旋涂机(SpinCoaer)操作手册
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旋塗機(Spin Coater)操作手冊(SP-M1-S)
1. 填寫操作記錄表(掛於壓克力罩右方) 2. 按下電源鍵開啟電源（開啟電源後請等待3-5秒鐘以確保電壓穩定及轉速表程式載入） 3. 設定第一段時間。（設定範圍1-120sec） 4. 設定第二段時間。（設定範圍1-120sec） 5. 設定第一段轉速。（設定範圍600~8000rpm，可參考轉速對照表設定轉速） 6. 設定第二段轉速。（設定範圍600~8000rpm，可參考轉速對照表設定轉速） 7. 將試片放在吸盤上。(請選擇尺寸適合的吸盤1/2吋，1吋，4吋6吋共用-三個) 8. 按下真空鍵啟動真空馬達，並檢查是否有吸住（啟動真空馬達後，請等待 3~5 秒鐘） 9. 滴入光阻蓋上蓋子，按下啟動鍵開始塗佈。 10. 帶塗佈完成且吸盤停止旋轉後，按下真空鍵取出試片。(之後重複不驟 2~10) 11. 結束時請關閉電源並更換鋁箔紙.填寫記錄表，且維持周遭整潔。
Hale Waihona Puke 備註1. 轉速會隨溫度不同而稍有差異。 2. 以上表格內的轉速為參考值。
請小心使用，勿使光阻流入”轉軸”內!!!
轉 速 對 照 表
項 次 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 轉 速 0.78 1.28 1.92 2.56 3.22 3.86 4.52 5.16 5.78 6.40 7.02 7.60 8.18 8.74 9.28 9.84 旋 鈕 刻 度 轉 速（rpm） 600 1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000 4500 5000 5500 6000 6500 7000 7500 8000
1. 填寫操作記錄表(掛於壓克力罩右方) 2. 按下電源鍵開啟電源（開啟電源後請等待3-5秒鐘以確保電壓穩定及轉速表程式載入） 3. 設定第一段時間。（設定範圍1-120sec） 4. 設定第二段時間。（設定範圍1-120sec） 5. 設定第一段轉速。（設定範圍600~8000rpm，可參考轉速對照表設定轉速） 6. 設定第二段轉速。（設定範圍600~8000rpm，可參考轉速對照表設定轉速） 7. 將試片放在吸盤上。(請選擇尺寸適合的吸盤1/2吋，1吋，4吋6吋共用-三個) 8. 按下真空鍵啟動真空馬達，並檢查是否有吸住（啟動真空馬達後，請等待 3~5 秒鐘） 9. 滴入光阻蓋上蓋子，按下啟動鍵開始塗佈。 10. 帶塗佈完成且吸盤停止旋轉後，按下真空鍵取出試片。(之後重複不驟 2~10) 11. 結束時請關閉電源並更換鋁箔紙.填寫記錄表，且維持周遭整潔。
Hale Waihona Puke 備註1. 轉速會隨溫度不同而稍有差異。 2. 以上表格內的轉速為參考值。
請小心使用，勿使光阻流入”轉軸”內!!!
轉 速 對 照 表
項 次 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 轉 速 0.78 1.28 1.92 2.56 3.22 3.86 4.52 5.16 5.78 6.40 7.02 7.60 8.18 8.74 9.28 9.84 旋 鈕 刻 度 轉 速（rpm） 600 1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000 4500 5000 5500 6000 6500 7000 7500 8000