WI-PD-WS-002 划片 设备指导(1)
合集下载
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
6.输入待切割产品参数，按ENTER
键更新参数
11.依据产品信息，圆片按照由上到下顺序依次放入，放置待检区
3.设备启动OK ，产品从待划片区
拿置于升降台
5..主界面，按F4进入程序参数页面依据随件单产品型号调出程序
4.按WATER 键，开启纯水，确认设备流量计，浮标是否处于（红色胶带上方）
9.设备自动切割，切割过程中根据需要调整切割道。
7.主界面，按F1进入全自动切割
页面
8.按NEW CAST 安装新弹夹，按
SART 键开始 2.设备启动（顺时针开机，逆时针关机），按INT 键系统初始化。
10.切割完成，从升降台取出
已切割晶圆此开关方向为：
已开启水、气
1.接通电源，开启纯水、压缩气。