一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置[发明专利]

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202011075863.7
(22)申请日 2020.10.10
(71)申请人 区碧莲
地址 528500 广东省佛山市高明区荷城街
道铁岗村六组东147号
(72)发明人 区碧莲　
(74)专利代理机构 北京科亿知识产权代理事务
所(普通合伙) 11350
代理人 肖平安
(51)Int.Cl.
H01L 21/677(2006.01)
C23C 16/50(2006.01)
C23C 16/458(2006.01)
(54)发明名称
一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置
(57)摘要
本发明公开了一种PECVD石墨舟的自动装卸
片装置，包括机架，所述机架内侧的顶部固定连
接有沿机架长度方向分布的移动滑台，所述移动
滑台的顶部通过定位机构固定安装有石墨舟，所
述机架的左、右两侧且位于移动滑台中部和后部
的上方均通过支架分别固定连接有拆卸滑台和
安装滑台，所述拆卸滑台和安装滑台的底部均设
置有吸附模组，所述机架的左、右两侧且位于两
个支架之间的内侧分别固定设置有上料输送带
和回收输送带，本发明涉及石墨舟技术领域。

该
PECVD石墨舟的自动装卸片装置，通过设置有拆
卸滑台以及安装滑台替代机械手进行装卸作业，
相比较机械手结构简单，维护成本低，同时，实现
了两个工序的分离，便于操作人员进行中止命
令。

权利要求书2页 说明书4页 附图3页CN 112216637 A 2021.01.12
C N 112216637
A
1.一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)内侧的顶部固定连接有沿机架(1)长度方向分布的移动滑台(2)，所述移动滑台(2)的顶部通过定位机构(3)固定安装有石墨舟(4)，所述机架(1)的左、右两侧且位于移动滑台(2)中部和后部的上方均通过支架(5)分别固定连接有拆卸滑台(6)和安装滑台(7)，所述拆卸滑台(6)和安装滑台(7)的底部均设置有吸附模组(8)，所述机架(1)的左、右两侧且位于两个支架(5)之间的内侧分别固定设置有上料输送带(9)和回收输送带(10)，所述上料输送带(9)和回收输送带(10)的顶部均放置有硅片定位架(11)，且位于上料输送带(9)顶部的硅片定位架(11)的内部卡接有多个硅片(12)。

2.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，其特征在于：所述机架(1)包括两个立板(13)，两个所述立板(13)相互平行，且两个立板(13)均沿竖直方向分布，两个所述立板(13)之间固定连接有多个固定架(14)，多个所述固定架(14)相互平行，两个所述立板(13)内侧的顶部均固定连接有沿水平方向分布的防护板(15)。

3.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，其特征在于：所述移动滑台(2)、拆卸滑台(6)以及安装滑台(7)结构相同，所述移动滑台(2)包括槽盒(16)，所述槽盒(16)的前、后两侧均固定连接有挡板(17)，且其中一侧的挡板(17)的外侧壁上固定安装有电机(18)，所述电机(18)的输出端通过丝杆(19)贯穿挡板(17)延伸至槽盒(16)的内部并连接有滑块(20)，所述滑块(20)的顶部固定连接有连接板(21)，两个所述挡板(17)的顶部之间且位于连接板(21)的上方固定连接有盖板(22)，所述拆卸滑台(6)和安装滑台(7)呈中心对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，其特征在于：所述定位机构(3)包括支撑板(23)，所述支撑板(23)沿水平方向分布，所述支撑板(23)顶部前侧的中部固定连接有固定板(24)，所述固定板(24)的外侧壁上固定安装有第一液压杆(25)，所述第一液压杆(25)的输出端贯穿固定板(24)延伸至固定板(24)的内侧并固定连接有夹持板(26)，所述支撑板(23)顶部的后侧通过两个三脚架(28)固定连接有限位板(29)，所述限位板(29)和固定板(24)均垂直于支撑板(23)。

5.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，其特征在于：所述吸附模组(8)包括安装板(30)，所述安装板(30)的底部固定安装有沿竖直方向分布的第二液压杆(31)，所述第二液压杆(31)的输出端通过安装架(32)固定安装有多个安装片(33)，多个所述安装片(33)相互平行，且多个安装片(33)均沿竖直方向分布，所述安装片(33)的正面固定连接有三个真空吸盘(34)，且三个真空吸盘(34)呈倒三角形分布。

6.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，其特征在于：所述硅片定位架(11)包括两个相互平行的封板(35)，两个所述封板(35)之间的左、右两侧均固定连接有侧板(36)，两个所述侧板(36)的内侧壁上均固定连接有多个沿竖直方向分布的卡槽(37)，且卡槽(37)与硅片(12)的厚度相适配，两个所述封板(35)之间的底部固定连接有两个相互平行的支撑架(38)。

7.根据权利要求3所述的一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，其特征在于：所述电机(18)的输出端通过联轴器固定连接有丝杆(19)，所述丝杆(19)的两端分别通过两个轴承与两个挡板(17)转动连接，所述丝杆(19)贯穿滑块(20)并与滑块(20)螺纹连接，所述滑块(20)与槽盒(16)滑动连接。

8.根据权利要求4所述的一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，其特征在于：所述夹持板(26)的背面固定连接有橡胶垫片(27)，所述限位板(29)正面的中部开设有预留槽，所述限位板(29)的两端分别抵压在石墨舟(4)背面的左、右两侧。

一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置
技术领域
[0001]本发明涉及石墨舟技术领域，具体为一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置。

背景技术
[0002]石墨舟就是石墨模具，石墨模具本身是一种载体，可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型，石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成，所以石墨模具有时称为石墨舟，也成为石墨船，石墨舟作为太阳能电池片镀件反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的转化效率和生产效率。

[0003]现有的石墨舟自动装卸片装置通常采用机械手进行装卸作业，机械手同时兼顾安装和拆卸作业，增加了机械手的负荷，且机械手结构复杂，维护成本高，同时两个工序无法分离，在具体生产中无法进行有效的中止命令，为此，我们设计出一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，来解决上述问题。

发明内容
[0004]针对现有技术的不足，本发明提供了一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，解决了机械手结构复杂，维护成本高，同时两个工序无法分离，在具体生产中无法进行有效的中止命令的问题。

[0005]为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，包括机架，所述机架内侧的顶部固定连接有沿机架长度方向分布的移动滑台，所述移动滑台的顶部通过定位机构固定安装有石墨舟，所述机架的左、右两侧且位于移动滑台中部和后部的上方均通过支架分别固定连接有拆卸滑台和安装滑台，所述拆卸滑台和安装滑台的底部均设置有吸附模组，所述机架的左、右两侧且位于两个支架之间的内侧分别固定设置有上料输送带和回收输送带，所述上料输送带和回收输送带的顶部均放置有硅片定位架，且位于上料输送带顶部的硅片定位架的内部卡接有多个硅片。

[0006]优选的，所述机架包括两个立板，两个所述立板相互平行，且两个立板均沿竖直方向分布，两个所述立板之间固定连接有多个固定架，多个所述固定架相互平行，两个所述立板内侧的顶部均固定连接有沿水平方向分布的防护板。

[0007]优选的，所述移动滑台、拆卸滑台以及安装滑台结构相同，所述移动滑台包括槽盒，所述槽盒的前、后两侧均固定连接有挡板，且其中一侧的挡板的外侧壁上固定安装有电机，所述电机的输出端通过丝杆贯穿挡板延伸至槽盒的内部并连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有连接板，两个所述挡板的顶部之间且位于连接板的上方固定连接有盖板，所述拆卸滑台和安装滑台呈中心对称分布。

[0008]优选的，所述定位机构包括支撑板，所述支撑板沿水平方向分布，所述支撑板顶部前侧的中部固定连接有固定板，所述固定板的外侧壁上固定安装有第一液压杆，所述第一液压杆的输出端贯穿固定板延伸至固定板的内侧并固定连接有夹持板，所述支撑板顶部的后侧通过两个三脚架固定连接有限位板，所述限位板和固定板均垂直于支撑板。

[0009]优选的，所述吸附模组包括安装板，所述安装板的底部固定安装有沿竖直方向分布的第二液压杆，所述第二液压杆的输出端通过安装架固定安装有多个安装片，多个所述安装片相互平行，且多个安装片均沿竖直方向分布，所述安装片的正面固定连接有三个真空吸盘，且三个真空吸盘呈倒三角形分布。

[0010]优选的，所述硅片定位架包括两个相互平行的封板，两个所述封板之间的左、右两侧均固定连接有侧板，两个所述侧板的内侧壁上均固定连接有多个沿竖直方向分布的卡槽，且卡槽与硅片的厚度相适配，两个所述封板之间的底部固定连接有两个相互平行的支撑架。

[0011]优选的，所述电机的输出端通过联轴器固定连接有丝杆，所述丝杆的两端分别通过两个轴承与两个挡板转动连接，所述丝杆贯穿滑块并与滑块螺纹连接，所述滑块与槽盒滑动连接。

[0012]优选的，所述夹持板的背面固定连接有橡胶垫片，所述限位板正面的中部开设有预留槽，所述限位板的两端分别抵压在石墨舟背面的左、右两侧。

[0013]本发明提供了一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，与现有技术相比具备以下有益效果：
[0014](1)、该PECVD石墨舟的自动装卸片装置，通过设置有拆卸滑台以及安装滑台替代机械手进行装卸作业，相比较机械手结构简单，维护成本低，同时，实现了两个工序的分离，便于操作人员进行中止命令而对后续的加工作业影响较小。

[0015](2)、该PECVD石墨舟的自动装卸片装置，通过设置有移动滑台并在移动滑台的两侧设置有上料输送带和回收输送带，实现了自动化装卸片，降低了操作人员的劳动强度，提高了生产效率。

附图说明
[0016]图1为本发明的结构示意图；
[0017]图2为本发明移动滑台的结构示意图；
[0018]图3为本发明定位机构的结构示意图；
[0019]图4为本发明吸附模组的结构示意图；
[0020]图5为本发明硅片定位架的结构示意图；
[0021]图中：1、机架；2、移动滑台；3、定位机构；4、石墨舟；5、支架；6、拆卸滑台；7、安装滑台；8、吸附模组；9、上料输送带；10、回收输送带；11、硅片定位架；12、硅片；13、立板；14、固定架；15、防护板；16、槽盒；17、挡板；18、电机；19、；丝杆；20、滑块；21、连接板；22、盖板；23、支撑板；24、固定板；25、第一液压杆；26、夹持板；27、橡胶垫片；28、三脚架；29、限位板；30、安装板；31、第二液压杆；32、安装架；33、安装片；34、真空吸盘；35、封板；36、侧板；37、卡槽；
38、支撑架。

具体实施方式
[0022]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他
实施例，都属于本发明保护的范围。

[0023]请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置，包括机架1，机架1内侧的顶部固定连接有沿机架1长度方向分布的移动滑台2，移动滑台2的顶部通过定位机构3固定安装有石墨舟4，机架1的左、右两侧且位于移动滑台2中部和后部的上方均通过支架5分别固定连接有拆卸滑台6和安装滑台7，拆卸滑台6和安装滑台7的底部均设置有吸附模组8，机架1的左、右两侧且位于两个支架5之间的内侧分别固定设置有上料输送带9和回收输送带10，上料输送带9和回收输送带10的顶部均放置有硅片定位架11，且位于上料输送带9顶部的硅片定位架11的内部卡接有多个硅片12，机架1包括两个立板13，两个立板13相互平行，且两个立板13均沿竖直方向分布，两个立板13之间固定连接有多个固定架14，多个固定架14相互平行，两个立板13内侧的顶部均固定连接有沿水平方向分布的防护板15，移动滑台2、拆卸滑台6以及安装滑台7结构相同，移动滑台2包括槽盒16，槽盒16的前、后两侧均固定连接有挡板17，且其中一侧的挡板17的外侧壁上固定安装有电机18，电机18的输出端通过丝杆19贯穿挡板17延伸至槽盒16的内部并连接有滑块20，滑块20的顶部固定连接有连接板21，两个挡板17的顶部之间且位于连接板21的上方固定连接有盖板22，拆卸滑台6和安装滑台7呈中心对称分布，定位机构3包括支撑板23，支撑板23沿水平方向分布，支撑板23顶部前侧的中部固定连接有固定板24，固定板24的外侧壁上固定安装有第一液压杆25，第一液压杆25的输出端贯穿固定板24延伸至固定板24的内侧并固定连接有夹持板26，支撑板23顶部的后侧通过两个三脚架28固定连接有限位板29，限位板29和固定板24均垂直于支撑板23，吸附模组8包括安装板30，安装板30的底部固定安装有沿竖直方向分布的第二液压杆31，第二液压杆31的输出端通过安装架32固定安装有多个安装片33，多个安装片33相互平行，且多个安装片33均沿竖直方向分布，安装片33的正面固定连接有三个真空吸盘34，且三个真空吸盘34呈倒三角形分布，硅片定位架11包括两个相互平行的封板35，两个封板35之间的左、右两侧均固定连接有侧板36，两个侧板36的内侧壁上均固定连接有多个沿竖直方向分布的卡槽37，且卡槽37与硅片12的厚度相适配，两个封板35之间的底部固定连接有两个相互平行的支撑架38，电机18的输出端通过联轴器固定连接有丝杆19，丝杆19的两端分别通过两个轴承与两个挡板17转动连接，丝杆19贯穿滑块20并与滑块20螺纹连接，滑块20与槽盒16滑动连接，夹持板26的背面固定连接有橡胶垫片27，限位板29正面的中部开设有预留槽，限位板29的两端分别抵压在石墨舟4背面的左、右两侧，通过设置有拆卸滑台6以及安装滑台7替代机械手进行装卸作业，相比较机械手结构简单，维护成本低，同时，实现了两个工序的分离，便于操作人员进行中止命令而对后续的加工作业影响较小。

[0024]工作时，首先操作人员将石墨舟4固定安装在定位机构3上，利用第一液压杆25实现夹持板26以及限位板29对石墨舟4的限位夹持，随后操作人员控制移动滑台2作业，电机18带动丝杆19转动实现滑块20带动石墨舟4的移动，将石墨舟4移动到机架1后侧的上料工位，通过安装滑台7实现吸附模组8的移动，并在第二液压杆31的作用下时实现吸附模组8对硅片定位架11内卡接的多个硅片12进行吸附，并将吸附的多个硅片12卡接在石墨舟4内，卡接有多个硅片12的石墨舟4随后作为载体对硅片12进行加工，加工完成后，通过移动滑台2实现石墨舟4回移到拆卸工位，同样的通过拆卸滑台6实现吸附模组8对石墨舟4内的硅片12进行吸附并放置在位于回收输送带10上的硅片定位架11内，硅片12卡接在卡槽37内，并通
过支撑架38完成对底部的限位。

[0025]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

[0026]尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

图1
图2
图3
图4
图5。