蚀刻工序作业指导书
ITO蚀刻生产工艺作业指导书
文件编号版本号制定审核批准生效日期页码受控章Document No Edition No Originator Examiner Approval Effective page Controlled stamp2008-4-72/1ITO蚀刻生产工艺作业指导书一、目的：规范工艺,确保蚀刻产品品质二、适用范围：ITO蚀刻三、职责：作业员严格按本规范操作4.1溶液的配置4.1.1A槽（蚀刻ITO Film）a.开槽配490(480-500)升左右酸液。
b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 34.51（体积比）HCL (36-38%) : H2O (纯水)=20 : 29（质量比）质量比浓度约为16.4％，摩尔浓度约为4.71mol/Lc. 取168L浓 HCL（200kg）慢慢加入290L (290kg) 纯水中 (边搅拌边加入)。
配好后测试酸的浓度,在范围内方可使用。
d. 蚀刻线酸液浓度测定准确移取2ml槽液到洁净的锥形瓶中，加入蒸馏水（过滤水）25ml，滴加0.1%酚酞2-3滴（0.1 g酚酞+99.9g乙醇）。
使用浓度为（NaOH）=0.5mol/L标定时理论消耗约14.8~16.4ml ,接近滴定终点时溶液顏色由无色变为红色。
注：如果蚀刻一段时间后，槽液滴定时消耗氢氧化钠标准溶液<14.8~16.4ml,须补加盐酸。
e. 补充液的计算补加量为（使用查考配加药量计算）：MHCL（g）=200000 - 12761 VNaOHVHCL (mL) = MHCL/1.19VNaOH -----蚀刻后槽液消耗标准氢氧化钠的体积ml4.1.2 B槽（蚀刻玻璃）a. 开槽配435升左右酸液.b.配制比例: HCL (36-38%) : H2O (纯水) : HNO3(65-68%)= 249 : 11.74: 239（体积比）HCL (36-38%) : H2O (纯水) : HNO3(65-68%)= 293 : 239 : 16.67（质量比）摩尔浓度约为6.17mol/Lc.取249L浓 HCL（296.2kg） 慢慢加入200L纯水(200kg)中(边搅拌边加入);再取11.74L 浓HNO3（16.67kg）慢慢加入以上酸液中(边搅拌边加入) 。
碱性蚀板作业指导书
4.4合格的板根据工艺要求送入下工序。
5、操作规范要求
5.1蚀板液的波美度控制在22-26之间（Be-），PH控制在8.2-8.8之间,温度控制在50℃±5℃,运行根据铜箔的厚度、温度、浓度而定，氨水洗浓度控制在5-10%，退膜氢氧化钠控制在8-10%，柠檬酸洗控制在3-5%。
3、作业流程
放板入机 碱性蚀刻 洗5-10%氨水冲洗 循环水高压水洗
自来水洗 检查 退膜 送下工序
4、作业步骤
4.1开机之前先检查药水的浓度、温度、PH值、比重、机器运作是否正常。
4.2波美度控制在22-26之间，PH8.2-8.8之间,温度50℃±5℃,单面板速度调至3.0-3.5m/分钟(数字显示12-14),双面板2.5-3.0m/分钟(数字显示10-12),根据经验先试板,合格后才可批量生产。
6.5板要彻底烘干，防止氧化，特别是金板，防止变色，否则影响产品质量。
6.6油墨一定要退干净后方可蚀板，板面氧化严重过酸后方可蚀板。
6.7单面板注意板底变色，精密线路一定要刷干净，认真检查后方可蚀板。
7、设备保养
7.1每天下班前，搞好5S工作。
7.2酸洗一天换一次，并清洁机内、机身、喷嘴。
7.3每七天清洗一次蚀板机，每天换一次氨水洗、清洗喷嘴及压水辘上残渣。
5操作规范要求51蚀板液的波美度控制在2226之间beph控制在8288之间温度控制在505运行根据铜箔的厚度温度浓度而定氨水洗浓度控制在510退膜氢氧化钠控制在810柠檬酸洗控制在35
1、作业名称
碱蚀作业指导书
碱蚀作业指导书引言概述：碱蚀作业是一种常见的工业处理方法，用于去除金属表面的氧化物和其他污染物。
本文将详细介绍碱蚀作业的步骤和注意事项，以匡助读者正确进行碱蚀作业。
一、准备工作1.1 确定作业区域：首先，需要确定进行碱蚀作业的具体区域。
这可能是一个金属表面、一个零件或者是一个设备。
1.2 清洁表面：在进行碱蚀作业之前，必须确保表面是干净的。
使用适当的溶剂或者清洁剂来清洁表面，以去除油脂、灰尘和其他污染物。
1.3 准备碱蚀液：根据具体的工作要求，准备好适当的碱蚀液。
常用的碱蚀液有氢氧化钠、氢氧化钾等。
根据工作要求，可以调整碱蚀液的浓度和温度。
二、进行碱蚀作业2.1 涂覆保护剂：在进行碱蚀作业之前，需要涂覆一层保护剂在不需要蚀刻的区域，以防止碱蚀液腐蚀到这些区域。
2.2 浸泡时间控制：将待蚀刻的金属表面浸泡在碱蚀液中，控制浸泡的时间。
浸泡时间的长短取决于金属的类型和蚀刻的深度要求。
2.3 洗涤和中和：在完成碱蚀作业后，使用清水彻底洗涤蚀刻的金属表面，以去除残留的碱蚀液。
然后使用酸性溶液中和金属表面，以防止碱蚀液的残留。
三、注意事项3.1 安全措施：碱蚀作业涉及使用强碱性液体，因此必须采取适当的安全措施。
工作人员应戴上防护手套、护目镜和防护服等个人防护装备。
3.2 控制环境：在进行碱蚀作业时，应确保作业区域通风良好，以防止有害气体的积聚。
同时，还应注意防止碱蚀液溅到其他物体或者设备上。
3.3 处理废液：碱蚀作业产生的废液必须正确处理。
废液应经过中和处理后，再进行安全的废物处理。
四、总结碱蚀作业是一种有效的金属表面处理方法，能够去除氧化物和其他污染物，使金属表面更加清洁。
然而，在进行碱蚀作业时，必须注意安全措施，并且正确处理废液。
惟独正确操作和控制，才干确保碱蚀作业的效果和安全性。
通过本文的介绍，相信读者对碱蚀作业有了更深入的了解，可以更好地进行碱蚀作业，并取得良好的效果。
蚀刻工序作业指导书
蚀刻工序作业指导书1.0 目的建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0 适用范围本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。
3.0 职责电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0 作业内容4.1 作业流程4.1.1 内层（负片）蚀刻作业流程烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转黑化工序4.1.2 镀锡板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干→蚀检→转下工序4.1.3 镀金板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗烘干→蚀检→转下工序4.1.3 若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同4.1.1。
4.2 蚀刻工序设备及物料清单蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH、氨水、柠檬酸、胶盆。
4.3 基本流程说明4.3.1 退膜：通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去，露出所需之铜。
4.3.2 蚀刻：在碱性强氧化剂的条件下，将线路板上之多余铜面除去。
4.3.3 退锡：去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。
4.3.4 酸洗：清洗金面轻微氧化，防止氧化加深。
4.4 工艺参数及操作条件4.5 工艺维护4.5.1 退膜槽配槽4.5.1.1 打开槽底排水开关和水泵，把废液抽至污水处理站，抽完后关闭水泵。
4.5.1.2 戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具，关闭排水开关，注满清水；4.5.1.3 开启电源与泵浦，对整个槽体全面喷洒5min，然后关闭电源与泵浦；4.5.1.4 打开盖板，用清洗工具彻底清洗槽内壁；4.5.1.5 打开槽底排水开关，把废液排出，并用高压水枪冲洗干净；4.5.1.6 将槽内注入3/5槽体积的清水；4.5.1.7 另用一小槽注满水，加入9kg NaOH，搅拌至完全溶解4.5.1.8 将泵浦电源打开，让水流动起來，再緩緩将NaOH溶液倒入槽内；4.5.1.9 添加完成后，循环20min，使药水达到完全搅拌均勻；4.5.1.10 通知化验人取样化验，各项管控点都在要求范围之内后方可进行生产。
蚀刻教材(3F)
一、DES拉工艺流程：显影→蚀刻→褪膜（注：显影也称冲板）目的：将曝光时由菲林转移到干膜上的图形在铜面上表现出来。
即：干膜曝光区域的铜会留下来，未曝光区域的铜会蚀刻掉。
二、DES拉开机注意事项及参数控制1.开机前检查药水缸及水缸液位是否足够，检查冷却水、压缩空气是否打开。
2.开机后检查各段药水温度压力是否在要求范围。
3.参数控制药水参数控制：药水名称浓度显影： PC2034B 0.6~1.2%蚀刻： Cu2+ 110~170g/lH+ 1.6~2.8 N褪膜： NaOH 2~4%酸洗： H2SO4 1~3%溶液浓度配制：显影缸：A5：10LT A6：25LT A7：25LT褪膜缸：A5：27kg A6：30kg A7：30kg酸洗缸：A5：3LT A6：3LT A7：3LT配药房：显影开料缸：PC2031B 25LT褪膜开料缸：NaOH 25kg三、冲板注意事项：1.在批量冲板前，首先必须做首板，待拉长恢复，首板OK后方可生产。
2.对板面铜厚不一以及光面板/细线板，一定要按照拉长所要求的方式去放板，同时注意板的型号、层次，必须保证不放错板。
3.对于冲大背板，必须站起来冲板；对于板厚小于5mil、H/H以下的板（根据拉长要求）必须带板条冲板。
4.冲板时，板与板之间的距离保持大于2inch（即5.08cm）5.在撕膜时，板两面保护膜要同时撕下。
不允许撕了一面然后再撕另一面，避免菲林碎粘到板面，导致蚀板不净现象。
6.在撕膜时，一定要注意严防撕膜不净的问题发生，且刀片不能划入图形，以防划伤，导致报废。
7.放板时，必须双手拿板，轻拿轻放，发现有板弯或板角翘，一定将其抚平，并放好放正以防卡板。
8.对每够一批量LOT卡时，用一胶片隔开，作为该批板已完的标识。
四、执漏注意事项：1.在检查板面时，必须戴黑色胶手套，手拿板边。
严防显影不净，显影过度，撕膜不净的板流入蚀刻。
2.在操作过程中，必须做到小心操作，不要划伤板面，发现显影不净等不良板时，即时通知冲板员工停放，然后通知拉长解决。
线路板厂PCB蚀刻QC作业指导书
4.3.5 作业员做好每日蚀刻 QC 检查日报表,及时清洁周围环境.
5.0 品质要求;
5.1 所检之板与"MI""流程卡"样板相符合。
5.2 所检之板要求板面无去墨不净、蚀刻不净、蚀刻过度、开路、短路、缺口、金面氧化，镀层剥离、
孔内无铜等。
6.0 注意事项：
6.1 作业员作业时一定要戴手套，且手套不可弄到油渍，否则更换。
XXX
XXX 有限公司
文件编号 文件类型
XXX 标准文件
文件名称:
蚀刻 QC 作业指导书
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1.0 目的:
便于作业员查阅,并按此作业指导书作业,使作业员有据可循,以符合要求,并保证产品质量.
2.0 适用范围:
蚀刻 QC 检查人员.
3.0 权责:
3.1 电镀将作业之后之板送至蚀 QC 检查.
追回不良板进行返工。
4.3.1.1 板面退墨干净,无一点残墨,蚀刻干净,线与线之间无残铜连接,无蚀刻过度(线细不超过线
宽的 20％)金面氧化(板面发黑)。
4.3.1.2〞板面无开路(一条线从中断开)短路(两条线中间相连接)缺口（大于或等于线宽的 3/1）。
4.3.1.3 用 3M 胶纸 90°垂直拉无镀层剥离(镍金板)。
3.2 作业员核对电镀送来之板,QC 作业并交 OK 板送于当班 QA 抽检,合格后,再转至湿膜或丝印.
3.3 组长负责蚀 QC 作业过程的监控.
4.0 作业内容:
4.1 作业前准备:
4.1.1 作业员经过培训合格后上岗作业.
4.1.2 查看使用工具是否齐备,如:10 倍放大镜、工作台、放板凳、检修刀等。刀片是否锋利，否则
湿法刻蚀工序作业指导书
保密级别C文件种类作业指导书文件编号LW－PT3－014－A0编制部门工艺技术部编制/日期修订/日期审核/日期批准/日期RENA湿法刻蚀工序作业指导书1 目的指导电池车间湿法刻蚀工序的生产操作。
2 适用范围本文件适用于90MW电池车间湿法刻蚀工序生产人员。
3 定义无4 职责和权限4.1 生产员工：若无工艺工程师许可严禁擅自对任何工艺参数进行修改与调整。
4.2 操作员4.2.1 在工艺工程师授权的情况下才能对工艺参数进行调整。
在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。
4.2.2 协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，当发现工艺参数发生变化时应及时通知班组长，由班组长通知工艺工程师，或者主操作直接通知工艺工程师。
4.3 班组长4.3.1 班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。
4.3.2 当工艺工程师不在现场，且刻蚀后硅片的边缘电阻、边宽出现异常时对带速、流量、腐蚀温度、溶液浓度等在一定范围内进行微调。
当微调无效时，班组长应该通知工艺工程师进行调整。
4.3.3 当硅片出现异常，班组长应立即通知工艺人员。
班组长在未得到工艺工程师的授权时，不得对刻蚀工艺参数进行任何调整。
4.3.4 班组长应该配合工艺人员严格按照实验要求完成各项实验。
4.3.5 协助工艺人员对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改时应及时通知工艺人员，由工艺人员进行确认处理。
4.3.6 实验单由班组长负责，监督本组员工如实、认真填写。
4.4 工艺工程师：4.4.1 保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响到生产质量时，应该及时采取相应的解决措施。
4.4.1.1 工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行；4.4.1.2 当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与主管工程师讨论确认方案的可行性，然后请求生产部协助，按计划进行实验；4.4.1.3 工艺人员的实验在没有成熟时不得进行大批量生产。
蚀刻去膜作业指导书
1.目的：规范蚀刻、去膜操作的内容和步骤。
2.范围：适用二楼自动拉线路蚀刻、去膜的工作过程。
3.设备：自动线4.材料：YX-550酸性蚀刻液、氢氧化钠、消泡剂、水，生产PCB板。
5.工艺：首先确定所有的开关均置关闭状态；将总电源开关旋钮旋开,使电源输入；将所有的加热系统依流程顺序压下,先使其预热；再将所有的温度设定器,依流程顺序,设定在所需的作业温度；压上传送钮使其输送,再调整速度旋钮并调整适当的作业速度；待温度到达所设定之温度时再将所有的开关按钮依顺序压下即完成作业前的开机程序.5．1蚀刻开机操作顺序开机前准备:必须检查蚀刻槽添加槽化学蚀刻槽水洗槽液位是否正常，检查比重计,添加泵等是否工作正常，补充添加槽液位。
必须检查箱体内喷嘴是否堵塞，清洗蚀刻槽过滤网及水洗槽过滤网，每周打开箱体检查并清洗喷嘴。
必须检查腐蚀溶液的参数是否正常(工作温度、比重、压力等)5.1.1打开总电源电闸5.2.2打开总电源开关信号灯绿灯亮5.2.3打开启动开关5.2.4打开所有的蚀刻加热开关5.2.5打开传送5.2.6打开蚀刻下喷Ⅰ-Ⅱ-Ⅲ5.2.7打开循环水洗Ⅰ-Ⅱ-Ⅲ5.2去墨开机操作顺序5.1.1打开总电源电闸5.2.2打开总电源开关信号灯绿灯亮5.2.3打开启动开关5.2.4打开所有的去墨加热开关5.2.5打开传送5.2.6打开去墨下喷Ⅰ-Ⅱ5.2.7打开循环水洗Ⅰ-Ⅱ-Ⅲ5．3机操作顺序待板出来完,依蚀刻、去膜顺序依次关掉开关按钮，先关掉所有加热，压下所有按钮，关掉总电源.5.4故障紧急处理方式:步骤:当紧急状况发生是时,须先按"紧急停止"钮,瞬间停止设备之一切动作,以保安全；停机后如内部尚有板子在内时, 关闭机器开关,先行确认输送系统无异常后,用将板子送出；将其板子全部输送后,再将操作柜上的所有电源开关关闭然后再检查故障原因；依指示区检查确认故障区的警示灯是何处故障；待将所有的故障区全部检修完毕,再开机；开机时请遵守操作顺序开机。
不锈钢蚀刻工艺作业指导书
不锈钢蚀刻加工工艺作业指导书一.目的：本指导书规定显影、蚀刻、去膜、检验、工序的工作内容和步骤。
二.范围：本作业指导书适用于显影、蚀刻、和去膜的工作过程。
三.设备：自动金属蚀刻生产线四.材料：三氯化铁、碳酸钠、盐酸、双氧水、氢氧化钠、去泡剂、软化水、该工位的生产板。
五.工艺：5．1蚀刻操作步骤5．11蚀刻启动将“MAIN SWITCH ”转至“ON”的位置，送入主电力电源，在按下控制面板上“POWER”钮，此时“POWER”钮内之显示灯亮，并注意“END STOP”灯是否亮着，若有应即将控制面板上或蚀刻机台上之紧急停止按钮予以复归.5.12蚀刻开机顺序首先确定所有的开关均置OFF状态；将CONTROL SOURCE的旋钮旋开,使电源输入；将所有的加热系统依流程顺序压下,先使其预热；再将所有的温度设定器,依流程顺序,设定在所需的作业温度；压上CON钮使其输送,再调整CON SP ADJ旋钮并调整适当的作业速度；待温度到达所设定之温度时再将所有的PUMP钮依顺序压下即完成作业前的开机程序；放板前10分钟润湿辊轮。
5．13金属蚀刻关机操作顺序依显影、蚀刻、去膜顺序依次关掉PUMP钮，关掉所有加热，热风车继续送风，观察蚀刻段温度有否升高趋势。
当热风车自动停止，且腐蚀段温度没有升高趋势时，压下STOP按钮，关掉总电源POWER，将MAIN SWITCH 转至OFF。
5.14蚀刻加工机器警报发生系统故障警报系统依停机与否分二大类:A.蚀刻停机:此项警报定义为主机或其一电器元件发生异常而无法运做或为保护人体安全而设置,如其一故障或保护条件成立便会使系统停止,须将故障或异常问题排除后再启动系统否则启动无效。
B.蚀刻加工机器不停机:此项警报定义为预先警报或周边设备警报发生不会影响主机系统生产,所以异常发生本身停止运转,而不会停止主系统运转。
蚀刻机器故障紧急处理方式:金属蚀刻工序步骤:当紧急状况发生是时,须先按"紧急停止"钮,瞬间停止设备之一切动作,以保安全；停机后如内部尚有板子在内时,先行确认输送系统无异常后,可用"EMG CON"钮以寸动的方式强行使输送部分运转,将板子送出；将其板子全部输送后,再将操作箱上之电源开关关闭然后再检查故障区域；依指示区检查确认故障区的警示灯是何处故障；待将所有的故障区全部检修完毕,再开机；开机时请遵守操作顺序开机；接板时不允许有叠板现象。
PROD014 蚀刻工序操作指引
4.1.3检查各药水缸的温度是否在范围之内（参数见下表）
4.1.4检查冷水机的冷却及水流量是否正常，过滤泵顶盖是否压紧以及过滤网是否堵塞，各项正常时，准备开机
4.2开机
4.2.1打开总进水开关；打开各水洗缸的进水开关；
4.2.2打开每段的紧急停止开关；打开总电源；
适合蚀刻工序操作
3.0工艺及条件说明
3.1正片蚀刻工艺流程
入板蚀刻泵1蚀刻泵2摆动1摆动2氨水洗循环水洗循环水洗酸洗除油市水洗市水洗
市水洗强风吹干及热风烘干出板
3.2负片蚀刻工艺流程
入板（检查段）除油酸洗循环水洗市水洗
蚀刻泵2蚀刻泵1入板出板强风吹干及热风烘干
摆动1摆动2氨水洗循环水洗市水洗酸洗
出板强风吹干及热风烘干市水洗循环水洗
3.5.1.2子液配置成分:化氨：70-15g/L酸铵：3-10g/L碳酸氨：30-70g/L硝酸氨：40-60g/L加速剂：0.001-0.1g/L界面活性剂：5-50PPM PH值：8.1-8.8
3.5.2退膜液：取1.5-3%的NaOH于退膜缸之中溶解冷却，冷却时，往退膜缸中加水至140L体积处，搅拌均匀。
3.3主要缸体体积
碱洗：150L蚀刻液缸：600L氨水洗：80L酸洗：80L水洗：100L
3.4材料承受最高温度及输送速度
承受温度UPVC≤55℃PP≤65℃；输送速度：0.1-6.0m/min
3.5药水缸配制规范：
3.5.1碱性蚀刻液：
3.5.1.1母液配置成分:化氨：70-15g/L化铜氨盐：430-440g/L磷酸铵：3-7g/L碳酸氨：30-50g/L硝酸铵：20-40g/L加速剂：0.001-0.1g/L界面活性剂：5-50PPM
碱蚀作业指导书
碱蚀作业指导书一、任务背景碱蚀作业是一种常见的工业作业过程，它用于去除金属表面的氧化物、污染物以及其他杂质。
碱蚀作业的目的是提高金属表面的光洁度和粗糙度，以便于后续的涂装、焊接等工艺操作。
本指导书旨在为碱蚀作业提供详细的操作步骤和注意事项，以确保作业的安全性和有效性。
二、作业准备1. 确定作业区域：选择一个通风良好、无火源和易清洁的区域进行碱蚀作业。
2. 准备碱蚀溶液：根据所需处理的金属类型和表面情况，选择合适的碱蚀溶液，并按照配方准确配制。
3. 准备工具和设备：- 保护设备：佩戴防护眼镜、防护手套、防护服等个人防护装备。
- 碱蚀槽：选择适当大小的碱蚀槽，确保金属工件能够完全浸泡在碱蚀溶液中。
- 清洗设备：准备清洗槽、清洗刷、清洗剂等设备，用于清洗金属工件的表面。
- 搅拌设备：根据需要，准备搅拌器或搅拌棒，以确保碱蚀溶液充分混合。
- 浸泡篮：准备合适的浸泡篮，用于将金属工件悬挂在碱蚀溶液中。
- 水源：确保有足够的清水用于冲洗金属工件。
三、作业步骤1. 准备金属工件：将待处理的金属工件进行清洗，去除表面的油污、灰尘等杂质。
可以使用清洗剂和刷子进行清洗，然后用清水彻底冲洗干净。
2. 悬挂金属工件：使用浸泡篮将金属工件悬挂在碱蚀槽中，确保工件完全浸泡在碱蚀溶液中，并保持适当的间距，以避免工件之间的相互接触。
3. 配制碱蚀溶液：按照配方准确配制碱蚀溶液，并使用搅拌器或搅拌棒充分搅拌，确保溶液中的成分均匀分布。
4. 开始碱蚀：将配制好的碱蚀溶液倒入碱蚀槽中，使溶液深度能够覆盖金属工件。
根据所需的蚀刻程度和时间要求，控制碱蚀槽中的温度和搅拌速度。
5. 监控碱蚀过程：定期检查金属工件的蚀刻情况，确保蚀刻均匀且符合要求。
如有需要，可以调整溶液的温度、浓度或搅拌速度，以达到理想的蚀刻效果。
6. 完成碱蚀：根据作业要求，将金属工件从碱蚀槽中取出，并用清水彻底冲洗，以去除残留的碱蚀溶液。
7. 检查和评估：对蚀刻后的金属工件进行检查和评估，确保表面达到所需的光洁度和粗糙度要求。
碱蚀作业指导书
碱蚀作业指导书一、任务概述碱蚀作业是指在工业生产过程中，使用碱性溶液对特定材料进行腐蚀处理的一种作业。
本指导书旨在提供碱蚀作业的详细步骤和操作要点，确保作业安全、高效进行。
二、作业准备1. 材料准备：- 碱性溶液：根据作业需求选择适当的碱性溶液，并按照配方准确配置。
- 待蚀材料：根据作业要求选择合适的材料，并确保其表面干净、光滑。
- 相应的工具和设备：如蚀刻槽、蚀刻夹具、搅拌器等。
2. 安全措施：- 穿戴个人防护装备：包括防护眼镜、手套、防护服等。
- 确保通风良好：作业场所应具备良好的通风条件，以防止有害气体积聚。
- 防止溅溶液：在作业区域周围设置防溅板，防止溶液溅到其他区域。
三、作业步骤1. 准备蚀刻槽：- 清洗蚀刻槽：使用清洁剂彻底清洗蚀刻槽，确保无杂质。
- 填充溶液：根据配方准确配置碱性溶液，并将其倒入蚀刻槽中。
- 调节温度：根据作业要求，调节溶液的温度，确保在合适的温度范围内。
2. 准备待蚀材料：- 清洗材料表面：使用清洁剂和刷子清洗待蚀材料表面，去除污垢和油脂等杂质。
- 确保干燥：将待蚀材料放置在通风干燥的环境中，确保其表面完全干燥。
3. 进行碱蚀作业：- 将待蚀材料放入蚀刻槽中：使用蚀刻夹具将待蚀材料固定在蚀刻槽中，确保其与溶液充分接触。
- 控制蚀刻时间：根据作业要求，控制蚀刻时间，确保达到所需的蚀刻效果。
- 搅拌溶液：使用搅拌器轻轻搅拌溶液，促使蚀刻效果均匀。
4. 完成碱蚀作业：- 取出蚀刻材料：蚀刻时间到达后，将蚀刻材料从蚀刻槽中取出，放置在通风处晾干。
- 清洗蚀刻槽：将蚀刻槽中的残留溶液倒掉，并使用清洁剂和刷子清洗蚀刻槽，确保下次使用前干净。
四、作业注意事项1. 安全第一：在进行碱蚀作业时，必须严格遵守安全操作规程，穿戴个人防护装备，并确保作业场所通风良好。
2. 注意溶液配置：按照配方准确配置碱性溶液，避免过量或不足。
3. 控制蚀刻时间：根据作业要求，严格控制蚀刻时间，避免过度腐蚀或不足蚀刻。
湿法刻蚀(RENA)作业指导书
一、目的建立正确操作湿法刻蚀工序的规范，以保证刻蚀的质量及保护机器和人身安全。
二、适用范围RENA 湿法刻蚀工序的所有操作人员三、职责3.1、工艺技术人员3.1.1、负责RENA刻蚀工序生产工艺运行的正常性、稳定性。
3.1.2、负责部门内工艺运行原始资料的累积，保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积极处理工艺异常。
3.1.3、负责应对RENA刻蚀设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。
3.2、设备技术人员3.2.1、负责RENA刻蚀设备开关机、故障分析、设备维护及检修。
3.2.2、如有工艺需求，积极配合工艺人员调整设备硬件设置。
3.3、生产人员3.3.1、负责依照作业指导书要求，按标准进行生产作业，掌握正确的操作方法，确保操作安全、人身安全。
3.3.2、细心总结操作经验，发现新问题或改善建议，及时向工艺技术员汇报。
3.3.3、负责对RENA刻蚀设备进行标准、规范化操作，并配合、协助设备的日常维护工作。
四、湿法刻蚀工段标准作业流程4.1刻蚀目的4.1.1在扩散过程中，硅片表面和四周都生长一层PN结，若不去除边缘的PN结，制成的电池片因为边缘漏电而无法使用。
4.1.2扩散时硅片表面形成了一层磷硅玻璃，磷硅玻璃不导电，为了形成良好的欧姆接触，减少光的反射，在沉积减反射膜之前，必须把磷硅玻璃腐蚀掉。
4.2 生产准备4.2.1 穿上工作服，戴上PVC手套。
4.2.2 确保手套没有粘有油脂性物质，使用吸笔上下片，严禁用手直接接触硅片，在生产过程中禁止用手套接触皮肤，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。
4.2.3 确认厂务配套各项目是否正常压缩空气:4.3 生产操作过程4.3.1 从扩散与去PSG的传递窗领取硅片，一次限拿两盒，并检查流程单，注意，传递窗不能两边同时打开。
4.3.2 检查界面显示，若各模块均为绿色“Ready”和绿色＂in process＂，即表示设备进入正常生产状态，如果不在此状态，通知工艺人员进行处理。
蚀刻工序作业指导书
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蚀刻工序作业指导书
1.0 目的
建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0 适用范围
本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。
3.0 职责
电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0 作业内容
4.1 作业流程
4.1.1 内层（负片）蚀刻作业流程
烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转
黑化工序
4.1.2 镀锡板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干
→蚀检→转下工序
4.1.3 镀金板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗
烘干→蚀检→转下工序
4.1.3 若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同4.1.1。
4.2 蚀刻工序设备及物料清单
蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、
蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH 、氨水、柠檬酸、胶盆。
湿法刻蚀作业指导书
承认确认作成3、 4、4.放片须对正，待稳定方可松开吸笔。
1.打开传递窗2.取片3.放片于上料台4.卸片盒放于指定位置5.不可用手直接放片，否则会引起产品隐性品质问题。
6.规格125的间距约5cm，规格156的间距约7cm。
7.吸住硅片的中间垂直往上提,沿着花篮卡槽平行推进约3/5。
8.装满片的花篮应往倾斜45°角，让硅片轻轻滑落到花篮底部。
9.如有不平行的用两母指摆平行。
5.检查硅片6.抽检测试片7.测方块电阻8.测刻蚀前重量10.硅片检查要挑不良品出来（缺角裂纹片）。
9.数据记录10.确认设备状态11.投放测试片12.测刻蚀后重量劳动防护用品：13.冷热探针测电压14.数据比对15.吸笔擦拭16.上料放片改定履历年月日改定内容12345定位置管理说明1.格式编号：HCZY 011.接扩散后硅片,注意扩散正面朝上,背面作为腐蚀面。
3.吸片应在前后1/3处离左右相等的位置。
工序目的：使用部品材料：应遵守的要点及注意事项设备名/设备编号： 2、使用夹具、 工具： 1、刻蚀机11.12.2.穿好劳保用品。
去除磷硅玻璃及边缘刻蚀页码信息：HCBZZZ030 总 2 页01湿法机操作作业指导书文书编号版 本修改日期第 1 页年 月 日 年 月 日作成日期频度样品数参考规则管理項目3.电阻5pcs/30min 规定资料及判定标准管理要点测定法△2-5改定确认承认≧30mv5pcs/30min 备 考冷热探针2.5pcs/30min减薄量电压测试仪天平作业手顺·遵守事项●作业手顺扩散硅片石英吸笔,花篮,片盒,天平,四探针测试仪,物料箱，冷热探针。
口罩,丁腈手套。
样式编号：AAAE02。
(完整word版)蚀刻检验作业指导书Q022
目录一．目的二．范围三．职责四．内容五．缺陷定义、允收水准及判定六．相关文件与记录1．目的：制订电镀/蚀板首（抽）检作业方法、允收水准，使电镀/蚀板检验监控工作有所依据。
2．范围：适用於本司电镀/蚀板检验监控工作3．职责：QA组PQA负责工序首检、抽检以及判定生产部工序负责检验、检修或返工处理4．内容：4.1 蚀板工序首件板检查4.1.1检验设备及工具：80×放大镜、10×放大镜、3M胶纸、灯台4.1.2PQA人员须用10×放大镜检测蚀刻后的首件板线宽、线距是否符合MI要求；若为电镀（镍、金）板时，不需测量线宽、线距，但需用“3M”胶纸做抗拉试验，检验镀层结合力是否符合要求。
4.1.3借助灯台目视检查线路及板面外观是否符合要求；有无蚀板不净、过蚀、退膜不净等现象，必要时辅以10×放大镜进行检查。
4.1.4PQA员将首件板检验结果记录在“蚀板首检记录表”中，并依结果进行判定。
4.1.5若判定合格时，则可知会生产部继续生产，若判定不合格，则要求生产部立即做出相应措施处理，并处理后对品种首板进行重检直至合格为止，PQA员经对不能处理及判定的问题，立即呈报上级管理人员进行处理，并对已发现之不良品作标识、隔离等处理。
4.1.6首件板检查当日生产的每型号进行一次，如在设备暂停或修理后则要重做检查一次。
4.2 蚀刻抽检方法4.2.1检验所用的设备及工具：灯台、10×放大镜、标签纸、80×放大镜4.2.2蚀刻成形后依据AQL正常检验II级C=0，抽样计划从待验板区内抽取适当之样品进行检验，曝光板每架抽5PNL，C=0 进行判定，每架不足5PNL进行全检。
4.2.3借助灯台目视检查板面外观、线路、孔环等处理是否有缺陷；特别注意手指位及IC位，若是电镀板，还必须每批抽3-5PCS做3M胶纸抗拉试验，检查镀层结合力是否正常，并将检验结果记录在“附着力试验记录表”上，并依检验结果进行判定。
碱蚀作业指导书
碱蚀作业指导书一、背景介绍碱蚀作业是一种常见的工业作业，主要用于去除金属表面的氧化物、油污和其他污染物，以提高金属表面的质量和光洁度。
本指导书旨在提供详细的碱蚀作业流程和操作要点，以确保作业安全和效果。
二、作业准备1. 确定作业区域：选择一个通风良好的作业区域，确保作业环境干燥且无明火。
2. 准备工具和设备：包括碱蚀液、喷枪、防护手套、防护眼镜、防护服等。
3. 检查设备和工具：确保设备和工具完好无损，并进行必要的维护和清洁。
4. 确保人员安全：提供必要的安全培训和个人防护装备，确保人员了解相关的安全操作规程。
三、作业流程1. 清洁金属表面：使用清洁剂或者溶剂清洁金属表面，去除表面的油污和污垢。
2. 配制碱蚀液：按照工艺要求，将适量的碱蚀剂和水混合，搅拌均匀，确保溶液的浓度符合要求。
3. 涂覆碱蚀液：使用喷枪将碱蚀液均匀地涂覆在金属表面上，确保涂覆均匀且覆盖全面。
4. 碱蚀处理：根据工艺要求，将金属件浸泡在碱蚀液中，控制浸泡时间和温度，以达到预期的蚀刻效果。
5. 冲洗：将金属件从碱蚀液中取出，用清水冲洗，去除残留的碱蚀液和腐蚀产物。
6. 中和处理：使用酸性溶液对金属表面进行中和处理，以中和残留的碱性物质，并防止进一步腐蚀。
7. 再次冲洗：用清水彻底冲洗金属表面，确保彻底去除中和剂和残留物。
8. 干燥处理：将金属件放置在通风良好的地方晾干，或者使用干燥设备进行干燥，确保金属表面彻底干燥。
四、注意事项1. 个人防护：在作业过程中，必须佩戴防护手套、防护眼镜和防护服，以避免碱蚀液对皮肤和眼睛的刺激。
2. 作业环境：作业区域必须保持通风良好，避免碱蚀液的蒸气积聚，以防止对人员的危害。
3. 操作规范：严格按照操作规范进行作业，避免操作失误和事故发生。
4. 废液处理：废液必须按照像关法规进行处理，避免对环境造成污染。
5. 紧急处理：如发生意外事故，应即将住手作业，采取紧急救援措施，并报告相关部门。
五、作业记录每次碱蚀作业都应有详细的作业记录，包括作业日期、作业人员、作业区域、碱蚀液配制浓度、作业时间、温度、中和剂使用情况等。
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蚀刻工序作业指导书
1.0 目的
建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0 适用范围
本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。
3.0 职责
电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0 作业内容
4.1 作业流程
4.1.1 内层（负片）蚀刻作业流程
烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转黑化工序
4.1.2 镀锡板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干→蚀检→转下工序
4.1.3 镀金板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗烘干→蚀检→转下工序
4.1.3 若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同4.1.1。
4.2 蚀刻工序设备及物料清单
蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、
蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH、氨水、柠檬酸、胶盆。
4.3 基本流程说明
4.3.1 退膜：通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去，露出所需之铜。
4.3.2 蚀刻：在碱性强氧化剂的条件下，将线路板上之多余铜面除去。
4.3.3 退锡：去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。
4.3.4 酸洗：清洗金面轻微氧化，防止氧化加深。
4.4 工艺参数及操作条件
4.5 工艺维护
4.5.1 退膜槽配槽
4.5.1.1 打开槽底排水开关和水泵，把废液抽至污水处理站，抽完后关闭
水泵。
4.5.1.2 戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具，关闭排水开关，注满清水；
4.5.1.3 开启电源与泵浦，对整个槽体全面喷洒5min，然后关闭电源与泵浦；
4.5.1.4 打开盖板，用清洗工具彻底清洗槽内壁；
4.5.1.5 打开槽底排水开关，把废液排出，并用高压水枪冲洗干净；
4.5.1.6 将槽内注入3/5槽体积的清水；
4.5.1.7 另用一小槽注满水，加入9kg NaOH，搅拌至完全溶解
4.5.1.8 将泵浦电源打开，让水流动起來，再緩緩将NaOH溶液倒入槽内；
4.5.1.9 添加完成后，循环20min，使药水达到完全搅拌均勻；
4.5.1.10 通知化验人取样化验，各项管控点都在要求范围之内后方可进行
生产。
4.5.2 每月对蚀刻清洗维护一次，步骤如下：
4.5.2.1 戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具，接好回收管路；把母液抽
至储存槽，盖上纸盖以避免PH值过低；
4.5.2.2 用清水冲洗干净蚀刻槽，排掉废水；
4.5.2.3 加入2/3槽体积的清水，然后再加入10ml/L的工业盐酸，再加水至
液位，开机循环搅拌30min；
4.5.2.4 排掉盐酸清洗废液，用清水彻底清洗槽内、槽盖等部件；
4.5.2.5 拆下上下喷嘴，清理干净后按原位置安装上去；
4.5.2.6 在槽内注入4/5体积的清水，加入1/5槽体积的新液；
4.5.2.7 檢查各视窗盖板是否盖好，确认ok后，将循环泵浦与药水泵浦及
摆动开启，喷淋1小时；
4.5.2.8 检查喷管、喷嘴有无堵塞（并疏通堵塞的喷管、喷嘴）；
4.5.2.9 将废液抽到废液储存槽，用碎布擦拭槽壁，并清理槽底残余的杂
质，及用高压水枪沖洗槽体（注意將水排干净）；
4.5.2.10 通过回收管道及回收泵浦将母液从储存槽抽回至蚀刻槽内；
4.5.2.11 打开循环泵浦与药水泵浦让药水循环起來，并适当添加一瓶純氨
（2L）；
4.5.2.12 通知化验人取样化验，各项管控点都在要求范围之内后方可进行
生产。
4.5.3 退锡
4.5.3.1 开缸
a、用清水冲洗干净退锡槽；
b、注入10L HNO
开启喷嘴喷洒30min，检查喷嘴是否正常；
3
c、直接排出废液，用清水冲洗干净；
d、注入200L PC2000即可开始生产。
4.5.3.2 维护
a、当比重达到1.35时，更换整缸药液。
4.5.3.3 每月对退锡槽清洗一次，步骤如下：
a、此操作在更换褪锡液时进行；
b、用清水冲洗干净退锡槽内壁；
c、拆下喷嘴进行清洗；
d、向槽内加入清水至液位，开机循环清洗30min；
e、排除废液，按原位置装上喷嘴；
f、配10%的氢氧化钠溶液循环喷洒1小时；
g、排除废液，用清水冲洗干净；
h、配1~2%的工业硝酸溶液循环喷洒30min；
I、排除废液，将退锡母液抽回退锡槽；
J、分析并调整各参数至工艺范围之内；
K、循环10min后，即可生产。
4.5.4 酸洗
4.5.4.1 酸洗液配置开缸
a、用清水冲洗干净胶盆；
b、加入100g柠檬酸，加入5L清水即可开始生产；
c、当有金板生产时才配制酸洗液。
4.5.4.2 维护
a、当班使用后即更换酸洗液。
4.6 生产前准备
4.6.1 检查各缸液位是否在标准位置。
4.6.2 检查药水槽温度是否达到设定范围，且分析各含量是否正常。
4.6.3 检查各水洗槽是否按时清洁换槽，确保水之清洁度。
4.6.4 检查喷嘴是否堵塞，泵浦压力是否正常。
4.6.5 检查滤网是否按时清。
4.6.6 检查输送传送齿轮是否正常。
4.6.7 检查全线管路是否正常，如有漏液需及时处理。
4.6.8 检查全线阀门位置是否正常。
4.6.9 检查控制系统是否正常，马达是否有异常。
4.7 生产注意事项
4.7.1 所有泵浦严禁无水空转。
4.7.2 检查吸水海棉是否充分湿润，并每班清洗2次。
4.7.3 每月检查一次金属部分是否松动腐蚀。
4.7.4 每周清洗过滤器一次。
4.7.5 每月全线保养一次。
4.7.6 退膜收集槽内的碎膜需及时清理。
4.7.7 开机前，需先放2片废板活化蚀刻药水。
4.7.8 每月做蚀刻速率、蚀刻因子测试。
4.7.9 生产每料号前需做首件检查。
4.7.10 生产时需频繁检查输送是否正常，有无卡板现象，并检查各压力表的压
力是否正常。
4.7.11 生产放板间距保证5cm以上，且均匀，充分利用输送面。
4.7.12 添加药水时需戴耐酸碱橡胶手套、防护面具以免药水烧伤皮肤。
4.7.13 生产过程中，请勿将手或头伸入机器内。
4.8 返工板的处理
4.8.1 退膜返工板返工时输送速度比原速度需大1m/min。
4.8.2 返工退膜时必须检查有无溶锡现象，并且返工退膜板必需尽快蚀刻以防止
板面氧化。
4.8.3 蚀刻不尽返工板需根据实际情况调整输送速度；若单面蚀刻不尽，则关闭
上喷嘴，蚀刻不尽的一面朝下；若为轻微的蚀刻不尽，同时关闭上下喷嘴，
让板子直接过一遍就可以；若为局部轻微的蚀刻不尽，则用手工修理干净；
注意检查，防止蚀刻过度、线细、段线等问题。
4.8.4 对于退锡板的重工，其输送速度比第一次速度需快1.0~2.0m/min。
5.0 相关记录
电镀工序生产日报表
蚀刻首检记录
蚀刻线药水添加记录表。