飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列

飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列
李明;程光华;赵卫;王屹山;贺俊芳;陈国夫
【期刊名称】《光子学报》
【年(卷),期】2009(38)3
【摘要】基于飞秒激光光刻技术和氢氟酸对光学玻璃的刻蚀,在K9光学玻璃表面制作了凹面微透镜阵列,并且可以以此为模板实现凸微透镜阵列的大量复制.用相位对比显微镜和扫描电子显微镜分析了微透镜阵列的表面轮廓,测试了微透镜阵列的光学衍射特征.该方法简单、透镜参量可控,制作的微透镜阵列能够用于分光、光束匀化、并行光刻等强激光领域.
【总页数】4页(P547-550)
【关键词】飞秒激光;酸刻蚀;凹面微透镜阵列
【作者】李明;程光华;赵卫;王屹山;贺俊芳;陈国夫
【作者单位】中国科学院西安光学精密机械研究机所瞬态光学与光子技术国家重点实验室
【正文语种】中文
【中图分类】O437
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