硫化过程中FeS2薄膜组织结构和电学性能的变化
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硫化过程中FeS2薄膜组织结构和电学性能的变化
张秀娟;孟亮;刘艳辉
【期刊名称】《浙江大学学报（工学版）》
【年(卷),期】2004(038)010
【摘要】采用Fe膜热硫化法在673 K和773 K温度下形成了FeS2多晶薄膜.分析了不同硫化时间对晶体结构、化学成分、晶粒大小、电阻率和载流子浓度的影响.673 K下硫化超过20 h及773 K温度下硫化超过1 h,Fe膜生成FeS2比较充分.随硫化时间延长,673 K下硫化的薄膜晶粒直径基本保持在50 nm左右,但电阻率增大,载流子浓度下降.773 K下硫化的薄膜晶粒尺寸及电阻率均随硫化时间延长而明显增大,但载流子浓度变化不明显,通常低于1×1025m-3的水平.
【总页数】5页(P1239-1243)
【作者】张秀娟;孟亮;刘艳辉
【作者单位】浙江大学,金属材料研究所,浙江,杭州,310027;浙江大学,金属材料研究所,浙江,杭州,310027;浙江大学,金属材料研究所,浙江,杭州,310027
【正文语种】中文
【中图分类】TN304.05
【相关文献】
1.硫化时间对电沉积制备FeS2薄膜组织与结构的影响 [J], 文良起;刘艳辉;侯玲;孟亮
2.硫化压力对电沉积并硫化合成的FeS2薄膜组织结构的影响 [J], 侯玲;刘艳辉;孟
亮
3.硫化法制备FeS2薄膜晶体结构和表面特性的研究 [J], 张辉;王宝义;张仁刚;万冬云;马创新;周春兰;魏龙
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