《工艺员培训材料》PPT课件
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工艺员培训资料课件
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预防性维护与故障排除
01
02
03
04
制定设备维护计划
根据设备运行状况和维修记录 ,制定合理的设备维护计划,
定期进行保养和检查。
故障诊断与排除
建立故障诊断和排除流程,及 时发现并解决设备故障,确保
设备稳定运行。
备件管理
合理储备备件,确保备件充足 且不过度占用资金,提高备件
使用效率。
员工培训
加强员工对设备维护和故障排 除的培训,提高员工对设备的
详细描述
通过对温度、压力、流量、浓度等工艺参数的精确控制和调 整,可以优化生产过程,提高产品质量和生产效率。同时, 还需要对工艺参数进行实时监测和记录,以确保生产过程的 稳定性和可靠性。
新工艺开发与引进
总结词
新工艺开发与引进是推动企业技术进步和提高市场竞争力的重要手段。
详细描述
企业应积极关注行业动态和新技术发展,不断引进和开发适合自身生产需要的新工艺。新工艺的开发与引进需要 考虑技术可行性、经济性、环保性等方面,并进行充分的试验和验证,以确保新工艺的可靠性和稳定性。
培训内容与方法选择
内容选择
根据培训目标,选择适合的培 训内容,如工艺技术、安全操 作规程、质量管理体系等。
方法选择
根据培训内容和目标,选择适 合的培训方法,如理论授课、 实践操作、案例分析等。
培训材料
准备相应的培训教材、PPT、 视频等资料,确保培训内容的 准确性和完整性。
培训效果评估与反馈
01
总结词
生产工艺流程设计是工艺技术应用中的基础环节,它决定了产品的质量和生产效 率。
详细描述
在进行生产工艺流程设计时,需要综合考虑原材料、设备、工艺参数、人员等因 素,制定出科学、合理的工艺流程,以确保产品的质量和生产的顺利进行。
工艺培训讲义.ppt
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——关于首件检查——
什么是首件检查?首件检查的目的是什么?在什么情况下要进行首件检查?
➢首件检查是指在产品的生产状态发生变化或可能发生变化的情况下对产品的相 关项目进行检查确认的过程;
➢首件检查的目的是为了防止出现批量性的产品不合格; ➢一般,在以下情况下需要进行首件检查:
①. 在刚刚开班(开始生产)时要进行产品的首件检查; ②. 在进行产品不同的机种(系列)更换后要进行首件检查; ③. 在对工装/设备进行调整或维修以后要进行首件检查; ④. 更换刀刃具或其它消耗品以后要进行首件检查; ⑤. 对设定的工艺参数做了调整/变更以后要进行首件检查。
是压缩机的性能主要决定零件,精度要求极高; 4. 裝配车间:压缩机的总成車間,工艺较繁杂,作业手法要求高,如:三点选配,
调芯等,另因机种較多,物流管理要求很高;
第二部分:工艺纪律
什么是工艺?
工艺是指为保证产品达到预定的质量水平而在其加工/裝配 过程中或在检查中所设的规范或标准;
例如:※ 设备上设定的压力、温度、电流、电压、工作周期(时间)、浓度; ※ 加工、装配中设定的产品规格; ※ 作业顺序、设备工装操作调整手法、产品检查方式方法; ※ 所使用的消耗品的种类、管理周期; ※ 设备的点检、保养维护手法等等;
关于工艺文件
➢GMCC 所生产的旋转式压缩机的工艺规范在以下文件中体现(即我们平时所说的工艺文件):
—— 《零件加工规格书》
设备的设定参数、使用的消耗品和工装的种类规格、产品加工图、检查规格及方法等;
—— 《装配规格书》
设备的设定参数、使用的消耗品和工装的种类规格、产品装配图、检查规格及方法等;
—— 《检查规格书》(含受入产品检查、和最终产品检查) 提供产品的巡回检查标准、产品完成后抽样检查的标准等; —— 《作业指导书》 提供产品加工/装配作业方法、设备的操作、工装的更换调整方法等; —— 《技能指导書》 是《作业指导书》的补充,提供各种作业、维修维护的方法;
工艺员培训资料
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质量控制
安全环保
学习质量管理体系和质量检查技术,掌握质 量控制方法和技巧。
强化安全意识,提高环保意识,保证安全生 产和环境保护。
技能提升与职业发展
技能提升
通过学习、实践和交流,不断掌握新技术、新工艺,提高技 能水平。
职业发展
鼓励工艺员参加各类技能竞赛和资格认证,提高自身竞争力 ,实现职业发展。
培训计划与实施
将工艺方案转化为具体的操作文件,包括加工 指示书、装配图、检验标准等。
工艺实施
生产计划安排
01
根据生产计划,安排工艺实施的具体时间和人员,确保生产顺
利进行。
生产设备准备
02
检查生产设备是否正常,确保设备精度和稳定性,满足工艺要
求。
材料和零部件准备
03
核对材料和零部件的数量和规格,确保符合工艺方案的要求。
VS
详细描述
该工艺员首先对原有工艺流程进行了详细 的分析,找出了瓶颈环节和影响产品质量 的关键因素。接着,结合实际情况,制定 了切实可行的优化方案,包括改进加工方 法、调整工艺参数等。经过多次试验和验 证,最终实现了生产效率提高10%以上, 产品质量也得到了显著提升。
案例二:某零件加工工艺改进
总结词
案例三
总结词
针对某生产线自动化改造项目,设计了合 理的工艺方案,实现了生产过程的自动化 和智能化。
详细描述
该工艺员首先对生产线上的各个工序进行 了详细的分析,确定了自动化改造的关键 环节和目标。接着,结合实际情况,设计 了合理的工艺方案,包括自动化设备选型 、生产线布局优化等。最终实现了生产过 程的自动化和智能化,提高了生产效率和 产品质量。
案例五:某产品的制造精度控制与提升
工艺培训课件

物料配比不当
原料配比不准确,导致产品质量不稳定 。
解决方法
控制温度
控制压力
通过调节加热或冷却装置,保持适宜的温度 。
通过调节进气阀和排气阀,保持适宜的压力 。
控制液位
控制物料配比
通过调节进料速度和液位高度,保持适宜的 液位。
通过精确计量和配比装置,确保原料配比准 确。
经验分享
1 2
经验一
在生产过程中,要密切关注温度、压力、液位 等参数的变化情况,及时调整。
经验二
对于关键工艺参数,要设置报警装置,一旦超 出正常范围,立即报警并采取备进行检查和维护,确保设备正常运 行,避免因设备故障导致生产事故。
06
案例分析与实战演练
案例分析
工艺原理
01
通过实际案例,讲解工艺的基本原理、应用范围及实际操作过
程。
操作技巧
02
通过案例分析,掌握操作过程中的难点和重点,提炼出有效的
操作技巧。
故障排除
03
分析常见故障及排除方法,学会迅速诊断和解决工艺问题。
实战演练
模拟操作
通过模拟实际生产环境,使学员熟悉操作流程,提高实际操作能力。
团队合作
组织学员分组合作,共同完成一项工艺任务,培养团队协作能力。
问题解决
设置问题场景,让学员现场解决,培养学员独立解决问题的能力。
学员互动与点评
02
基本工艺知识
工艺原理
总结词
了解工艺的基本原理和技术特点,包括物理、化学和生物学 等方面的基础知识。
详细描述
工艺原理是工艺技术的核心,它包括物理、化学和生物学等 方面的基础知识。这些基础知识对于理解工艺的实质和特点 非常重要。同时,了解这些基础知识还有助于在实践中正确 地应用工艺技术。
《工艺培训教材》课件

工艺流程
总结词
工艺流程是工艺实现的基础,需要明确各个步骤的顺序和作 用。
详细描述
工艺流程是工艺实现的整体规划,包括原料准备、加工、检 验、包装等步骤。明确每个步骤的顺序和作用,有助于保证 工艺过程的顺利进行和产品质量。
工艺参数与标准
总结词
工艺参数与标准是衡量工艺质量的依 据,需要精确控制。
详细描述
03
某食品加工工艺流程
典型工艺案例介绍与分析
案例十
某化学合成工艺流程
分析
每个案例都从工艺原理、设备选用、操作步骤、质量检 测等方面进行了详细介绍,帮助学员全面了解各种工艺 的特点和应用范围。
工艺实践操作演示与指导
演示一
机械加工工艺实践操作
演示二
电子装配工艺实践操作
演示三
塑料成型工艺实践操作
工艺实践操作演示与指导
质量标准
明确工艺产品的质量要求,制定相应的质量 标准,确保产品符合行业和客户的期望。
评估方法
建立有效的评估体系,采用适当的评估方法 ,如过程能力分析、抽样检验等,对工艺质
量进行定期评估。
工艺质量控制流程与措施
控制流程
制定工艺质量控制流程,明确各环节的质量控制要求,确保从原材料、设备、工艺参数 到成品检验等各环节得到有效控制。
发展趋势
未来工艺的发展将更加注重智能化、自动化、数字化和绿色化,以提高生产效 率、降低成本、减少环境污染,并满足个性化、定制化的市场需求。
02
工艺基础知识
工艺原理
总结词
理解工艺的基本原理是掌握工艺技术的关键。
详细描述
工艺原理是指导工艺过程的基本规律,包括物理、化学、生物等原理的应用。了 解和掌握这些原理有助于更好地理解工艺过程,预测和控制工艺结果。
工艺基础知识培训课件(PPT 50张)
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培训教育
学习成长
• 1.3.2温度对半导体材料电阻率的影响 • 对金属导体来说,当温度升高时,它的电阻率增大,但变 化幅度不大。而半导体与此相反,当温度升高时,电阻率 降低,温度下降时,电阻率增大,并且变化幅度很大。当 温度变化300℃时,电阻率会改变几千倍到几十万倍。当 温度下降至接近绝对零度(-273℃)时,半导体就成为绝 缘体。因此要求在室温下(23±2℃)测量硅单晶的电阻 率。
• 拉晶等径完成后,如果不收尾,单晶尾面脱离熔硅后,由 于热应力作用往往产生位错,而且位错会向上返。为提高 单晶成晶率,工艺上采取收尾工艺,如果收尾良好,则基 本不产生位错。
培训教育
学习成长
2.2电阻率与掺杂
• 2.2.1硅单晶电阻率和杂质浓度
• 半导体内含微量杂质元素,将使载流子(自由移动的电荷)浓度增加, 半导体的电阻率将发生很大变化。 在太阳能级单晶硅的拉制中,都 要加入杂质元素。根据导电类型分为P(positive正)型和N(negative 负)型单晶,P型单晶是由空穴(显正极性)作为载流子,常用的掺 杂元素有3价的硼、镓。N型单晶由电子(显负极性)作为载流子, 常用的掺杂元素有5价的磷、砷、锑。
培训教育
学习成长
• 通常电阻率低,说明硅中的杂质浓度高,但电阻率高,不 能肯定说硅中的杂质浓度就低,还要看是否有高的补偿度 (指硅中两种型号杂质浓度之比)。 • 硅单晶的电阻率和杂质浓度可以进行转换,下表中对常用 的转换关系进行了列举。
• 2.2.2硅纯度的表示 • 2.2.2.1行业内常用PPb、PPm来表示物质的纯度。
培训教育
学习成长
• 生长无位错硅单晶,首先要生成一个无位错晶核,然后才 能在无位错晶核上长成无位错单晶。因此,无位错晶核是 生长无位错单晶的基础。无位错晶核和无位错籽晶不同。 引晶时,籽晶和熔硅接触,受到强烈的热冲击,不管籽晶 有无位错,都要生成和增殖103——104/cm2数量级的位错, 通过缩颈工艺则能排除籽晶中原生和新生位错。 • 2.1.4单晶收尾
工艺员培训资料
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制定生产工艺流程,包括生产设备、材料、工艺方法等;监 督生产过程,确保生产符合质量标准;控制生产进度,保证 生产计划的按时完成;协助解决生产现场问题,提高生产效 率。
工艺员的重要性
1 2 3
提高产品质量
工艺员的职责是监督生产过程,确保产品质量 符合标准。通过不断优化工艺流程和操作方法 ,可以提高产品质量和稳定性。
03
流程协调
工艺员需要协调不同工序和环节之间的工作流程,确保生产过程的协
调和稳定。
创新能力
1 2 3
创新意识
工艺员需要具备创新意识,能够在工艺流程的 改进和优化中提出新的思路和方法。
创新实践
工艺员需要将创新的思路转化为实践,通过实 践探索和创新来推动工艺流程的改进和提高生 产效率。
创新合作
工艺员需要与同事和管理者进行紧密合作,共 同推动工艺流程的创新和改进。
工艺员需要具备一定的技能水平,如计算机 操作、绘图、数据分析等,以便更好地进行 工艺设计和生产管理。
工作经验
职业素养
工艺员需要具备一定的相关工作经验,以便 更好地了解生产现场问题和企业需求,更好 地进行生产管理和优化。
工艺员需要具备高度的职业素养和责任心, 以便更好地履行职责,保证生产过程的稳定 和产品的质量。
控制与调整
工艺员需要了解并掌握各项工艺参数的控制与调整方法,以确保产品质量稳定。
工艺控制点
定义
工艺控制点是指在生产过程中对产品质量有重要影响的关键 控制点,如关键工序、关键设备等。
检查与监督
工艺员需要了解并掌握各工艺控制点的检查与监督方法,以 确保产品质量符合要求。
工艺卡片与文件
定义
工艺卡片是指在生产过程中对各道工序详细要求的卡片或文件。
工艺员的重要性
1 2 3
提高产品质量
工艺员的职责是监督生产过程,确保产品质量 符合标准。通过不断优化工艺流程和操作方法 ,可以提高产品质量和稳定性。
03
流程协调
工艺员需要协调不同工序和环节之间的工作流程,确保生产过程的协
调和稳定。
创新能力
1 2 3
创新意识
工艺员需要具备创新意识,能够在工艺流程的 改进和优化中提出新的思路和方法。
创新实践
工艺员需要将创新的思路转化为实践,通过实 践探索和创新来推动工艺流程的改进和提高生 产效率。
创新合作
工艺员需要与同事和管理者进行紧密合作,共 同推动工艺流程的创新和改进。
工艺员需要具备一定的技能水平,如计算机 操作、绘图、数据分析等,以便更好地进行 工艺设计和生产管理。
工作经验
职业素养
工艺员需要具备一定的相关工作经验,以便 更好地了解生产现场问题和企业需求,更好 地进行生产管理和优化。
工艺员需要具备高度的职业素养和责任心, 以便更好地履行职责,保证生产过程的稳定 和产品的质量。
控制与调整
工艺员需要了解并掌握各项工艺参数的控制与调整方法,以确保产品质量稳定。
工艺控制点
定义
工艺控制点是指在生产过程中对产品质量有重要影响的关键 控制点,如关键工序、关键设备等。
检查与监督
工艺员需要了解并掌握各工艺控制点的检查与监督方法,以 确保产品质量符合要求。
工艺卡片与文件
定义
工艺卡片是指在生产过程中对各道工序详细要求的卡片或文件。
某公司工艺人员培训教材(PPT92页)
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一、工艺与工艺过程
工艺 : 与技术含义基本一致 ( 在英文中是同一个单词)。
工艺 : 劳动者利用生产工具对各种原材料、半成品进行
加工和处理 ( 切削、热处理、检验等 ), 最后成为产品的方
法 , 是人类在 劳动中积累起来并经过总结的操作技术经验。
技术 : 根据生产实践经验和自然科学原理而发展成为的
各种工 艺操作方法与技能。
工艺人员培训 10 、制订材料消耗工艺定额 ;
2 、专业工艺技术标准 ( 工艺操作方法标准、工艺试验和检测标准、工艺材料标准、工艺技术条件与工艺参数标准。 (2) 专用设备和测试仪器是否组织鉴定 , 并办理移交车间生产的手续 ;
工艺纪律 : 企业在产品生产过程中,为维护工艺的严肃性, 保证工艺贯彻执行,建立稳定的生产秩序, 确保产品 ( 零件 ) 的加工质量和安全
广的子系统。
第一章
二、工艺管理在实现企业管理基本职能中的重要作用 企业管理的对象 : 人、财、物、时空、信息和科学
技术。 针对以上管理对象 , 企业管理的基本职能是计划、
组织、控制和激励。而工艺管理在这些职能中 , 都可以 看到他的位置、作用及 效果。
第一章
第二章 工艺及其管理的基本概念
第一节 工艺及其管理的含义与内容
工艺工作包括 : 工艺管理、工艺技术、工艺装备、 操作者的技艺等内容 , 是企业从事生产经营活动的技术 基础 ,是科技进步的重要内容。
第一章
第一节 工艺工作在企业中的作用和地位
一、工艺工作是企业科学技术转化为现实生产力的过程 1 、先进的工艺技术是科学成果的物化结果 2 、设备、工艺装备是工业大生产的标志 , 是科学物化为 生产力的重要形式 3、劳动者的技能是科学技术物化为生产力的决定因素 4 、提高工艺管理水平是科学技术转化为生产力的重要组 成部分
工艺培训课件

磨盘部分
磨盘为铸钢件,通过定位销与连接螺栓与减速 机输出法兰连接。表面堆焊的低锰铸钢耐磨衬板, 通过定位装置固定在磨盘上。磨盘衬板等分成20 块,表面为凹形研磨轨迹。磨盘周围是挡料环, 通过挡料环的高度可以调整磨盘衬板与磨辊之间 料床的厚度。刮板通过螺栓与磨盘连接在一起, 用来处理落料。
磨辊部分
当原料磨、SP锅炉同时运行时,窑尾废气经 过SP锅炉后,降温至220~230℃作为原料磨烘干 热源。
当原料磨运行,SP锅炉不运行时,窑尾废 气经增湿管道喷水系统降温至220~250℃后,作 为原料磨烘干热源。
当磨机不运行时,窑尾废气经SP锅炉或增 湿管道喷水系统降至~150℃后,直接进入袋收尘 器。废气经袋收尘器处理后,烟气的排放浓度 ≤30mg/Nm3,满足国家标准要求。为了有效监测 与控制粉尘及废气对外界环境的污染,在窑尾烟 囱安装了烟气颗粒物、NOx和SO2在线监测仪。
选粉机部分
磨机配有动静态分离器以适应更广泛的细度要求。 分离器装在机壳的上方,并带有一个旋转的叶轮 体,旋转的叶片靠变频调速电机带动、减速机传 动实现无级变速,通过变频调速电机来调整分离 器的转速。在旋转的叶轮体外侧有一圈静止栅筒 进行首次选粉。
分离器的主轴上装有两个调心滚子轴承和一个推 力轴承。由于传动支承部件内部处于密封状态, 分离器传动部下端利用大气压与磨腔内负压的压 差密封。传动部件的几个轴承均用润滑脂定期润 滑。
壳体部分
钢结构壳体分成四部分,每部分之间由螺栓连 接,然后与摇臂轴承底座及连接梁通过法兰及 PTFE垫片连接,PTFE垫片用来吸收热膨胀带来的 影响,最后与选粉机壳体焊接,磨辊部分的保护 罩与壳体用螺栓连接,当松开螺栓拆除保护罩后, 可将磨辊从磨内翻出,辊臂的穿入部位安装有 EPDM的软连接保护罩,能随辊臂的运动而自由伸 缩,壳体衬板由表面堆焊衬板和花纹钢板组成, 然后焊接到壳体上。
工艺培训资料课件

工艺培训资料
7.测试工序 这里要讲到测试治具; 治具是指简化工艺的一种工装,能够节约时间的工具. 例:测试松下V系列时 (1)确认治具连接好 (2)是否按照测试步骤与要求 (3)是否有保护措施 (4)产生100V交流电压 特别注意的是:顶针上有触电的可能性,触电的危险性大 家都知道. (5)注意测试设备的设定. 测试前检查治具符合性,各个按钮是否在正常档上。
工艺培训资料
三.什么是工艺文件
工艺文件是指导工人操作和用于生产、 工艺管理等的各种技术文件。
工艺培训资料
四.工艺文件分类
• 1)作业方法。装配顺序书、作业指导
书、检验作业指导书、工艺控制、各类 清单、工艺路线和物流、定置、定量、 文明生产等。 • 2)作业标准。操作规程、工艺标准、 质量标准、工艺规范等。 • 3)定额标准。工时定额、材料定额。
工艺培训资料
4.组装工序,这里就要讲到工具 (1)电动螺批的使用,注意在使用之前确认电动螺 批的扭力。单位 kgf.cm 这些大家都能明白为什么在做 这一点.就是保证产品的品质要求与保护产品不被损坏. 螺丝锁附不紧 塑料件开裂 螺丝紧坏 (2)漏装螺丝,错装螺丝,使用螺丝不对 (3)弹垫 平垫 螺丝安装顺序 正反方向 (4)有时注意安装的极性与方向性 (5)治具的应用 (6)手动工具的使用,由于力量的大小,所以控制 起来就不是一样;这些都靠我们平时的练习中获取。
工艺培训资料
总结: 作业指导书只是一种作业的指导性工具,最重要 的是我们每一位一线生产作业员 (1)物料的识别,产品的认识。 (2)正确的作业方法 (3)自检和互检的作用方法 (4)合理的作业时间。 (5)端正的作业态度 这些都靠作业员在平时的工作经验积累。值得 一提,(要能够发现问题,发现异常情况,但一般 不要求轻易自己处理所遇到的问题,可以反应到 你上一级领导。)
7.测试工序 这里要讲到测试治具; 治具是指简化工艺的一种工装,能够节约时间的工具. 例:测试松下V系列时 (1)确认治具连接好 (2)是否按照测试步骤与要求 (3)是否有保护措施 (4)产生100V交流电压 特别注意的是:顶针上有触电的可能性,触电的危险性大 家都知道. (5)注意测试设备的设定. 测试前检查治具符合性,各个按钮是否在正常档上。
工艺培训资料
三.什么是工艺文件
工艺文件是指导工人操作和用于生产、 工艺管理等的各种技术文件。
工艺培训资料
四.工艺文件分类
• 1)作业方法。装配顺序书、作业指导
书、检验作业指导书、工艺控制、各类 清单、工艺路线和物流、定置、定量、 文明生产等。 • 2)作业标准。操作规程、工艺标准、 质量标准、工艺规范等。 • 3)定额标准。工时定额、材料定额。
工艺培训资料
4.组装工序,这里就要讲到工具 (1)电动螺批的使用,注意在使用之前确认电动螺 批的扭力。单位 kgf.cm 这些大家都能明白为什么在做 这一点.就是保证产品的品质要求与保护产品不被损坏. 螺丝锁附不紧 塑料件开裂 螺丝紧坏 (2)漏装螺丝,错装螺丝,使用螺丝不对 (3)弹垫 平垫 螺丝安装顺序 正反方向 (4)有时注意安装的极性与方向性 (5)治具的应用 (6)手动工具的使用,由于力量的大小,所以控制 起来就不是一样;这些都靠我们平时的练习中获取。
工艺培训资料
总结: 作业指导书只是一种作业的指导性工具,最重要 的是我们每一位一线生产作业员 (1)物料的识别,产品的认识。 (2)正确的作业方法 (3)自检和互检的作用方法 (4)合理的作业时间。 (5)端正的作业态度 这些都靠作业员在平时的工作经验积累。值得 一提,(要能够发现问题,发现异常情况,但一般 不要求轻易自己处理所遇到的问题,可以反应到 你上一级领导。)
工艺技术员培训 ppt课件

• DL/T5031—1994 电力建设施工及验收技术规范 管道篇
• SY0401—1998 输油输气管道线路工程施工及验收规范
• SY4060—2000 收规
天然气净化装置设备与管道安装工程施工及验
• SY4070—2000
石油天然气管道跨越工程施工及验收规范
• SY0402—2000
石油天然气站内工艺管线工程施工及验收规范
• 公司焊接工艺评定的管理详见Q/CNPC-YGS G
326.13- 2005《焊接工艺评定管理标准》
ppt课件
15
• 3.2 焊接工艺评定在施工中的应用
• ⑴ 在施工前对首次使用的管材和焊条,施焊前必 须进行焊接工艺试验与评定。
• ⑵ 对已有焊接工艺评定的管材,选定合适的焊接 工艺评定(管径、壁厚、材质等的覆盖范围、替 换关系);
• 各单位需使用公司焊培中心现存有效焊接工艺评 定报告时,可直接与焊培中心联系领用;
• 如现存工艺评定报告不能满足施工需要时,由使 用单位焊接责任工程师填写“焊接工艺评定委托 书”,送交焊培中心,焊培中心按照相关标准进 行焊接工艺评定。
• 特殊焊接方法或焊接材料的焊接工艺评定由委托 单位配合焊培中心进行。
• 涉及到的基本知识:管道输送理论、金属材料性能、介质 的温度、压力、腐蚀性对管道影响。管道安装必须应遵循 的管道安装基本规程、规范。同时必须满足国家压力管道 安全监察规程。
ppt课件
4
四. 本专业涉及的主要规程、规范、 标准和手册
• 1. 执行设计要求的规范
• 2. 如果设计没有特别要求,参照以下规范
ppt课件
7
施工准备 图纸会审
原材料领出、运输、 复验、标识
技术措施、质量计划编制 压力管道安装报审 管段图绘制、确认
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►Administration and Storage of recipe releases for individual process tubes
可整理ppt
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Centrotherm的介绍
可整理ppt
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Centrotherm的介绍
可整理ppt
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Centrotherm的介绍
可整理ppt
可整理ppt
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48所刻蚀机的介绍
► 主要用于多晶硅、氮化硅、二氧化硅薄膜的刻蚀, 属干法腐蚀。利用高频辉光放电产生的活性基团与 被腐蚀材料发生化学反应,形成挥发性产物使样品 表面原子从晶格中脱落。
► 技术特点:1、采用大面积淋浴式送气方式使气体 放电均匀 2、气路系统采用全金属密封,抗腐蚀性 强,污染小 3、工作压力闭环自动控制,工艺稳定 性、重复性好 4、手动/自动控制系统,方便操作、 维修 5、敞开式钟罩开启方式,方便装片
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S i6 O H H [F S ] 2 iO F H
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清洗结果的检验
►亲水 清洗前硅片表面Si大部分以O键为终端结构, 形成一层自然氧化膜,呈亲水性。
►疏水 清洗后硅片最外层的Si几乎是以H键为终端结 构,表面呈疏水性。
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镀膜的基本原理
介质膜的种类及制备方法有多种,比如真 空加热沉积、化学气相沉积、丝网印刷、 溅射、电子束蒸发、离心甩胶甚至喷镀 等等。
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Centrotherm的介绍
►CCC-RM ( Centrotherm Cell Controller – Recipe Management )
►Writing / Modifying of the CESAR recipes
► Recipe pool for all recipes
►常压化学气相沉积(APCVD) ►低压化学气相沉积(LPCVD) ►等离子体化学气相沉积(PECVD) ►等离子体类型:Direct等离子体和Romote等
离子体 ►等离子激发频率:低频、射频、微波 ►反应室:管式与平板式 ►传输类型:batch方式和inline方式
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Roth&Rau的介绍
► ⑶扩大了化学气相沉积的应用范围,特别是提供了 在不同的基体上制取各种金属薄膜、非晶态无机薄 膜、有机聚合物薄膜的可能性;
► ⑷薄膜对基体的附着力大于普通CVD。
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Centrotherm的介绍
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Centrotherm的介绍
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Centrotherm的介绍
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Roth&Rau的介绍
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Roth&Rau的介绍
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Roth&Rau的介绍
► 等离子体在化学气相沉积中有如下作用:
► ⑴将反应物中的气体分子激活成活性离子,降低反 应所需的温度;
► ⑵加速反应物在基片表面的扩散作用(ห้องสมุดไป่ตู้面迁移作 用),提高成膜速度;
► ⑶对于基体表面及膜层表面具有溅射清洗作用,溅 射掉那些结合不牢的粒子,从而加强了形成的薄膜 和基片的附着力;
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刻蚀的目的
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刻蚀的反应
►Si+CF4+O2→SiF4↑+ CO2↑ ►CF4----CF3、CF2、CF、F、C以及他们的离
子 ►气体组成:92%CF4+8%O2
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刻蚀结果的检验
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清洗的反应
Si 4 O H SF i F 2O H
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Si F 2H H F[S]iF
考虑到介质膜的质量及生产成本,最常用 的减反介质膜是氮化硅和二氧化钛,前 者主要采用化学气相沉积,而后者主要 采用喷镀、化学气相沉积和丝网印刷。
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镀膜的反应
►SiH4+NH3—→SixNyHz+H2↑ ►硅烷和氨气在微波激励下形成等离子体,在
硅片表面沉积成氮化硅层
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薄膜的检测
► ⑷由于反应物中的原子、分子、离子和电子之间的 碰撞、散射作用,使形成的薄膜厚度均匀。
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Roth&Rau的介绍
► PECVD和普通CVD比较有如下优点:
► ⑴可以低温成膜,对基体影响小,并可以避免高温 成膜造成的膜层晶粒粗大以及膜层和基体间生成脆 性相等问题;
► ⑵PECVD在较低的压强下进行,由于反应物中分子、 原子、等离子粒团与电子之间的碰撞、散射、电离 等作用,提高了膜厚及成分的均匀性,得到的薄膜 针孔少、组织致密、内应力小、不易产生裂纹。
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Centrotherm的介绍
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刻蚀机参数设定
时间参数(秒)
工艺参数
预 主 送 辉 清 充 压 功 氧 CF4
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七星清洗机的介绍
产品描述:
► 1.设备由六大部分组成:本体、清洗槽部分、伺服驱动系统、 机械臂部分、 层流净化系统(选用)、电气控制系统、机 架及机箱、自动配酸系统(选用)等组成
► 2.伺服多爪机械手传送系统,step方式
► 3.自动上/下料工位
► 4.关键件采用进口件。自动化程度高,可靠性高
► 5.人性化操作界面,方便直观。界面中有手动操作、故障报 警、安全保护、工艺序号等功能。
主要指标:
► 产能:1800-2400片/小时(25MW-30MW生产线适用)
► 125mm×125mm和156mm×156mm方片兼容标准100片清 洗花篮:
► 100片/批
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Roth&Rau的介绍
刻蚀、去PSG、镀膜段 工作介绍
周延丰
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目录
► 刻蚀、去PSG、镀膜的基本原理(简单介绍) ► 四十八所、七星清洗机、Roth&Rau、Centrotherm
设备(简单介绍) ► 各项工艺参数对结果的影响(重点介绍) ► 刻蚀、清洗、镀膜常见问题以及控制方法(重点介
绍) ► 本段中的工艺关注点(重点) ► 工作中应该特别注意的细节(简单介绍) ► 工作流程,出现不合格的处理(简单介绍)
Direct:等离子体产生于两平行电极之间,晶 圆被固定在一个电极上,在这种情况下,晶 圆一般处于等离子体中。典型代表: Centrotherm,岛津。
Romote:晶圆处于等离子体以外。典型代表 Roth&Rau.
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Roth&Rau的介绍
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Roth&Rau的介绍
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