电子工业洁净室FFU结构简介

电子工业洁净室FFU结构简介【文章编号：SMS-2306】

信息录入：值欧来自： 人气：6 加入时间：2012-2-10 一、FFU的外观

目前，全世界所有厂家生产的FFU，从外观上可这样划分:

1、从形状上分两种，一种是长方体(如图1所示)，一种上部为坡形(如图2所示)。图2所示的FFU的上部做成坡形，起到了一种导流的作用，有利于气流的流动和均匀分布。图1所示的FFU则一般依靠另外的途径来均衡气流(后面详细阐述)。

2、从结构上分两种，一种为整体(如图3所示)，一种为分体(如图4所示)。

分体形状的FFU有如下优势：

①使过滤器的更换变得方

②减小了安装过程中的劳动强度。

整体形状的FFU有如下优势：

①增加了FFU的密封性，有效防止了泄漏。

②有利于降低噪音

③有利于减小振动

二、FFU的组成部件

目前，各种FFU最多由以下几部分组成(按从上到下、从内到外的顺序)，视不同厂家组成部分可能有所减少(如图5所示)。

1、预过滤器6、气流均衡装置

2、外壳体7、过滤器

3、风管连接部件8、金属防护网

4、电机9、刀缘

5、叶轮10、控制元件

下面，我们对各个部件进行分析介绍：

一、预过滤器

一般为可清洗聚胺脂泡沫，主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。

二、外壳体

组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种，不同厂家和不同的使用环境有不同的选择，厚度大约为1.2~2.0，视厚度情况有些可以载人。

三、风管连接部件

在洁净级别较低(≤1000级联邦标准209E)的场合，此时吊顶上部没有静压箱，带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。

四、电机

目前，交流电机和直流电机在FFU中都有使用，直流电机的体积大，造价高，控制容易实现，能耗较高。交流电机的体积小，造价低，控制需要相应的技术，能耗较低。现在FFU所使用的电机的寿命大约为4~10万小时不等。一些优秀的电机会有相应的技术，如无油润滑，密封轴承，带过热保护，换向器寿命得到显著提高等。

五、叶轮

叶轮有两种形式，前倾和后倾，前倾有利于增加气流组织的矢向流动，增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗，减小噪音。

六、气流均衡装置

随着FFU的不断普及，绝大部分厂家都开始装配气流均衡装置，用来调整FFU的出口气流，从而改善洁净室的气流分布。目前，这种均衡装置大约分为三种：一种为孔板(如图6所示)，主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU 的出口气流。一种为格栅(如图7所示)，主要通过格栅的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线(如图8所示)，主要通过曲线的形状来诱导气流的流动，同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。

七、过滤器

FFU所使用的过滤器和洁净厂房所用的其它过滤器一样，这里不再赘述。

八、金属防护网

金属防护网主要起到对过滤器的保护作用，大部分都防静电。

九、刀缘

当FFU使用在一些特别的场合时，带刀缘的FFU可使用液槽密封，从而能满足高密封性的要求。

十、控制单元

FFU的控制可大致分为多档开关、连续调节、计算机控制等几种，同时实现的功能有单台控制、分区控制、报警、运行状态显示等。

对应的FFU。FFU的洁净方式可以实现空气洁净度等级要求在ISO3∽ISO9（即1

级∽100万级）之间的洁净室。

常见的洁净室空气处理方式有两种，分别是MAU+AHU+HEPA（以下简称AHU 系统）和MAU+FFU+DC干盘管（以下简称FFU系统）。通过对两种方式的比较得出：FFU在净化空调系统中充当了净化循环机组，洁净室的循环风量等于洁净室内FFU的风量总和。洁净室的空气是由FFU从洁净天花夹层中送进洁净室内，并通过回风夹道将循环空气再送回到天花夹层；循环空气在通过回风夹道时与安装在夹道中的DC干盘管进行热量交换。

二、特点及应用

FFU的特点：低能耗、低噪音、方便灵活、节约空间、易安装。

低能耗：从FFU的组成部件来看，需要消耗能量的只有微型风机，而微型风机的功率一般都是在110w∽190w之间，虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。通常洁净室的循环风量是很大的，以面积为100m2、洁净室内高为3m、空气洁净度等级要求为ISO6（即1000级）的洁净室为例：《洁净厂房设计规范（GB500073—2001）》规定空气洁净等级为ISO6的洁净室的换气次数为50∽60次/h。我们在这里取换气次数为55次/h，则总循环风量为16500CMH，补新风量我们取3000CMH。

方案1AHU系统中：MAU的全压损失为700Pa,功率为2.2kw;AHU的全压损失为1300Pa，功率为15kw；整个系统的总功率为17.2kw。

方案2FFU系统中：MAU的全压损失为800Pa,功率为2.2kw；FFU(规格为1200×600，风量1200CMH)有14个，单个FFU的功率为190W,FFU总功率为2.66kw；整个系统的总功率为4.86kw。

通过对方案1、2的功率比较，我们得出一个结论：FFU在系统充当循环风柜和高效过滤器的集合体，而且其消耗的功率远比循环风柜AHU功率的要小，符合现在大力提倡节约型社会的主题，并给厂方在节约生产成本方面找到一个新的方向。

低噪音：《中户人民共和国国家标准城市区域噪声标准》规定：工业区昼间

65db(A)、夜间55db(A)。目前市场上风机的噪音值一般是在65∽90db(A)，有的甚至会达到100db(A)以上，如果采用AHU系统就很容易噪声超标，造成噪声污染。而FFU的噪音值一般是在45∽55db(A)，这样就不会担心其噪声会超标。

方便灵活：由于FFU是自带微型风机的，它不受区域的限制，可根据需要分区控制。随着科学技术的不断进步，特别是集成电路技术的飞速发展，对洁净室空气洁净度等级的要求越来越高，因此洁净室空气洁净度等级升级是不可避免的趋势。如果原有的洁净空调方式是MAU+AHU+HEPA的话，所谓洁净室升级就意味着重建，因为改造关系到施工难度以及在施工过程对原有的天花板及天花板管道的破坏，最后的投资与重建的投资相差不大，而且对洁净室温湿度的控制提出了更高的要求。另外，也不利于节能。但如果原系统采用的是MAU+FFU+DC干盘管的空调方式，由于洁净室循环风的总量是FFU的风量总和，且FFU的安装是配合吊顶骨架的，洁净室升级就是在洁净天花上增加相应的FFU个数。由于系统风管很少，省掉了风管的制作与安装，施工的难度大大降低，施工工期也大幅度缩短。一种产品的市场占有率很大程度都取决于进入市场的时间，进入越早越容易占有市场、越早见到利润，而且任何一个投资者在都希望在最短的时间得到回报，这就更加能体现FFU系统的优势。

另外，例如在某个生产工序上需要的空气洁净度等级是洁净室达不到的，且升级洁净室等级又过于浪费或者是没有必要时，我们就可以利用FFU的特性，制作一个提高局部洁净度等级的洁净室送风单元（例如FFU层流罩）。

节约空间：由于AHU系统风管很多，再加上给排水、消防以及工艺等众多管线就使得洁净室天花内错综交杂，给检查维修得来很多不便。FFU系统由于只有新风送风管且不多，这样天花内的空间就少了很多管线且整齐有序，自然占用的空间也就减少了，给日后的检查维修和洁净室升级改造留出了很多有效空间。

易安装：通常采用FFU系统的洁净室天花板都是用吊顶骨架来固定的，我们在选择洁净天花板时，只要将其尺寸、吊顶骨架的间距与FFU的外形尺寸刚好吻合，这样安装时只要将FFU摆放在吊顶骨架上，不但安装简单快捷，而且是在洁净室内与天花板一致的尺寸，整齐美观。

三、FFU的控制系统