洁净度等级 【标准】

合集下载
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
A+B
4,000
3
5
10,000
-
M4
-
-
-
-
-
35,300
6
M4.5
1,000
1,000
-
4
6
100,000
-
M5
-
-
-
-
-
353,000
7
M5.5
10,000
C
400,000
5
7
1,000,000
-
M6
-
-
-ห้องสมุดไป่ตู้
-
-
3,530,000
8
M6.5
100,000
D
4,000,000
6
8
10,000,000
2,930
10000级
ISO Class8
3,520,000
832,000
29,300
100000级
ISO Class9
35,200,000
8,320,000
293,000
各国洁净度等级近似对照表:
个/M≥0.5um
ISO
US
US
EEC
FRANCE
GERMANY
JAPAN
14644-1(1999)
209E(1992)
209D(1988)
cGMP(1989)
AFNOR(1981)
VDI 2083(1990)
JAOA(1989)
1
-
-
-
-
-
-
-
3.5
2
-
-
-
-
0
2
10.0
-
M1
-
-
-
-
-
35.3
3
M1.5
1
-
-
1
3
100
-
M2
-
-
-
-
-
353
4
M2.5
10
-
-
2
4
1,000
-
M3
-
-
-
-
-
3,530
5
M3.5
100
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
83
10级
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
100级
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
1000级
ISO Class7
352,000
83,200
-
M7
-
-
-
-
-
ISO14644-1(国际标准)
空气洁净
度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
类似于
传统级别
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1.0um
5.0um
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
1级
相关文档
最新文档