SX-700单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量

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Ａｂｔａｔｓｒｃ：ＴｏｄｓｇｅｉｎａＳＸ一０ｍｏｃｏｔｏ７０ｎｏｈｒｍａｏｒｆｒＳｈａｎｇｈｉｎｈｏｒｎＲａｉｔｏｃｌｙ（ａＳｙｃｒｔｏｄａｉｎＦａｉｉｔＳＳＲＦ）
ａｄｔｎａｌｔａｎｄｓｇｎｘ，ｔｏａｉｎａｌｅｅｔｂｌｔｃｎｎｎｇｐｏｔｎｅｇｙ，ｏｂｎｏｅｂｅｉｓｍｉｅｉｎｉｄｅｈｅｒｔｔｏｎｇｅｒｐａａｉｉｙｏｆｓａｉｈｏｎｅｒｔｅｌｓｈａ． ” ｔｅｅｒｒｓｕｃｓａｆｃｉｈｅｒｔｔｏｎｅｒｐｅｔｂｉｔｈｅｇａｉｉｅｍｅｈａｅｓｔｎ０４３，ｈｒｏｏｒｅｆｅｔｎｇｔｏａｉｎａｇｌｅａａｌｙｏｆｔｒｔｎｇｓｎｃ — ｉｎｓａｅｉｅｔｇｔｄａｈｅｈａｉｇｓｎｅｈａｉｍｓｓｍｕｌｔｄｎｕｅｉａｌｉｇｔｅｆｎｉｅｉｍｒｎｖｓｉａｅｎｄｔｎｔｅｇｒｔｎｉｅｍｃｎｓｉｉａｅｍｒｃｌｙｂｙｕｓｎｈｉｔ
关键词：Ｘ一０Ｓ７０单色器；弦机构；角精度；值模拟正转数
中图分类号：Ｈ７４１Ｔ４．
文献标识码：Ａ
ＳｍｕａｉｎａａｙｉｎｅｓｒｍｅｆｒｔｔｏｎｌｅｅｔｂｌｔｏｉｌｔｏｎｌｓｓａｄｍａｕｅｎｔｏｏａｉｎａｇｅｒｐａａｉｉｙｆｒｇａｉｇｓｎｅｈａｉｍｆＳ７０ｍｏｏｈｏａｏｒｔｎｉｅｍｃｎｓｏＸ＿０ｎｃｒｍｔｒ
第１８卷
第１期
光学精密工程
ＯｐｔｃｎｄＰｒｃｓｏｎＥｎｎｅｒｎｇｉｓａｅｉｉｇｉｅｉ
Ｖｏ．１Ｎｏ１８．１
２１００年１月
Ｊｎ００ａ．２１
文章编号１０ — ２Ｘ（０００ —０５００４９４２１）１０４ — ７
重复精度为０２” ．８。依据分析结果制定了工程设计方案，成功加工、配了Ｓ一０单色器。利用作者建立的一套由光并装Ｘ７０电自准直仪组成的测试系统对光栅正弦机构的转角重复精度进行测试，测精度为０１ ” 实．５。结果表明，计的ＳＲＦ的设ＳＳ一０Ｘ７０单色器光栅正弦机构的转角重复精度满足设计要求。
摘要：了使上海光源（ＳＦ研制的Ｓ一０为ＳＲ）Ｘ７０单色器的主要设计指标— — 波长扫描转角重复精度满足优于０４ ” 要．３的
求，究了单色器的波长扫描组件一光栅正弦机构的转角精度误差来源。设计单色器结构时，用有限元分析软件ＡＮ— 研运ＳＳ对光栅正弦机构进行数值模拟计算．根据模拟结果对光栅正弦机构的转角重复精度进行了误差分析，到的转角Ｙ并得
Ｓ－０Ｘ７０单色器光栅正弦机构转角重复精度的模拟分析与测量
吴坤，松，。薛卢启鹏。彭忠琦。陈家华，楷，，刘
（．１中国科学院上海应用物理研究所，上海２１０；．０８０２中国科学院研究生院，北京１０４；００９３中国科学院长春光学精密机械－物理研究所，．９吉林长春１０３）３０３
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