微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)
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微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)
周兆英;杨兴;熊继军
【期刊名称】《测试技术学报》
【年(卷),期】2002(016)0z2
【摘要】微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS 器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.
【总页数】9页(P913-921)
【作者】周兆英;杨兴;熊继军
【作者单位】清华大学精密仪器系,北京,100084;清华大学精密仪器系,北
京,100084;清华大学精密仪器系,北京,100084
【正文语种】中文
【中图分类】TM93
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