PECVD石墨舟清洗情况表
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PECVD石墨舟清洗情况表
消耗化学品 石墨舟损坏情况 备件更换情况 更换销钉 清洗石墨 石墨舟的 舟的数量 更换(报废)舟片 125舟（片） 156舟（片） HF HCO3 数量 （只） （只） （瓶 （瓶 陶磁棒 石墨棒 ） ） 125外片 125内片 156外片 156内片 自然 人为 设备 自然 人为 设备
中心
三中心 156
五中心 125
六中心 156
Байду номын сангаас
七中心 156
备
注
消耗化学品 石墨舟损坏情况 备件更换情况 更换销钉 清洗石墨 石墨舟的 舟的数量 更换(报废)舟片 125舟（片） 156舟（片） HF HCO3 数量 （只） （只） （瓶 （瓶 陶磁棒 石墨棒 ） ） 125外片 125内片 156外片 156内片 自然 人为 设备 自然 人为 设备
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