微型光波导陀螺中无源环形谐振器研究
集成光学陀螺中谐振腔谱宽的研究
,
1 Ad a cd P o o is ne , o te s Unv ri . v n e h tn c tr S u h a t ie s y,Na jn 1 0 6 h n Ce t n ig 2 0 9 ,C ia;
标, 更是陀螺灵敏度的重要决定因素之一. 根据多光束干 涉与耦合 模理 论 , 比研究 了集成光 学陀螺 中波导 环形 腔 内光 传输 对 损耗与腔 长无关 、 相关两种情形 下 , 腔长对谱宽 的影响 , 分析得出 了在单位长度 波导传输损耗确 定后 , 在使谐振腔具有 最窄 存 谱宽的最佳腔 长. 这一结果 , 为较高传输损耗波导组成 的集成光学陀螺结构设计 与灵敏度优化 , 具有一定的启发作用.
增加 并非 总是 有利 于压缩 谱宽 . 时 , 长选择适 当 此 腔 与否 , 最终 将通 过谱 宽 , 响陀 螺灵 敏度 ; 影 同时 , 为满
P R) R 是采用 谐振 式结构 的集 成 光学 陀 螺 (nert Itga— e piGyo I G) dO t r , O 中核心 敏感 器件 ,RR光 强传 c P 递 函数 的谱 宽 对 陀 螺 灵 敏 度 有 决 定 性 的 影 响E2. 1 - ] Z ag Urhr 和 Ohsk h n 、 g at tu a等 人口 分 别 用 等 效 模 ] 型 、 换矩 阵和耦 合模 理论 等方 法 , 影响谱 宽 的 因 变 对 素进 行研究 . 些研 究 主 要关 注 于 腔 内损耗 构 成 对 这 谱宽 的影 响 , 对 腔长 作 用 的分 析 较 少 涉及 . n 但 Yag
a d t t ll s f PRR ,i b a n d b s d o h h o y o li e m n e f r n e a d c u l g mo e . n o a o s o s o t i e a e n t e t e r f mu t b a i t r e e c n o p i d s — n Th n t e e f c frn e g h o h p c r lL n wi t s a a y e y t if r n e h d . F n l e h fe t i g l n t n t eS e t a — i e d h wa n l z d b wo d fe e t o m t o s i al y, t e r s l t a h r sao tmu l n t f h e u t h tt e e i p i m g h o e PRR e o a o sc a g n t h i g l n t sd a . wh n t t l s h n i g wi t e rn e g h wa r wn l h Ke r s i t g a e p i s p s i e r n e o a o ; p c r ll e d h o t y wo d :n e r t d o t ; a sv i g r s n t r s e t a —i wi t  ̄ p i m e g h c n mu ln t
小型环形谐振腔的微波光子基于光子晶体波导滤波器
小型环形谐振腔的微波光子基于光子晶体波导滤波器状态信息光子学与光通信重点实验室,我们设计了两个微波光子滤波器(陷波滤波器和带通滤波器)的基础上的绝缘体上硅(SOI)的光子晶体波导的60 GHz的单边带信号在光纤无线电(ROF)系统。
通过影响相邻的光子晶体波导孔前两排的半径,我们得到的一个广泛的可忽略色散带宽和相应的恒定的低群速度。
与缓慢的光的作用,延迟线滤波器可以同时提供相同的延迟时间显著减少光纤延迟线。
仿真结果表明,该陷波滤波器的延迟线的长度是只25.9μM,和它有一个自由光谱范围130 GHz,基带的宽度(BW)的4.12 GHz,22分贝的缺口深度。
带通滤波器的长度是62.4μ米,具有19.6 dB的消光比4.02 GHz的带宽,并可以为减少9分贝的接收数据的信噪比的要求10−7比特差错率。
证明微波光子晶体滤波器可以用在未来的高频毫米波ROF 系统。
1.简介近年来,出现了快速的改善60 GHz的毫米波在光纤无线电(ROF)因为它可以在一个未使用的频谱,操作系统。
的ROF系统的优点在于它的中央管理的建筑,这意味着复杂的电子信号处理可以集中在中央办公室。
由于这个原因ROF系统可以减少网络数元素,因此网络的成本和功耗可以减少。
虽然标准达到(∼20公里)ROF接入网得到了更多的关注,有小的注意力都集中在朗里奇(大于100公里)的ROF系统。
一个可能的原因是长距离光纤可以导致严重的色散。
它增加了不同延迟的的边带和载波。
例如,传统双边带(DSB)调制可能导致重复的长度取决于功率波动问题,这光载波抑制(OCS)调制通常是用来解决。
不过,OCS也可以导致严重的时移由两个由于色散数据音调。
它导致不可接受的误差率在传输。
单边带(SSB)ROF系统还可以减少功率衰落的影响和时移,但需要严格的光学单边带陷波滤波分离载体和侧音。
微波光子晶体滤波器(MPF)为基础的在环形谐振器的简单和可调性和显示出良好的应用潜力在有前途的ROF系统[ 8 ]。
光学微环谐振腔的研究与应用
光学微环谐振腔的研究与应用摘要:随着光纤通信技术的发展,光通信网络需要不断地提高工作性能和降低运营成本,其核心技术在于光波导器件的微型化、集成化和规模化,与此同时未来全光网络迫切需要能够实现多种功能的新型光波导器件。
微环谐振器(简称微环)满足了上述两个要求,其微纳米量级的尺寸非常适于大规模单片紧密集成。
本文首先说明了光的全反射理论和波导的基本结构。
然后介绍了光学微环谐振腔器件原理和他们的光学传输特性。
基于绝缘体上硅波导(Silicon-On-Insulator SOI)的微纳米环形谐振腔,由于其尺度为微纳米范围,具有超高的集成度并且其加工技术可以和互补型金属氧化物半导体(Complementary metal–oxide–semiconductor COMS)工艺相兼容,使其正在成为光器件加工的诱人方案。
我们在这里提出一种耦合的集成光波导结构,这样的结构可以使集成化的光波导陀螺的灵敏度得到加强。
关键词: 微谐振腔, 光波导,SOI,陀螺RESEARCH&APPLICATIONS OF OPTICAL MICRORINGRESONATORSAbstractWith the development of fiber-optic communication technologies, high-performance and low-cost are both desirable for optical communication networks.The core technology includes small-size optical waveguide devices with the potentials for integrations.In addition, optical waveguide devices with various functions for all optical signal processing are becoming more important for the realization of future all-optical networks.The microring resonator is a suitable candidate to meet these two requirements.Moreover, its small size is very suitable for integration with large dimension.In this thesis, we first introduce the light of total internal reflection (TIR) theory and the basic structure of waveguide. Then we introduce the principle of mcroringresonator, analysis their transmission property. Micro-ring resonators based on silicon- on-insulator (SOI) structure are promising building-blocks for ultra-compact and highly integrated photonic circuits. The fabrication technology is mostly CMOS-compatible.We propose a configuration of integrated waveguide structure consisting of resonators coupled to an arc-shape waveguide. Such proposed configuration can be used to realize highly compact optical gyroscope for rotation sensing.Key words: microresonators ,waveguide ,SOI ,Gyroscope1. 引言光通信,顾名思义,即用光作为信息的载体来传递信号,在通信不发达的古代,人们就已经懂得利用光来传递信息。
光波导微环谐振器设计与应用研究
光波导微环谐振器设计与应用研究随着信息技术的不断发展,光纤通信日益成为现代社会中不可或缺的一部分。
光学微结构器件是光通信中的重要组成部分,因其占用空间小、传输功率高、过渡带宽宽等优点,成为光学通信中一个热门的研究领域。
光波导微环谐振器是一种非常重要的光学微结构器件,其具有很好的波导光学性能和微环谐振等特点,在分光、激光调制、微波调制和信噪比提高等方面得到了广泛应用。
本文将重点探讨光波导微环谐振器的设计和应用研究。
一、光波导微环谐振器的设计光波导微环谐振器的设计主要包括微环直径大小和波导距离两个方面。
微环直径大小的选择对谐振器的效果有很大的影响。
当微环直径小于谐振器需要的谐振波长时,将产生光泄漏现象,导致光强信号衰减。
反之,当微环直径大于谐振器需要的谐振波长时,光将被反射回来,使谐振器的性能不佳。
波导距离也是光波导微环谐振器的一个重要设计参数。
当谐振器长度太短时,光将无法停留在微环内进行谐振,而当谐振器长度太长时,光将形成多个谐振点,影响谐振器的性能。
通过对微环和波导距离的设计、优化和控制,可以使谐振器具有较高的品质因数和较窄的谐振波长范围,从而为光学微结构器件的应用提供了更好的性能。
二、光波导微环谐振器的应用1. 分光和复用器光波导微环谐振器可用于分光复用器中,实现光波长的分离和复用。
分光复用器是一种将多个频道的光信号分别传输到不同的光纤传输线上,并且在随后的传输过程中相互独立的光学通信器件。
通过在谐振器中选择不同的谐振波长,即可实现多路光信号的分离和复用。
谐振器对谐振波长的选择可以通过微环半径和波导距离大小来实现,从而实现分光复用的功能。
2. 光电探测器光波导微环谐振器还可以应用于光电探测器中。
在光电探测器中,微环谐振器将光定向到光电探测器接收器中,从而提高光电探测器的灵敏度和响应速度。
3. 光纤传感器光波导微环谐振器还可应用于光纤传感器中。
在光纤传感器中,谐振器将包括温度、气体、湿度等各种参数的光信号传输到光纤传感器中,从而实现传感器的功能。
光纤陀螺结构谐振分析及研究
1 振动理论及有限元分析
1.1 机械振动对光纤陀螺性能的影响分析 干涉式光纤陀螺输入输出关系的基本表达式为:
∆������������ =
2������������������ ������ ������������
0 引 言
光纤陀螺(FOG)是一种基于 Sagnac 效应的角速 率传感器,其具有体积小、质量轻、精度范围广、 无运动部件等优点, 是一种新型的全固态惯性仪表 。 从这个概念首次提出到现在,光纤陀螺经过了 30 年 的发展,已广泛地应用于航空、航天等多个领域。
[3]
[2]
械振动产生非互易相位差的问题,采用计算机有限 元仿真的方法分析光纤陀螺结构件谐振特性,并在 此基础上提出了陀螺结构件的改进方法。最终达到 了改善陀螺抗振性能、提高陀螺指示精度并减轻重 量的目的。 关键词:光纤陀螺;振动特性;有限元;结构 设计 中图分类号:TP391.9 文献标识码:A 文章编号:
光纤陀螺结构谐振分析及研究
蔡 明,孙 超,肖 松,刘晓明,朱钟淦 (电子科技大学机械电子工程学院,四川 成都 611731)
Structural Vibration Analysis and Research in the FOG
CAI Ming, SUN Chao, XIAO Song, LIU Xiao-ming, ZHU Zhong-gan
从前 4 阶固有频率可以看出: 骨架结构的固有频 率均较高,并且有些频率值极为接近, 这是由于该 模型基本属于轴对称结构, 会出现振型和频率相同 但相位不同的情况。 在谐响应分析中, 对光纤环骨架施加一个径向力 载荷,进行0~5000Hz谐响应分析。图 4 是骨架表面 的谐响应曲线。
(如图 5)导入 ANSYS 进行有限元仿真,新模型网格 划分如图 6 所示。
新型微环谐振器及其传感特性研究
新型微环谐振器及其传感特性研究新型微环谐振器及其传感特性研究近年来,微纳技术的快速发展带来了许多新型器件和材料的涌现,其中微环谐振器作为一种高灵敏度、高选择性的传感器,在光电子学、生物医学和环境监测等领域中得到了广泛的应用。
本文将介绍一种新型微环谐振器的结构设计和传感特性研究。
首先,我们简要介绍一下微环谐振器的基本原理。
微环谐振器是一种由环形光波导构成的谐振腔结构,通过调节环形光波导的尺寸和折射率来实现不同波长的谐振模式。
当外界环境发生变化时,微环谐振器的谐振波长会发生改变,从而可以通过检测谐振波长的变化来实现对环境参数的敏感检测。
在传感方面,新型微环谐振器具有几个特点。
首先,采用高折射率材料制作的微环谐振器具有更高的光波导参量,可以实现更小的尺寸和更大的灵敏度。
其次,由于谐振模式是通过环形光波导的尺寸和折射率来调节的,因此可以实现多种不同波长的传感模式,并且可以通过控制传感模式的距离来实现多参数传感。
此外,由于微环谐振器的谐振波长与外界环境的折射率有关,可以通过改变环境折射率来实现对不同物质的检测。
为了研究新型微环谐振器的传感特性,我们设计并制备了一种基于硅光子学的微环谐振器。
该微环谐振器的尺寸为50μm × 50μm,采用硅基材料,工作波长为1550nm。
通过光刻和热氧化等工艺步骤,成功制备了微环谐振器的样品。
接下来,我们对微环谐振器的传感特性进行测试。
首先,通过将样品置于不同折射率溶液中,我们测量了谐振波长随溶液折射率的变化。
实验结果表明,谐振波长随溶液折射率呈现线性关系,且灵敏度约为100 nm/RIU (Refractive Index Unit)。
这表明新型微环谐振器具有较高的灵敏度和选择性。
接着,我们进行了多参数传感实验。
通过引入两个微环谐振器,分别浸泡在不同折射率溶液中,我们测量了两个谐振波长随溶液折射率的变化。
实验结果表明,两个微环谐振器的谐振波长变化具有较好的线性关系,可以实现多参数传感。
光纤陀螺小型化技术的研究现状分析
光纤陀螺小型化技术的研究现状分析摘要:光纤陀螺仪(FOG)作为一种导航仪器,在航海、航天乃至国防等多个领域都获得了广泛应用。
就目前来看,光纤陀螺仪(FOG)受到体积的限制,导致其在航海、航天以及国防领域的应用备受限制。
这主要是因为光纤陀螺仪(FOG)广泛应用于无人机、水下机器人等方面,而随着科技的进步,这些设备的体积越来越小,对于导航的精准度也进一步提升,这也促使光纤陀螺(FOG)小型化技术进一步发展。
基于此,本文围绕光纤陀螺仪(FOG)小型化技术展开研究,对其技术原理、发展历程以及主要研究方向进行分析,并对其主要面临的技术问题展开研究,以供参考。
关键词:光纤陀螺;小型化技术;集成化引言光纤陀螺(FOG)是一种惯性陀螺仪,可以做到对物体运动方位实施精准把控[1]。
光纤陀螺仪(FOG)可以实现对载体相对惯性空间运动角速率进行测量,并且有着使用年限长、精准度高,并且其可以测量的范围也非常大,所以在航海、航天、工业乃至国防等领域都可以看到光纤陀螺仪(FOG)的身影,并已经成为现代化惯性器件的主流,也是今后惯性器件技术发展的主要方向。
一、光纤陀螺(FOG)技术原理分析光纤陀螺仪(FOG)技术的出现离不开萨格奈克效应(Sagnac),其主要是利用萨格奈克效应对载体的角速率信号实施测量,这也是惯性空间转动闭环光路中一种非常常见的光传播效应[2]。
闭环光路中,光的传播主要是发生在同一闭合光路中,向一个光源同时发射两束相同的光,在反方向传播下最终在同一探测点完成汇合。
当垂直于闭合光路所处平面轴线,在相对惯性空间存在转动角速度,那此时发出的光束和反方向传播的光束就会出现不同,这种不同也被称之为光程差。
因为光程差和相对惯性空间存在的旋转角速度成正比,所以在求旋转角速度时,只需要掌握光程差和相位差信息即可。
光纤陀螺(FOG)技术主要有三种,分别为干涉式光纤陀螺、布里渊光纤陀螺以及谐振腔光纤陀螺[3]。
其中干涉式光纤陀螺因为其具备互易性结构,两束发射的光在反方向传播时有着具备相同的传输特征,再加上其附加位移也相同,且有着良好的共模抑制效果,有利于避免寄生效应,所以精准度也更高。
微环谐振器工作原理
微环谐振器工作原理1. 引言1.1 微环谐振器的定义微环谐振器是一种利用微环结构实现光场增强与传播的微纳光子器件。
微环谐振器通过在微环内部固定光子,使其在环形波导中传输,从而实现光隔离和光耦合功能。
其工作原理是基于腔共振效应,当微环谐振器中的光子频率与谐振腔中的驻波频率匹配时,光子会被捕获在腔中,形成稳定的驻波场。
这种驻波场会增强光子与光子之间的相互作用,从而在微环中形成共振现象。
微环谐振器的定义涵盖了其结构特点和工作原理,使其成为光子学领域中的研究热点。
在微纳光子器件中,微环谐振器可以用于实现滤波、耦合、调制等功能,广泛应用于光通信、传感、激光器等领域。
微环谐振器的研究不仅推动了微纳光子器件的发展,也为光子学的实际应用提供了新的可能性。
1.2 微环谐振器的应用微环谐振器在微纳光子器件中具有广泛的应用前景。
微环谐振器可以作为滤波器,用于选择性地传输或抑制特定波长的光信号。
这在光通信和传感领域有着重要的应用,可以实现光信号的精确调控和处理。
微环谐振器还可用作传感器,通过监测微环谐振器中光的传输特性变化来实现对环境参数的检测,例如温度、压力、化学物质浓度等。
这种传感器具有高灵敏度、快速响应和小尺寸的特点,适用于微型化的生物传感和环境监测。
微环谐振器还可以用于光学存储、光学增益、光学调制等领域,为光子器件的发展提供了新的可能性和潜在应用场景。
微环谐振器在微纳光子器件中的应用潜力巨大,将在未来的研究和产业中起到重要作用。
2. 正文2.1 微环谐振器的结构微环谐振器是一种微纳光子器件,其结构包括环形波导和耦合波导。
环形波导是由高折射率材料制成的环形结构,具有一定的直径和厚度。
耦合波导是将光信号引入或引出环形波导的结构,通常采用直波导或波导耦合器。
微环谐振器的结构中还包括加工光栅和耦合极。
加工光栅用于调节微环谐振器的共振频率,耦合极用于将光信号引入或引出微环谐振器。
微环谐振器的结构设计十分精密,需要保证环形波导的直径、厚度和耦合波导的位置及距离等参数满足设计要求。
微型光学陀螺用光波导环形谐振腔的优化设计与制备
光 学 技 术 的 进 步 推 动 了 光 学 陀 螺 的 发 展 , 光 激 陀 螺 ( L 和 光 纤 陀 螺 ( O 的 出 现 极 大 地 满 足 R G) F G)
文 利 用 广 角 有 限 差 分 光 束 传 播 法 ( P 对 WA B M)
MO G用 掺 锗 的二 氧 化 硅 光 波 导 环 形 谐 振 腔 进 行 了
第3 1卷第 1 1期
2 0 10年 1 1月
兵
工
学
报
Vo . NO. 1 1 3l 1
ACTA ARM AM ENTARI I
NO . V
2 0 01
微 型光 学 陀螺 用光 波导 环 形谐振 腔 的优 化 设 计与制备
郭 丽 君 ,石 邦任 ,厉 宝增 ,赵 猛 ,陈晨
p ro tmie h e i n o i gr s nao o o e fGe 一 o e i c v g i e a rc td o iio e p i z st e d sg frn e o trc mp s d o O2d p d sl a wa e u d sf b i ae n sl n i c
O p i a e i n a d Fa r c to fW a e ui e t p tm lD sg n b i a i n o v g d -y e
Op i a ng Re o a o o i r tc lRi s n t r f r M c o Optc Gy o i r
微环谐振器
实用微环谐振器的设计摘要由于微环谐振器是现在带光纤通讯的关键部件之一,因此对于微环谐振器的理论研究具有极其重要的必要性。
本文首先简单介绍了微环谐振器的基本特点,然后介绍了微环谐振器在实际中的各种应用和微环谐振器的发展史,接着系统理论的分析了微环谐振器的基本原理,然后在微环谐振器的性能指标里详细介绍了微环谐振器的各种性能参数极其求解,由于微环谐振器的重要性,我们通过OPTIWA VE软件选择FDTD法对其进行了系统的模拟仿真,分析其各项参数。
微环谐振器的研究使人们有了对集成光学可行性的猜想,其对光纤通讯领域的影响是不言而喻的。
关键字:微环谐振器OPTIWA VE FDTDDesign of Practical Micro-ring ResonatorAbstract As the micro-ring resonator with optical fiber communication is now one of the key components, so the theory of micro-ring resonator has a very important research need.This article first introduces the basic micro-ring resonator characteristics, and the system theory of micro-ring resonator basic principles, and then micro-ring resonator performance indicators in detail the micro-ring resonator performance parameters is extremely solution, in view of the importance of micro-ring resonator, we adopt OPTIWAVE software from the system simulation, analysis of its parameters, then introduces two micro-ring resonator numerical simulation method: FDTD method, BPM method , and then introduced the micro-ring resonator variety of applications in practice, the best description of the micro-ring resonator history.Study of micro-ring resonators so that they had on the feasibility of integrated optics guess, its impact on optical communications is self-evident.Key words Micro-ring resonators OPTIWAVE FDTD目录摘要................................................................................................................................................. I Abstract......................................................................................................................................... I I 第一章绪论 (1)1.1引言 (1)1.2微环谐振器简介 (1)1.3微环谐振器相关研究的国内外进展和现状 (2)1.3.1 微环谐振腔器结构的发展 (3)1.3.2微环谐振腔器功能的变化 (4)1.4 微环谐振器的实际应用 (6)1.4.1 激光稳频和调频器 (6)1.4.2 光波导分插复用器 (7)1.4.3 生物化学传感器 (8)1.4.4 光开关 (9)1.4.5 光延时线 (10)1.4.6 色散补偿器 (11)1.5 本文主要工作 (12)1.6小结 (12)第二章微环谐振器的理论分析 (13)2.1 微环谐振器的基本理论 (13)2.2微环谐振器的性能指标 (15)2.2.1谐振波长 (16)2.2.2 微环谐振半径 (16)2.2.3 半径-波长色散方程 (17)2.2.4 自由光谱范围FSR (17)2.2.5谐振峰半高全宽 (18)2.3 本章小结 (19)第三章仿真模拟分析 (20)3.1 OPTIWAVE软件简介 (20)3.2 OPTIWAVE软件的基本操作 (20)3.3 利用Optiwave软件对FDTD模拟仿真分析 (25)3.3.1有限时域差分法(FDTD,Finite-Difference Time Domain)简介 (26)3.3.2利用Optiwave软件的模拟 (27)3.3.3 仿真结果分析 (28)3.3.3.1模拟时间的影响 (28)3.3.3.2 模拟时间的影响 (29)3.3.3.3波导粗糙散射损耗与弯曲半径关系 (30)3.4 本章小结 (31)结论 (32)致谢 (33)参考文献: (34)第一章绪论1.1引言21世纪人类将迈进一个高度信息化的社会和网络时代,通信和网络的发展将深刻地改变人类社会的面貌,信息将成为社会机体中的灵魂,人们对通信信息量的需求呈现爆炸般的指数增长,随着高容量和高速度通信事业的发展,电子学和微电子学遇到了其局限性的困扰。
MEMS陀螺仪研究综述(1)
MEMS 陀螺仪研究综述摘要:从MEMS 陀螺仪的基本工作原理、发展历程和相关的技术介绍,回顾了MEMS 微陀螺仪的研究进展,并简单介绍了MEMS 微陀螺仪的市场应用。
一、引言MEMS 是微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems )的英文缩写,MEMS 技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology )基础上,对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。
它可以将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统整合为一个整体单元,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
如果采用与集成电路工艺类似的硅加工技术,便可利用IC 生产中的成熟技术、工艺 ,进行大批量、低成本生产,使性价比相对于传统的机械制造技术大幅度提高,实现大规模集成产业化。
而其中,MEMS 陀螺仪(gyroscope )又是MEMS 的一个重要发展方向。
随着MEMS 技术的发展,惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点,越来越受到人们的关注。
在汽车导航、消费电子和移动应用等民用领域,航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上都拥有着广阔的发展和市场前景。
二、基本工作原理传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理,因此它主要是一个不停转动的物体,它的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。
但是 MEMS 陀螺仪的工作原理不是这样的,因为要用微机械技术在硅片衬底上加工出一个可转动的结构并不是一件容易的事。
MEMS 陀螺仪利用了科里奥利力——旋转物体在径向运动时所受到的切向力。
在空间设立动态坐标系(图一)。
可以计算得到三项加速度:径向加速度、科里奥利加速度和向心加速度。
如果物体在圆盘上没有径向运动,科里奥利力就不会产生。
因此,在 MEMS 陀螺仪的图一设计上,这个物体被驱动,不停地来回做径向运动或者振动,与此对应的科里奥利力就是不停地在横向来回变化,并有可能使物体在横向作微小振动,相位正好与驱动力差90度(图二)。
微环谐振器及其在全光信号处理中的应用研究
微环谐振器,作为一种典型的光学微结构,因其在全光信号处理中的重要应用而备受关注。
在本文中,我们将深入探讨微环谐振器的基本原理、结构特点以及在全光信号处理中的应用研究,并结合个人观点对其进行分析和解读。
1. 微环谐振器的基本原理微环谐振器是一种基于光波导的器件,通过光波在环形结构内部的多次反射和相互干涉实现谐振现象。
当光波进入微环谐振器后,会在环形波导内部进行多次来回传输,并与自身相互干涉,最终形成谐振效应。
这一原理使得微环谐振器具备了在光学信号处理中实现高效能量转换和频率选择的能力。
2. 微环谐振器的结构特点微环谐振器通常由光波导、耦合结构和环形波导等部分构成。
其中,光波导负责引导和传输光信号,耦合结构用于实现光的输入输出,而环形波导则是谐振现象发生的关键部分。
由于其结构紧凑、损耗低、响应速度快等特点,微环谐振器在光学信号处理中具备了独特的优势。
3. 微环谐振器在全光信号处理中的应用研究随着光通信和光信息处理技术的不断发展,微环谐振器在全光信号处理中的应用愈发广泛。
在光通信系统中,微环谐振器可用于实现光波长选择性开关和光频率转换。
在光传感领域,微环谐振器可以实现对微小光信号的高灵敏度探测和快速响应。
在光学计算和信息存储等方面,微环谐振器也发挥着重要作用。
总结及个人观点:微环谐振器作为一种典型的光学微结构,在全光信号处理中展现出了重要的应用前景。
通过对其基本原理和结构特点的深入理解,我们能更好地把握其在全光信号处理中的应用前景和发展趋势。
从个人角度来看,微环谐振器在全光信号处理中的应用研究将会带来一场光学技术的革命,为光通信、光传感和光学计算等领域的发展提供更多可能性。
微环谐振器在全光信号处理中的应用研究具有重要意义,我们有必要加大对其基础理论和实际应用的深入研究,进一步挖掘其潜在的应用价值。
相信在不久的将来,微环谐振器将会成为光学领域中不可或缺的重要器件,为全光信号处理技术的发展注入新的活力和动力。
谐振式微光学陀螺研究的开题报告
谐振式微光学陀螺研究的开题报告一、研究背景及意义光学陀螺是一种利用赋有方向的旋转光束的光子陀螺效应来测量角速度或者姿态角变化的传感器。
光学陀螺具有精度高、分辨率高、稳定性好等优点,在导弹制导、导航、惯性测量等领域具有广泛的应用。
目前,国际上发展的光学陀螺主要为激光陀螺、光纤陀螺和谐振式微光学陀螺。
其中光学陀螺又以谐振式微光学陀螺具有结构简单、精度高和灵敏度高等特点,而逐渐成为研究的热点。
因此,研究谐振式微光学陀螺具有重要的工程及科学意义。
本课题将研究谐振式微光学陀螺的结构设计、光路分析、仿真模拟和实验验证,以期达到更高的精度要求和更广泛的应用领域。
二、研究内容1. 谐振式微光学陀螺的结构设计和光学设计;2. 光学陀螺原理的分析与建模;3. 谐振式微光学陀螺的光学特性和性能分析;4. 谐振式微光学陀螺的数值仿真分析;5. 谐振式微光学陀螺实验验证与性能测试;6. 结论和进一步工作的展望。
三、研究方法与技术路线1. 建立光学系统的优化设计模型,对谐振式微光学陀螺的光学路径进行模拟分析,确定最优的光学系统参数;2. 进行机械分析,寻找谐振式微光学陀螺的固有频率,研究并优化谐振式微光学陀螺的结构,从而保证其稳定性;3. 建立谐振式微光学陀螺的工艺流程,在CAD制图软件上完成谐振式微光学陀螺的三维结构设计;4. 进行谐振式微光学陀螺的光路分析与仿真,利用MATLAB等数值仿真软件对其动态性能进行仿真分析;5. 搭建谐振式微光学陀螺实验平台进行实验验证,测试其性能指标,实验数据处理与分析,验证仿真结果的可靠性;6. 给出谐振式微光学陀螺的性能评估,并展望进一步的研究方向。
四、预期成果1. 谐振式微光学陀螺的结构设计和光学设计方案;2. 谐振式微光学陀螺的性能模拟与分析;3. 谐振式微光学陀螺的实验验证和性能测试的得到实验参数和实验结果;4. 研究和分析不同参数和条件对谐振式微光学陀螺性能的影响,为谐振式微光学陀螺更高精度的设计提供指导。
谐振式光学陀螺小型化光源频率跟踪锁定研究
0 引 言
了调制频率 的变化 。对称三角波的上升半周与下降半周 分 别对应 2个大小相等方 向相反的调制频率 , 记为厂 △和 — , 谐振腔谐振频率为激光器 出射光的频率 - 调制原理 如图 1 厂 ,
所示 。
谐振式 光学陀螺 是 利用 Sg a 应 产生 的谐 振频 率 anc效
差来测量旋转 角速度的惯性 传感器 件 , 它利用 环型谐 振 腔来增强旋转 引起 的 Sg a anc效应 , 基本工 作原理 是多光束 干涉 。这样 的工作机理使 得谐 振式光学陀螺 只需要较短 的 谐振腔长度就 可以实现很高的精度要求 , 因此 , 谐振式光 学
M igj n T N a A Y n -a , A G Y o i
( c ol fIsr me t cec n poe crnc n ier g S h o tu n i ea dO t-l to i E g ei , o n S n e s n n
B ia gU vri ,e ig1 0 9 , ia e n n es y B in 0 11 Chn ) h i t j
21 0 2年 第 3 卷 第 1 l 期
传感器与微系统 ( rnd cr n c ss m Tc nl i ) Tasu e a dMi oyt eh o g s r e oe
3 5
谐 振 式 光 学 陀 螺 小 型 化 光 源 频 率跟 踪 锁 定 研 究
马迎 建 , 唐 瑶
( 京 航 空航 天大 学 仪 器 科 学 与 光 电 工 程 学 院 , 京 1 09 ) 北 北 0 1 1
光波导无源环形谐振器的损耗分析与仿真研究
光波导无源环形谐振器的损耗分析与仿真研究光波导无源环形谐振器的损耗分析与仿真研究摘要:光波导无源环形谐振器在光通信器件中具有重要应用,其损耗分析与仿真研究对于提高光通信器件性能具有关键意义。
本文基于光波导无源环形谐振器的工作原理,通过建立数学模型,对其损耗进行了详细分析,并借助仿真软件进行了数值仿真研究。
研究结果表明,在减小环形谐振器损耗方面,可以通过优化波导结构、减小边界散射、控制掺杂浓度等方法来实现。
关键词:光波导;无源环形谐振器;损耗;数值仿真1. 引言光通信技术作为一种高带宽、低损耗、低干扰的信息传输方式,得到了广泛应用。
而光波导无源环形谐振器作为光通信器件中的重要元件之一,可以实现信号滤波、调制解调等功能,对光通信系统的工作性能具有重要影响。
针对环形谐振器的损耗问题,通过分析与仿真研究,可以提供改善器件性能的规划与指导。
2. 光波导无源环形谐振器的工作原理光波导无源环形谐振器是一种基于光波导器件的反馈系统。
光从波导输入,经过环形谐振器多次往返,与自身干涉形成驻波,从而实现信号的滤波与增强。
其基本结构包括入射波导、环形波导、出射波导三部分,正确定义终止条件,可以实现理想的环形谐振。
然而,实际工作中,环形谐振器会存在一定的损耗。
3. 光波导无源环形谐振器的损耗来源分析3.1 波导结构优化波导的结构参数对于环形谐振器的损耗具有重要影响。
通过合理地设计和优化波导的宽度和高度,并适当增加介质的折射率,可以减小波导中的损耗。
3.2 边界散射环形谐振器中的光波与波导边界发生散射是导致损耗的主要原因之一。
边界散射的程度与波导的结构、折射率差、光波的偏振等因素有关。
通过技术手段如光波导的圆角处理、采用具有低折射率的材料等方法,可以有效抑制边界散射,降低损耗。
3.3 控制掺杂浓度在光波导无源环形谐振器的制备过程中,掺杂浓度是影响损耗的重要参数。
适当控制掺杂浓度,可以调节波导的折射率、衰减系数等特性,从而减小损耗。
低成本光纤陀螺的研究
低成本光纤陀螺的研究光纤陀螺是一种基于Sagnac效应原理制造的传感器,它可以用来测量角速度和方向的变化。
由于其高精度、高稳定性和较长寿命等优点,光纤陀螺已经广泛应用于导航、航天等领域。
然而,由于其制造成本较高,限制了其在一些低成本应用中的普及。
近年来,研究人员致力于开发低成本的光纤陀螺技术,以满足更广泛的应用需求。
在这篇文章中,我们将探讨几种常见的低成本光纤陀螺技术,并对各自的优缺点进行分析。
首先,一种常见的低成本光纤陀螺技术是利用光纤环形谐振腔。
这种技术主要通过在光纤中构建一个闭合的环形结构,并实现光的在环形结构中的传播来实现角速度测量。
这种技术的优点是制造成本低,并具有较高的灵敏度和稳定性。
然而,由于环形结构对光纤的要求较高,制造工艺相对复杂,可能导致制造成本的提高。
其次,另一种低成本光纤陀螺技术是利用光纤布拉格光栅。
布拉格光栅是一种周期性折射率变化的光纤结构,可以实现光的频率选择性传播。
通过在光纤上制造布拉格光栅,可以实现光在光纤中的传播路径的改变,进而实现角速度的测量。
这种技术的优点是制造成本较低,并且具有较高的灵敏度和稳定性。
然而,布拉格光栅的制造仍然需要一定的技术要求,制造工艺较复杂。
最后,还有一种低成本光纤陀螺技术是利用光纤光栅的弯曲效应。
当光纤发生弯曲时,光纤的折射率会发生变化,从而改变光的传播路径。
通过在光纤中制造光栅来探测光纤的弯曲,可以实现角速度的测量。
这种技术的优点是制造成本低,并且相对简单易实现。
然而,由于光纤的弯曲是非线性响应,因此需要对测量数据进行较复杂的处理,可能导致测量结果的不准确性。
综上所述,低成本光纤陀螺的研究涉及多种不同的技术。
每种技术都有其独特的优缺点,适用于不同的应用场景。
随着技术的进步和不断的研究,相信低成本的光纤陀螺将会在更多的领域得到广泛应用。
谐振式微型光学陀螺锁频精度分析
谐振式微型光学陀螺锁频精度分析鲍慧强;毛慧;马慧莲;金仲和【期刊名称】《浙江大学学报(工学版)》【年(卷),期】2010(044)001【摘要】在谐振式微型光学陀螺(R-MOG)系统中,为了减小由于光学器件受温度、应力等外界环境因素影响产生的各种噪声,提高环路锁频精度,在反馈回路中引入PI 控制器取代一阶惯性反馈环节,建立反馈控制模型,对比分析PI控制器和一阶惯性反馈环节2种反馈方式对锁频精度的影响.利用PI控制器设置的反馈回路能够消除环路的阶跃响应稳态误差,从而降低温度等外界因素引起的环形腔互易性噪声的影响,提高环路锁频精度.进一步优化PI控制器参数,将优化设计的PI控制器应用于R-MOG系统,得到锁定环路阈值精度为30 Hz,对应环长为7.9 cm的微型环形腔可检测转动角速度为0.15°/s,并在该芯片构成的系统上观察到20°/s的陀螺响应.【总页数】6页(P94-98,135)【作者】鲍慧强;毛慧;马慧莲;金仲和【作者单位】浙江大学,信息与电子工程学系,浙江,杭州,310027;浙江大学,信息与电子工程学系,浙江,杭州,310027;浙江大学,信息与电子工程学系,浙江,杭州,310027;浙江大学,信息与电子工程学系,浙江,杭州,310027【正文语种】中文【中图分类】TN815;TN911.74【相关文献】1.谐振式光学陀螺的快速锁频技术 [J], 任勇峰;于淼;焦新泉;郑永秋2.谐振式光纤陀螺环路锁频技术研究 [J], 杨雪锋;郑阳明;马慧莲;金仲和3.一种应用于谐振式微型光学陀螺的高频锁相放大器的设计 [J], 杨桂东;马慧莲;张旭琳;周柯江;金仲和4.谐振式光波导陀螺激光双重锁频技术 [J], 梁燕华5.谐振式光学陀螺锁频偏差的消除方法研究 [J], 孙颖;张成飞;刘文耀;唐军;刘俊因版权原因,仅展示原文概要,查看原文内容请购买。
微光学陀螺楔形谐振腔制备技术研究
微光学陀螺楔形谐振腔制备技术研究李国雁;李奇【摘要】Si基谐振式光学微腔陀螺以小型化、集成化成为未来姿态检测领域的发展趋势,其极限灵敏度主要取决于谐振腔直径D与品质因数Q值乘积.目前常见的硅基微腔直径为微米级.为了进一步提高极限灵敏度,实验中控制加工工艺减小反应过程中残余应力与表面粗糙度,制备出直径D为8 mm、表面粗糙度小于1 nm、Q值2.4×106的大尺寸硅基SiO2楔形谐振腔,可实现陀螺极限灵敏度达到55°/h,为芯片级、集成化的新型谐振式光学微腔陀螺的研究奠定了实验基础.【期刊名称】《电子器件》【年(卷),期】2018(041)006【总页数】3页(P1461-1463)【关键词】DQ乘积;灵敏度;大尺寸;SiO2楔形谐振腔;微光学陀螺【作者】李国雁;李奇【作者单位】河南牧业经济学院信息与电子工程学院,郑州450044;河南牧业经济学院信息与电子工程学院,郑州450044【正文语种】中文【中图分类】TN815Si基谐振式光学微腔陀螺的核心敏感元件为一无源的微米级谐振腔,代替了光纤环结构,极大的减小了陀螺的体积,并提高了稳定性,在小型化、集成化上具有独特的优势,成为各国航天、国防等研究机构的研究热点,是惯性导航技术微型化、集成化的关键器件[1-7]。
Si基谐振式光学微腔陀螺的核心技术指标为极限灵敏度,其主要取决于微腔结构的质量均匀性、表面粗糙度以及微腔直径(D)等结构参数。
目前Si基微腔结构在微米级时,表面粗糙度能达到1 nm以下,已接近材料表面粗糙度的极限,Q值到107左右[8-9],此时,微腔陀螺的极限灵敏度就主要取决于微腔直径D值[10]。
楔形谐振腔加工采用MEMS工艺,流程简单,是制备大尺寸微腔的主要结构,然而,由于MEMS加工工艺技术的限制,微腔直径D越大,微腔结构的均匀性和表面粗糙度越难以保证[11],表面粗糙度能达到微米级,极大的减小了微腔结构的Q值,因此,需要优化MEMS工艺技术来提高大尺寸微腔结构的表面粗糙度,提高光学微腔陀螺的极限灵敏度。
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一、 引 言 微型光波导陀螺是一种采用无源环形谐振 器 ( Pa ssive R ing R esona to r, PRR ) 的光 学 陀 螺[ 1 ] , 它采用先进的微米 纳米集成光电子技 术, 与传统光学陀螺相比, 具有体积小、 重量轻、 耐振动、 成本低和抗电磁干扰等诸多优点, 是下 一代光学陀螺的发展方向之一, 也是微型惯性 测量组合的核心部件[ 2 ]。 由于上述的先进特性, 微型光波导陀螺在 国外早已引起广泛的重视, 而国内在此研究领 域还未见先例。70 年代初, 美国 N o rth rop 公司 开始研制微型光学陀螺 (M O G ) , 其谐振腔采用 光波导集成光路, 同时把控制电路和半导体激 光器集成在同一芯片上, 大大减小了系统的体 积、 重量和成本。 90 年代, 又有其样机的报道。
第 5 期 汤全安等: 微型光波导陀螺中无源环形谐振器研究
在硅基片上制作波导有多种工艺。 图 3 以 热氧化工艺为例说明在硅基片上形成的光波导 结构的方法。 实现这一结构的工艺可分为四步: 11 在 1300℃的温度下将硅片热氧化, 从而在硅 片上形成厚度为 10 ~ 15Λ m 的 SiO 2 薄膜; 21 在 1000℃的温度下, 利用高频等离子反应在 SiO 2 薄膜上形成 Ge 的掺杂层, 其厚度约为 7Λ m, 它 的折射率可以比 SiO 2 的折射率高 0. 004; 31 在 CH F 3 与 C 2 F 6 的混合气体中用离子蚀刻反应进 行光解, 可以得到宽度为 7Λ m , 微观不平度小 于 0. 1Λ m 的条形波导; 41 最后, 在清洗掉残余 的光学胶之后, 用外延工艺在已形成的波导上 生长一层硅。 用等离子反应法得到的波导损耗可以达到 0. 02dB cm , 而掺锗后波导的损耗可以做得非 常小, 甚至达到 0. 01dB cm [ 4 ]。 这一损耗水平对 微型光波导谐振器是必要的, 可以使谐振器满 足具有惯导级精度微型光波导陀螺的要求。
f 2。 在谐振腔有转动的情况下, f 1 ≠f 2 , ∃ f = f
1
- f 2 将与输入角速率 8 成比例关系
∃f =
4S 8 nΚ L
( 1)
的性能参数, 其中包括: ( 1) 谐振腔及耦合器; ( 2) 移频器; ( 3 ) 半导体激光器; ( 4 ) 光路对接 部件等等。 谐振腔的主要性能参数是清晰度 F [ 4 ] , 它 表示结构干涉光模态的有效个数, 并主要取决 于光路损耗。 光路损耗包括耦合器输出损耗和 全部波导损耗, 即吸收与散射、 加工缺陷及弯曲 度等引起的损耗, F 的数学表达式如下 Π ( 3) F = 2a rcsin (H - 1 2 ) 其中
3
光 学 技 术 1997 年 9 月
数一定时, 陀螺的最小分辨率将取决于波导环 形谐振器清晰度的大小。 采用理论计算的方法, 在谐振腔直径为 2cm 时, 我们得到了波导环形 谐振腔的清晰度与微型光波导陀螺仪最小分辨 率之间的关系。 计算表明: 为了使微型光波导陀 螺仪达到中高分辨率的水平, 波导环形谐振腔 的清晰度至少要达到 30 以上。 值得一提的是, 对 ( 1 )~ ( 8 ) 式的理论计算 结果还表明, 针对光波导陀螺仪, 需要选用高功 率、 窄线宽的激光光源。 按前面所提到的分辨率 指标, 要求其线宽小于 1M H z, 输出功率要达到 15mW 以上。 三、 PRR 的设计与工艺 11PRR 的结构设计 圆形的波导谐振腔, 由于其平行耦合器段 的波导形状比较复杂, 制造难度比较大, 因此可 以采用如图 2 所示的 “跑道式” 谐振腔结构方 案。 在波导平行耦合段采用直线型设计, 可以避 免圆弧形耦合器制造的复杂性, 从而减小加工 的难度。 同时, 采用直线型耦合器, 可以比较精 确, 并且方便地在加工过程中控制耦合系数。 理 论分析表明, 对于波导直线耦合段的长度和波 导间距要根据材料、 光源功率及所要求的耦合 系数进行优化设计。 一方面要保证有足够的能 量耦合进入谐振腔, 维持谐振的进行, 并在探测 器端得到良好的信噪比; 另一方面, 要防止耦合 系数过大, 以免降低腔的清晰度。
功, 其中具有代表性的研究结果如表 1 所示。 从表 1 可以看出, 在硅材料上制作的环形 波导谐振腔已达到很高的水平, 其波导谐振腔 的清晰度较其它材料的波导有较大幅度的提 高, 是一种具有良好前景的微型光波导陀螺仪 材料。 表 1 国外环形波导谐振腔的研究结果
制造单位 基片 制造技术 离子交换 离子交换 波导损耗 清晰度
类别 玻璃 要求 技术 简单 损耗 集成度 电光效应 光放大作用 非线性效应 可获得性 很低 低 很低 无 很低 很好 晶体 中等 低 低 高 低 高 中等 半导体 复杂 中等 中等 高 高
?
较差
图 2 环形波导谐振腔示意图
21PRR 的工艺
迄今为止, 世界上已有多个国家的研究机 构对不同材料上的无源环形波导谐振腔进行了 研究, 公开报告表明, 在有机聚合物、 玻璃、 铌酸 锂和硅基片上的环形波导谐振腔都已研制成
第 5 期 光 学 技 术 N o. 5 1997 年 9 月 O PT ICAL T ECHNOLO GY Sep t. 1997
微型光波导陀螺中无源环形谐振器研究
汤全安 马新宇
( 清华大学, 北京 100084)
Ξ
பைடு நூலகம்
摘 要: 光波导无源环形谐振器是微型光波导陀螺的核心敏感部件, 其性能直接影响陀螺的极限分 辨率和各误差项, 是此种陀螺设计和制造中的关键。 本文通过理论分析, 对无源环形谐振器进行了深入 的研究, 提出了可行的光学系统设计, 并结合现有先进的光学工艺, 提出了加工与制造的方案。 关键词: 微型光波导陀螺, 无源环形谐振腔, 光波导。
c ——光在真空中传播的速度。
对于一个低损耗谐振腔 ∆ ≈ 1, 我们可将 F 近似表达为 Π ( 7) F = 1- ∆ 可见为提高 F , 必须降低波导及耦合器光 路的损耗。 在最佳耦合的情况下陀螺仪的最小分辨率 如下式所示 Κ Γp T m
图 1 微型光波导陀螺结构图
1—激光器; 2—分光器; 3, 4—移频器; 5, 6—耦合器; 7, 8—探测器。
微型光波导陀螺与国际上正在研究的谐振式光 纤陀螺有众多的相似之处, 但又有很大的不同, 其关键器件是敏感测量的核心部件—— PRR , 它包括半导体激光器、 分光器、 输入输出耦合 器、 环形谐振腔等多个部件, 形成了一个完整的 光学谐振系统。 跟踪并测量环形谐振腔中两束 反向传播光的 Sagnac 频差, 就可以得到环形谐 振 腔相对于惯性空间的转动角速度。 因此, PRR 系统的性能将极大影响整个陀螺的分辨 率和其它性能指标。 谐振器的光学结构、 尺寸参 数、 材料、 工艺等是整个光学系统设计和加工的 关键。 本文首先依据陀螺的精度指标, 经理论分 析计算得到对 PRR 的性能要求, 并结合所得到 的性能指标对整个谐振器光路系统进行了方案 研究。 最后, 根据现有的光学工艺技术, 提出了
∃8 = 4. 73 × 10- 5 ×
1
SF
( 8)
分辨率、 零偏稳定性、 标度因数误差是描述 微型光波导陀螺性能的三项最主要的性能参 数[ 3 ]。 提高分辨率是提高微型光波导陀螺性能 所要解决的首要问题。 分辨率 ∃8 取决于信号 噪声之比。 具体地, 就是要提高陀螺各主要部件
其中 T m ——采样时间; Γ——检测器量子效率; S ——光路所包围的面积; ——自由空间光波长; Κ F ——谐振腔清晰度; P ——检测器接收的功率。 从 ( 8) 式可以看出, 光源、 检测器等元件参
4M ∆ ( 1 - M ∆) 2
k ) exp ( 2
( 4) ( 5)
Χ L) ∆ = exp ( - ∃Μ r ∃Μ r)
2Π nL
c
= exp ( -
∃Μ l)
( 6)
式中 k ——耦合系数; Χ——波导损耗; L ——波导谐振腔长度; ∃Μ l ——激光器谱线宽度; ∃Μ r ——谐振腔的自由谱线宽度;
The ana lys is of the pa ss ive r ing resona tor in the m icro optic wavegu ide gyroscope
Ta ng Q ua na n M a X inyu
(T singhua U n iversity, B eijing 100084) Abstract: T he p a ssive ring resona to r is the co re sen sing elem en t in the m icro op tic w avegu ide gyro 2 scop e. Its p erfo rm ances influence the m in i m um reso lu tion and the erro r item s of gyro scop e directly. A nd, it is the key of the design and m anufactu ring. B y theo retica l ana lysis, the p ap er investiga tes the . A t the sam e ti p a ssive ring resona to r in deta il m e, the fea sib le configu ra tion s of the op tic circu it sys2 tem s a re p ropo sed. A cco rding the cu rren t advanced op tica l m anufactu ring m ethod, the schem es of the fab rica tion and m anufactu re ha s been p resen ted. Keywords: m icro op tic w avegu ide gyro scop e, p a ssive ring resona to r, w avegu ide.