真空镀膜机安全操作规程

真空镀膜机安全操作规程
1.打开总电源，打开总水源，打开中气源。

2.打开机械泵冷水阀门并启动机械泵，开始对管道抽真空。

3.开预阀，对扩散泵抽真空（延时自动启动罗茨泵）同时打开扩散泵上下冷却阀门及水冷挡板冷却阀门。

4.开扩散泵，约一小时左右后，扩散泵处于正常工作状态。

5.开启放气阀，打开箱门。

6.装入待镀元件，关闭箱门，关闭放气阀。

7.当扩散泵处于正常工作后，关闭预阀，打开低阀，延时120秒后自动启动罗茨泵，对蒸发室抽低真空，当蒸发真空度达到 1.0-0Pa 时，关闭低阀，开预阀，开高阀，对蒸发室抽高真空。

8.逐步调试增加蒸发室内温度。

9.蒸发室内温度及正空度达到所需求值时，打开膜厚仪，预热枪灯丝后开始蒸镀。

10.蒸镀完成后，关闭膜厚仪及枪灯丝，关闭高阀及扩散泵。

11.逐步降低蒸发室内温度。

12.待达到规定温度时（大于1小时）关闭低阀和机械泵。

13.关总电源，关总水源，关总气源。