝对关闭的阀以确保在预热 过程中不会有错误的流量通过。
1.4 概述
气体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。
流量计安全操作及保养规程
流量计安全操作及保养规程前言流量计是一种广泛应用于石油、化工、水处理等行业的重要设备。
随着现代工业的不断发展，流量计的种类和应用场景也越来越复杂。
在使用过程中，如果不注意安全操作和保养，有可能会给生产带来风险和损失。
因此，制定流量计的安全操作和保养规程至关重要，可以有效降低事故风险和设备故障率，提高生产效率和使用寿命。
一、流量计的基本结构和工作原理1. 基本结构流量计是由感应元件、信号处理电路和指示装置三部分组成。
其中，感应元件根据不同的工作原理可分为差压流量计、涡街流量计、电磁流量计、超声波流量计等；信号处理电路负责对感应元件输出的信号进行处理和放大；指示装置则用于显示流量计的数据和状态信息。
2. 工作原理不同类型的流量计工作原理不同，但都通过测量介质的流速和管道的截面积来计算体积流量。
以涡街流量计为例，它是通过测量涡轮受到流体冲击力的转速来计算流体的流速和体积流量。
二、流量计的安全操作规程1. 前期准备在使用流量计之前，应先仔细阅读流量计的使用说明书，并进行必要的前期准备工作：•检查流量计的型号和规格是否与要求相符；•检查流量计的安装位置和方向是否正确；•检查流量计管道的接头是否紧固，密封是否良好；•检查流量计管道附近是否有杂物和障碍物，需及时清理。
2. 安全操作在使用流量计时，应注意以下安全操作事项：•严禁在流量计周围吸烟、使用明火或进行其它火源作业；•严禁在管路系统内封堵流量计，以免损坏流量计或对系统安全构成危害；•严禁在流量计上爬山、攀岩、钻漏等危险动作；•在对流量计进行检修和保养时，应先切断与其相连的管道的介质供应，并用隔离物将管道封堵，以免介质泄漏和对人员伤害。
3. 工作注意事项在流量计工作过程中，应注意以下事项：•不要在高浓度腐蚀性或易燃易爆气体或液体介质直接流经流量计；•不要在超出流量计仪表量程的范围内使用以免损坏仪表和管道；•流量计的定期校验和检修应由专业技术人员进行；•不要轻易更换仪表内部元件和接线，以免误操作导致仪表损坏或人员伤害。
质量流量计使用说明书
警告
不正确的安装可能使仪表不能正常工作或损坏
参考说明书的安装部分与传感器的接线部分
1.2传感器的结构与外形尺寸
1.2.1仪表参数
适用围：适用于液体、气体、液固、气固的微小质量流量的测量
测量管材质：304 或316L不锈钢
压力等级：标准配置见下表，其他高压可以特殊订货。
3.1.3测量单位的选择
选择不同单位后的量程转换是由软件自动完成的。
t/h kg/min L/minm3/h
3.1.4小数点位数的选择
可选择流量 0至3位小数显示
3.1.5电流输出的设置
可选择流量或者密度的(4—20)mA输出
3.1.6频率的输出
频率输出只对应“瞬时质量流量”或“相应质量流量”的体积流量。
2.1.2倒立安装
质量流量计测量气体（蒸汽）时建议安装方式，可以有效的排空仪表测量管可能存在的液体。
2.1.3旗式安装
悬浮液、液固两项流或某些特殊工艺场合的建议安装方式，比如：高温易凝固流体在生产结束时要求排空管道流体等。任何流体应用旗式安装不会影响流量计的测量精度，但流体方向必须自下而上。
2.1.4其它安装要求
型号
仪表通径
测量围(Kg/h)
工作压力(MPa)
连接形式(mm)
-1-A
3
4～40
0～32
焊接式活接头 Φ6×1.5
-1-B
6
10～100
0～25
焊接式活接头 Φ10×2
-2-A
8
20～200
0～20
焊接史活接头 Φ12×2
-2-B
10
40～400
0～25
焊接式活接头 Φ14×2
北京七星华创电子
D07系列质量流量控制器安装与接线 D07系列质量流量控制器安装与接线
1、为确保质量流量控制器计量精度，在用户 没有特殊要求情况下，我公司按水平方向 进行标定，也可根据用户需要进行垂直或 平趴标定，质量流量控制器应安装在无射 频源干扰、无振动的环境中。如果工作环 境有射频干扰，则需要采取必要的屏蔽措 施，干扰有传导和辐射两种。
D07系列质量流量计操作事项 D07系列质量流量计操作事项
1、质量流量控制器输出信号与流过通道的气体的 流量是成正比例的，在满量程时流量检测电压信 号是+5V，我公司生产的D07系列的质量流量控 号是+5V，我公司生产的D07系列的质量流量控 制器的量程比为50 制器的量程比为50 ：1，在量程比范围内，质量 流量控制器流量呈线性变化，低于或超出量程比， 流量是非线性的，甚至流量显示仪所显示的流量 是不准确的。其流量检测电压输出值可能达到 +10V，所以当质量流量控制器的阀控开关置于 +10V，所以当质量流量控制器的阀控开关置于 清洗位置时，显示流量不准确，而且可能出现流 量增大显示反而减小的异常现象。但是这种现象 不会对流量控制器本身造成损害。
+ 5 .0 0 V
流量显示仪
设定
(0 ~ + 5 .0 0 V )
1 0 0 .0
流量显示 电源 +15V 0V -15V 内
~220V
外
(0 ~ + 5 .0 0 V ) COM设Βιβλιοθήκη 定流量检测 0 电 平
out
se t
质量流量计
放大器
质量流量 控制器
+15V
关闭 驱动 阀控 清洗
比较器
I
传感器
-1 5 V
流量计操作规程范文
流量计操作规程范文流量计是一种测量管道流量的仪器。
它广泛应用于各个领域，例如工业生产、化工、石油、环境保护等。
为了保证流量计的正常工作和准确测量，我们需要遵守一些操作规程。
以下是一些关于流量计操作的规范。
1.工作人员需熟悉流量计的结构和工作原理，并具备相关操作知识和技能。
2.在测量前，应检查流量计的外观、仪表的电源和电缆连接是否正常，确保无异常。
3.测量前应清洁管道，确保内部无杂质和异物，以免影响测量的准确性。
4.测量前需将流量计放置在恒定温度下静置一段时间，使其达到稳定状态。
5.测量前应检查流量计的标定和检定是否过期，如有过期需进行重新校准。
6.测量时，应根据需要选择合适的测量范围和量程，并用合适的方法设置仪表参数。
7.测量前应检查流量计的密封件是否完好，如发现破损或老化应及时更换。
8.测量时应保持流量计周围的环境安静，避免外界的干扰和噪音对测量结果的影响。
9.在测量过程中，应定期检查和校准仪表的显示值和现场实际情况是否一致，并记录测量数据。
10.若发现测量结果异常或超出警戒值，应及时停止测量并进行故障排查、维护和修复。
11.测量结束后，应及时关闭流量计和相关设备的电源，并进行清理和维护，保持设备的良好状态。
12.定期进行流量计的检修和维护，包括清洗管道、更换密封件、校准仪表等工作。
13.外部人员未经许可，不得擅自操作流量计和相关设备，严禁进行任何改动和调整。
14.工作人员需定期参加相关培训和考核，提高自身的专业水平和技能。
15.在操作过程中，应遵守相关的安全规定和操作规程，确保自身和设备的安全。
以上是关于流量计操作规程的一些基本要求和规范，只有严格遵守这些规程，才能确保流量计的正常工作和准确测量。
流量计仪表操作说明
目录仪表的键盘和前面板-------------------------------------2 仪表功能----------------------------------------------------4 仪表程序----------------------------------------------------4 仪表键盘和中控方式的转换----------------------------6 仪表的启动和停止----------------------------------------7 仪表重量和容积方式的转换----------------------------8 给定量的输入----------------------------------------------8 显示事件信息----------------------------------------------8 服务数据----------------------------------------------------9 标定功能----------------------------------------------------9 调零-----------------------------------------------------14 计数器1或2的复位-------------------------------------13 安装与调整-------------------------------------------------13 维护与保养-------------------------------------------------14 事件信息----------------------------------------------------16（一）仪表的键盘1各按键的作用如下：启动键和停止键。
水流量计使用说明(中文)
水流量计使用说明操作说明（参见图表1）z接通水流量计的电源开关。
z使用和设定所需的水量。
设定数值将会显示在显示屏上（1）。
有3种方式可调节数值大小。
1.逐步的调节：按一下和2.连续的调节：持续按和3.快速的调节：持续按和3秒钟z按START键（3）z按STOP/C（5）键可以随时停止进水。
进水量将在（11）上显示。
按START键可继续进水。
按STOP/C键，原有设定的数值将会再次在显示屏上显示。
再一次按STOP/C键可清楚存储的数据。
z通过旋转温度调节扭（7）可以选择水温：温度将在电子温度计上显示（2）。
当使用旋转扭调节水温时请适当停顿一些时间这样可以使温度较稳定。
z最终的水流量数据将会被保存在流量计内，如果再一次需要相同的流量只要按START键即可。
断开电源后所存记忆将消失；当接通电源后按START键即可重新设置流量。
z为了确保设备运行正常，温水温度必须比要求的水温高，至少为10℃，冷水温度要求低于5℃。
低温（低于10℃-15℃）只有在使用冷藏设备时才适用。
设备维护说明z为了确保内部配件能长期有效的运行，请经常清洁过滤器（9）特别是那些水质较硬的地区。
此外，请同样经常清洁出水管过滤器（如果有另外装配该装置）。
z请使用海绵、清水或柔和的清洁剂清洁设备表面。
水流量计配件表（参见图表2）配件编号 编号 名称230V 50Hz 110V 60Hz1 设备界面 44012012 电子板 3811532 38115333 单向1/2＂阀门 44003024 混合单元 38013085 温度调节装置探头 44003526 旋转钮 44005047 过滤器1/2＂ 44003118 计流量器 38010089 探头 381252310 电磁阀 3801140 380114111 电磁阀线圈 4400405 440040612 电磁阀内部连接装置 440045113 直径为16mm出水软管 3801209。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(A,C,D)(+profibus+0-20ma)(su)
北京七星华创电子股份有限公司
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1.2 使Leabharlann 须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。 本手册在您安装、维护及故障维修时必不可少，请妥善留存保管。
1.3 安全注意事项
下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司 不予承担。
a）请勿替换产品零部件或者改动产品
不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动。在返厂进行重新标定或 维修的时候必须保证安全标签完好无损。
≤ 1sec
≤ 0.8sec
0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM
＜0.02 MPa
零点: ≤±0.05% F.S/℃； 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM
北京七星华创电子 D08-2B、D08-3B、D08-4B 型 流量显示仪 说明书
D08-2B、D08-3B、D08-4B型流量显示仪使 用 手 册版号2 0 0 9 . 07目录1 用途和特点............................... 1 5.3 外控信号插座接线 (5)2 主要技术数据............................ 1 6 操作方法 (8)3 前后操作面板............................ 2 6.1 使用前的准备工作 (8)4 结构说明.................................. 3 6.1.1 显示仪各控制钮的状态 (8)4.1 ±15V电源............................... 3 6.1.2 电源线的连接 (8)4.2 +5.00V基准电源........................ 3 6.1.3 控制线的连接 (8)4.3 显示器..................................... 3 6.2 操作使用步骤. (8)4.4 阀控开关.................................. 3 6.2.1 开机 (8)4.5 调零电位器............................... 4 6.2.2 MFC（或MFM）调零 (8)4.6 设定电位器............................... 4 6.2.3 阀控开关置位 (8)4.7 电源开关.................................. 4 6.2.4 设定流量 (8)4.8 电源插座.................................. 4 6.2.5 关机 (8)4.9 保险丝盒.................................. 4 7 参数设置和更改 (9)4.10 内外设转换开关......................... 4 8 注意事项. (9)4.11 控制器信号插座........................... 4 8.1 禁止调整内部电位器 (9)4.12 外控信号插座............................ 5 8.2 接地问题 (9)4.13 铭牌........................................ 5 8.3 产品替换注意 (9)5 安装和接线............................... 5 9 选型与订货规格填写 (10)5.1 外形和安装尺寸......................... 5 9.1 显示仪选型表 (10)5.2 与MFC（或MFM）插座接线......... 5 9.2 标准订单填写格式.. (11)D08 SERIES FLOW READOUT BOXES第 1 页 共 11 页D08-2B 、D08-3B 、D08-4B 型流量显示仪使用手册1. 用途和特点流量显示仪用于为气体质量流量控制器（MFC ）和质量流量计（MFM ）提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。
大容量正位移脉冲流量计操作手册说明书
I N S T R U C T I O N M A N U A LModels:3” (D-750), 3” (D-1000)(Extended flow range),4”(D-1500)&4"(D-2500)(Extended flow range)Large capacity positive displacementPulse FlowmetersOVAL GEARIndex / contents 11.0General Page1.1 Overview 21.2 Operating principal 21.3 Specifications 32.0 Installation2.0 Mechanical installation 42.0.1 Meter & totaliser orientation 42.1 Flow conditioning & locations 52.2 Electrical Installation 52.2.1 Instrument Cable 62.2.2 Hazardous Area Wiring 62.3 Pulse output selection for pulse meters 62.3.1 Hall effect sensor output 62.3.2 Reed switch output 62.4 Calibration K-factor 63.0 Commissioning 74.0Maintenance4.0 Maintenance 84.1 Disassembly of meter & exploded view 84.2 Inspection 94.3 Re-assembly of meter 94.4 Spare parts list 105.0 Fault Finding 115.1 Trouble shooting 122 General1.1 OverviewThe Oval Gear meter is a precise positive displacement flowmeter incorporating a pair of oval geared rotors. These meters are capable of measuring the flow of a range of clean liquids such as fuels, fuel oils & lubricating liquids.The flowmeter is available with a pulse output only for safe or hazardous areas. The meter also has a flow rate register option with either RT40 (option E) for safe areas or an intrinsically safe RT12 (option I) for hazardous areas. Both these totalisers have pulse output capabilities of interfacing to most monitoring and controlinstrumentation. The RT12 instrument also has monitoring and control output options 4-20mA, scaled pulse and flowrate alarms.Both RT12 and RT40 options have multiple display units (kgs, Litres, lbs, Gal and m³) and can show instantaneous flow rate and total flow values1.2 Operating PrincipleThe Oval gear are positive displacement flowmeters where the passage of liquid causes two oval geared rotors to rotate within a precision measuring chamber and with each rotation a fixed volume of liquid is displaced passing through the meter. Magnets embedded within the rotors initiate a high resolution pulse train output. The pulse output can be wired directly to process control and monitoring equipment or can be used as an input to instruments supplied with or fitted directly to the meter.The benefits of this technology allow precise flow measurement and dispensing of most clean liquids irrespective of their conductivity, with other liquid characteristics having nil or minimal effect on meter performance. This metering technology does not require flow profile conditioning as required with alternative flow technologies making the installation relatively compact and low cost.OPERATION :Liquid travels around the crescentshaped chambers created by therotational movement of the rotorsliquid exits the measuring chamber liquid in transit flow liquid entering measuring chamberSpecifications 31.3 Specifications4 Installation2.0 Mechanical Installation Prior to installing the meter check :•The fluid is compatible with the meter materials of construction using appropriate information such as fluid compatibility charts and site experience.•The application and process conditions are compatible with the meter specifications. Minimum and maximum flows are within the meter specified range including any in-situ cleaning processes. Whenmetering viscous liquids the maximum allowable flow may need to be reduced to ensure the pressuredrop across the meter does not exceed 100 kPa (1 Barg, 15 PSIG).•The process temperature and pressure does not exceed meter ratings.•The meter is not exposed to process temperatures and pressures that will cause the liquid medium to gasify (flash) within the meter.2.0.1 Flow Conditioning and LocationsStrainer : It is recommended to INSTALL a 40mesh (350 micron) strainer immediately upstream of (prior to) the meter. Strainers are available from the factory.Flow conditioning : The flowmeter does not require any flow conditioning, therefore straight pipe runs before or after the meter are not required. If required, the pipe size about the meter can be altered to suit the installation.Locations : The flowmeter is preferred to be fitted upstream of any flow control and/or shut off valve, this prevents free discharge from the meter and minimizes the risk of drainage and air entrapment which can result in erroneous readings or damage the meter on start up.Process or safety critical meters should be installed in a by-pass section of pipe with isolation valves to enable the meter to be isolated and serviced as required. A by-pass installation also allows purging of the system during commissioning (see Commissioning).The meter must be appropriately rated and is typically located downstream (on the discharge side) of the pump.If mounted outdoors ensure a suitable watertight gland or plug is used to seal any open electrical entries. In humid environments take precautions to avoid condensation build up within the electrical and/or instrument enclosure. It is good wiring practice for conduits to be connected from the bottom of an entry port, in this way condensation will gravitate away from any terminal housing.Fluid state : Fluid entering the meter must remain a liquid at all times so protect the meter to avoid solidification or gelling of the metered medium. If meters are to be trace heated or jacketed in any way the maximum temperature rating of the meter must not be exceeded. Size the meter to avoid gasification of volatiles (flashing) within the liquid due to the pressure drop experienced within the system or within the meter.Hydraulic shock : If pressure surges or hydraulic shock of any kind is possible, the system upstream of the meter must be fitted with a surge suppressor or pressure relief valve to protect the meter from damage. High frequency flow pulsations can damage the meter. Such pulsations can be caused by the injection profile in diesel engines. Most pulsations are removed with the installation of a suitable pulsation dampener.Installation 5 2.1 Meter & totaliser orientationThe flowmeter MUST be mounted so that the rotor shafts are in a horizontal plane. This is achieved by mounting the meter so that the digital display is facing the user in a horizontal direction, it should never point towards the sky or towards the ground. If installed incorrectly the weight of the rotors will bear down on the base of the measuring chamber, leading to inaccuracy and meter damage and failure.Liquid can flow into the meter from either a horizontal or vertical direction. For vertical flow installations the most common orientation is for the liquid to rise through the meter (i.e. travel from bottom to top) to assist in air or entrained gas elimination. The meter operation is independent of the liquid flow direction thus there is no markings for inlet or outlet.Given the size and weight of these meters, it is recommended that any 3” or 4” meters have adequate support so that there is no excessive pressure on the process connections. Failure to support these meters during the installation process can result in structural damage to the flowmeter’s threaded connections/flanges during normal operation.2.2 Electrical InstallationAs a default the meter and totalizer is wired at the factory with the reed output pre-wired and DIP switches set for an integral rate/totaliser allowing self-powered operation of the instrument displays.The output(s) and function(s) available from a meter fitted with an integral instrument depends on the model of the instrument fitted and may include meter pulse repeater, pre-scaled pulse output, 4-20mA flow output or flowrate alarms.Refer to the option in the meter model number and relevant instrument manual. Unless programming details were provided at time of order the instrument program will contain factory default parameters. Integral instruments will however be programmed with the relevant calibration factor (K factor or scale factor) for the meter.Factory default settings can be found in the instrument instruction manual and it should be noted all output(s) are6 Installation2.2.1 Instrument Cable Twisted pair low capacitance shielded instrument cable 7 x 0.3mm (0.5mm²) should be used for electrical connection between the flowmeter and remote instrumentation, use Belden® number 9363 or similar. The cable drain or screen should be terminated on a DC COMMON or a specifically assigned shield termination at the readout instrument end only in order to protect the transmitted signal from mutual inductive interference. IMPORTANT, tape off & isolate the shield at the flowmeter end of the cable.The cable should not be run in a common conduit or parallel with power and high inductive load carrying cables as power surges may induce erroneous noise transients onto the transmitted pulse signal or cause damage to the electronics. Run the cable in separate conduit or with other low energy instrument cables. The maximum transmission distance is typically 1000m (3300 Ft).2.2.2 Hazardous area wiring Intrinsically safe wiring including using the reed switch pulse output as simple apparatus, wiring to an Intrinsically Safe Instrument must be undertaken in accordance with the rules, regulations and requirements applying to the territory in which the meter is being installed. The meters should only be connected by qualified staff, the qualified staff must have knowledge of protection classes, regulations & provisions for the apparatus in hazardous areas.If the flowmeter is fitted with an intrinsically safe instrument refer to the appropriate manual & I.S. supplement for wiring of the instrument inputs and outputs.2.3 Pulse Output selection for pulse meters Two types of output are available on each meter, open collector from Hall Effect sensors or reed switch contact. Each output type is linearly proportional to volumetric flow and each pulse is representative of an equal volume of liquid.2.3.1 Hall Effect Sensor Pulse Output The Hall Effect Sensor is a high resolution solid state 3 wire device providing an un-sourced, open collector, NPN transistor output. The term “un-sourced” means that no voltage is applied to the output from within the flowmeter, it must be pulled to a ‘high’ or ‘on’ state by between 5~24Vdc supplied from an external source, typically the receiving instrument.2.3.2 Reed Switch Pulse Output The reed switch output is a two wire normally open SPST voltage free contact ideal for installations without power or for use in hazardous area locations when Intrinsically Safe (I.S.) philosophy is adopted. Note: when using the reed switch output the liquid temperature must not change at a rate greater than 10ºC per minute (50ºF per minute).In general the reed switch life will exceed 2 billion actuations when switching less than 5Vdc @10mA as is the case when combined with the RT12 and RT40 instruments. 2.4 Meter Calibration Factor (K or scale Factor) Each flowmeter is individually calibrated and has the number of pulses per unit volume (eg pulses per litre or pulses per US gallon) entered into the program of the instrument. Please refer to relevant instrument manual for programming details. Nominal figures are shown in the specification section of this manual. For more accurate metering we recommend using the calibrated K factor. Calibration certification is available upon request from your distributor.Commissioning 73.0 Commissioning Once the meter has been mechanically installed the meter is ready for commissioning.The meter must NOT be run until the pipework is flushed of foreign matter, more often than not foreign matter is present after pipework fabrication or modification; weld slag, grinding dust, sealing tape & compound &/or surface rust are most common offenders.Flushing can be undertaken by utilizing a by-pass or removing the meter from the pipework. If neither is practical then the meter rotors must be removed prior to flushing (refer to Maintenance section of this manual for disassembly).After flushing or following long periods of shutdown the meter must be purged of air/vapour. This can be achieved by allowing the liquid to flow through the meter at a slow rate until all air/vapor is displaced. Never run the meter above its maximum flow or exceed 100kpa (1 bar, 15psi) pressure drop across the meter. Now the meter is ready for its operation to be confirmed by ensuring correct indication on the mechanical display. Refer if necessary to fault finding section of this manual. flowmeter isolation valve isolation valve Open downstream valve last4.0 Maintenance Adhering to the installation instructions in this manual should ensure your meter provides the required operational performance. These are mechanical meters and a periodic maintenance and inspection regime will maximize the operational availability of the meter.The frequency of maintenance depends on the application factors including liquid lubricity and abrasiveness and operational factors such as flowrate and temperature.BEFORE undertaking meter maintenance ensure the following :Associated alarm(s) or control output(s) are isolated so not to affect the process.The meter is isolated from any source of supply of liquid upstream or downstream.The meter is depressurized and liquid drained from the meter.4.1Disassembly of Pulse meter (Refer Exploded View)The meter is fitted with an integral instrument the instrument display assembly must be removed if required to gain access to the instrument terminal connections, instrument battery or pulse output board. This is achieved by:1.Undo the bezel screws and separate the display assembly from its base. Do not stress or damage thewires that connect the display assembly to the meter output. Take care not to misplace or damage O-ring(s).The pulse output board can now be accessed.2.To remove the pulse output board, first undo the screws that fix the instrument base to the flowmeter(Refer Exploded View).If required to gain access to the oval geared rotors undo the 8 body screws (5), carefully pry the meter body apart avoiding misplacing or damaging the O-ring (3) and rotors (2).Maintenance 94.2 Inspection (refer Exploded View)Inspect O-rings (3) for damage, chemical attack, deformity or any form. Remove, inspect & clean the rotors (2). Check the measuring chamber (1) for damage or scoring & redress if necessary, the rotor shafts should NOT be loose or able to be rotated.4.3 Re-assembly of meter (refer Exploded View)When re-installing the rotors (2) all four magnets MUST be visible when both rotors are in place. Both rotors will only engage correctly if fitted precisely at an orientation of 90 degrees to each other. Rotate the rotors slowly by hand to ensure they are correctly fitted at the same time check the rotor shafts & rotor bearings for wear.Fit the O-ring (3) into the groove and assemble the two parts of the meter, the body (1) & cap (4) align with a location pin.Fit the body cap screws (5) and tighten in a star sequence then carryout a final tighten in the same sequence to a firm torque. This sequence and procedure ensures the meter bodies are assembled correctly and evenly. Fit the pulse output board and instrument as appropriate.This sequence and procedure ensures the meter bodies are assembled correctly and evenly. Once completed,10 Maintenance 4.4 Spare PartsFault finding 11 5.0 Fault Finding Pulse meters have two distinct sections: the mechanical wetted section housing the rotors and the electrical section housing the pulse output board.Meters fitted with integral instruments have these two sections plus the instrument.The aim of fault finding is to trace the source of the fault to one of these sections.If a fault is traced to an instrument section, refer to the relevant instruction manual.Below are basic fault finding steps. Also refer to Trouble Shooting Guide on following page.Step 1 - Check application, installation and setup.Refer to Mechanical Installation section for installation and application factors that may affect the meter operation including pulsation and air entrainment or incorrect meter selection including incorrect flow rate, temperature and pressure or materials compatibility. Refer to Electrical Installation for correct wiring.Step 2 - Check for blockages.The most common cause of fault/unsatisfactory meter operation, particularly for new or altered installations, is due to blockage within the system or meter caused by foreign particles such as weld slag, sealing tape or compound, rust, etc.Step 3 - Ensure flow is present.No flow or lower than normal minimum flow may be attributed to a blocked strainer, jammed or damaged rotors within the flowmeter, malfunctioning pump, closed valves or low liquid level in feeder tank.Step 4 - Ensure oval gears within meter are rotating.Rotation of the oval gears can be heard by holding a screw driver blade to the meter body and pressing the handle hard against the ear lobe. If necessary test the meter with the flow turned off and turned on to familiarize yourself with the audible rotation signature.Step 5 - Ensure pulses are being generated during flowing conditions.A multimeter is often not fast enough to distinguish the pulse train from the reed switch or Hall Effect sensor. An oscilloscope will allow you to view the output pulse train. When viewing the Hall effect sensor pulse ensure a pull up resistor is installed between the pulse output and the supply voltage (refer electrical installation).Step 6 - Confirm Instrument Operation.If an associated instrument is connected to the flowmeter confirm its operation by simulating a pulse input onto the flow input terminals. In most instances a contact closure on the flow input terminals is an adequate simulation.12 Trouble shooting5.1 TROUBLE SHOOTINGNotes:IM-D-750~D-2500-Pulse 3216© 2017 Great Plains Industries, Inc., All Rights Reserved.Great Plains Industries, Inc. / 888-996-3837 / 。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(E,G) (su)
CS 系列 200-E,G 型
气体质量流量控制器/质量流量计
使用手册
2012.07
目录
第一部分 产品说明
1.1 声明 ................................................... 1 1.2 使用须知 ............................................ 2 1.3 安全注意事项 .................................... 2 1.4 概述 ................................................... 3 1.5 技术指标 ........................................... 4 1.6 标定 ................................................... 5 1.6.1 标准状况 ........................................ 5 1.6.2 制造环境 ........................................ 5 1.6.3 精度调节 ........................................ 5
北京七星华创电子股份有限公司
第 1 页 共 27 页
1.2 使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容。
1.4 概述
七星电子流量计 CS200产品使用手册(E,G) (su)
c）使用危险气体时请特别注意 如果使用危险气体，请做好预防措施，条件允许请完全吹洗仪器。如果危险气体潮湿， 须确保潮湿的危险气体不会和仪器以及密封材料产生化学反应。 d）吹洗仪器时特别注意 在从气路上拆卸仪器之前和安装仪器后都要对整个系统进行吹洗，用干燥气体吹洗通道 内剩余气体的残渣。 e）请遵照合适的步骤吹洗 产品必须在通风保护罩下进行吹洗，并且操作人员必须带上手套进行保护。 f）请勿在爆炸性环境下使用本产品 为了避免产生爆炸，不要在爆炸性环境下使用本产品，除非本产品获得有效认证 。 g）请使用合适的接头并按照相关的紧固规程来操作 所有仪器的接头都必须和产品说明书上的型号相符，且与仪器所使用的接头相一致且与 仪器所使用的接头相配套。拧紧接头的时候请按照产品操作指导说明书来操作。 h）请检查产品接头处是否漏气 请仔细的检查所有的零部件接口以确保在安装过后没有漏气。
第四部分 维护 4.1 概述 ...................................................... 19 4.2 注意事项 .............................................. 19 4.2.1 介质使用要求 .................................... 19 4.2.2 阀口密封问题 ................................... 19
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。 本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。
1.3 安全注意事项
下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司 不予承担。
流量计操作说明书(用户新)
流量计操作说明书目录一、流量计转换器操作说明1、操作框图2、主界面3、各通道状态界面4、功能选择界面5、用户密码输入界面6、用户密码重输界面7、用户设置选择界面8、报警范围设置界面9、压缩因子参数设置界面10、时钟设置界面11、温压输入量程设置界面12、输出量程选择界面13、用户密码修改界面14、通讯及接口参数设置界面二、流量计转换器MODBUS通讯编程说明1、转换器串口通讯简要说明2、MODBUS 协议简介3、ASCII传输方式4、RTU传输方式5、地址域6、功能域7、数据域一、流量计转换器操作说明流量计转换器面板上共有：上（↑）、下（↓）、左（←）、右（→）、模式（M）和回车（ ）六个键，通过这六个键可以对流量计进行各种操作。
1、操作框图：说明：1、除主界面外，其它任何界面显示时，如在30秒内无按键操作，则程序自动取消该界面，返回至主界面。
2、7个用户设置界面中，选择界面中的确定或取消后返回至上一级的用户设置选择界面，并且7个用户设置界面之间可以用←、→键相互切换。
3、用户设置选择界面通过按模式(M)键返回至功能选择界面。
4、功能选择界面通过按模式(M)键返回至主界面。
2、主界面：（1）主界面中，使用率表示多次采样中数据被正确采用的比例。
（2）主界面状态下，按←、→键可以在主界面和各通道状态界面之间切换。
（3）当瞬时流量、压力或温度的测量值超出设定范围时即报警（相应的汉字字符显示颜色反转）。
如压力超出范围时，界面中对应的“压力”两字显示颜色反转，如下图：（4）当压缩因子参数设置错误（即各组分摩尔百分比含量的累加值≠100%）时即报警，此时，主界面中对应的“累计量”三字显示颜色反转。
（5）当流量计测量的是工况流量时，瞬时流量显示的单位为m3/h，否则，当流量计测量的是换算至标准状态下的标况流量时，瞬时流量的显示单位为Nm3/h。
（6）按M键，出现功能选择界面。
3、各通道状态界面：（1）按←、→键可以在各通道状态界面和主界面之间切换。
流量器的使用操作方法
流量器的使用操作方法
流量计是用于测量管道中流体的体积流率或质量流率的仪器，常用于各种工业制造、液化气体、石油、化学、环保等领域中。
使用流量计具体操作方法如下：
1. 检查并确认流量计的接线是否正确，电器、机械及电气部分是否正常。
2. 打开阀门，确保流量计所测量的流体流量开始流动。
3. 根据实际需求，在控制面板上选择所需要的测量单位及测量范围。
4. 针对不同类型的流量计，可逐一调整控制面板上的参数，以达到理想的测量效果。
5. 若有必要，可以打开流量计的某些功能来实现特殊的测量操作，如多参数测量等。
6. 在测量过程中，及时记录并查看测量结果。
若有异常情况出现，立即停止测量并进行排除。
7. 测量结束后，关闭阀门、切断电源，并进行设备的清洁和维护工作，以确保其正常运转。
BM-7操作作业指导书
一、目的：通过正确的操作，确保量测的准确性，延长机器的使用寿命。
二、使用范围：本公司所有的BM-7 三、定义：BM-7为测量发光产品的亮度值和色度值的仪器。
四、职责和权限：本规程由工艺部规定，品质部或相关使用部门负责实施及执行。
五、作业流程5.1 仪器简介5.2 开机取下BM-7目镜和物镜的保护盖，按下电源开关，仪器启动进入程序初始化状态，待显示屏幕出现测量值后即可进行测量。
5.3 设定电源供应器输出电流、电压值5.3.1 根据测量产品电流电压要求，设定好电源供应器的输出电流和电压。
5.3.2 电流设定按“I ”按键，此时数值显示屏上的电流显示值呈闪动状态，输入所需的电流值，按“ENT ”按键确认，设定OK 。
电源供应器电流单位为A 。
5.3.3 电压设定按“V ”按键，此时数值显示屏上的电压显示值呈闪动状态，输入所需的电压值，按“ENT ”按键确认，设定OK 。
电源供应器电压单位为V 。
BM-7 BM-7升降手柄Y 轴手柄 电源供应器 电流表 发光治具 X 轴手柄 目镜 显示屏 控制按钮 电源开关 物镜5.4 发光点亮治具接线A 导线一端从电源供应器正接线端口接出，另外一端接入万用表的mA 端口。
B 导线一端从万用表的COM 端口接出，另外一端接入发光治具的正接线端口。
C 导线一端从电源供应器负接线端口接出，另外一端接入发光治具的负接线端口。
5.5 产品测量5.5.1 将产品金手指的A 、K 极性对准发光治具的正负极性，压下治具扳手，点亮产品。
5.5.2 摇动BM-7 X/Y 轴手柄把测量点移到产品发光区内，转动物镜把成像调到清晰状态。
5.5.3 转动X/Y 手柄把测量点移到产品不同位置的测试点（根据图纸测试点要求定位），待数据稳定后再读取相应的数据，数据包含X 色度值，Y 色度值和亮度值。
5.6 关机当测量完成后按下电源开关关闭仪器，然后盖好目镜和物镜的保护盖。
5.7 设备保养5.7.1 在每次使用前、后须对仪器外部、工作台进行清洁，以保证仪器的正常使用。
BM-7操作标准作业指导书
CDSF-Z01(R1) 制 定 部 署:
品质TEAM
5.观测 BM-7的镜头 确认移动位置 是否 正确 （移动位置：BLUY的 Sheet角）
材料 设备 治工具
BLU BM-7
标准作业时间 制定者:
金荣文
REV NO
改正履历 新规制定
帝艾斯光电（苏州）有限公司
文件号码 制定日期 改定日期 工程NO. 模型名
重点管理项目 注 各modei别 inberter及管电流测定之前确认是否与 图面一致 意
事
项
CDSF-Z01(R1) 制 定 部 署:
品质TEAM
材料 设备 治工具
BLU BM-7
标准作业时间 制定者:
金荣文
REV NO
改正履历 新规制定
帝艾斯光电（苏州）有限公司
文件号码 制定日期 改定日期 工程NO. 模型名
事
项
CDSF-Z01(R1) 制 定 部 门:
品质 PART
11.利用“原点夹具”确认测定POINT是否正确 12.再执行 上述的 8，9条 点击“START”测定
材料 设备 治工具
BLU BM-7
标准作业时间
制定者:金荣文来自REV NO改正履历 新规制定
帝艾斯光电（苏州）有限公司
CDSI-W01-04
2005.06.15
全模型
工程名
5. 设定 测定程序 6.File—Recipe—open 按顺序 点击
标准作业指导书
BLU光测定检查 作业顺序
页码
2/3
6. 第一个POINT确认和 产品测定 8.Measurement—Luminance按顺序点击
7.点击测定的产品名“OK ”下一个窗 点击“OK ”
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D07 - 7B 型质量流量控制器D07-7BM 型质量流量计使用手册版本2013.6目录1. 使用须知................................... 1 6.2.1 开机预热.. (15)2. 用途和特点.............................. 1 6.2.2 检查和调整零点 (15)3. 主要技术指标........................... 3 6.2.3 通气工作 (15)4. 结构和工作原理........................ 4 6.2.4 关机 (15)4.1 结构....................................... 4 7. 注意事项 (15)4.2 工作原理................................. 5 7.1 禁用流量介质 (15)5. 安装和接线...........................7 7.2 使用腐蚀性气体问题 (15)5.1 外形及安装尺寸........................7 7.3 阀口密封问题 (16)5.2 气路接头形式...........................8 7.4 阀控操作注意 (16)5.3 连接电缆插头...........................9 7.5 安装位置问题 (16)5.4 与计算机或外部信号的连接.........11 7.6 注意工作压差 (16)5.5调零和外调零...........................12 7.7 标定和不同气体的换算 (17)6. 使用方法和操作步骤..................13 7.8 D07-7B,7BM标准订单填写格式 (18)6.1 质量流量控制器的操作...............13 8. 故障判断和处理 (21)6.1.1 开机操作..............................13 9. 保证、保修与服务 (23)6.1.2 清洗功能..............................14 9.1 产品保证和保修.. (23)6.1.3 显示仪与计算机连接的操作......14 9.2 保修对使用的要求.. (23)6.1.4 直接与计算机连接的操作.........14 9.3 服务.. (23)6.1.5 阀控功能..............................15 10. 附录 (24)6.1.6 关机操作..............................15 10.1气体质量流量转换系数 (24)6.2 质量流量计的操作...................15 10.2转换系数使用说明 (26)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER质量流量控制器和质量流量计使用手册1.使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的D07系列质量流量控制器/质量流量计产品。
本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。
本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。
2.用途和特点质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图1所示)。
图1.质量流量控制器与流量显示仪配套使用3.主要技术指标注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分) 标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S. (Full Scale): 满量程值表2. D07-7BM 型MFM性能指标各型号产品的主要技术指标见表1和表2。
其中7BM型是7B型的流量测量部分，流量计量部分的技术指标相同。
4.结构和工作原理4.1结构质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。
7B型质量流量控制器, 打开外罩后的结构如图2所示。
图2. 7B 型质量流量控制器结构图7BM 型流量计与7B 型控制器相比，在结构上的不同点，就是少了电磁调节阀，其它部分基本相同。
4.2工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与之配套的D08系列流量显示仪上设置有稳压电源, 3位半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
本控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图3所示。
电路印制板 D 型插座传感器调零电位器支架 进气接头 出气接头 电磁调节阀锁紧螺母流量通道控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电压为+5V。
质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S, 流量分辨率是0.1%F.S。
注意:当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当质量流量计使用。
在做流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达+10V以上，不过要注意，当流量超过满量程值（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。
清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。
控制操作一般在流量显示仪上进行。
当设定开关打到“内”设时, 由设定电位器控制流量; 当打到“外”设时, 由用户提供的(0～+5)V电压控制流量。
在显示面板上还设置有三位阀门控制开关, 当置“关闭”位时, 阀门关闭; 当置“清洗”位时,阀门开到最大,以便气路清洗，或作为流量计使用；当置于“阀控”时，自动控制流量。
5.安装和接线5.1外形及安装尺寸:7B、7BM各型号产品的外形和安装尺寸如图4、图5所示。
图4. D07-7B 型MFC 外形图图5. D07-7BM 型MFM 外形图注意:图中的高度108mm是不加电缆插头的高度,加上插头后的高度要再增加50mm左右。
5.2气路接头形式采用标准双卡套接头和VCR接头, 可提供8种尺寸接管外径的接头类型:a. Compression Fittingφ3 mm ;b. Compression Fittingφ6 mm ;c. CompressionFittingφ8 mm; d. Compression Fitting 1/8" (英制); e. Compression Fitting 1/4" (英制);f. VCR 1/4"(英制);g.φ6（内）×1软管; h .φ4（内）×1软管。
一般用金属管将质量流量控制器与气路相连接，在要求不高的情况下也可以用尼龙管或其它较硬的弹性塑料管。
双卡套接头的连接方法, 如图6所示。
注意流量计通道上的箭头指示的方向是气流方向, 进出气方向不能接反。
按图65.3图7. 7B 型控制器D 型插座和接线图质量流量控制器通过专用电缆与配套流量显示仪连接后, 即可通电通气工作。
注意:D07-7B 型是D07-7A 型产品的的升级换代型,7B型采用了贴片元件,和国际标准的D型插头。
与7A型对照,插头引线功能的位置相同,但起始编号的方向相反。
7B型可以直接替换7A型产品,7A型原有的电缆可以直接插在7B型插座上工作,只是锁紧装置不一样,当然,在替换时,通常应该连插头(或电缆)一起更换。
7BM型质量流量计插座的接线见图8, 7BM型与7B的插座型号完全相同，只是在流量计插件的接线中与控制器插件相比，少了“阀控”和“设定”两根线。
图8. 7BM型流量计D型插座接线图5.4与计算机或外部信号的连接a. 通过流量显示仪与计算机(或其它外部信号)的连接方法, 见图9。
图9. 通过流量显示仪与计算机的连接若用户要检测流量输出信号(0V～+5V)时, 将线引至显示仪外控信号插座的“流量检测”和“信号地”(0电平)线上即可，也可直接与计算机的模数(A/D)转换器连接，+5.00V输出电压对应MFC满量程额定流量值。
注意，流量检测输出电流不大于3mA。
若流量设定使用外部信号，应将设定选择开关打至“外”，并从显示仪上的外控信号插座送入0V～+5.00V 外设电压。
若用户外接电位器设定,可以用一个3.3K 左右的多圈电位器, 将两端连接到外控信号插座“+5.00V”和“信号地”上即可。
也可直接与计算机的数模(D/A)转换器连接，实现自动控制。
注意流量设定的输入阻抗大于100KΩ。
如果还需要计算机实现“阀控”线的关闭和清洗功能，可以用两个继电器的（两组）转换触点来实现。
一个继电器控制“关闭”，一个继电器控制“清洗”，两个继电器都不动作则为自动控制。
注意不能因两个继电器同时动作时引起电源短路, 推荐使用图10的继电器触点接线方式。
b. 流量计直接与计算机连接的接线方法，见图10。
如果是MFC/MFM 直接与计算机连接，需要用户自己提供±15V 电源（要求电源抗干扰能力要强）；将“设定”线接计算机D/A 输出；将“流量检测”线接计算机A/D 输入端；“信号地”线接外部信号参考地；小电流地线“公共地”和大电流地线“电源地”，分别引线，一起接在±15V 电源的公共端。