晶盛单晶炉作业指导书64页PPT
单晶炉操作规范(071208修订稿)
生效日期：2007年 12 月 12日1、目的为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。
2、适用范围适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作。
3、单晶炉操作工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→（二次加料、再熔料）→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却4、主要内容A.作业准备a.进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
b.开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。
c.准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。
d.准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。
e.取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。
f.用毛巾将炉体从上到下擦一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。
B.热态检漏a.检查上一炉功率关闭时间，在确认单晶冷却时间达到5.0小时以上后，关闭氩气总阀门（先打开主、副室流量计调节阀并分别调节到30L/Min，再关闭氩气进气总阀门，主、副室流量计调节阀仍然保持打开状态），开始抽高真空，并作时间记录。
b.待炉内压力到达极限（要求达到３Pa以下）后，先关闭主室抽空球阀而后关闭主真空泵电源进行检漏，并作相应时间记录，若0.5小时内抽不到3Pa以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
c.检漏要求3分钟以上，漏气率<0.34Pa/min为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率＞0.34Pa/min时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
d.做好热态检漏时的抽空时间，检漏时间，极限真空，漏气速率等记录。
单晶炉操作规范
冷检1.目的为单晶生产作业提供指导，规范操作，保证产品质量。
2.范围本作业指导书适用于拉晶岗位。
3.安全要求3.1单晶车间的安全注意事项1.车间内的机器设备，无操作资格者勿动。
2.未装磁场的单晶炉，操作人员要注意防范掉进炉子旁边的缝隙里，对于已经装上磁场的，要注意不要带手机、磁卡（如银行卡身、份证）等靠近。
也不能拿铁器、钢器靠近磁场，否则会造成人身伤害和设备损坏。
3.严禁在车间内打闹，上班时要杜绝擅离职守、睡觉等。
4.在副室与喉口间、炉盖与主室之间，只要存在可能压砸的地方，任何人严禁将身体的任何部位置于两者的空隙之间。
5.拉晶中的炉台，严禁任何人踩踏单晶炉的底盘或将身体靠在单晶和电控柜上，以免造成炉子震动或碰到电器开关。
3.2进入泵房的安全注意事项1.确保泵房照明，如果照明灯损坏，要及时更换。
2.必须保持泵房地面干燥和清洁，定期清扫泵房，如将油到地面上时，要及时打扫干净。
3.机械泵皮带必须安装防护罩。
4.清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌。
5洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内。
3.3拆装炉1.上班必须穿戴好劳保用品。
装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品。
2.拆炉取晶时、注意不要被烫伤、划伤、碰伤。
3.晶体出炉后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部份剪掉。
4.拆拿及安装石墨件时要戴上线手套。
3.4乙醇、丙酮的使用1.工业乙醇及有丙酮害、使用时，要注意防止其溅入眼内。
2.严禁用内酮擦拭密封圈！注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。
4.工艺流程5.4.1工艺流程图4.2过程控制4.2.1.1取晶体1、停炉5小时后须先进行手动热检漏并记录，（真空度<15mTorr）泄漏率应<15mTorr(0.55Pa/5min)。
泄漏率超出范围应报修。
手动热检漏操作步骤：在触摸屏上将电控系统退到手动状态，关闭供气管道上的手动球阀，将三个电磁阀全部打开，然后抽空到极限真空。
单晶炉热场清洁与安装作业指导书
4.2.2.2 底盘边缘与主室底座内壁的距离应相等。（见下图）
4.2.2.3 底盘上的电极孔、中心孔要与主室底座的孔对应、对正。 （见右图）
4.2.3 装电极柱： 4.2.3.1 装电极柱：装电极柱时不宜太紧，否则容易涨裂引起电极打火。
江西赛维 LDK 太阳能高科技有限公司 文件编号
单晶炉热场清洁与安装作业 版本/
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指导书
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ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ日期
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一、目的：
清除炉内杂物、规范热场的安装，提高产品质量。
二、范围：
单晶炉的热场的清扫和安装。 三、职责：班长负责当班期间组织生产，组长监督工艺操作人员对热场的安全安装。 四、作业内容： 4.1、热场的清洁：
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4.1.3.8.3、用沾酒精的纸擦拭除尘筒和密封部件； 4.1.3.8.4、将清扫后的过滤网缓慢放进除尘筒； 4.1.3.8.5、将除尘筒盖密封圈擦净，盖好除尘筒盖并用专用工具拧紧螺栓； 4.1.3.8.6、清洁除尘筒表面卫生； 4.2、热场的安装： 4.2.1 安装前需检查： 4.2.1.1 热场的所有石墨器件必须是经过锻烧合格方可使用。 4.2.1.2 检查主室底座的清洁度，确定电极柱周围及坩埚轴端面上没有石英、石墨碳毡及 硅粉颗粒。 4.2.2 底盘安装：
心取埚底料，应避免埚底从热场的缝隙掉下杂物； 4.1.3.3.4 待石英坩埚和埚底料冷却后，放入指定的箱子并做好编号 4.1.3.4 按一定顺序取出热场的石墨器件，顺序如下：导流筒→热屏支撑环→上保温罩 →三瓣埚→坩埚底盘→中保温罩→石墨中轴→加热器→下保温罩和底盘 （如下图）
晶盛单晶炉作业指导书
晶盛单晶炉作业指导书一、概述晶盛单晶炉是一种用于单晶材料生长的设备，能够实现高温环境下的晶体生长。
本作业指导书旨在向操作人员提供使用和维护晶盛单晶炉所需的详细指导，以确保设备正常工作并生产出高质量的单晶材料。
二、设备操作1. 准备工作a. 检查设备的电源和供气情况，确保正常运作。
b. 确保操作人员穿戴好相应的防护装备，包括防护眼镜、耳塞等。
c. 检查设备各部件的连接和状态，确保无漏气、无破损等问题。
2. 加载样品a. 打开炉膛门，将要生长的单晶样品小心地放置在样品载台上。
注意避免样品与载台接触过程中的碰撞或损坏。
b. 关闭炉膛门，确保密封良好。
3. 设置工艺参数a. 根据所需单晶材料的要求，在操作界面上设置合适的温度、压力等工艺参数。
b. 按照设备使用手册的要求，设置晶盛单晶炉的升温速率、保温时间等参数。
4. 启动和监控a. 打开设备的电源，按照正常启动程序操作，确保炉膛加热系统和其他系统正常运行。
b. 在启动后的整个过程中，操作人员应密切监控温度、压力等参数的变化，并及时调整，以确保单晶材料的质量。
5. 结束和清理a. 单晶材料生长完成后，关闭电源，停止供气，并等待炉膛冷却到安全温度。
b. 打开炉膛门，小心地将生长好的单晶样品取出，放置在合适的容器中。
c. 清理炉膛内部的残留物，确保设备整洁。
三、设备维护1. 清洁a. 每次使用后，应及时清洁炉膛内部和其他部件，避免杂质对下一次生长工艺的影响。
b. 使用合适的清洁剂和工具进行清洁，注意安全和操作规范。
2. 检修和维护a. 晶盛单晶炉设备定期需要进行检修和维护，以确保各部件的正常工作。
b. 遵循设备使用手册中的维护计划，对设备的各个部件进行检查、清洁、更换等操作。
c. 发现设备问题时，应及时汇报并由专业人员进行维修。
3. 安全注意事项a. 操作人员应在经过必要的培训和指导后，才能使用晶盛单晶炉设备。
b. 在操作过程中，应严格按照设备的安全操作规程进行操作，以避免意外事故的发生。
硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉幻灯片PPT
• 热电偶装在直拉单晶炉膛的测温孔上，正对加热器中部。为了使便于 测量和测量灵敏准确，一般通过聚光镜，将光聚集于热电偶堆上。
• 电极装在炉膛底部，它的作用是支撑加热器（石墨）和保温系统（或 通过石墨电极支撑），把强大的电流传给加热器，使加热器产生高温， 熔化多晶硅。电极一般由紫铜制成，两层铜管成环状，内部通水。
• 光学等直径监测器装在炉膛的光学等直径监测孔上，它象照象机，一 组光学镜头对准坩埚中心，硅单晶通过镜头将硅单晶横断面直径的正 面影象反射在毛玻璃屏幕上，屏幕上有一个光敏二极管，影象变化作 用在光敏二极管上，产生电信号，经过放大分压（或分流）处理，控 制提拉或加热功率，保证硅单晶等径生长，通过调节光敏二极管位置 可以控制生长硅单晶的粗细。
• 单晶炉的机械传动部分，包括籽晶轴（上 轴）、坩埚轴和驱动它们上升、下降或旋 转的电机。
• 籽晶轴和坩埚轴的旋转由力矩电机（或直 流电机）分别经过皮带（或齿轮）变速后 带动抱轮使其旋转。
• 籽晶轴和坩埚轴的上升或下降通过通过两 个力矩电机（或直流电机）驱动螺纹旋转 完成。
• 这四个运动各自独立，互不干扰，不同的 是坩埚轴比籽晶轴有更缓慢上升或下降速 度。
硅片制备--多晶硅铸锭炉 和单晶炉幻灯片PPT
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一、 单晶炉
• 目前在所有安装的太阳电池中，超过90%以上的 是晶体硅太阳电池，因此位于产业链前端的硅锭/ 片的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用。
晶盛单晶炉操作说明
晶盛单晶炉操作说明
1. 简介
本章节将对晶盛单晶炉进行简要的介绍，包括其主要功能和特点。
2. 安全须知
在使用晶盛单晶炉之前，请务必阅读并遵守以下安全须知，以确保您的人身安全和设备正常运行。
3. 设备结构与组成部分
这一章节详细描述了整个设备的结构，并列出了各个组成部分及其作用。
同时还提供了相应图示以便更好地理解。
4. 操作流程步骤
a) 准备工作：在开始操作之前需要做哪些准备工作？
b) 开机启动：如何正确开启电源、控制面板等？注意事项有哪些？
c) 参数设置：如何根据实际需求设置温度、时间等参数？
d) 样品放置与取出方法: 如何正确放置样品到加热台上？怎么才能够安全地从加热台上取下样品？
5. 故障排除指南
如果在使用过程中发生故障或异常情况时，该怎么办呢?这里给出一些建议性内容来帮助用户快速定位和解决问题。
6. 维护与保养
为了确保设备的长期稳定运行，本章节将介绍一些常见的维护与保养方法，并提供相应注意事项。
7. 常见问题及解答
这里了用户在使用晶盛单晶炉过程中经常遇到的一些问题，并给出详尽而简明扼要地回答。
希望能够对您有所帮助。
8. 相关附件
本文档涉及以下附件，请参阅：
- 晶盛单晶炉操作手册.pdf
9. 法律名词及注释
- 单晶：指具有完整、连贯结构并无缺口或杂质等不均匀性存在的物体。
- 熔融法：通过加热原料至其溶点以上使之变成流动状态后再逐渐凝固形成单个大颗粒（即“种子”）以制得高纯度金属产品或合金产品。
晶盛机电：单晶炉订单充足
2017年第27期本刊研究员田闯市场方面，针对最近周期股行情，国泰君安认为此次周期行情是需求预期扭转带动的宏观和微观层面共振，相较前一轮周期行情速度更快、时间更短。
宏观层面，超预期的经济韧性叠加温和的流动性环境逐渐修正需求的预期方向；微观层面，7月钢厂例行检修等事件催化超额接单，“淡季不淡”助推正在修正的预期力量，加速周期股景气反转。
另外，周期股基本面角度带动的盈利能力修复使得周期板块享受着一定程度的价值股溢价，这部分溢价让周期股在当前“死抠EPS”的市场环境下具备了一定进攻属性，表现为周期股弹性更强、反应更快。
目前来看，前期享受的经济走弱叠加流动性收紧带来的确定性溢价的“漂亮50”点位已高，市场对于一线龙马能否继续演绎分歧加大。
国泰君安认为，市场走向经济与流动性的“二力平衡”，市场重心“不左不右”，“漂亮50”的故有逻辑难再现双重推动。
另外，在全球定价力量崛起的背景下，海外力量收缩与转向令一线龙头性价比逐步丧失。
往后看，市场依然维持“非牛非熊”格局，中报掌声响起，龙马行情的扩散/切换继续上演。
海通证券荀玉根认为周期股是从Beta 走向Alpha。
最近周期股尤其是资源股整体表现强有价格因素的刺激，但周期股的Beta 效应正在减弱，周期有大行情的前提是固定资产投资增速趋势性回升或者货币政策明显放松，这两个因素今年都看不到。
但是周期行业龙头的Alpha 效应并不比消费差，这是“角落里的阳光”。
我国目前所处的大背景是经济转型，类似1970-80年代的日本，传统制造业大量合并重组，以钢铁、化工、纺织为主的传统制造行业规模收缩十分明显，但是这些行业内部的龙头公司却在行业整合的过程中实现了加强，龙头股溢价显现。
6月4日以来，震荡市已经开启新一个上涨波段，7月市场或许出现涨幅趋缓或小幅波动，但上涨趋势仍将延续，建议顺应市场多头趋势。
未来密切关注政策面变化，以及市场累计涨幅和市场情绪。
结构上也维持之前判断，震荡市业绩为王，整体偏价值的风格不会变。
晶盛单晶炉操作说明
．全自动单晶炉操作手册REV. MANUAL_ZJS.Z02（TDR80A-ZJS/TDR85A-ZJS/TDR95A-ZJS适用）2009年05月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD目录第一章单晶生长条件 (2)1.1 设备要求 (2)1.2 辅料要求 (3)1.3 安全要求 (4)第二章单晶生长标准流程 (5)2.1 拆炉 (5)2.2 装炉 (6)2.3 开始单晶的生长 (8)2.4 抽真空 (9)2.5 检漏 (11)2.6 压力化 (12)2.7 熔料 (13)2.8 稳定化 (15)2.9 熔接 (16)2.10 引晶 (18)2.11 放肩 (19)2.12 转肩 (20)2.13 等径 (21)2.14 收尾 (22)2.15 停炉 (23)第三章单晶生长辅助流程 (24)3.1 中途取晶 (24)3.2 回熔 (26)3.3 煅烧 (26)3.4 大清 (27)3.5 连接部位检查 (27)第四章相机调整与热场温度校正 (28)4.1 相机调整 (28)4.2 热场温度调整 (32)第五章异常情况处理 (33)5.1 断水 (33)5.2 电极故障 (33)5.3 打火 (33)附录故障速查 (34)第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。
晶盛单晶炉作业指导书
晶盛单晶炉作业指导书晶盛单晶炉是一种高温熔炼设备，主要用于实验室、研究机构以及一些小规模生产场所进行单晶材料的制备。
本作业指导书旨在为操作人员提供详细的操作步骤和注意事项，以确保安全可靠地操作晶盛单晶炉。
一、设备准备1. 确保晶盛单晶炉设备完好无损，并检查电源是否正常。
2. 将晶盛炉设备放置在通风良好、防火安全的场所，并确保离其他设备和易燃物距离足够。
3. 准备好所需的单晶生长设备、单晶种子、熔化样品以及其他实验所需材料和工具。
二、操作步骤1. 插入晶盛并连接电源。
首先将晶盛轻轻插入炉内，并确保与电源连接牢固。
注意避免触碰炉体，以免烫伤。
2. 打开电源开关，并调整炉体温度。
根据实验需求设定炉温，并通过控制面板进行温度调节。
3. 温度上升阶段。
将炉温缓慢升高，避免温差过大引起晶体结构异常。
4. 投入单晶种子并开始熔化。
待炉温达到要求后，将单晶种子放置在炉内，观察熔化过程，确保样品均匀熔融。
5. 单晶生长阶段。
根据所需单晶材料的要求，保持恒定的温度和熔融状态，稳定地进行单晶生长。
6. 单晶生长完成。
待单晶生长完毕，将电源关闭，并等待炉温降至安全温度后，方可取出单晶。
三、注意事项1. 操作前检查设备及电源连接是否正常，确保操作安全。
2. 晶盛单晶炉高温，操作人员应穿戴防热手套和保护眼镜，避免烫伤和灼伤。
3. 遵循操作规程，严格按照制定的温度曲线进行操作，避免过大的温差影响晶体质量。
4. 炉体外部温度高，禁止操作人员触碰，以免烫伤。
5. 单晶材料、单晶种子等操作材料应储存妥善，避免受潮或污染。
6. 操作过程中要保持炉外环境干燥洁净，避免灰尘和异物进入炉内影响单晶生长。
7. 操作结束后，及时关闭电源，并等待炉温降至安全温度后取出单晶。
四、常见故障处理1. 温度控制失常。
检查温度控制仪表及传感器是否正常，排除故障后重新操作。
2. 单晶材料熔融异常。
检查材料质量和配比是否准确，避免杂质或空气进入熔融材料，影响单晶质量。
晶盛单晶炉操作说明
晶盛单晶炉操作说明晶盛单晶炉操作说明一、设备概述晶盛单晶炉是用于单晶硅等材料的生长和烧结过程的设备。
其主要由加热炉体、温度控制系统、气体输送系统、真空系统、气氛控制系统等组成。
本操作说明介绍了晶盛单晶炉的详细操作流程和注意事项。
二、设备准备1.检查炉体外部是否有异物，清理并保持干净。
2.检查气源和真空系统是否正常运行，并确保供气压力和真空度符合要求。
3.检查温度控制系统是否正常运行，并进行相关校准。
三、设备启动1.打开电源开关，启动加热控制系统。
2.打开气源和真空系统的供气阀门，确保气源系统正常供气。
3.检查气源系统和真空系统的压力表，确保供气压力和真空度在正常范围内。
四、设备运行流程1.温度设定：根据工艺要求，在温度控制系统中设定所需的生长温度，并等待炉体温度达到设定温度。
2.晶体装载：将待生长晶体装入炉体，注意避免晶体受损和污染。
3.载台装载：将装有晶体的载台装入炉体，并关闭炉门。
4.生长过程监控：根据生长过程的要求，监控温度、气氛、真空度等参数的变化，并及时调整。
5.结晶结束：根据工艺要求，将生长过程中的温度、气氛等参数依次调整，完成结晶过程，并进行冷却。
6.取出晶体：待冷却结束后，打开炉门，将晶体取出，并注意避免晶体受损。
7.关闭系统：关闭炉体、气源和真空系统，清理设备并保持干净。
五、注意事项1.操作人员应具备相关技术知识和经验，按照操作规程进行操作。
2.在操作过程中，应注意安全，佩戴必要的个人防护装备。
3.操作前应检查设备的工作状态和参数，确保符合要求。
4.操作过程中如有异常或故障，应立即停止操作，并进行排查和维修。
附件：相关附件包括操作规程、设备维护记录等，请查阅。
法律名词及注释：1.《劳动法》：指中华人民共和国的劳动法律法规，保护劳动者的劳动权益。
2.《安全生产法》：指中华人民共和国的安全生产法律法规，保护人员的人身安全和设备的正常运行。
3.《环境保护法》：指中华人民共和国的环境保护法律法规，保护环境的整洁和生态的平衡。
晶盛单晶炉作业指导书
装 料
1.用裁纸刀把原料包装袋划开 1.用裁纸刀把原料包装袋划开 2.首先选择小块（直径小于 20mm）的料铺 2.首先选择小块 首先选择小块（ 20mm） 放到埚底， 放到埚底，应尽量铺满坩埚底部 3.放入母合金 3.放入母合金 4.自然堆砌大块料、中块料，尽量用光滑面接 4.自然堆砌大块料 中块料， 自然堆砌大块料、 触坩埚壁， 触坩埚壁，不要把尖面对准坩埚壁 5.上部装成馒头状，原料不要接触到石英坩埚 5.上部装成馒头状 上部装成馒头状， 上沿、 上沿、导流筒 6.注意装料过程中防止把料洒进护底盘引起打 6.注意装料过程中防止把料洒进护底盘引起打 火
1.打开石英坩埚包装，戴好乳胶手套把埚举 1.打开石英坩埚包装， 打开石英坩埚包装 起对准光源检查石英坩埚
磕碰损伤（位于坩埚上沿的微小碰损除外） 磕碰损伤（位于坩埚上沿的微小碰损除外） 裂纹、 裂纹、严重划痕 直径≥ 的气泡，数量≥ 直径≥3mm 的气泡，数量≥1 个 直径<3mm 的气泡，数量≥ 直径<3mm 的气泡，数量≥3个 线度尺寸≥ 的黑点，数量≥ 线度尺寸≥3mm 的黑点，数量≥1 个 线度尺寸<3mm 的黑点，数量≥ 线度尺寸<3mm 的黑点，数量≥3个 线度尺寸<3mm 的气泡、黑点，合计数量≥ 线度尺寸<3mm 的气泡、黑点，合计数量≥3 个
6.打开防爆阀，让抽气管道中氧化物燃烧， 打开防爆阀，让抽气管道中氧化物燃烧，
清 除残余氧化物 注意： 注意：打开防爆阀时手和眼睛应该与防爆 阀保持一定距离 7.清除主抽气管道内的氧化物 ，最后用无 7.清除主抽气管道内的氧化物 尘纸沾酒精擦干净炉内壁
装热场
按顺序装好石墨件，上升或下降坩埚轴，使 按顺序装好石墨件，上升或下降坩埚轴， 石墨坩埚顶部与加热器平齐， 石墨坩埚顶部与加热器平齐，在控制柜操作 屏上校正坩埚零位。 屏上校正坩埚零位。装热场时进行如下检查 并调整正常： 并调整正常： 1.加热器石墨螺钉先拧松再拧紧，防止高温 1.加热器石墨螺钉先拧松再拧紧 加热器石墨螺钉先拧松再拧紧， 烧结 2.托杆与下轴连接是否稳固、对中 2.托杆与下轴连接是否稳固 托杆与下轴连接是否稳固、 3.确认石墨埚托及三瓣埚是否完好可用 ，三 3.确认石墨埚托及三瓣埚是否完好可用 瓣埚边缘厚度小于5mm时必须更换 瓣埚边缘厚度小于5mm时必须更换 4.托杆与石墨埚托、石墨埚托与三瓣埚托之 4.托杆与石墨埚托 托杆与石墨埚托、 间的止口连接必须吻合良好， 间的止口连接必须吻合良好，做到旋转滑动
单晶炉热场结构ppt课件共35页
石墨坩埚，有单体，两瓣合体 ，以及CZ1#所使用的三瓣合体 等不同形状。它们从节约成本 、使用方便来比较各有所长。 右图为三瓣埚的实物图。
保温盖、导流筒
保温盖由保温上盖、保温碳 毡和保温下盖组成。即两层 环状石墨之间夹一层石墨碳 毡组成，其内径的大小与导 流筒外径相匹配，平稳的放 在保温罩面板上。
导流筒，由内外筒之间夹一 层石墨碳毡组成。导流筒主 要是为了控制热场的温度梯 度和引导氩气流。
压环
压环，由几截弧形环构成的 一个圆形环状石墨件，它放 置在盖板与炉壁接触处，是 为了防止热量和气体从炉壁 与盖板的缝隙间通过。
热场有大有小，它是按照所用的石英坩埚的直径大小 来划分的，目前国内热场从￠12″～ ￠28 ″都有，但 以￠18″～ ￠22″居多。
一、热场结构
直拉单晶炉的热系统，也就是所谓的热场，是指为了 熔化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下进行的整 个系统。
热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩 埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导 流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉底、金属电极 、托杆、都设置了保护板、保护套。
热 场 示 意 图
加热器
加热器是热场中很重要的部件 ，是直接的发热体，温度最高 的时候可以达到1600℃以上。
常见的加热器有三种形状，筒 状、杯状、螺旋状。目前绝大 多数加热器为筒状，硅单晶分 厂CZ1#厂房使用的是直筒式形 状的加热器。右图为加热器。
加热器
一般情况下，加热器是高纯 石墨加工，每个半圆筒各位 一组，纵向开缝分瓣，组成 串联电阻，两组并联后形成 串并联回路。 右下图是倒立的加热器，由 图可知，在加热器下面有两 个清晰的连接孔，这些孔是 用来连接石墨电极。
上虞晶盛单晶炉操作说明书
设备要求
运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）
（1）冷却水要求
水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上；
炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；
（2）以上操作过程中，要注意人身安全和设备安全！只要存在压砸的可能，禁止人体进入该空间。
打扫炉内卫生
（1）拿石墨器件的时候必须戴上线手套，严禁赤手接触，使用吸尘管道时，要注意防止管道被烫化在石墨件上。石墨件较烫时，不能戴薄膜手套；
（2）清除取晶时可能飞溅在隔离阀装置上的脏物和碎片；
（3）所有石墨件必须彻底打扫干净。干净的标准是：容易取出的石墨部件：导流筒、上下保温盖、上保温筒、三瓣埚、石墨埚托，必须打扫到全部露出石墨的本色，特别是不能留有黄色的挥发物。不容易取出的石墨件：加热器、主保温筒、炉底护盘等等，在大清的时候打扫，仍然要求打扫出石墨的本色。打扫石墨件时，可用百洁布；
（3）装坩埚时要防止将坩埚外壁的石英渣子带入埚中；
（4）若发现石英坩埚异常应及时与工段长或单晶技术主管联系，经判断不能使用后，进行更换；
（5）装完坩埚后，另换薄膜手套，进行装料。
装料
（1）用剪刀把多晶料包装袋沿塑料线剪开，注意外层包装袋不能接触到料；
（2）装料技巧：
a、首先选择小碎块（直径小于20mm）的料铺放到埚底，应尽量铺满坩埚底部；b、选择较小块（直径小于40mm）的料继续装入埚的中下部，中下部的料可以装的紧凑些并且贴近埚壁，但应自然堆砌，不能硬挤。与坩埚内壁接触的料块，应尽量选择具有表面光滑的球型面的料，避免尖锐端对着埚壁。
SOP113一厂单晶炉热场包裹作业指导书
浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单晶工序长晶长晶工序名称热场包裹页码第1页共3页文件编号Q03-SOP-113 版本A/0 生效日期2010年12月1日一、目的规范长晶用热系统的包裹，使得热系统的包裹受控。
二、范围一厂JRDL/800单晶炉台三、准备的材料直尺、钢卷尺、克丝钳、刀具、钼丝、吸尘刷、模具、不锈钢小车、洁净工作服、洁净鞋、一次性洁净手套、袖套、防尘口罩、PVC板序号步骤操作方法操作标准图示化使用工具及物料注意事项1 穿戴专业服装进入洁净的石墨房穿戴好洁净工作服、洁净鞋，准备好一次性洁净手套、袖套、防尘口罩佩戴劳保齐全洁净服干净整洁洁净工作服、鞋、一次性洁净手套、袖套、防尘口罩等2 平铺碳毡将PVC板平铺在地板上，用吸尘刷将表面清理干净，再将石墨碳毡打开铺在PVC板上PVC板请保持洁净无灰尘PVC板3 上、中、下保温筒包裹用钢卷尺测量石墨件的高度h（决定碳毡的宽度）和外径d，并根据外径计算石墨碳毡的总长L上中下保温筒碳毡厚度分别为65mm/75mm/65mm（厚度为10mm碳毡层数分别为6,7,6)钢卷尺4切割石墨碳毡再根据测量的数据，用钢卷尺和直尺切割石墨碳毡切割宽度一致，大于测量数据0-5mm钢卷尺、直尺批准审核编制修改履历浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单晶工序长晶作业工序名称热场包裹页码第2页共3页文件编号Q03-SOP-113 版本A/0 生效日期2010年12月1日序号步骤操作方法操作标准图示化使用工具及物料注意事项5 绕石墨碳毡将保温筒水平放置于PVC板上，将碳毡逐层紧绕在保温筒上上下沿碳毡齐平6 绑定石墨碳毡用克丝钳和钼丝将裹好的碳毡捆扎，定型每隔20cm捆扎一次克丝钳、钼丝7 挖测温孔和排气孔用刀具将中保温筒测温孔及下保温筒排气孔对应的碳毡切除测温孔孔径40mm±5mm，排气孔处碳毡内径为85mm-90mm刀具8 平整石墨碳毡检查碳毡上下沿是否齐平，多余部分用刀具逐层切割，要求上下沿切割面水平碳毡与保温桶开槽处齐平，保温筒卡口到位且碳毡间不留缝隙刀具9 上部、下部保温用石墨碳毡用切割碳毡的模具分别将上下保温盖间碳毡，上下压片间碳毡，炉底碳毡，导流筒内碳毡切割完整）层数分别为1-2，2-5，5-6，1切割碳毡模具备注：浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单晶工序长晶作业工序名称热场包裹页码第3页共3页文件编号Q03-SOP-113 版本A/0 生效日期2010年12月1日序号步骤操作方法操作标准图示化使用工具及物料注意事项10 清扫石墨碳毡用吸尘刷将包裹好的上中下保温筒碳毡及切割好的保温碳毡表面清理干净，再有序放置在不锈钢小车上碳毡表面整齐，无附着物吸尘刷11 工具归位工具，模具等放回指定位置，清理好现场及周围环境工具归位，垃圾入桶。
晶盛单晶炉作业指导书课件
课程目标
01
掌握晶盛单晶炉的基本结构和工 作原理。
02
了解晶盛单晶炉的操作流程和注 意事项。
掌握晶盛单晶炉的维护和保养方 法。
03
了解晶盛单晶炉的常见故障及排 除方法。
04
课程大纲
01
02
03
04
05
第一部分：晶盛单晶炉 的基本结构和工作原理
第二部分：晶盛单晶炉 的操作流程和注意事项
VS
详细描述
炉内结渣会影响单晶棒的生长和质量，需 要及时进行处理。清理时，需关闭加热器 电源，等待炉筒冷却后，用刮刀清理掉残 渣。同时，还需检查原料是否干净，避免 再次出现类似问题。
晶棒异常问题
总结词
晶棒异常通常是由于原料纯度不够、加热器故障或炉内气体污染等原因引起，需要针对不同原因采取相应措施。
02
根据晶体生长方式的不同，单晶 炉可分为直拉法、悬浮法、提拉 法等不同类型。
单晶炉的工作原理
单晶炉通过高温加热和控制系统，将 多晶硅等原料熔化，然后通过提拉或 悬浮等方法生长单晶体。
直拉法是最常用的方法，其原理是将 硅原料放入坩埚中，通过加热将其熔 化，然后通过旋转和提升装置将硅液 中的单晶硅生长出来。
分析
以上两个案例都是因为违反安全操作规程或应急处理措施而导致事故的发生。我们应该引以为戒，严格 遵守各项安全规定和操作规程，确保生产安全。
06
课程总结与展望
课程总结
1
课程结构合理，内容丰富，涵盖了晶盛单晶炉的 基本原理、操作流程、设备维护等方面的知识。
2
重点突出，对晶盛单晶炉的作业流程进行了详细 讲解，并配以实例操作，使学员能够更好地掌握 操作技能。
单晶炉的主要部件
《单晶炉热场结构》PPT课件
保温盖、导流筒
保温盖由保温上盖、保温碳 毡和保温下盖组成。即两层 环状石墨之间夹一层石墨碳 毡组成，其内径的大小与导 流筒外径相匹配，平稳的放 在保温罩面板上。
导流筒，由内外筒之间夹一 层石墨碳毡组成。导流筒主 要是为了控制热场的温度梯 度和引导氩气流。
压环
压环，由几截弧形环构成的 一个圆形环状石墨件，它放 置在盖板与炉壁接触处，是 为了防止热量和气体从炉壁 与盖板的缝隙间通过。
石墨坩埚、坩埚托杆和坩埚托盘
坩埚托杆、坩埚托盘共同构成了 石墨坩埚的支撑体，要求和下轴 结合牢固，对中性良好，在下轴 转动时，托杆及托盘的偏摆度 ≤0.5mm。
支撑体的高度是可以调节的，这 样可以保证熔料时，坩埚有合适 的低埚位，而拉晶时，有足够的 埚跟随动行程。
保温罩
保温罩分为上保温罩、中保 温罩和下保温罩。
dT
dy
足够大，但不能过大，保证晶体生长中有
S
足够散热能力，带走结晶潜热。
②熔体中的纵向温度梯度
dT dy
比较大，保证熔体内不产生新的晶核，
L
但是，过大容易产生位错，造成断苞。
③结晶界面处的纵向温度梯度
dT dy
适当的大，从而形成必要的过冷度
SL
，使单晶有足够的生长动力，不能太大，否则会产生结构缺陷，而径
保温罩是由一个保温筒外面 包裹石墨碳毡而成。石墨碳 毡的包裹层数视情况而定。
下保温罩组成了底部的保温 系统，它的作用是加强埚底 保温，提高埚底温度，减少 热量损失。
保温罩
中、上保温罩的作用也是为了减 少热量的损失。只不过保温罩外 面的石墨碳毡的层数不一样，这 样使得温度梯度不一样。
SOP-112一厂单晶炉热场安装作业指导书
浙江昱辉阳光能源有限公司
作业指导书
产品名称
太阳能硅单晶
工序
长晶
作业工序名称
热场安装
页码
第1页
共3页
文件编号
Q03-SOP-112
炉筒定位环与导柱同轴
无尘纸
8
校对测温孔
下降炉筒降到位后，校对测温孔
前后炉次欧陆数值在同一工序不得相差200点
手电筒
9
安装热电锥
安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。
热电பைடு நூலகம்螺丝松紧适度，连接线接触良好，欧陆信号正常
备注：
浙江昱辉阳光能源有限公司
作业指导书
产品名称
太阳能硅片
工序
长晶
作业工序名称
托杆扳手
托杆不要拧太紧，防止螺丝滑丝
12
检查埚转及埚升降
打开并检查埚转及埚快速升降
显示值与实际值一致，无卡滞现象
13
安装埚托，三瓣埚
依次装好埚托、三瓣埚。
确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合
14
检查对中
装好后要打开埚转旋转一下，检验三瓣埚与加热器间距是否均匀
测量四周间距差值≤2mm
直角尺
备注：
热场安装
页码
第3页
共3页
文件编号
Q03-SOP-112
版本
A/0
生效日期
2010年12月1日
序号
步骤
操作方法
操作标准
图示化
使用工具及物料
单晶炉异常处理操作ppt课件
34
B类事故处理方法
单晶炉局部超温，设备会第一时间发出报警并在模拟面板 上指示出具体超温位置，操作人员应及时报告班组长或机 修人员进行疏通。 水管爆裂或脱落主要发生在炉体某部位运动中，即停炉后 ，为了防止冷却水对硅料造成污染或对电器设备造成短路 事故等，应及时关闭冷却水总进水阀。 应当按照相关操作规程操作，并由班里指定人员通知相关 部门和领导。
(注意：用氦质谱检验法时检漏次序要从上到下，从靠近 检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行)
26
日常状况七：液压泵的问题
当副室、炉盖和主炉室升不起、下降不了、速度太快或太 慢时，我们首先要查看各限位是否正常，然后再排除电气 故障，最后就会是液压泵的问题了。其故障原因有： 1. 液压泵里的油太少，液压泵有漏油点 2. 油压太高或太低
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A类事故处理方法2
长时间断电时，先将晶体上升，再将坩埚上升至适当位置 ，等完全冷却后再拆炉。 电器意外短路起火时应立即切断主电源，并大声求助，第 一时间通知现场的最高领导，并报告安全办、及时抢救。 出现漏硅时首先将加热器和真空泵关闭，再打开快充氩气 至常压，最后打开炉膛进行快速冷却。
33
B类事故
长度来决定是否回溶重新拉晶。
14
钢丝绳断裂
15
钢丝绳断裂
16
籽晶断裂
17
突发状况三：真空泵皮带轮松脱，皮带断裂
真空泵皮带轮松脱的原因是由于①皮带轮前的螺母松动从而使 其松脱的,②销子和销子槽损坏引起。这就要求我们多巡视，发 现情况及时处理。(因为真空泵皮带轮松脱，皮带断裂，将会引 起严重的后果，我们将无法正常拉制单晶) 下组图是26#真空泵皮带轮松脱的现象：