干式泵常识

〖干式泵常识〗
Q：什么是涡旋干式真空泵？
A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。

Q：涡旋干式真空泵的特点？
A：◇无油、无污染
◇低噪音、低振动
◇使用寿命长
◇空气冷却
◇配气镇阀、可抽可凝性气体
Q：涡旋干式真空泵的主要用途？
A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；
◇用于液晶注入系统；
◇分子泵真空系统的前级泵；
◇真空密封泵；
◇冷泵前级；
◇用于科学和化学分析仪器；
◇真空发生器；
◇电子显微镜前级泵。

Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？A：
Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？
A：◇DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。

所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。

◇检查确定此真空泵安全接地。

◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。

如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。

◇未加风扇盖前，不要启动泵。

◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。

如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。

◇此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。

◇必须安装电机保护开关。

DVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。

必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。

◇不要由一两个人移动此泵。

此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。

◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。

◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。

如果真空度上不去，更换法兰。

◇在进气口处装真空阀。

真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。

如要保证
真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。

◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。

Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？
A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。

使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：
◇不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。

不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。

这些气体容易使轴承失效。

◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。

如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命
◇加滤网
使用气镇阀时，必须加滤网。

否则可能抽进灰尘。

◇定期检查
为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。

否则气镇阀不能正常工作。

◇供气
要保证加适量的气体使泵高效率工作。

Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？
A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：
①平面放置
②避免阳光直射
③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露
④通风良好
⑤泵附近不得存放化学品或易燃品
⑥防潮
⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？
A：◇检查确认此泵电源接地良好。

◇检查确认此泵电源为要求值。

◇在此泵与真空室之间安装保护开关。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？
A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。

②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。

具体参见使用说明书。

③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。

具体参见使用说明书。

④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。

打开进气与排气口。

打开电机开关起动电机2-3秒。

检查确定进气口抽气。

如果电源线连接错误，将从排气口进气。

Q：涡旋干式真空泵排气注意事项？
A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。

◇不要用此泵抽灰尘。

抽灰尘时，一定加滤网。

◇不要刮碰进气口与排气口法兰
以免损坏法兰口，导致真空度上不去。

如果真空度上不去，更换法兰。

◇在进气口装进气阀
真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。

如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。

Q：涡旋干式真空泵联结方式？
A：①用快卸法兰将进气口与相同直径的真空管道连接。

如果真空管道直径过小，可能降低真空抽速。

②真空管道一定不能有泄漏处。

③检查确定管道无排气压力。

④正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与泵之间加真空阀。

Q：涡旋干式真空泵操作注意事项？
A：◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。

如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。

◇检查确认DVS-631型涡旋干式真空泵电源为要求值。

其他电源可能对泵造成损害。

◇如果电压高于240V, 可能损坏计时器。

◇每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。

Q：涡旋干式真空泵开机注意事项？
A：①检查确认电源符合要求。

②保证在气镇阀关闭时开启电机保护开关，启动泵。

Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作注意事项？
A：◇加气镇阀时，一定要加滤网。

停泵时要关闭气镇阀。

◇一定要定期检查，确保滤网清洁，否则可能引起气镇阀问题。

Q：涡旋干式真空泵气镇阀操作步骤？
A：①加气镇阀时，一定要加滤网。

②气镇阀接头使用时一定要用正确尺寸管件连接。

③开启气镇阀时，旋钮旋至与管道轴线平行方向，关闭时，与管道轴线垂直。

Q：涡旋干式真空泵关机注意事项？
A：◇停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。

否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

Q：涡旋干式真空泵关机步骤？
A：①停泵时，首先开启气镇阀，将泵运转5分钟，然后再关闭气镇阀。

否则，轴承可能由于泵体中残留的水蒸气而腐蚀，导致泵性能损害。

关断电机保护开关。

②正常工作时进气口处的真空度约为6000Pa，为保证真空室内的真空度，一定在真空室与真空泵之间加真空阀，停泵前关断此真空阀。

③每天将泵启动2-3秒，排除灰尘和水。

Q：涡旋干式真空泵检查与维修注意事项？
A：按照下表所示时间间隔进行泵的例行检查。

此时间间隔为泵在10Pa下运行的检查，可能对正常泵的工作显得过短：
Q：涡旋干式真空泵故障排除？。