七星电子流量计 D07-7B_7BM使用手册
流量计的使用方法
流量计的使用方法
流量计是一种用来测量流体流量的仪器。以下是一般流量计的使用方法：
1. 准备工作：在使用之前，先将流量计进行校准，确保其准确度和稳定性。同时，清洁流量计的内部和外部部件，以确保没有杂质阻塞或污垢影响测量结果。
2. 安装流量计：根据流体管路的要求，将流量计正确安装到管道上。确保流体有一个顺畅的流动路径，并避免有压力损失、湍流或回流等因素影响测量结果。
3. 接通电源：将流量计连接到电源，开启电源开关。
4. 设置参数：根据具体需要，设置流量计的参数，如单位、显示方式、刷新频率等。
5. 开始测量：开启流体流动，待流体流经流量计时，流量计将开始测量并显示流量数值。
6. 读取结果：观察流量计显示屏上的数据，可以得到流体的流速、总流量等信息。部分流量计还可以通过输出信号连接到记录仪或控制系统，以实现数据记录和自动控制。
7. 停止测量：测量完成后，关闭电源开关。如果需要继续使用流量计，可通过
程序或按钮将其置于待机状态。
8. 维护保养：流量计需定期进行维护和保养，如清洁内部传感器或换取新的密封件等。同时，注意流量计使用环境的卫生和安全问题。
需要注意的是，不同类型的流量计可能有不同的使用方法和操作步骤，具体使用前请先参考产品说明书或咨询相关专业人士。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(E,G) (su)
±0.2% F.S. ≤ 1sec
0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10SLM＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30SLM＜流量规格≤50SLM
CS200G 有
温度系数 耐压 漏率 密封材料 工作环境温度
输入信号
输Байду номын сангаас信号
零漂 电源 表面化学成分 表面粗糙度
第四部分 维护 4.1 概述 ...................................................... 19 4.2 注意事项 .............................................. 19 4.2.1 介质使用要求 .................................... 19 4.2.2 阀口密封问题 ................................... 19
CS200-E,G 型 MFC/ MFM 是北京七星华创电子股份有限公司（七星电子）生产的数字 型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数 字信号，0～10V 模拟信号，4～20mA 模拟信号，可以使用双电源（±8～±16 VDC）或单电 源（+14～+28 VDC）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为 客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件 Digital MFC。
金属镍中空纤维膜表面处理及其透氢性能
金属镍中空纤维膜表面处理及其透氢性能
李渊;周亚林;王明明;张明智;谭小耀
【摘要】为提高金属镍中空纤维膜的氢气渗透性能,利用干湿纺丝法和高温烧结工艺制备致密的金属镍中空纤维膜,并采用物理打磨、硝酸刻蚀以及化学镀钯的方法对其外表面进行处理.结果表明:物理打磨外表面后,镍膜壁厚由初始的0.09 mm减小到0.04 mm,减小了渗透阻力,渗透通量在1000℃下达到20.48 mmol/(m2·s);采用10％硝酸刻蚀40 min后,镍膜的厚度减小到0.05 mm,加快了氢气的扩散过程,氢气通量提高56.36％,增加至24.11 mmol/(m2·s);化学镀钯后镍膜表面负载了钯层,使得氢气的溶解速度加快,氢气渗透通量高达23.15 mmol/(m2·s).
【期刊名称】《天津工业大学学报》
【年(卷),期】2019(038)002
【总页数】6页(P16-21)
【关键词】氢气渗透性;中空纤维膜;金属膜;镍膜;表面处理
【作者】李渊;周亚林;王明明;张明智;谭小耀
【作者单位】天津工业大学化学与化工学院,天津 300387;天津工业大学化学与化工学院,天津 300387;天津工业大学化学与化工学院,天津 300387;天津工业大学化学与化工学院,天津 300387;天津工业大学化学与化工学院,天津 300387
【正文语种】中文
【中图分类】TQ051.893
化石燃料储量的逐渐减少以及相关的一些环境问题引起了人们越来越多的重视，从而激发了人们对可替代传统化石燃料的可再生能源的探索兴趣。使用氢气作为燃料的质子交换膜燃料电池（PEMFC）是一种重要的清洁和节能技术，可用于解决当
流量计使用指南说明书
流量计使用指南说明书
一、产品简介
流量计是一种用于测量液体或气体的流量的仪器，它广泛应用于工业、农业、石油、化工等领域。本产品使用指南将为用户提供准确详
细的操作步骤，助您正确使用流量计，提高工作效率。
二、安装要求
1. 选择合适的位置：流量计应安装在离主管道适当距离的稳定位置，以确保测量的准确性。
2. 连接管道：将流量计与管道进行牢固连接，接口应严密，不得有
泄漏。
3. 起始调零：在使用流量计之前，应进行起始调零操作，以确保后
续测量的准确性。
三、操作步骤
1. 打开流量计电源，并确认指示灯是否亮起。
2. 进入菜单界面，依次设置测量单位、流速范围和报警参数等，根
据实际需要进行调整。
3. 进行测量操作：根据流量计的型号和功能，选择合适的测量方法，按照相应步骤进行操作。
4. 确认测量结果：流量计将显示实时测量结果，确保结果准确可靠。
5. 关闭流量计电源，结束使用。
四、常见问题解决方法
1. 测量结果异常：检查是否有漏气或漏液现象，重新校准流量计，
保持管道清洁。
2. 操作错误：仔细阅读说明书，按照操作步骤进行操作。
3. 存储异常：检查流量计的存储功能是否正常，如有问题，请联系
厂家技术支持。
五、维护保养
1. 定期清洁流量计：使用软布擦拭流量计外壳，确保表面干净整洁。
2. 避免冲击：流量计为精密仪器，应避免剧烈震动或冲击，防止损坏。
3. 定期校准：根据使用频率和要求，定期对流量计进行校准，确保
测量结果准确可靠。
六、安全注意事项
1. 使用过程中如发现异常情况或故障，应立即停止使用，并联系专
业人员进行维修或更换。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(A,C,D)(+profibus+0-20ma)(su)
(0～1,2,3,5,10,20,30,50)
Fra Baidu bibliotek
SLM
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30)
SLM
±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
±0.5% F.S.
±0.2% F.S.
北京七星华创电子股份有限公司
第 1 页 共 30 页
1.2 使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(A,C,D)(+profibus+0-20ma)(su)
MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER
气体质量流量控制器和质量流量计
使用手册
第一部分 产品说明
1.1 声明
《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公 司(以下简称“七星电子”)专有。如无七星电子的书面许可，不得部分或全部影印本使用手 册。本手册已经严格审校，但不保证手册中不含错误与遗漏，出版商不承担任何由于错误或 遗漏的责任，亦不承担由于使用本手册中的信息所导致的损失的任何责任。
b）请联络专业工作人员为您服务 使用时勿擅自更换零部件，任何技术支持都必须由本公司授权的专业技术人员来为您服 务。
c）使用危险气体时请特别注意 如果使用危险气体，请做好预防措施，条件允许请完全吹洗仪器。如果危险气体潮湿， 须确保潮湿的危险气体不会和仪器以及密封材料产生化学反应。 d）吹洗仪器时特别注意 在从气路上拆卸仪器之前和安装仪器后都要对整个系统进行吹洗，用干燥气体吹洗通道 内剩余气体的残渣。 e）请遵照合适的步骤吹洗 产品必须在通风保护罩下进行吹洗，并且操作人员必须带上手套进行保护。 f）请勿在爆炸性环境下使用本产品 为了避免产生爆炸，不要在爆炸性环境下使用本产品，除非本产品获得有效认证 。 g）请使用合适的接头并按照相关的紧固规程来操作 所有仪器的接头都必须和产品说明书上的型号相符，且与仪器所使用的接头相一致且与 仪器所使用的接头相配套。拧紧接头的时候请按照产品操作指导说明书来操作。 h）请检查产品接头处是否漏气 请仔细的检查所有的零部件接口以确保在安装过后没有漏气。
流量计使用说明
流量计使用说明
一、表头实现功能：
1．带温度/压力传感器接口。温度可配接Pt100或Pt1000，压力可接表压或绝压传感器；
2．输出信号多样化，可根据客户要求选择两线制4-20mA输出、三线制脉冲输出、当量输出和485通讯；
3．具有卓越的非线性修正功能，大大提高仪表的线性；
4．具有软件频谱分析功能，提高了仪表抗干扰和抗震的能力；
6．超低功耗，一节干电池全性能工作可维持至少3年；
7．工作模式可自动切换，电池供电、两线制、三线制；
8．自检功能，有丰富的自检信息；方便用户检修和调试。
9．具有独立密码设置，参数、总量清零和校准可设置不同级别的密码，方便用户管理；
二、流量使用及设置
2.1 工作状态
仪表上电时，将进行自检，如果自检异常，将显示自检错误界面（自检界面说明参照自检菜单），大约1～2秒后跳转到主界面。否则将直接跳
转到主界面。主界面启动后如下图所示：
主界面
1 “OK”：仪表运行状态实时显示，如果正常显示“OK”，故障显示“ERR”；
2 “OV”：仪表运行参数溢出，如果仪表运行参数溢出显示“OV”，如果正常将
显示为空(溢出包括不能为负的参数为负，不能为零的为零，数据超出表
示范围)；
3 “mA”：仪表电流输出溢出标志，如果电流溢出显示“mA”，如果正常显示为空；
4 “Ⅱ”和“Ⅲ”：运行供电模式显示，如果为电池模式时显示当前电池电量，为二线制电流输出接线时显示数符“Ⅱ”，如果为三线制时显示数符“Ⅲ”；
5 “IR”：遥控按键提示，出现此标志提示可用遥控按键；
6 “”：无线通讯，提示通讯信号强度；
流量计器器操作说明书
流量计器器操作说明书
流量计操作说明书
1. 引言
流量计器是一种用于测量液体或气体流量的仪器，广泛应用于工业、农业、医疗和科学领域。本操作说明书旨在向用户提供流量计器的正
确使用方法和注意事项，以确保准确测量和安全操作。
2. 产品概述
流量计器由以下主要组成部分构成：
- 测量装置：用于测量液体或气体的具体流量。
- 显示器：用于显示流量计读数和其他相关信息。
- 控制按钮：用于设置参数和校准流量计。
- 连接口：用于连接进口和出口管道。
3. 安装准备
在安装流量计器之前，请确保以下准备工作已完成：
- 选择适当的位置：确保流量计器安装在垂直位置，且远离振动和
高温环境。
- 连接管道：根据管道规格选择合适的连接件，并确保连接牢固无
泄漏。
- 电源供应：连接电源适配器并确保电源稳定。
4. 基本操作步骤
按照以下步骤正确操作流量计器：
步骤1：启动流量计器
按下电源按钮，待显示屏亮起后，流量计器即启动完成。
步骤2：设置参数
使用控制按钮进入参数设置菜单，根据流体类型和流量范围进行合
适的设置。
步骤3：校准流量计
使用流量标准参考物，按照流量计器说明书中的说明进行校准操作。
步骤4：测量流量
将待测液体或气体通过流量计器的进口管道，待流量计器稳定显示后，即可读取测量结果。
5. 使用注意事项
- 避免剧烈震动：流量计器在使用过程中应避免受到剧烈震动，以
免影响测量精度。
- 防止堵塞：定期检查进口和出口管道，避免发生堵塞情况，保证
流体畅通。
- 定期校准：流量计器的准确性会随时间变化而降低，建议定期进
行校准操作，以确保准确测量。
- 防水防尘：流量计器应远离水源和灰尘，以免影响仪器正常工作。
七星电子流量计D07-9E-9EM使用手册
D07 - 9E 型质量流量控制器D07- 9EM型质量流量计
使用手册
版本2013. 6
目录
1. 使用须知................................... 1 6.2.1 开机预热.. (18)
2. 用途和特点................................ 2 6.2.2 检查和调整零点. (18)
3. 主要技术指标............................. 3 6.2.3 通气工作. (18)
4. 结构和工作原理.......................... 5 6.2.4 关机. (18)
4.1 结构....................................... 5 7. 注意事项.. (18)
4.2 工作原理................................. 6 7.1 禁用流量介质 (18)
5. 安装和接线.............................8 7.2 使用腐蚀性气体问题 (18)
5.1 外形及安装尺寸........................8 7.3 阀口密封问题 (19)
5.2 气路接头形式...........................9 7.4 阀控操作注意 (19)
5.3 连接电缆插头...........................11 7.5 安装位置问题 (19)
5.4 与计算机信号的连接..................13 7.6 注意工作压差 (19)
北京七星华创电子
4、质量流量控制器直接与计算机连接的接线方 法。
如果是MFC/MFM直接与计算机连接，需要用户自己 如果是MFC/MFM直接与计算机连接，需要用户自己 提供±15V电源（要求电源抗干扰能力要强）；将 提供±15V电源（要求电源抗干扰能力要强）；将 “设定”线接计算机D/A输出；将“流量检测”线 设定”线接计算机D/A输出；将“流量检测” 接计算机A/D输入端；“信号地” 接计算机A/D输入端；“信号地”线接外部信号参 考地；小电流地线“公共地”和大电流地线“ 考地；小电流地线“公共地”和大电流地线“电源 地”，分别引线，一起接在±15V电源的公共端。 ，分别引线，一起接在±15V电源的公共端。 5、调零 首次使用或工作一段时间后，若发现零点偏移, 首次使用或工作一段时间后，若发现零点偏移, 可以 调整。能通过外罩上进气口侧面的调零孔调整, 调整。能通过外罩上进气口侧面的调零孔调整,也可 揭开外罩调整。注意：调零时流量管路不能通气 （或将阀门关闭）；必须在开机预热15分钟以上， （或将阀门关闭）；必须在开机预热15分钟以上， 待流量计零点稳定以后进行。通常除调零电位器外， 其它电位器不得轻易调整。
转换系数使用说明 质量流量控制器、质量流量计出厂时一般用N2标定， 质量流量控制器、质量流量计出厂时一般用N2标定， 实际使用中如果是其它气体，必要时可进行读数修正， 方法是以流量显示仪显示的流量乘以流量转换系数。 如是单组份气体，其转换系数可在我厂产品技术说明 书中查得，也可以根据下面的基本公式计算；如是多 组份气体（假定由n 组份气体（假定由n种气体组成），请按下列混合气 体公式计算其转换系数C 体公式计算其转换系数C： 基本公式： C=0.3106 N /ρ(Cp) 其中： ρ——为气体在标准状态下的密度 ——为气体在标准状态下的密度 CP——为气体的定压比热 CP——为气体的定压比热 N ——为气体分子构成系数（与该气体分子构成的组 ——为气体分子构成系数（与该气体分子构成的组 份有关, 份有关, 见说明书）
天瑞仪器D07-11CM 型质量流量计使用手册说明书
D07 -11C 型质量流量控制器
D07 -11CM 型质量流量计使 用 手 册
版本2015 . 12
目录
1. 使用须知.................................1 6.2.1 开机预热 . (16)
2. 用途和特点..............................1 6.2.2 检查和调整零点 (16)
3. 主要技术指标...........................3 6.2.3 通气工作 (16)
4. 结构和工作原理........................4 6.2.4 关机 (16)
4.1 结构.......................................47. 注意事项 (16)
4.2 工作原理.................................57.1 禁用流量介质 (16)
5. 安装和接线 ...........................77.2 使用腐蚀性气体问题 (17)
5.1 外形及安装尺寸........................77.3 阀口密封问题 (17)
5.2 气路接头形式...........................87.4 阀控操作注意 (17)
5.3 连接电缆插头...........................97.5 安装位置问题 (17)
5.4 与计算机信号的连接..................127.6 注意工作压差 (17)
5.5 调零和外调零...........................137.7 标定和不同气体的换算 (18)
D07-9E型质量流量控制器和质量流量计使用手册说明书
D07 - 9E 型质量流量控制器
D07- 9EM型质量流量计
使 用 手 册
版本2015. 12
目录
1. 使用须知................................... 1 6.2.1 开机预热.. (18)
2. 用途和特点................................ 2 6.2.2 检查和调整零点. (18)
3. 主要技术指标............................. 3 6.2.3 通气工作. (18)
4. 结构和工作原理.......................... 5 6.2.4 关机. (18)
4.1 结构....................................... 5 7. 注意事项.. (18)
4.2 工作原理................................. 6 7.1 禁用流量介质 (18)
5. 安装和接线 .............................8 7.2 使用腐蚀性气体问题 (18)
5.1 外形及安装尺寸........................8 7.3 阀口密封问题 (19)
5.2 气路接头形式...........................9 7.4 阀控操作注意 (19)
5.3 连接电缆插头...........................11 7.5 安装位置问题 (19)
5.4 与计算机信号的连接..................13 7.6 注意工作压差 (19)
七星电子流量计_D07-7B_7BM使用手册
D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图 1 所示)。
6.2.1 开机预热 …………………..…… 15 6.2.2 检查和调整零点 ………………… 15 6.2.3 通气工作 ………………………… 15 6.2.4 关机 ……………………………… 15 7. 注意事项 …………………………… 15 7.1 禁用流量介质 ……………………… 15 7.2 使用腐蚀性气体问题 ……………… 15 7.3 阀口密封问题 ……………………… 16 7.4 阀控操作注意 ……………………… 16 7.5 安装位置问题 ……………………… 16 7.6 注意工作压差 ……………………… 16 7.7 标定和不同气体的换算 …………… 17 7.8 D07-7B,7BM 标准订单填写格式…… 18 8. 故障判断和处理 …………………… 21 9. 保证、保修与服务…………………… 23 9.1 产品保证和保修..…………………… 23 9.2 保修对使用的要求..………………… 23 9.3 服务..………………………………… 23 10. 附录 ………………………………… 24 10.1 气体质量流量转换系数 …………… 24 10.2 转换系数使用说明 ………………… 26
七星华创-质量流量计-D07-11C
D07 Series Mass Flow Controller
外形和安装尺寸
外形和安装尺寸
北京七星华创电子股份有限公司质量流量计分公司
E-Mail:mfc@ 电话：（+8610）64362939 传真：（+8610）64362923 地址：北京市朝阳区酒仙桥东路1号信箱：北京741信箱3分箱邮编：100016
气体质量流量控制器-D07 - 26E型 使用手册说明书
D07 – 26E 型质量流量控制器
使 用 手 册
版本2 0 16 . 01
目录
1. 用途和特点..............................1 6. 注意事项 (11)
2. 主要技术指标...........................2 6.1 禁用流量介质 (11)
3. 结构和工作原理........................3 6.2 使用腐蚀性气体问题 (11)
3.1 结构.......................................3 6.3 阀口密封问题 (11)
3.2 工作原理.................................3 6.4 阀控操作注意 (12)
4. 安装和接线 ...........................5 6.5 安装位置问题 (12)
4.1 外形及安装尺寸........................5 6.6 注意工作压差 (12)
4.2 连接电缆插头...........................6 6.7 标定和不同气体的换算 (12)
4.3 与计算机信号的连接..................7 6.8标准订单的填写格式 (13)
4.4 调零和外调零...........................87. 故障判断和处理 (15)
5. 使用方法和操作步骤..................98. 保证、保修与服务 (17)
5.1 开机操作.................................98.1 产品保证和保修.. (17)
微反应器内入口结构对Taylor气泡形成过程的影响
微反应器内入口结构对Taylor气泡形成过程的影响
党敏辉;任明月;陈光文
【摘要】采用计算流体力学方法，考察了微通道入口结构、气液比及两相混合速
度对Taylor气泡形成过程的影响，模拟结果与可视化实验符合良好。与单纯流体
体积法相比，水平集法（level set）和流体体积法（volume of fluid）相耦合的
方法（coupled level set and volume of fluid method，CLSVOF）可获得更精确的气液界面，且CLSVOF法结果与实验结果更符合。数值模拟结果发现，通道
入口结构及气液比对气泡长度、气泡生成频率及气泡体积有很大影响。气液比恒定，不同通道入口结构，两相混合速度对气泡长度有不同影响。%The effects of microchannel inlet configuration, gas-liquid flow ratio and two-phase mixture velocity on Taylor bubble formation were investigated via computational fluid dynamics (CFD) method, and the simulated values were in good agreement with the visualization experimental results. Compared with the volume of fluid method (VOF),the coupled level set
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D07 - 7B 型质量流量控制器
D07-7BM 型质量流量计使用手册
版本2013.6
目录
1. 使用须知................................... 1 6.2.1 开机预热.. (15)
2. 用途和特点.............................. 1 6.2.2 检查和调整零点 (15)
3. 主要技术指标........................... 3 6.2.3 通气工作 (15)
4. 结构和工作原理........................ 4 6.2.4 关机 (15)
4.1 结构....................................... 4 7. 注意事项 (15)
4.2 工作原理................................. 5 7.1 禁用流量介质 (15)
5. 安装和接线...........................7 7.2 使用腐蚀性气体问题 (15)
5.1 外形及安装尺寸........................7 7.3 阀口密封问题 (16)
5.2 气路接头形式...........................8 7.4 阀控操作注意 (16)
5.3 连接电缆插头...........................9 7.5 安装位置问题 (16)
5.4 与计算机或外部信号的连接.........11 7.6 注意工作压差 (16)
5.5调零和外调零...........................12 7.7 标定和不同气体的换算 (17)
6. 使用方法和操作步骤..................13 7.8 D07-7B,7BM标准订单填写格式 (18)
6.1 质量流量控制器的操作...............13 8. 故障判断和处理 (21)
6.1.1 开机操作..............................13 9. 保证、保修与服务 (23)
6.1.2 清洗功能..............................14 9.1 产品保证和保修.. (23)
6.1.3 显示仪与计算机连接的操作......14 9.2 保修对使用的要求.. (23)
6.1.4 直接与计算机连接的操作.........14 9.3 服务.. (23)
6.1.5 阀控功能..............................15 10. 附录 (24)
6.1.6 关机操作..............................15 10.1气体质量流量转换系数 (24)
6.2 质量流量计的操作...................15 10.2转换系数使用说明 (26)
MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER
质量流量控制器和质量流量计
使用手册
1.使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的D07系列质量流量控制器/质量流量计产品。本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标
志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。
本手册对您安装、维护及故障维修时，必不可少，请妥善留存保管。
2.用途和特点
质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图1所示)。
图1.质量流量控制器与流量显示仪配套使用
3.主要技术指标
注意:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分) 标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压— 101325 Pa (760mm Hg)
F.S. (Full Scale): 满量程值
表2. D07-7BM 型MFM性能指标
各型号产品的主要技术指标见表1和表2。其中7BM型是7B型的流量测量部分，流量计量部分的技术指标相同。
4.结构和工作原理
4.1结构
质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。7B型质量流量控制器, 打开外罩后的结构如图2所示。
图2. 7B 型质量流量控制器结构图
7BM 型流量计与7B 型控制器相比，在结构上的不同点，就是少了电磁调节阀，其它部分基本相同。
4.2工作原理
流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的D08系列流量显示仪上设置有稳压电源, 3位半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。本控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图3
所示。
电路印制板 D 型插座
传感器
调零电位器
支架 进气接头 出气接头 电磁调节阀
锁紧螺母
流量通道