基于FPGA的MEMS测量控制系统的设计

基于FPGA的MEMS测量控制系统的设计
王少阳;张瑞峰;孙晓伟;杨庆
【期刊名称】《电子测量技术》
【年(卷),期】2014(0)12
【摘要】基于频闪显微干涉(stroboscopic interferometer vision system,SIVS)技术,提出了一种MEMS三维动态测量的同步控制系统。

在该系统中,频闪的参数通过有USB功能的MCU从PC配置到FPGA中,然后由FPGA分别控制测量系统中的声光调制器、MEMS驱动器、微动平移台和千兆网相机。

结合开发的应用软件,可以实时测量MEMS的运动。

计算表明,使用该系统所能测量的MEMS的理论最高周期运动频率为1 MHz。

实验证明这种方法行之有效。

【总页数】4页(P58-61)
【关键词】MEMS;频闪显微干涉;FPGA;声光调制器;千兆网相机
【作者】王少阳;张瑞峰;孙晓伟;杨庆
【作者单位】天津大学电子信息工程学院
【正文语种】中文
【中图分类】TN249
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