烧结炉技术规格书V2

Ver 2.00
2009/11/13 CUC Technology
技术规格书
烘干/烧结炉设备
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（用户）：
（日期）：
北京中联科利技术股份有限公司（供应商）：
（日期）：
北京中联科利技术股份有限公司
工艺部：苏深伟 TEL：52098523 FAX：52094000
总设计师：大石满 TEL：52098504 FAX：52094000
研发部：刘烨 TEL：52098538 FAX：52094000
1．设备名称、数量
烘干/烧结炉设备一台
2．工艺参数
1）处理对象：6”、8”硅片；
2）处理批量：客户方自定。

3）温度控制：炉内在网带平面上的控温精度控制在10℃以内（以同一硅片在炉内的多点温度曲线为检验手段）；炉内在不同时间内的控温误差在10℃以内（以同一硅片多次在炉内的温度测试曲线为检验手段）。

4）网带速度控制：网带速度的不稳定性需要控制在2%以内。

网带运行过程中无明显的上下、前后的抖动。

5）温度升、降控制：从开机到温度稳定，时间不超过15分钟；硅片在炉内加热时，升温曲线斜率（升温速率）大于等于50℃/秒；降温曲线斜率大于等于-60℃/秒，且电池片在烧结炉出口温度小于60℃。

6）设备可使用率大于95%（维护、维修等时间控制在5%以内）
3．设备主要结构
A.炉子规格
B.炉子结构
C．驱动系统
带速是程序闭环控制，通过计算机设定，显示公制或英制单位。

网带速度偏离设定值或停止时，计算机自动报警。

可以设定速度偏差范围。

网带材质是镍铬金属，80%的镍，20%的铬。

网带回送系统不接触任何金属，保证炉腔不受污染。

D．工艺腔
干燥炉和烧结炉的入口挡板安装在一个铝壳内，内衬陶瓷保温材料。

喷吹气体由网带上下进入，形成气帘。

挡板固定在可以方便拆装的金属滴盘上，炉腔内气体通过金属滴盘上排出炉腔。

干燥炉和烧结炉部分都置于铝质炉壳内，内衬莫来石隔热材料。

干燥区额定温度为400︒C，烧结区额定温度为1000︒C。

工艺气体首先被引入一个腔体，该腔体位于铝质外壳和多孔保温材料之间，气体加热后通过保温材料进入工艺腔。

这种气体引入方式可以避免大量气体的流入对温度曲线的干扰。

而且，这种方式可以消除产品废气在炉膛内壁的聚集。

辐射加热通过密闭石英管内的钨丝来完成。

在干燥区，加热灯管位于传送网带的上方，发出的辐射波长为3-6um之间。

在烧结区，加热灯管位于传送网带的上下方，发出的辐射波长为1.2-2.8um之间。

每厘米输出功率达到12.5瓦，干燥区和烧结区内部可以在数分钟内达到一个平衡状态。

腔体构成如下：
网带由炉膛内的石英管支撑。

为补偿炉膛两侧的热量损失，加热丝安装在网带两侧的石英管内。

左右两个边加热器的功率输出可以按左右能量需求大小比例调节，调整范围从0-100%。

炉子过渡通道采用气帘将加热区和冷却区分开，气帘在网带上下形成气刀。

冷壁水冷区确保高效的热交换，冷壁位于网带上下，冷却水由用户提供。

进口水温和出口水温都有监测，同样水流量也有自动监测。

强制空气冷却用来对高速运行的产品进行降温处理。

它由两个相同风机驱动的部分组成。

安装在顶部的风机将周围环境气体经过过滤后，向下形成正压层流，吹向整个冷却区域。

这些气流又经过网带下方收集排出，通过强制排风与用户排放系统相接。

上下风机速度通过菜单由炉子控制器来调整控制。

烘干区炉膛便于拆卸，定期维护和清理。

E．控制系统
计算机控制系统位于进口装载区。

键盘和显示器放置于进口端的摇臂上。

温度通过温控仪控制电力调整器来实现闭环控制，计算机操作系统是WINDOWS XP 专业版。

通过设置密码来实现安全操作，不同的操作者有不同的操作级别和权限。

炉子分成许多加热区，加热区控制回路构成如下：
烧结炉每个温区上下配备独立的功率修正控制，用户使用这个功能可以控制上下加热器的功率输出，调整由温控仪完成。

烧结炉配备侧加热器，电阻丝埋置于外侧网带支撑的石英管内，可以进一步调整网带横向的温度均匀性。

开环控制，通过电力调整器调整输出功率值。

备用过温保护控制是标准配置，如果系统温度超过设定值，独立的过温保护系统将切断加热器电源并报警提示。

加热器工作监测系统位标准配置，这样可以连续监测每个温区加热灯管的加热情况，如果加热器出现故障立即报警提示。

每个温区独立监测易于发现问题灯管。

炉子进口配备六通道曲线热电偶端口，可以捕获、监测和分析工艺曲线。

曲线热电偶可以作为选件购买。

指示灯塔为系统标准配置，主要用于提示下列三种情况：
●绿色-工艺准备好
●黄色-警告提示
●红色-报警
F．气氛控制系统
从出口方向看，炉子的气体控制位于左侧，流量通过流量计控制，流量计位于控制面板内并上锁，避免意外波动。

配备空气过滤器、减压阀和水捕获器以清洁和控制工艺空气。

手动调节流量计配置如下：
外围压缩空气流量：100 m3/H。

供给压力为：0.63~1.03MPa。

G．产能
通常工艺带速条件下，完全可以满足电池片25-30兆瓦/年的要求。

H．冷却水系统
水冷部分主要达到经过烧结区高温后快速降温，减少杂质扩散。

水冷部分
的长度为540mm，进口水温和出口水温都有热电阻来检测，经过温控表显示到上位机，同样也配备一个水流文量开关，当水流过小时进行报警
入口压力：小于0.35MPa。

I．风冷部分
风冷部分的长度为2240mm，强制空气冷却用来对高速运行的产品进行降温处理，它由6个相同恒流风机驱动部分组成。

安装在顶部的风机将周围环境气体经过过滤后，向下形成正压层流，吹向整个冷却区域。

这些气流又经过网带下方收集排出，通过两个轴流风机与用户排放系统相接。

且上面的风机速度可由调速开关来控制。

J．超声波清洗部分
超声波清洗部分主要由超声波槽、振子、加热器、进水管路和出水管路等部分组成。

它主要是在网带运行一段时间后进行清洗而设定的。

K．电力规格
炉子电器系统遵守下列安全规定：
●NFPA-79工业设备电器标准
●NFPA-70国际电工标准
●CE（备选）
●配有六个紧急按钮，两个位于进口端面板，两个位于干燥炉和烧结炉
部分，两个位于出口端面板。

L．炉子颜色重量指标：
外部面板分成两个部分，并由1/4圈紧固器固定。

M．手册
提供两套操作手册，一份电路手册（CD），包括全套安装操作和维护，另外还提供系统软件备份文件。

CUC现场服务工程师提供安装指导。

设备外形图（此图仅供参考，根据具体设计情况结构会有微调，谨请理解）。