CdGeAs_2单晶体的腐蚀研究

CdGeAs_2单晶体的腐蚀研究
黄巍;赵北君;朱世富;何知宇;陈宝军;李佳伟;虞游
【期刊名称】《人工晶体学报》
【年(卷),期】2010(39)6
【摘要】报道了一种新型的CdGeAs2晶体择优腐蚀剂,配方
为:H2O2(30%)∶NH4OH(含NH325%-28%)∶NH4Cl(5mol/L)∶H2O=1 mL∶1.5 mL∶1.5 mL∶2 mL。

将经机械研磨、物理抛光和溴甲醇化学抛光处理后的表面平整无划痕的CdGeAs2晶片,在40℃下超声振荡腐蚀数分钟,采用金相显微镜和SEM进行蚀坑观察。

结果表明,新型腐蚀剂对CdGeAs2晶体(204)和(112)晶面择优腐蚀效果显著,蚀坑取向一致,具有很强的立体感;(204)晶面蚀坑呈三角锥形,(112)晶面蚀坑呈五边形,从晶体结构上对蚀坑形成机理进行了分析讨论。

【总页数】4页(P1349-1352)
【关键词】CdGeAs2晶体;化学腐蚀剂;蚀坑形貌;缺陷分析
【作者】黄巍;赵北君;朱世富;何知宇;陈宝军;李佳伟;虞游
【作者单位】四川大学材料科学系
【正文语种】中文
【中图分类】O785
【相关文献】
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