微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长
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维普资讯
第 ５ ８卷
第 １期
化
工
学
报
（ ｉａ Ｃｈ ｎ ）
Ｖ ｏ．５ Ｎｏ．１ １ ８
２０ ０ ７年 １月
Ｊ ｕ ｎ ｌ ｏ Ｃｈ ｍ ｉ ｌ Ｉ ｄ ｓ ｒ ａ ｄ Ｅｎ ｉ ｅ ｒ ｇ ｏ ｒ ａ ｆ ｅ ｃ ｎ ｕ ｔｙ ａ ｎ ｇｎ ｅｉ ｎ
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Ｊ ｎ ａｙ ２ ０ ａ ｕ ｒ ０ ７
微 机 电系统 中的矩 形通 道 内微 气 泡控 制 生 长
董 涛 ，杨朝 初。 ，毕 勤成。 ，张玉 龙 ，谷丹 丹 ，张春权
（ 门 大学 萨本 栋微 机 电研 究 中 心 ，福 建 厦 门 ３ １０ ； 北 京 理 工 大 学 爆 炸 科 学 与 技 术 厦 ６ ０ ５
度 越 大 ，气 泡 成 核 所 需 的时 间越 短 、微 气 泡 生 长 速 率 越 快 ；微 通 道 宽 度 一 定 且 高 宽 比大 于 ｌ的条 件 下 ，高 宽 比
越 小 ，后 期 微 气 泡 生 长 速 率 越 慢 ；微 流 体 的 流 速 越 高 ，微 气 泡 生 长 始 点 越 晚 、 生 长 速 率 也 越 低 。相 同 实 验 条 件
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下 ，Ｒｌ３ Ｃ ７ 、去离 子 水 三 者 中 ，Ｒ １ １ 、Ｆ －２ ｌ ３中微 气 泡 生 长 始 点 最 靠 前 、生 长 速 率 最 快 ，去 离 子 水 中 微气 泡 生长
最靠 后 、 生长 速 率 最 慢 。 关 键 词 ：微 机 电 系统 ；微 流 体 相 变 ； 气 泡 生长 ；微 小 有 限 空 间 ； 形 微 通 道 微 矩
国 家 重 点 实 验 室 ，北 京 １ ０ ８ ；。 安 交 通 大 学 动 力 工 程 多相 流 国家 重 点 实 验 室 ，陕 西 西 安 ７ ０ ４ ） ００１ 西 １０ ９
摘 要 ：采 用 微 机 电 系 统 （ Ｍｓ 硅加 工 工 艺 ，设 计 、加 工 出 了 ６种 不 同 规 格 的 实 验 用 微气 泡 控 制 生 长 ＭＥ ＭＥ ） ＭＳ 器 件 ；构 建 了 ＭＥ ＭＳ器 件 中微 气 泡 控 制 生长 实 验 系 统 并 完 成 了实 验 ，讨 论 了 热 负 荷 、微 加 热 元 宽 度 、微 通 道 截 面参 数 、工 质 流 速 及 物 性 参 数 等 对 微 气 泡 生 长 的 影 响 。结 果 表 明 ： 同 等 实 验 条 件 下 ，加 热 电 压 幅值 越 高 ，微 气 泡 生 长 速 率 越 快 ；加 热 脉 冲 宽 度 仅 对 微 气 泡 形 成 后 的 进 一 步 生 长 有 影 响 ；加 热 条 件 相 同 的 前 提 下 ，微 加 热 元 宽
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第 ５ ８卷
第 １期
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（ ｉａ Ｃｈ ｎ ）
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２０ ０ ７年 １月
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度 越 大 ，气 泡 成 核 所 需 的时 间越 短 、微 气 泡 生 长 速 率 越 快 ；微 通 道 宽 度 一 定 且 高 宽 比大 于 ｌ的条 件 下 ，高 宽 比
越 小 ，后 期 微 气 泡 生 长 速 率 越 慢 ；微 流 体 的 流 速 越 高 ，微 气 泡 生 长 始 点 越 晚 、 生 长 速 率 也 越 低 。相 同 实 验 条 件
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下 ，Ｒｌ３ Ｃ ７ 、去离 子 水 三 者 中 ，Ｒ １ １ 、Ｆ －２ ｌ ３中微 气 泡 生 长 始 点 最 靠 前 、生 长 速 率 最 快 ，去 离 子 水 中 微气 泡 生长
最靠 后 、 生长 速 率 最 慢 。 关 键 词 ：微 机 电 系统 ；微 流 体 相 变 ； 气 泡 生长 ；微 小 有 限 空 间 ； 形 微 通 道 微 矩
国 家 重 点 实 验 室 ，北 京 １ ０ ８ ；。 安 交 通 大 学 动 力 工 程 多相 流 国家 重 点 实 验 室 ，陕 西 西 安 ７ ０ ４ ） ００１ 西 １０ ９
摘 要 ：采 用 微 机 电 系 统 （ Ｍｓ 硅加 工 工 艺 ，设 计 、加 工 出 了 ６种 不 同 规 格 的 实 验 用 微气 泡 控 制 生 长 ＭＥ ＭＥ ） ＭＳ 器 件 ；构 建 了 ＭＥ ＭＳ器 件 中微 气 泡 控 制 生长 实 验 系 统 并 完 成 了实 验 ，讨 论 了 热 负 荷 、微 加 热 元 宽 度 、微 通 道 截 面参 数 、工 质 流 速 及 物 性 参 数 等 对 微 气 泡 生 长 的 影 响 。结 果 表 明 ： 同 等 实 验 条 件 下 ，加 热 电 压 幅值 越 高 ，微 气 泡 生 长 速 率 越 快 ；加 热 脉 冲 宽 度 仅 对 微 气 泡 形 成 后 的 进 一 步 生 长 有 影 响 ；加 热 条 件 相 同 的 前 提 下 ，微 加 热 元 宽