ZYGO干涉仪说明书
乾曜激光干涉仪系列介绍
乾曜激光干涉仪系列介绍
目录
一、产品系列简介
二、平面干涉仪
三、球面干涉仪
四、干涉仪附件
五、技术支持
一、产品系列简介
1、产品特性与优势
乾曜光学科技有限公司（简称乾曜光学）开发的平面、球面激光干涉仪面向光学加工行业的客户，适用于加工车间现场检验。产品核心竞争力强，测试精确、操作方便、外观现代、附件齐全，且可依据客户需要进行产品定制。
乾曜秉承“超越精密，源自理想”的信念，以客户需求以本。以下两点，是乾曜光学的准则：
第一，保证核心品质，力求精确。
干涉仪是光学加工水平的裁决者，应当具备很高的测试精度。乾曜研发团队在设计、加工、装配等各个环节精益求精，规避各种可能带来测试误差的因素。核心光学元件的性能均经过ZYGO干涉仪及其他进口仪器的测试，仪器最终性能也经过与ZYGO干涉仪的比对测试，力求精确与稳定。
第二，方便客户。
仪器在设计的每一个细节都充分考虑客户的使用习惯与需求，使客户能够方便快捷的完成测量，并进行准确判读。
2、产品系列
乾曜光学开发的车间用激光干涉仪（及附件），可分为以下三个系列：
2.1、平面干涉仪
平面干涉仪标准测试口径有Φ100mm、Φ150mm、Φ200mm三种规格，为利于防震，采用立式结构。仪器结构可依据客户需要改为卧式，其他更大口径的干涉仪也可依据客户需要定制。
2.2、球面干涉仪
球面干涉仪标准口径为Φ60mm，立式结构。标配球面镜头为F0.75，并可选配F1.0、F1.5、F2.0、F3.3、F5.0的球面镜头。可依据客户需求定制其他F数的球面镜头。
2.3、干涉仪配件
乾曜光学提供各种规格的高精度平面标准镜、球面镜头，可与ZYGO、富士能、奥林巴斯等厂家的干涉仪标准光学件兼容。
ZYGO干涉仪说明书
D
Fra Baidu bibliotek
d
f
A
R
1
ZYGO儀器名稱說明
凹透鏡
控制器控制桿說明
上方(放 大) ( ZOOM )
中央(焦 點) ( FOCUS )
下方(設 定) (QUICK FAS)
一倍 1X
近 Near
設定 Align
系統焦點
六倍 6X
遠 Far
顯像 View
凸透鏡 鏡片承座
左右旋鈕(水平) 前後旋鈕(垂直)
顯像器 前後旋鈕 (垂直)
ZYGO 鏡頭選用及光圈判讀
1.F=f/D F: F/#=0.75, 1.5, 3.3, 7.2
f: 焦距 (focal length)
D: 鏡頭有效徑 (4”~100mm)
2.ZYGO 鏡頭上有2組數字:
例 F 1.5 D=4”
待測面曲率半徑
f R
=
D d
R,依d =相似RfD三=角形RF原理,可得
高度微調 控制旋鈕
左右旋鈕 (水平) 標準鏡頭
zygo
THRU
USE
A
2
範例說明
☺ 鏡片CA為∮50，曲率-100，應用何種鏡頭?
∵ 為了檢驗∮50的範圍，光線通過待測面 直徑應≧50
R ＝ d ≧ 50
F
100 F
ZYGO干涉仪说明书 ppt课件
1.F=f/D F: F/#=0.75, 1.5, 3.3, 7.2
f: focal length)
D: 鏡頭有效徑 (4”~100mm)
2.ZYGO 鏡頭上有2組數字:
例 F 1.5 D=4”
待測面曲率半徑
f R
=
D d
R,依d 相=似RfD三=角形RF原理,可得
Байду номын сангаас
D f
d R
ZYGO干涉仪说明书
凹透鏡
控制器控制桿說明
上方(放 大) ( ZOOM )
中央(焦 點) ( FOCUS )
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左右旋鈕(水平) 前後旋鈕(垂直)
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高度微調 控制旋鈕
左右旋鈕 (水平) 標準鏡頭
ZYGO干涉仪使用说明书
1目的
为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围
本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据
在检验过程中将会生成以下记录：
3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义
4.1 应用（application）
应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。不同的应用用于不同项目的测量。比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）
又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像
从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台
可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式
按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。一般在align界面对准后在view 界面观察条纹。
zygo干涉仪gpi-p-d使用说明
ZYGO干涉仪使用说明
目的
制定本文件是为了详细说明如何使用ZYGO干涉仪测量平面、球面、柱面晶体元件的曲率半径、面形（平行度、平面度）、以及透过波前畸变，并提高检验过程的准确性和可重复性。
范围
本文件涉及用ZYGO干涉仪检测平面、球面、柱面元件的一般方法。
记录
在检验过程中将会生成以下记录：
干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
相关文件
与本文件相关的文件有：
•待测零件图纸
定义
应用（application）
应用是ZYGO干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。不同的应用用于不同项目的测量。比较常用的是用于一般的平面和球面的测量，用于柱面面形的测量，用于平行角度的测试。
猫眼像（cateye）
又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
镜片像
从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
升降台
可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
Align/View 模式
按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一。align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。View模式是按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
ZYGO干涉仪使用说明
1目的
为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围
本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据
在检验过程中将会生成以下记录：
3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SA VE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SA VE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义
4.1 应用（application）
应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。不同的应用用于不同项目的测量。比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）
又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像
从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台
可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式
按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
zygo干涉仪工作原理
zygo干涉仪工作原理介绍如下：
Zygo干涉仪（Zygo Interferometer）是一种高精度光学测试仪器，用于测量物体表面形状和平整度等参数。它主要基于干涉原理，通过将光束分成两部分，再将其重新合并，来检测光束通过物体后发生的光程差，从而得到物体表面的高度差异信息。
下面是Zygo干涉仪的基本工作原理：
1.首先，干涉仪将一束激光光束分成两束，一束经过反射镜后被反射回来，另一束经
过被测试物体的表面后被反射回来。这两束光线再次交汇，形成干涉。
2.在干涉的区域中，光束的光程差取决于被测试物体的表面高度差异。如果被测试物
体的表面是平整的，两束光线会完全重合，形成明亮的干涉条纹；如果被测试物体
的表面存在高度差异，则两束光线的相位差会引起干涉条纹的相移，形成暗纹和亮
纹交替的条纹。
3.Zygo干涉仪使用一台高精度的控制器来计算这些条纹的位置和数量，并从中推断出
被测试物体表面的高度差异。
4.为了提高测量的精度和减少干涉条纹的噪声，Zygo干涉仪通常使用一些附加的技术，
如使用一个可调谐的激光源来保持干涉条纹的稳定性，以及使用相干的光源来减少
光源的噪声和干涉条纹的抖动等。
总的来说，Zygo干涉仪利用光的干涉原理来检测被测试物体表面的高度差异，具有高精度、高灵敏度和高可靠性等特点，广泛应用于光学制造、半导体制造、航空航天等领域的表面形状和平整度的测量和检测。
ZYGO干涉仪使用指导书
ZYGO干涉仪使用指导书
ZYGO干涉仪使用指导书
本文档旨在为用户提供关于ZYGO干涉仪的详细使用指导。请按照以下章节逐步操作，以确保正确使用干涉仪并获取准确的测量结果。
1：干涉仪简介
1.1 仪器概述
1.2 技术原理
2：仪器安装与连接
2.1 安装步骤
2.2 供电与连接
3：仪器参数设置
3.1 参数调节与选择
3.2 光路对齐
3.3 系统校准
4：测量准备
4.1 样品准备
4.2 测量环境设置
5：测量操作
5.1 测量步骤
5.2 数据记录与分析
6：维护与保养
6.1 日常维护
6.2 故障排除
7：附件使用及注意事项
7.1 附件清单
7.2 使用方法
7.3 注意事项
8：法律名词及注释
8.1 法律名词解释
本文档涉及附件：
附件一、ZYGO干涉仪操作示例视频附件二、ZYGO干涉仪参考手册
注释：
1：干涉仪：一种用来测量光程差的仪器，利用光干涉的原理
实现测量。
2：技术原理：指干涉仪工作的基本原理，主要包括光干涉理
论和干涉信号处理技术。
3：参数调节与选择：指根据具体测量要求，对干涉仪参数进
行调节和选择。
4：光路对齐：指调整光路以保证光的传输和干涉的有效进行。
5：系统校准：指对干涉仪进行系统性静态和动态校准，以提
高测量精度和可靠性。
6：数据记录与分析：指记录测量数据并进行数据处理和分析，如计算干涉图中的相位信息等。
7：日常维护：指干涉仪的日常保养和常见故障的处理。
8：附件清单：列出本文档所提及的附件名称和数量。
zygo干涉仪
zygo干涉仪
1. 引言
干涉测量是一种非常重要的光学测量技术，广泛应用于工业制造、材料检测、精密测量等领域。zygo干涉仪是一种高精度的干涉仪器，具有可靠性高、测量精度高、操作简便等特点，在物体形貌测量、光学元件表面质量检测等方面有着广泛的应用。
2. zygo干涉仪的原理
zygo干涉仪基于激光干涉原理，利用干涉比较测量的方法来获取待测物体的表面形状、表面质量等参数。主要包括两个核心部分：激光干涉仪和信号处理系统。
2.1 激光干涉仪
激光干涉仪是zygo干涉仪的核心部分，它主要由激光器、分束器、反射镜、衍射光栅、像差补偿系统等组成。
•激光器：激光器产生单色、相干性好的激光光源，通常采用氦氖激光器。
•分束器：将来自激光器的光束分成两束，一束作为参考光束，另一束照射到待测物体上。
•反射镜：将待测物体反射回激光干涉仪，与参考光束进行干涉。
•衍射光栅：衍射光栅用于分离干涉光，提供测量干涉光波面的行程差信息。
•像差补偿系统：可根据待测物体表面形状的不同，调整光路，消除干涉图像中的像差。
2.2 信号处理系统
zygo干涉仪的信号处理系统主要是将测得的干涉图像转化成数字信号，并通过数学算法对图像进行处理，最终得到待测物体表面形貌、表面质量等参数。
信号处理系统通常包括光电转换模块、数据采集卡、计算机等。光电转换模块将干涉图像转换成电信号，数据采集卡将电信号转换成数字信号，计算机对数字信号进行处理和分析。
3. zygo干涉仪的应用
zygo干涉仪具有测量精度高、表面形貌检测范围广、使用灵活等特点，因此在多个领域有广泛的应用。
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为什么升级干涉仪?
升级干涉仪,您可以获得更大光圈覆盖,全口径检测能力,用德国XONOX最新设计的4英寸接口标准镜,您可以获得比以往更大的口径覆盖能力;
升级干涉仪,您可以获得高精密曲率半径测量功能,升级干涉仪为德国XONOXVT1000DL工作站您即可拥有这项特权; 升级干涉仪,您可以获得更高的干涉仪使用效率,升级干涉仪为德国XONOXVT1200工作站您可以大大减小预调时间，以往检测一个零件的时间，现在可以全检100个镜片啦！
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瀚考克光电科技有限公司
最新ZYGO干涉仪-使用说明
1
1目的
2
为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。本文详细说明了如何使用ZYGO 干3
涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
4
2范围
5
本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
6
3 录取数据
7
在检验过程中将会生成以下记录：
8
3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
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3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
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4 Zygo干涉仪的定义
4.1 应用（application）
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应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
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不同的应用用于不同项目的测量。比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的
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测试。
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4.2 猫眼像（cateye）
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又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是18
透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
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4.3 镜片像
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从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干21
涉产生的干涉图形。包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息22
来源。
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4.4 升降台
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可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式
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按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。align模式可以看到一个27
黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较28
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左右旋鈕 (水平) 標準鏡頭
範例說明
☺ 鏡片CA為∮50，曲率-100，應用何種鏡頭?
∵ 為了檢驗∮50的範圍，光線通過待測面 直徑應≧50
R ＝ d ≧ 50
F
100 F
≧ 50
∴ 該選F=0.75或F=1.5之鏡頭
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ZYGO 鏡頭選用及光圈判讀
1.F=f/D F: F/#=0.75, 1.5, 3.3, 7.2
f: focal length)
D: 鏡頭有效徑 (4”~100mm)
2.ZYGO 鏡頭上有2組數字:
例 F 1.5 D=4”
待測面曲率半徑
f R
=
D d
R,依d 相=似RfD三=角形RF原理,可得
D
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1目的
为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2围
本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据
在检验过程中将会生成以下记录：
3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义
4.1 应用（application）
应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。不同的应用用于不同项目的测量。比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）
又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像
从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台
可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式
按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。一般在align界面对准后在view
乾曜激光干涉仪系列介绍
乾曜激光干涉仪系列介绍
目录
一、产品系列简介
二、平面干涉仪
三、球面干涉仪
四、干涉仪附件
五、技术支持
一、产品系列简介
1、产品特性与优势
乾曜光学科技有限公司（简称乾曜光学）开发的平面、球面激光干涉仪面向光学加工行业的客户，适用于加工车间现场检验。产品核心竞争力强，测试精确、操作方便、外观现代、附件齐全，且可依据客户需要进行产品定制。
乾曜秉承“超越精密，源自理想”的信念，以客户需求以本。以下两点，是乾曜光学的准则：
第一，保证核心品质，力求精确。
干涉仪是光学加工水平的裁决者，应当具备很高的测试精度。乾曜研发团队在设计、加工、装配等各个环节精益求精，规避各种可能带来测试误差的因素。核心光学元件的性能均经过ZYGO干涉仪及其他进口仪器的测试，仪器最终性能也经过与ZYGO干涉仪的比对测试，力求精确与稳定。
第二，方便客户。
仪器在设计的每一个细节都充分考虑客户的使用习惯与需求，使客户能够方便快捷的完成测量，并进行准确判读。
2、产品系列
乾曜光学开发的车间用激光干涉仪（及附件），可分为以下三个系列：
2.1、平面干涉仪
平面干涉仪标准测试口径有Φ100mm、Φ150mm、Φ200mm三种规格，为利于防震，采用立式结构。仪器结构可依据客户需要改为卧式，其他更大口径的干涉仪也可依据客户需要定制。
2.2、球面干涉仪
球面干涉仪标准口径为Φ60mm，立式结构。标配球面镜头为F0.75，并可选配F1.0、F1.5、F2.0、F3.3、F5.0的球面镜头。可依据客户需求定制其他F数的球面镜头。
2.3、干涉仪配件
乾曜光学提供各种规格的高精度平面标准镜、球面镜头，可与ZYGO、富士能、奥林巴斯等厂家的干涉仪标准光学件兼容。
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凹透鏡
控制器控制桿說明
上方(放 大) ( ZOOM )
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六倍 6X
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凸透鏡 鏡片承座
左右旋鈕(水平) 前後旋鈕(垂直)
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ZYGO 鏡頭選用及光圈判讀
1.F=f/D F: F/#=0.75, 1.5, 3.3, 7.2
f: 焦距 (focal length)
D: 鏡頭有效徑 (4”~100mm)
2.ZYGO 鏡頭上有2組數字:
例 F 1.5 D=4”
待測面曲率半徑
f R
=
D d
R,依d 相=似RfD三=角形RF原理,可得
zygo
-
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USE
高度微ห้องสมุดไป่ตู้ 控制旋鈕
左右旋鈕 (水平) 標準鏡頭
範例說明
☺ 鏡片CA為∮50，曲率-100，應用何種鏡頭?
∵ 為了檢驗∮50的範圍，光線通過待測面 直徑應≧50
R ＝ d ≧ 50 100
F
F
≧ 50
∴ 該選F=0.75或F=1.5之鏡頭
-
ZYGO干涉仪2
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上方(放 大) ( ZOOM )
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下方(設 定) (QUICK FAS)
一倍 1X
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六倍 6X
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ZYGO 鏡頭選用及光圈判讀
1.F=f/D F: F/#=0.75, 1.5, 3.3, 7.2
f: 焦距 (focal length)
D: 鏡頭有效徑 (4”~100mm)
2.ZYGO 鏡頭上有2組數字:
例 F 1.5 D=4”
待測面曲率半徑
f R
=
D d
R,依d 相=似RfD三=角形RF原理,可得
zygo
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範例說明
☺ 鏡片CA為∮50，曲率-100，應用何種鏡頭?
∵ 為了檢驗∮50的範圍，光線通過待測面 直徑應≧50
R ＝ d ≧ 50 100
F
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≧ 50
∴ 該選F=0.75或F=1.5之鏡頭