晶圆平边识别纠偏装置[实用新型专利]

专利名称：晶圆平边识别纠偏装置专利类型：实用新型专利
发明人：陈朝星
申请号：CN201820879100.X 申请日：20180607
公开号：CN209104119U
公开日：
20190712
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型提供一种晶圆平边识别纠偏装置，包括：旋转机构，具有一放置晶圆的承载部、连接于所述承载部下方用于在所述晶圆的平边位置偏离预设位置时带动所述晶圆转动至预设位置的旋转控制组件；晶圆导正机构，包括一控制所述晶圆导正的导正机构和控制所述导正机构运动的导正驱动机构；摄像机构，悬置于所述晶圆上方，与所述旋转机构相连，用于获取所述晶圆的图像、通过所述图像识别所述晶圆的平边位置并根据所述平边位置控制所述旋转机构旋转。

本实用新型可以完成晶圆平边的识别和纠偏，大大降低人工摆放晶圆出错的几率，降低产品的损耗，提高生产效率，降低劳动力成本及生产成本。

申请人：上海福赛特机器人有限公司
地址：200230 上海市徐汇区虹梅路1801号A区凯科大厦305室
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人：庞红芳
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