单晶炉加热电源说明书
单晶炉操作规程
单晶炉操作规程《单晶炉操作规程》一、概述单晶炉是一种用于生产单晶硅片的重要设备，操作规程的制定是为了保障生产安全和产品质量。
本规程适用于单晶炉的操作人员，旨在规范操作流程，确保操作安全。
二、操作准备1. 检查设备及工具是否完好，如有破损或异常情况，应及时上报并维修。
2. 确认操作人员已经接受相关的培训和指导，对单晶炉的操作流程和安全要求已经了解。
3. 确认生产原料和辅助材料充足，且符合生产要求。
三、操作流程1. 打开单晶炉的主电源，等待设备启动并进入待机状态。
2. 对设备进行必要的预热和调试，确保各部件正常运转。
3. 将生产原料放入炉子内，按照工艺要求设置温度和时间等参数。
4. 监控单晶炉的运行情况，及时发现异常情况并进行处理。
5. 生产结束后，关闭单晶炉的主电源，清理设备及工作环境，做好设备的维护和保养工作。
四、安全措施1. 在操作单晶炉时，严禁离开工作岗位，如有特殊情况需要离开，应当先停止设备运行。
2. 在操作单晶炉时，必须佩戴相关的防护用具，严禁穿拖鞋、长发等不符合安全要求的服饰。
3. 在设备运行过程中，不得私自更改设备参数，如有需要，必须经过相关部门的批准和操作。
4. 如发现设备异常或者故障，应及时上报并采取相应的应急措施，确保操作人员的人身安全和设备的正常运行。
五、操作后的记录和检查1. 在每次操作单晶炉结束后，应当对设备的运行情况、生产情况和设备维护情况进行记录。
2. 定期对单晶炉进行设备的检查和维护，确保设备的正常运行和使用寿命。
六、结束语遵守单晶炉操作规程是操作人员的基本职责，也是保障生产安全和产品质量的重要保障。
希望每位操作人员都能严格遵守操作规程，做到安全生产，为公司的发展做出贡献。
DRF-85型单晶炉使用说明书(机械部分)
DRF-85型单晶炉使用说明书（机械部分）目录1.综述 (4)1.1 用途 (4)1.2 技术特征 (4)1.4 附件 (8)2．设备安装与要求 (8)2．1 设备的工作环境 (8)2．2 冷却水源与排水 (9)2．3 电源 (10)2．4 氩气源 (10)2．5 泵组系统的排气管路 (10)2．6 设备的平面布置与厂房高度 (10)2．7 地基构造 (11)2．8 操作平台 (12)2．9 设备的拆箱 (12)2．10 设备的安装 (12)3．炉子本体结构说明 (14)3．1 结构简述 (14)3．2 坩埚驱动装置 (14)3．3 主炉室 (15)3．4 翻板阀 (17)3．5 副炉室 (17)3．6 籽晶驱动装置 (18)3．7 副炉室及炉盖升降操作 (18)3．8 主炉室（炉筒）升降操作 (19)3．9 水冷系统 (20)3．10 使用与操作 (20)3．10．1 调整 (20)3．10．2 (21)4．真空系统及充气系统 (21)4．1 真空系统 (21)4．1．1 (21)4．1．2 (22)4．1．3 (22)4．1．4 (22)4．2 (22)4．3 (23)4．3．1 (23)4．3．2 (23)5．维护与修理 (23)5．1 坩埚轴驱动部件的维修 (24)5．2 蜗轮蜗杆减速器的维修 (24)5．3 籽晶提拉部件的维修 (24)5．4 伺服机组的维修 (25)5．5 水冷系统的维修 (25)5．6 翻板阀的维修 (25)5．7 管道的维修 (26)6．拆装 (26)6．1 坩埚轴的拆装 (26)6．2 电极的拆装： (26)6．3 卷丝轮的拆装 (27)6．4 翻板阀的拆装 (27)1.综述1.1 用途DRF-85 单晶炉属软轴提拉式单晶炉，它是在惰性气体环境中，通过石墨电阻加热器将硅半导体材料加热并熔化，然后用直拉法生长无位错的单晶设备。
该设备可以大规模生产集成电路、太阳能等行业所需的高质量的硅单晶。
DRF-85型单晶炉使用说明书(电气部分)
DRF-85型单晶炉使用说明书（电气部分）目录一．TDR-ADC单晶炉电气控制系统组成 (4)1. 概述 (4)2. TDR-ADC电气控制系统组成及功能 (5)2.1 TDR-ADC晶体生长控制柜 (6)2.1.1 TDR -SLCL(PLC) 晶升埚升速度控制单机 (6)2.1.2 TDR -SRCR晶转埚转速度控制单机 (6)2.1.3 TDR -TEMP温度控制及工控机单机 (7)2.1.4 控制柜继电控制单元 (8)2.1.5 控制柜面板 (8)2.2 加热功率部件 (8)2.2.1 主加热功率部件 (8)2.2.2 辅助加热功率部件（选件） (9)2.3 继电控制 (9)2.3.1 液压系统的继电控制 (9)2.3.2真空机组的继电控制 (9)2.4 辅助控制部分 (9)2.4.1 HX-TDR主机分线盒接口装置 (9)2.4.2 HX-SEED2 引晶装置 (10)2.4.3 TDR -LIN晶升埚升计长板 (10)2.4.4 限位开关 (10)2.4.5 冷却水温度测量 (11)2.4.6 晶体直径测量 (11)3. TDRF-85炉的TDR-ADC电气控制系统接线说明 (11)3.1 TDRF-85炉的晶体生长控制柜接线说明 (11)3.1.1 控制柜内元件接线 (11)3.1.2 控制柜端子排接线 (11)二．TDR-ADC单晶炉电气控制系统安装调试 (23)1. 安装说明 (23)1.1 控制系统配置 (23)1.1.1 TDR -ADC晶体生长控制柜 (23)1.1.2 加热功率部件 (24)1.2 接线说明 (24)1.2.3 主机分线盒接线说明 (25)2. 系统调试 (25)2.1 TDR-ADC晶升埚升速度系统调试 (25)2.1.1 晶升速度调试 (29)2.1.2 埚升速度调试 (31)2.2.1 晶转埚转速度交流伺服电机简介 (34)2.2.2 晶转埚转速度调试 (35)2.3.1 TDR-TEMP温度控制及工控机单机 (36)2.3.3 加热温度控制部分调试 (41)2.4 TDR-ADC继电控制调试 (42)2.4.1真空机组继电控制调试 (42)2.4.2液压系统的继电控制调试 (43)2.5 TDR-ADC水温检测及限位开关调试 (44)2.5.1 冷却水温监测及超温报警 (44)2.5.2 限位开关调试 (44)三。
单晶炉技术说明书
单晶炉技术说明书1000字单晶炉是一种用于生产高品质单晶体的设备，它是半导体产业的重要设备之一。
下面我将为大家介绍单晶炉的技术说明书。
一、单晶炉的结构单晶炉主要由炉体、加热系统、制冷系统、控制系统等组成。
1. 炉体：炉体是单晶炉的主要组成部分，主要由炉体本体、电极、隔热材料和炉内环境构成。
炉体内部需要保持一定的真空或惰性气氛，以确保单晶生长的质量和稳定性。
2. 加热系统：加热系统是单晶炉的关键部分之一，它主要由加热元件、加热源、温度控制等组成。
加热源可以是电阻丝、感应加热、火焰等形式，但大多数单晶炉使用的是电阻丝。
3. 制冷系统：制冷系统是单晶炉的另一个重要部分，它主要用于保持单晶生长的过程，在单晶炉内部形成适宜的温度梯度和温度分布。
制冷系统主要由冷却水系统和压缩机组成。
4. 控制系统：控制系统是单晶炉的核心，它主要由计算机控制系统和温度控制系统组成。
计算机控制系统主要用于控制整个单晶炉的运行和生长过程，包括加热、真空、气氛等参数，而温度控制系统则主要用于精确控制单晶生长过程中的温度。
二、单晶生长过程单晶生长是单晶炉最重要的功能之一，主要通过以下步骤进行：1. 清洗晶体：将要生长的晶体进行表面清洗，去除表面杂质、油脂等污物和氧化物，确保晶体表面的干净度。
2. 落合：将准备好的晶种和熔融的材料放到炉体中，让晶种和熔融材料相遇，然后慢慢拉出晶种，使熔融的材料附着在晶种上。
3. 晶体生长：炉体内部形成的温度梯度和温度分布，使得材料开始在晶种上生长，形成单晶体。
4. 结晶完成：当晶体完成生长后，将晶体缓慢升温，淬火，将单晶从晶棒上取下。
三、单晶生长常见问题及解决办法1. 晶体表面不平整：可能是晶体过快生长，或熔融液中杂质太多。
解决办法：加大温度梯度，降低熔融材料的污染。
2. 晶体裂纹：可能是晶体过快生长，晶体内部应力过大。
解决办法：控制生长速度，减小温度梯度。
3. 不均匀生长：可能是炉内温度不均匀，或者晶种准备不足。
晶盛单晶炉操作说明
晶盛单晶炉操作说明
1. 简介
本章节将对晶盛单晶炉进行简要的介绍，包括其主要功能和特点。
2. 安全须知
在使用晶盛单晶炉之前，请务必阅读并遵守以下安全须知，以确保您的人身安全和设备正常运行。
3. 设备结构与组成部分
这一章节详细描述了整个设备的结构，并列出了各个组成部分及其作用。
同时还提供了相应图示以便更好地理解。
4. 操作流程步骤
a) 准备工作：在开始操作之前需要做哪些准备工作？
b) 开机启动：如何正确开启电源、控制面板等？注意事项有哪些？
c) 参数设置：如何根据实际需求设置温度、时间等参数？
d) 样品放置与取出方法: 如何正确放置样品到加热台上？怎么才能够安全地从加热台上取下样品？
5. 故障排除指南
如果在使用过程中发生故障或异常情况时，该怎么办呢?这里给出一些建议性内容来帮助用户快速定位和解决问题。
6. 维护与保养
为了确保设备的长期稳定运行，本章节将介绍一些常见的维护与保养方法，并提供相应注意事项。
7. 常见问题及解答
这里了用户在使用晶盛单晶炉过程中经常遇到的一些问题，并给出详尽而简明扼要地回答。
希望能够对您有所帮助。
8. 相关附件
本文档涉及以下附件，请参阅：
- 晶盛单晶炉操作手册.pdf
9. 法律名词及注释
- 单晶：指具有完整、连贯结构并无缺口或杂质等不均匀性存在的物体。
- 熔融法：通过加热原料至其溶点以上使之变成流动状态后再逐渐凝固形成单个大颗粒（即“种子”）以制得高纯度金属产品或合金产品。
单晶炉用晶闸管电源50V600A
50伏600安硅整流电源使用说明书使用说明50伏600安硅整流系统使用说明书目录一、序言 (2)二、主要用途及特点 (2)三、工作条件 (2)四、主要规格及技术参数 (3)五、设备主要结构 (3)六、操作说明 (4)七、安装调试 (9)八、维护与保养 (10)九、电气原理图及控制板使用说明 (11)50伏600安硅整流系统使用说明书一、序言●感谢您使用本公司的产品，为使您正确使用整流柜，请您使用前先仔细阅读本手册。
●本手册供用户使用，严禁持本手册复印交第三者，违者视为侵权。
●本公司产品若有改动，恕不通知。
如遇到有关技术问题，请与公司售后服务部联系。
●警告：本机配电箱内有危险电压和精密元件，非专业人员请勿打开。
二、主要用途及特点50伏600安硅整流电源能够接受来自温控仪的0～10V控制信号，并输出0～50V的直流电压。
能够稳定、可靠的输出30KW的直流功率。
三、工作条件1．电网电压波动：±10%（当电网频率为额定值时）2．电网频率波动：≤±1%（当电网电压为额定值时）3．海拔不超过1500m50伏600安硅整流系统使用说明书4．设备应安置在无严重危害和影响50伏600安硅整流电源正常使用的爆炸性或腐蚀性工业气体、水蒸汽、盐雾和化学性沉积物处，并应远离剧烈震动和颠簸的场合。
四、主要规格及技术参数另外：本机具有过流、缺水、超温等保护功能。
五、设备主要结构50伏600安硅整流电源由以下单元组成。
1.65KVA三相整流变压器。
2.硅整流单元及输出母线。
3.整流元件保护单元。
4.触发控制板。
50伏600安硅整流系统使用说明书5.测控仪表及二次控制线。
6.电源柜壳。
六、操说明作电源开关：每次动力电送上后，合上电源总开关，整个系统带电。
本系统设置自动/手动两种运行模式²手动控制1.控制柜上的“自动/手动”按钮打倒手动位置。
2.控制柜上的“稳压/稳流”按钮打倒稳压位置。
3.按下启动“按钮”4.顺时针旋转“调功电位器”。
松瓷单晶炉使用说明书
松瓷单晶炉使用说明书一、介绍松瓷单晶炉是一种先进的炉具，用于制造高品质的单晶材料。
本说明书将详细介绍松瓷单晶炉的使用方法和操作步骤，以帮助用户正确使用和维护该设备。
二、设备特点松瓷单晶炉具有以下特点： 1. 高温稳定：松瓷单晶炉能够提供稳定的高温环境，以实现单晶材料的高质量生长。
2. 环保节能：松瓷单晶炉采用先进的加热技术和节能设计，具有较高的能源利用率和环保性能。
3. 自动控制：松瓷单晶炉配备智能控制系统，可以实现温度、压力等参数的自动控制和调节。
三、操作步骤3.1 准备工作在使用松瓷单晶炉之前，需完成以下准备工作： 1. 确保炉具周围环境干燥、无可燃物质和易燃易爆物品。
2. 检查电源和电压是否符合要求，确保接地良好。
3. 清洁炉具内外表面，确保无杂质和污垢。
3.2 启动炉具按照以下步骤启动松瓷单晶炉： 1. 打开炉具控制面板电源开关，并确保面板显示正常。
2. 按照操作界面上的提示，设置所需的温度、压力等参数。
3. 按下启动按钮，等待炉具进入工作状态。
3.3 放置试样将待生长的单晶试样轻放到预定位置，避免与炉具接触面直接接触。
确保试样的完整性和良好的适配性，以提高生长质量。
3.4 生长过程监控在整个生长过程中，需要不断监控和调整参数，以确保生长质量。
以下是一些常见的监控要点： 1. 温度控制：根据生长材料的要求，控制炉膛温度在合适的范围内，并保持温度稳定。
2. 压力控制：根据生长材料的需求，控制气氛压力，并定期检查和调整气氛组分。
3. 液位监测：对于液相生长过程，需要定期检查和调整溶液的液位，以保持生长条件稳定。
3.5 停止工作在完成生长过程后，需要正确停止炉具的工作。
按照以下步骤进行： 1. 关闭炉具控制面板电源开关，并断开电源。
2. 等待炉具冷却至安全温度后，进行内外清洁和维护。
四、维护保养为了保证松瓷单晶炉的正常运行和延长使用寿命，需要进行定期的维护保养工作。
以下是一些常见的维护保养事项： 1. 定期清洁：定期清洁炉具内外表面，清除积尘和杂质，确保通风畅通。
单晶炉操作说明
．全自动单晶炉操作手册REV. MANUAL_ZJS.Z02（TDR80A-ZJS/TDR85A-ZJS/TDR95A-ZJS适用）2009年05月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD目录第一章单晶生长条件 (2)1.1 设备要求 (2)1.2 辅料要求 (3)1.3 安全要求 (4)第二章单晶生长标准流程 (5)2.1 拆炉 (5)2.2 装炉 (6)2.3 开始单晶的生长 (8)2.4 抽真空 (9)2.5 检漏 (11)2.6 压力化 (12)2.7 熔料 (13)2.8 稳定化 (15)2.9 熔接 (16)2.10 引晶 (18)2.11 放肩 (19)2.12 转肩 (20)2.13 等径 (21)2.14 收尾 (22)2.15 停炉 (23)第三章单晶生长辅助流程 (24)3.1 中途取晶 (24)3.2 回熔 (26)3.3 煅烧 (26)3.4 大清 (27)3.5 连接部位检查 (27)第四章相机调整与热场温度校正 (28)4.1 相机调整 (28)4.2 热场温度调整 (32)第五章异常情况处理 (33)5.1 断水 (33)5.2 电极故障 (33)5.3 打火 (33)附录故障速查 (34)第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。
单晶炉加热电源说明书doc资料
第一章概述一、简介单晶炉加热电源，是通力盛达能源设备（北京）有限公司集多年智能开关电源开发经验，参照信息产业部行业标准，结合国内外供电状况和使用要求，设计、生产的高新技术产品。
可用于单晶硅，多晶硅加热场所。
单晶炉加热电源系统采用模块化设计、组合式结构，由整流器、交流配电、直流配电等部分组成。
单晶炉加热电源通过外部隔离的0-10V直流电压控制系统输出，与其对应系统输出电压为0-60V，或者对应系统输出功率为150KW（通过系统前面板上的开关SW1选择“电压调节”或“功率调节”方式）。
单晶炉加热电源智能开关电源系统采用DZY-48/50H(HE)开关整流器，系统最大容量为2800A。
开关整流器采用了数字化功率因数校正、智能控制检测、新型磁性材料等新技术，使用了良好的热设计、EMC设计和可靠性设计，使交流输入电压适应范围、功率因数、功率密度、电磁兼容性、可靠性、转换效率等主要技术指标达到了国际先进水平。
二、系统特点1．全数字化交错PFC创新控制的有限双极性控制ZVS全桥拓扑、倍整流拓扑、双单片机实现全数字监控。
2．系统整流器采用功率因数校正技术，使输入的交流电流波形与输入的交流电压波形相同，相位一致，整机效率高，节省能源，降低运营成本。
3．系统整流器采用高频PWM控制变换技术，一方面减少了开关器什在高频开关过程中的功率损耗，提高了整机效率；另一方面减少了电磁干扰，可将电源系统安装在程控机房内。
4．系统采用民主均流技术，提高了系统工作的稳定与可靠性，因而减少了设备日常的工作维护。
5．系统整流器采用智能风冷和水冷技术，冷却效果好，故障率低，可靠性高。
6．整流器采用无工频变压器设计，体积小、重量轻。
7．整流器体积小占用空间小，交直流配电结构合理，便于操作、维护。
8．整流器采用了热插拔技术，可以在线安装或更换整流模块。
9．系统具有完善的防雷保护措施。
10．系统结构融入了等电位设计理念，简单巧妙的达到机柜通体等电位的设计要求，同时也提高了电磁兼容性能和系统防雷能力。
单晶炉技术说明书
坩埚轴为两段组装空心水冷结构，在轴的下部设有一水套可以引入冷却水。坩埚轴的旋转密封采用磁流体密封，升降密封采用焊接波纹管密封。
坩埚驱动装置包括坩埚的升降、快速升降、及坩埚的旋转驱动。坩埚的升降结构采用滚珠丝杠及双直线导轨导向的结构，系统刚性好，运动精度高。升降运动由直流伺服电机经蜗轮蜗杆减速器、齿形带、諧波减速器减速之后，通过牙嵌式电磁离合器驱动丝杠，由螺母带动升降架升降。快速电机通过蜗轮蜗杆减速后驱动丝杠转动，实现坩埚的快速升降。手动装置通过一对斜齿轮带动丝杠旋转，达到坩埚升降目的。安装在升降支架侧面的旋转电机通过楔形带实现坩埚轴的平稳转动。
3.15.坩埚升速范围：0～2mm/min0～2mm/min
3.16.坩埚快速：≥100mm/min≥100mm/min
3.17.坩埚转速范围：0～20R/min0～20R/min
3.18.籽晶提升有效行程：2900mm3000mm
3.19.坩埚升降有效行程：400mm400mm
3.20.主机占地面积：2500mmX1500mm2000mmX1500mm
炉室结构为顶开式，主炉室和副炉室开启时由螺母丝杠装置实现上移。上升到位后对称旋出，便于机动取出晶体，拆除热场系统和清理炉内各部。
主炉室和副炉室之间，设有翻板阀，可在维持主炉室工艺条件不变的情况下取出晶体，更换籽晶。
3.主要技术数据：9001型1201型
3.1.电源3相380V±10%,50HZ3相380V±10%,50HZ
功率：大于150KW/台
配电盘应装有500V、400A的空气开关，及380V、400A的隔离开关。厂房内不应有会对单晶炉机电系统正常运行造成不良影响的射电干扰和电磁干扰。建议用户为本设备的“热场加热电源”配备谐波抑制装置,以利于提高电能利用效率,减少干扰。
单晶炉加热电源综述
保定三伊电力电子有限公司
AC QF KM L SCR FU L C IG B T C L
4.主要优点：
� 控制器具有完善的过流、过压、限流、限压等多路保护系统，一旦电路出现故障，保护系 统能在短时间内动作，以免损坏，造成不必要的损失。 � 采用零电压软起动和慢起动的功能，并采用了先进的双闭环调节系统，在实际使用中 能 100%可靠起动，并且起动无冲击。设备在实际运行中，负载变化较大的情况下，也能够稳 定可靠地工作； � 精度高与 5‰，模块化冗余设计，维护方便； � 采用模拟方式连接，也可根据客户需要可以加装 Profibus、Modbus、RS485 等通讯模块与 蓝宝石炉连接。
二、 高频感应加热电源
1. 适用场合：主要用于坩埚下降法、提拉法等局部感应加热的蓝宝石炉。
2.技术指标
额定电压 输入 额定频率 额定电流 额定容量 输出 额定电压 额定电流 控制方式 功率元件 调节精度 工作频率 输出波形 启动方式 负载类型 冷却方式 3AC400V（±5% ） 50/60Hz 约 160A 85kW 0～12V DC 7000A DC
地址：河北省保定市向阳北大街 1968 号 邮编：071051 电话：0312－3332766
网址： 传真：0312－3330738 3/3
三、 高频加热电源 1.适用场合：主要用于泡生法等加热的蓝宝石炉。 2.技术指标
额定电压 输入 额定频率 额定电流 额定容量 输出 额定电压 额定电流 控制方式 功率元件 调节精度 工作频率 输出波形 转换效率 地址：河北省保定市向阳北大街 1968 号 邮编：071051 电话：0312－3332766 3AC400V（±5% ） 50/60Hz 约 220A 96kW 0～12V DC 8000A DC
晶盛单晶炉操作说明
晶盛单晶炉操作说明晶盛单晶炉操作说明一、设备概述晶盛单晶炉是用于单晶硅等材料的生长和烧结过程的设备。
其主要由加热炉体、温度控制系统、气体输送系统、真空系统、气氛控制系统等组成。
本操作说明介绍了晶盛单晶炉的详细操作流程和注意事项。
二、设备准备1.检查炉体外部是否有异物，清理并保持干净。
2.检查气源和真空系统是否正常运行，并确保供气压力和真空度符合要求。
3.检查温度控制系统是否正常运行，并进行相关校准。
三、设备启动1.打开电源开关，启动加热控制系统。
2.打开气源和真空系统的供气阀门，确保气源系统正常供气。
3.检查气源系统和真空系统的压力表，确保供气压力和真空度在正常范围内。
四、设备运行流程1.温度设定：根据工艺要求，在温度控制系统中设定所需的生长温度，并等待炉体温度达到设定温度。
2.晶体装载：将待生长晶体装入炉体，注意避免晶体受损和污染。
3.载台装载：将装有晶体的载台装入炉体，并关闭炉门。
4.生长过程监控：根据生长过程的要求，监控温度、气氛、真空度等参数的变化，并及时调整。
5.结晶结束：根据工艺要求，将生长过程中的温度、气氛等参数依次调整，完成结晶过程，并进行冷却。
6.取出晶体：待冷却结束后，打开炉门，将晶体取出，并注意避免晶体受损。
7.关闭系统：关闭炉体、气源和真空系统，清理设备并保持干净。
五、注意事项1.操作人员应具备相关技术知识和经验，按照操作规程进行操作。
2.在操作过程中，应注意安全，佩戴必要的个人防护装备。
3.操作前应检查设备的工作状态和参数，确保符合要求。
4.操作过程中如有异常或故障，应立即停止操作，并进行排查和维修。
附件：相关附件包括操作规程、设备维护记录等，请查阅。
法律名词及注释：1.《劳动法》：指中华人民共和国的劳动法律法规，保护劳动者的劳动权益。
2.《安全生产法》：指中华人民共和国的安全生产法律法规，保护人员的人身安全和设备的正常运行。
3.《环境保护法》：指中华人民共和国的环境保护法律法规，保护环境的整洁和生态的平衡。
单晶炉加热电源产品介绍
单晶炉加热电源产品介绍DIP-HE-60/2800 单晶炉电源，是北京动力源科技股份有限公司集多年智能高频开关电源开发经验，参照相关的行业标准，结合国内外供电状况和使用要求，设计、生产的高新技术产品，产品和技术平台通过了公司既有产品十多年的验证，技术成熟、可靠。
本产品主要应用于单晶硅加工领域，同时也适用于类似的直流电源需求领域，并可根据用户需求灵活调整。
一、产品特点：1. 高效节能DZY-48/50H（HE）整流模块采用目前最先进的无桥PFC、LLC电路拓扑技术，功率因数高（0.99），谐波分量低（＜3%）；整机效率高（94%），节省能源（与相控电源相比单炉可节电500度到850度电），降低运营成本。
2. 稳定可靠电源系统整流模块采用N+M的冗余备份方式，采用民主均流技术，系统可靠性高。
3. 绿色环保电源系统采用智能自循环风冷+水冷技术内循环系统，冷却效果好，系统产生的热量不会散发到工作环境中，不会因电源工作而增加空调投资。
4. 结构合理整流模块采用无工频变压器设计，体积小、重量轻、噪音低工作时的噪声小于55分贝。
5. 维护方便整流模块采用了热插拔技术,可以在带电情况下在线安装或更换整流模块，不影响系统的正常工作，交直流配电结构合理，便于操作、维护。
6. 智能管理电源系统功能完善，具有交流输入过压、欠压、直流输出过压、直流输出限流、短路保护等保护功能，同时具有对工作异常（水温异常、水压异常、正负排接地等）进行检测和故障报警功能。
7. 集中监控（选配）可实现后台对多台电源系统的集中监控、联网后可进行远程监测。
8. 组合灵活可根据用户需求进行扩减容量。
不会因需求变化而增添新的电源设备。
9. 长寿可靠可保证设备正常使用15年以上。
二、使用环境：工作环境温度：-25℃～ +55℃相对湿度：<90％(40±5℃) 储存温度：―40℃～ +70℃(试验温度) 大气压力：70KPa ～106KPa 海拔高度：≤3000m三、主要技术参数：交流输入电压：三相304V～511V 输出电压：0V～60V(可调)交流输入频率：45～65Hz 最大输出电流：2800A起动电压适应范围：系统起动电压≥280V，在280V～510V范围内可额定电流输出，交流输入电压在155V～310V范围内限流输出。
上虞晶盛单晶炉操作说明书
设备要求
运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）
（1）冷却水要求
水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上；
炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；
（2）以上操作过程中，要注意人身安全和设备安全！只要存在压砸的可能，禁止人体进入该空间。
打扫炉内卫生
（1）拿石墨器件的时候必须戴上线手套，严禁赤手接触，使用吸尘管道时，要注意防止管道被烫化在石墨件上。石墨件较烫时，不能戴薄膜手套；
（2）清除取晶时可能飞溅在隔离阀装置上的脏物和碎片；
（3）所有石墨件必须彻底打扫干净。干净的标准是：容易取出的石墨部件：导流筒、上下保温盖、上保温筒、三瓣埚、石墨埚托，必须打扫到全部露出石墨的本色，特别是不能留有黄色的挥发物。不容易取出的石墨件：加热器、主保温筒、炉底护盘等等，在大清的时候打扫，仍然要求打扫出石墨的本色。打扫石墨件时，可用百洁布；
（3）装坩埚时要防止将坩埚外壁的石英渣子带入埚中；
（4）若发现石英坩埚异常应及时与工段长或单晶技术主管联系，经判断不能使用后，进行更换；
（5）装完坩埚后，另换薄膜手套，进行装料。
装料
（1）用剪刀把多晶料包装袋沿塑料线剪开，注意外层包装袋不能接触到料；
（2）装料技巧：
a、首先选择小碎块（直径小于20mm）的料铺放到埚底，应尽量铺满坩埚底部；b、选择较小块（直径小于40mm）的料继续装入埚的中下部，中下部的料可以装的紧凑些并且贴近埚壁，但应自然堆砌，不能硬挤。与坩埚内壁接触的料块，应尽量选择具有表面光滑的球型面的料，避免尖锐端对着埚壁。
HX-DRF-85单晶炉电气控制系统说明书。11
使用须知●本说明书专为HX-DRF-85型单晶炉的用户所编写，要熟悉操作HX-DRF-85单晶炉，除了本使用手册外，用户还应熟知HX-DRF-85单晶炉的机械使用说明书。
●对于说明书中没有涉及到的问题或应用户要求专门设计的使用细节，用户应以我们提供的电气图纸资料及培训资料为准。
●本说明书只对公开的用户须知部分进行描述，对于用户拉晶工艺参数的特殊要求，我们负责对用户的拉晶工艺参数保密，而不在使用说明书中描述详细的工艺参数及细节。
●本手册的所有版权归西安恒新自动控制有限公司所有。
其全部或者部分文档或附加的软件，在没有西安恒新自动控制有限公司的书面允诺之前不得以任何形式复制或者拷贝。
1 概述.控制系统的特点 (1)2 控制系统组成及功能说明 (2)2.1 单晶炉电气控制系统组成 (2)2.2 单晶炉电气控制系统功能说明 (2)2.2.1 HX-ADC晶体生长控制柜 (2)2.2.2 HX-P190-0600或HX-P190-1211加热功率柜 (5)2.2.3 其它控制部分 (6)3 HX-ADC单晶炉电气控制系统安装调试 (8)3.1 安装及接线 (8)3.1.1 供电电源 (8)3.1.2 HX-ADC控制柜接线说明 (8)3.1.3 功率柜接线说明 (9)3.2 系统调试 (9)3.2.1 速度系统的调试 (9)3.2.2 温度控制系统调试 (17)4 电气部分常见问题分析处理 (26)4.1 速度系统常见故障及处理 (26)4.1.1 直流电机调速系统 (26)4.1.2 交流电机调速系统： (27)4.2 控温系统常见故障及处理 (27)4.2.1 加热电源柜调试中常见故障 (27)4.2.2 系统投入自动后常见故障 (29)4.2.3 加热过程中，频繁出现“过流” (29)概述1概述·控制系统的特点HX-ADC单晶炉电气控制系统是西安恒新自动控制有限公司集多年单晶炉控制经验之大成，为提拉式单晶炉研制的新一代全自动单晶炉电气控制系统，可满足大直径单晶炉的电气控制要求。
单晶炉操作说明(二)
单晶炉操作说明（二）引言概述：本文是关于单晶炉操作说明的第二部分，旨在更加详细地介绍单晶炉的操作方法和注意事项。
单晶炉是一种常用于材料科学研究和半导体制备的设备，正确的操作方法和注意事项对单晶生长的成功至关重要。
本文将从温度控制、气氛控制、单晶生长过程等方面进行阐述，以帮助操作人员更加熟练地操作单晶炉。
正文：一、温度控制1. 确保单晶炉的传感器和温度控制器正常工作，校准准确。
2. 在操作前，应将单晶炉预热至待定的温度，并保持一段时间，以确保温度的稳定性。
3. 设定单晶炉的温度范围和升温速率，根据实际需要调整。
4. 升温过程中，要时刻观察温度的变化并记录，避免温度超出设定范围。
5. 单晶生长完毕后，要缓慢降温，并注意避免温度快速改变引起的破裂等问题。
二、气氛控制1. 在单晶生长过程中，必须保持特定的气氛，一般通过气体流量控制进行调节。
2. 确保气源的纯度和稳定性，避免杂质对单晶生长的影响。
3. 设定气体流量和压力，根据单晶材料和实验要求进行调整。
4. 维持恒定的气氛流量，避免突然变化引起的温度波动。
5. 定期检查气体管道和阀门的密封情况，确保气氛控制的稳定性。
三、单晶生长过程1. 在放入单晶衬底前，要先清洁并处理好衬底表面，避免杂质对单晶生长的影响。
2. 控制好单晶衬底的位置和姿态，确保单晶生长的均匀性和完整性。
3. 合理选择单晶生长的时间和速度，根据实验要求进行调整。
4. 观察单晶生长的情况，及时调整温度和气氛控制参数，确保单晶质量的优良。
5. 单晶生长完毕后，要及时停止气氛流量和降温，避免产生不良的晶界和结构。
四、安全操作1. 操作人员必须熟悉单晶炉的使用方法和安全操作流程，并戴好相关的防护设备。
2. 在操作前要检查单晶炉的电气连接是否正常，避免发生电气问题导致的安全事故。
3. 在操作过程中要随时注意观察单晶炉的运行状态，如有异常及时报告并采取相应措施。
4. 操作人员在操作单晶炉时，要遵循相关的安全操作规程，严禁操作违规。
单晶炉操作说明
单晶炉操作说明单晶炉操作说明1.介绍本文档为单晶炉操作说明，旨在提供操作指南，确保正确、安全地操作单晶炉。
本文涵盖了单晶炉的基本知识、操作步骤以及相应的安全注意事项。
2.单晶炉基本知识2.1 单晶炉简介单晶炉是一种用于生产单晶材料的设备，通过控制温度和环境条件来实现单晶材料的生长过程。
2.2 单晶炉组成单晶炉主要由以下组件组成：- 加热器：提供所需的加热能量，通常使用电阻加热方式。
- 容纳腔体：用于放置单晶材料和控制生长环境的空间。
- 控制系统：用于监测和控制加热器温度、生长环境等参数的设备。
3.操作步骤3.1 准备工作3.1.1 确保单晶炉设备处于正常工作状态。
3.1.2 检查加热器和温度控制系统的连接情况，确保正常工作。
3.1.3 准备好所需的单晶材料和其他辅助材料。
3.2 开始操作3.2.1 打开单晶炉的电源开关，启动加热器。
3.2.2 设置所需的生长温度，并等待温度达到设定值。
3.2.3 打开单晶材料放置腔体，并将单晶材料小心放置在适当的位置上。
3.2.4 根据需要，设置生长环境（如气体流量、气氛组成等）。
3.2.5 监测生长过程中的温度和其他关键参数，确保生长条件的稳定性。
3.2.6 根据所需的生长时间，保持稳定的生长条件，并监控生长过程。
4.安全注意事项4.1 在操作单晶炉前，确保已经了解并理解相关的安全规定和标准。
4.2 操作单晶炉时，穿戴适当的个人防护装备，如防护服、护目镜等。
4.3 注意避免在单晶炉周围堆放易燃和易爆物品。
4.4 在操作过程中，遵循设备制造商提供的操作指南和注意事项。
5.附件本文档涉及的附件包括：- 单晶炉设备操作手册- 单晶材料生长参数记录表6.法律名词及注释- 单晶材料：具有一个无缺陷晶体结构的材料，通常用于电子器件制造等领域。
- 加热器：一种用电阻加热的设备，用于提供加热能量。
单晶炉操作说明
．全自动单晶炉操作手册REV. MANUAL_ZJS.Z03（TDR-95A/100A/100B-ZJS适用）2010年06月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD目录第一章单晶生长条件 (2)1.1 设备要求 (2)1.2 辅料要求 (3)1.3 安全要求 (4)第二章单晶生长标准流程 (5)2.1 拆炉 (5)2.2 装炉 (6)2.3 开始单晶的生长 (8)2.4 抽真空 (9)2.5 检漏 (11)2.6 压力化 (12)2.7 熔料 (13)2.8 稳定化 (15)2.9 熔接 (16)2.10 引晶 (18)2.11 放肩 (19)2.12 转肩 (20)2.13 等径 (21)2.14 收尾 (22)2.15 停炉 (23)第三章单晶生长辅助流程 (24)3.1 中途取晶 (24)3.2 回熔 (26)3.3 煅烧 (26)3.4 大清 (27)3.5 连接部位检查 (27)第四章相机调整与热场温度校正 (28)4.1 相机调整 (28)4.2 热场温度调整 (32)第五章异常情况处理 (33)5.1 断水 (33)5.2 电极故障 (33)5.3 打火 (33)附录故障速查 (34)第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。
连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。
松瓷单晶炉使用说明书
松瓷单晶炉使用说明书松瓷单晶炉使用说明书一、产品介绍松瓷单晶炉是一种专业的材料制备设备，主要用于生产单晶材料。
该设备采用高温加热技术，能够精确控制温度和时间，以满足不同材料的生产需求。
二、安装与调试1. 安装前请先检查设备是否完好无损。
2. 将设备放置在平稳的地面上，并连接好电源线。
3. 打开电源开关，进行电气测试，确保所有电气元件正常工作。
4. 进行机械部分的调试，如传动系统、加热系统等。
5. 进行温度控制系统的调试，确保能够精确控制温度。
三、操作流程1. 开机前，请先检查所有操作部件是否正常工作。
2. 打开电源开关，并将温度控制器设置为所需温度。
3. 将待处理的材料放入样品架中，并将样品架放入炉腔内。
4. 关闭炉门，并开始加热过程。
5. 确保在加热过程中始终保持目标温度稳定，避免出现过高或过低的情况。
6. 加热结束后，关闭电源开关，等待设备冷却至室温后方可取出样品。
四、注意事项1. 在操作设备时，请戴好防护手套和眼镜，以避免受到高温伤害。
2. 在加热过程中，请勿将手伸入炉腔内，以避免受到高温灼伤。
3. 请勿在设备上使用任何化学试剂或液体，以免对设备造成损坏。
4. 在使用过程中，如发现任何异常情况，请立即关闭电源开关，并联系专业技术人员进行维修处理。
五、维护保养1. 每次使用完毕后，请进行设备清洁，并检查所有部件是否正常工作。
2. 定期对设备进行检查和维护，并更换损坏的零部件。
3. 请勿在潮湿或易受腐蚀的环境中存放设备，以避免对设备造成损坏。
4. 如长时间未使用该设备，请将其存放在干燥通风的环境中。
六、故障排除1. 如发现温度控制不准确，请检查温度传感器和温度控制器是否正常工作。
2. 如发现加热不均匀，请检查加热元件是否正常工作，并进行调整。
3. 如发现设备无法启动，请检查电源开关和电气元件是否正常工作。
七、技术参数1. 最高温度：1800℃2. 控温精度：±1℃3. 加热方式：电阻加热4. 加热功率：5KW八、结语松瓷单晶炉是一种高端的材料制备设备，具有精准的温度控制和高效的加热能力。
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第一章概述一、简介单晶炉加热电源，是通力盛达能源设备（北京）有限公司集多年智能开关电源开发经验，参照信息产业部行业标准，结合国内外供电状况和使用要求，设计、生产的高新技术产品。
可用于单晶硅，多晶硅加热场所。
单晶炉加热电源系统采用模块化设计、组合式结构，由整流器、交流配电、直流配电等部分组成。
单晶炉加热电源通过外部隔离的0-10V直流电压控制系统输出，与其对应系统输出电压为0-60V，或者对应系统输出功率为150KW（通过系统前面板上的开关SW1选择“电压调节”或“功率调节”方式）。
单晶炉加热电源智能开关电源系统采用DZY-48/50H(HE)开关整流器，系统最大容量为2800A。
开关整流器采用了数字化功率因数校正、智能控制检测、新型磁性材料等新技术，使用了良好的热设计、EMC设计和可靠性设计，使交流输入电压适应范围、功率因数、功率密度、电磁兼容性、可靠性、转换效率等主要技术指标达到了国际先进水平。
二、系统特点1．全数字化交错PFC创新控制的有限双极性控制ZVS全桥拓扑、倍整流拓扑、双单片机实现全数字监控。
2．系统整流器采用功率因数校正技术，使输入的交流电流波形与输入的交流电压波形相同，相位一致，整机效率高，节省能源，降低运营成本。
3．系统整流器采用高频PWM控制变换技术，一方面减少了开关器什在高频开关过程中的功率损耗，提高了整机效率；另一方面减少了电磁干扰，可将电源系统安装在程控机房内。
4．系统采用民主均流技术，提高了系统工作的稳定与可靠性，因而减少了设备日常的工作维护。
5．系统整流器采用智能风冷和水冷技术，冷却效果好，故障率低，可靠性高。
6．整流器采用无工频变压器设计，体积小、重量轻。
7．整流器体积小占用空间小，交直流配电结构合理，便于操作、维护。
8．整流器采用了热插拔技术，可以在线安装或更换整流模块。
9．系统具有完善的防雷保护措施。
10．系统结构融入了等电位设计理念，简单巧妙的达到机柜通体等电位的设计要求，同时也提高了电磁兼容性能和系统防雷能力。
11．系统整流器具有交流输入过压、交流输入欠压、直流输出限流与短路保护等保护功能。
12．系统具有远端控制和本地控制两种控制方式供选择，提高了可靠性；13．系统可根据用户给定信号线性调节输出电压或输出功率；14．系统具有模块故障、系统过温故障、远控故障、门禁故障、炉阻故障等故障信号的声、光报警以及故障信号的上传功能；15．系统可实时测量当前炉阻，在功率调节模式下，当炉阻因温度、老化等因素变化时，系统实时调节输出电压，保证系统恒功率输出；三、使用环境工作环境温度：-5℃～+45℃相对湿度：＜90％(40±5℃)；储存温度：-40℃～+70℃（试验温度）；大气压力：70KPa～106KPa。
海拔高度：≤3000m。
工作条件：交流输入：三相五线制一火线U、V、W；零线N；保护地线PE。
交流输入电压：三相304V~456V(线电压) 交流输入频率：45～65Hz。
起动电压适应范围：系统起动电压（相电压）≥160V，利电压在180V～290V范围内可额定电流输出，交流输入相电压在90V～180V范围内限流输出。
四、系统安全性1．绝缘电阻：在正常大气压条件下，环境温度为1 5℃～35℃，在不接入防雷器、整流器、控制器、系统前面板和系统隔离板时，试验电压为直流500V，交流部分和直流部分对地、以及交流部分对直流部分的绝缘电阻符合下述要求：在相对湿度≤65％环境中，绝缘电阻不低于 5 MΩ；在65％＜相对湿度≤90％环境中，绝缘电阻不低于2MΩ．2．抗电强度：在不接入防雷器、整流器、控制器、系统前面板和系统隔离扳时，交流配电部分各带电回路对地、交流电路对直流电路之间应能承受50Hz、2500V的交流电压lmin，无击穿、无飞弧现象，漏电流≤30mA；直流电路对地应能承受50Hz、有效值为1000V的正弦交流电压1min且无击穿或飞弧现象，漏电流≤30mA五、执行标准GB 3859.1-1993半导体变流器基本要求的规定；GB 4943-2001信息技术设备（包括电气事务设备）的安全；GB 9254-1998信息技术设备的无线电骚扰限制和测量方法；YD／T 282-2000通信设备可靠性通用试验力法；YD／T 585-1992通信用配电设备；YD／T 731-2002通信用高频开关整流器；YD／T 944-1998通信电源设备防雷技术要求和测试方法；YD／T 983-1998通信电源设备电磁兼容性极限值及测量方法；YD／T 1058-2007通信用高频开关组合电源；YD／T 1104-2001通信用开关电源系统监控技术要求和试验方法。
第二章电源系统一、主要技术指标1．输出：工作范围：OV~60V。
稳压精度：不超过直流输出电压整定值的±0.6％均流误差：开关整流器的输出电流在50％～100％的额定电流范围内时，其均分负载电流不平衡度小于额定电流的±5％；最大效率：单体开关整流器≥92％；音响噪音：≤55dB。
2．杂音电压：电话衡重杂音电压：≤2.0mV；峰-峰值杂音电压：≤200mV；二、基本工作原理图2-1是单晶炉加热电源组成原理图。
单晶炉加热电源采用三相五线制交流输入，交流配电单元将三相交流电配接为开关整流器所需要的单相电或三相电。
整流器把交流电整流稳压为稳定的直流电，所有整流器并联输出。
图2-1单晶炉加热电源原理图三、系统配置单晶炉加热电源最大容量配置：1. 整流器：SR4850-A 56台：2. 额定交流输入：AC220V/20A；额定直流输出：DC48V/50A 。
3. 交流配电：交流输入：交流接触器400A/3P，1路；C级防雷1件套；(标准配置)系统前面板的交流单相输入：1P空开(控制系统前面板和系统隔离板的运行与关闭) 4. 直流配电：直流输出通过铜排接至客户端阻性负载。
5. 机柜外形尺寸(宽×深×高)：900mmX 1000mmX 1600mm。
图2-1单晶炉加热电源外观图第三章交直流配电一、交流配电单晶炉加热电源交流配电标准配置为单路交流输入。
三相交流输入通过400A交流接触器接入电源系统(机柜内另有1P空开控制系统前面板的运行与关闭)，在系统前面板处于运行状态时，客户端通过无源开关量控制接触器的开启和关闭。
二、直流配电整流器将交流电整流稳压为直流电后送直流配电的正负汇流排供用户使用。
三、直流检测单元直流检测单元通过系统前面板和系统隔离板将0-60V直流输出电压转换为0-10v(或0-8V(相当丁0-75V对应0-10V信号)，通过改变用户接口接线排上的接线方式来实现)电压信号；将0-37.3mv(0-2500A，20度)直流输出电流信号转换为0-10V电压信号（或0-8.33V（相当于0-3000A，20度对应0-10v信号），通过改变用户接口接线排上的接线方式来实现）；将0-150KW输出功率转化为0-10v电压信号，供用户端口检测和显示．电源系统与用户控制柜的接口如下所示：第四章整流器一、主要技术指标1. 主要技术指标整流器主要技术指标如表4.12. 通用技术指标：a．稳压精度：不超过直流输出电压整定值的±O 6％。
b．电压调整率：不超过直流输出电压整定值的±0．1％。
c．电流调整率：不超过直流输出电流整定值的±O．5％。
d．均流误差：当整流器的输出电流在50％～100％的额定电流范围内时，其均分负载电流不平衡度≤±5％额定电流值。
e．可闻噪音：≤55dBf．杂音电压：电话衡重杂音电压：300Hz～3400Hz≤2.0mv。
峰一峰值杂音电压：0MHz～20 MHz≤200mV。
宽频杂音电压：3.4KHz～150KHz≤50mv。
g．绝缘电阻：在正常大气压条件下，相对湿度为90％，试验电压为直流500V时，整流器主回路的交流部分和直流部分对地、以及交流部分对直流部分的绝缘电阻均不低于5MΩ。
h．抗电强度：1. 交流电路对地能承受50Hz、1500V的交流电压1min，无击穿、无飞弧现象，漏电流≤30mA。
2. 直流电路对地能承受50Hz、750V的直流电压1min，无击穿、无飞弧现象，漏电流≤30mA。
3. 交流电路对直流电路能承受50Hz、3000V的交流电压1 min，无击穿、无飞弧现象，漏电流≤30mA。
i．其它保护功能：1. 路保护功能：当整流器直流输出电流大于11 O％额定输出电流时实施短路保护，降低输出电压，限流输出；故障消除，自动恢复正常工作。
2. 热器过温保护：当敞热器温度在1 10℃±lO℃范围时，整流器实施过温关机保护；故障消除，自动恢复正常上作。
二、工作原理开关整流器主要由输入滤波电路、缓启动电路、PFC有源功率因数校正电路、PWM高频开关DC-DC变换电路、检测控制和状态检测、智能通信接口、输出整流滤波电路等部分组成。
图4-1是开关整流器基本工作原理框图。
单晶炉加热电源配置的开关整流器均具有交流输入过压、交流输入欠压、直流输出过压、直流输出限流与短路保护等保护功能。
三、整流器外形整流模块的外形图如图4-2所示，前面板指示灯功能如表4-2所示.a、外观b、前面板c、后面板图4-2 整流模块的外形图表4-2 整流模块前面板指示灯功能指示标识正常状态异常状态异常原因正常指示灯（绿色）亮灭电源不工作闪亮后台监控对模块进行操作告警指示灯（黄色）灭亮交流输入过欠压，模块PFC输出过欠压，过温，模块不均流，限功率闪亮模块通讯中断故障指示灯（红色）灭亮输出过压，模块输出熔丝断闪亮模块风扇故障A．关于“告警”和“故障”信号灯：1．黄色“告警”或红色“故障”信写灯亮，除通讯故障外均按故障处理：2．当整流器与控制器间未构成通信时，该整流器的黄色“告警”信号灯将亮，不按故障处理。
B．安装方法1．将整流器按自然状态推入相应整流器位置；2．然后抬起把手，锁轴上移，将整流器插入中抽屉，使之接插牢靠。
C．中抽屉定义：将系统配置的整流器装入智能开关电源机柜。
第五章安装手册一、安全守则提示：1．这里所列注意事项都是有关安全的极重要的问题，敬请遵守。
2．设备安装应由专业人员严格遵照相关安装规定进行作业安装。
3如果安装不当，将可能造成火灾、触电等事故。
4如果调试不当，设备将不会正常运行。
请注意：1．安装设备的机房应符合“使用环境与工作条件”的要求。
2．安装设备的机房应能够承受相当的重量。
3. 机房应保持干燥，清洁，无可燃性气体泄漏!4．分别安装保护接地、工作接地，且应分散连接、集中接地。
5．按有关规定加工交流输入线利其它有关连线。
二、开箱检查根据装箱单检查核对设备主要配置、配件。
1．检查各部件表而是否完好、无损伤。