气体质量流量转化器系数表
质量流量控制器技术说明书
质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
流量计参数对比
天线发射微波脉冲信号，在被测物料表面产生反射，且反射的回波信号又被雷达系统所 接收。
静压式液位计是一种测量液位的压力传感器．静压式液位计（液位计）是基于所测液体 静压与该液体的高度成比例的原理，采用国外先进的隔离型扩散硅敏感元件或陶瓷电容 压力敏感传感器，将静压转换为电信号，再经过温度补偿和线性修正，转化成标准电信 号（一般为4～20mA/1～5VDC） 阿牛巴流量计是一种插入式流量测量仪表。在管道中插入一根威力巴传感器 , 当流体流 过传感器 时 , 在其前部 迎流方向 产生一个高压分布区 , 在其后部产生一个低压分布 区。传感器在高、低压区有按一定规则排列的多对 一般为三对 取压孔 , 分别测量流体 的全压力 包括静压力和平均速度压力 Pl和静压力 P2。将 P1 和 P2 分别引入差压变送 器 , 测量出差压 △P=P1-P2, △P反映流体平均速度的大小 , 以此可推算出流体的流量 。
ΔP为差压值，Pa；
ρ1为工作状况下，节流件上游处流体的密度，kg/m3；
c 为流出系数，c=实际流量/理论流量。
电磁流量计是根据法拉第电磁感应定律进行流量测量的流量计。当导体在磁场中作切割
磁力线运动时，在导体中会产生感应电势，感应电势的大小与导体在磁场中的有效长度
及导体在磁场中作垂直于磁场方向运动的速度成正比。同理，导电流体在磁场中作垂直
科里奥利质量流量计是利用流体在振动管中流动 时，产生与质量流量成正比的科里奥利 力的原理而制成的。当质量为!的质点以速度!"在管道中流动时，该管道又绕#轴作角速 度为"!的旋转运动， 则该质点除受到离心力作用外，还会受到一个称为科里奥利力F （切向力）的作用。科里奥利力的方向与速度v垂直，同时与角速度w垂直，其大小与流 速、转速以及质点的质量成正比，表示为F=-2m(v*w) 因此，通过直接或间接地测量该 力，便可以得到瞬时质 流量传感器的流通剖面类似文丘利管的型线。在入口侧安放一组螺旋型导流叶片，当流 体进入流量传感器时，导流叶片迫使流体产生剧烈的旋涡流。当流体进入扩散段时，旋 涡流受到回流的作用，开始作二次旋转，形成陀螺式的涡流进动现象。该进动频率与流 量大小成正比，不受流体物理性质和密度的影响，检测元件测得流体二次旋转进动频率 就能在较宽的流量范围内获得良好的线性度。信号经前置放大器放大、滤波、整形转换 为与流速成正比的脉冲信号，然后再与温度、压力等检测信号一起被送往微处理器进行 积算处理，最后在液晶显示屏上显示出测量结果(瞬时流量、累积流量及温度、压力数 据)。
气体质量流量转换系数简表
六氟化钨 WF6 氙气 Βιβλιοθήκη e0.0956 0.0379
13.29 5.858
0.215 1.415
设定流量=实际流量/(转换系数*2） 设定流量量程为200sccm 假设H2实际流量为20sccm，其转换系数为1.01，则其设定流量为20/(1.01*2)=9.9sccm
气体质量流量转换系数表
气 体 空气 Air 氩气 Ar 砷烷 AsH3 三溴化硼 BBr3 三氯化硼 BCl3 三氟化硼 BF3 硼 烷 B2H6 四氯化碳 CCl4 四氟化碳 CF4 甲烷 CH4 乙炔 C2H2 乙烯 C2H4 乙烷 C2H6 丙炔 C3H4 丙烯 C3H6 丙烷 C3H8 丁炔 C4H6 丁烯 C4H8 丁烷 C4H10 戊烷 C5H12 甲醇 CH3OH 乙醇 C2H6O 三氯乙烷 C2H3Cl3 氧化碳 CO 二氧化碳 CO2 氰气 C2N2 氯气 Cl2 氘气 D2 氟气 F2 四氯化锗 GeCl4 锗烷 GeH4 氢气 H2 溴化氢 HBr 氯化氢 HCl 氟化氢 HF 碘化氢 HI 硫化氢 H2S 氦气 He 氪气 Kr 氮气 N2 氖气 Ne 氨气 NH3 一氧化氮 NO 二氧化氮 NO2 一氧化二氮 N2O 氧气 O2 三氯化磷 PCl3 磷烷 PH3 五氟化磷 PF5 三氯氧磷 POCl3 四氯化硅 SiCl4 四氟化硅 SiF4 硅烷 SiH4 二氯氢硅 SiH2Cl2 三氯氢硅 SiHCl3 六氟化硫 SF6 二氧化硫 SO2 四氯化钛 TiCl4 比热(卡/克℃) 0.24 0.125 0.1168 0.0647 0.1217 0.1779 0.502 0.1297 0.1659 0.5318 0.4049 0.3658 0.4241 0.3633 0.3659 0.399 0.3515 0.3723 0.413 0.3916 0.3277 0.3398 0.1654 0.2488 0.2017 0.2608 0.1145 1.7325 0.197 0.1072 0.1405 3.4224 0.0861 0.1911 0.3482 0.0545 0.2278 1.2418 0.0593 0.2486 0.2464 0.5005 0.2378 0.1923 0.2098 0.2196 0.1247 0.261 0.1611 0.1324 0.127 0.1692 0.3189 0.1472 0.1332 0.1588 0.1489 0.1572 密度(克/升0℃) 1.293 1.7837 3.478 11.18 5.227 3.025 1.235 6.86 3.9636 0.715 1.162 1.251 1.342 1.787 1.877 1.967 2.413 2.503 2.593 3.219 1.43 2.055 5.95 1.25 1.964 2.322 3.163 0.1798 1.695 9.565 3.418 0.0899 3.61 1.627 0.893 5.707 1.52 0.1786 3.739 1.25 0.9 0.76 1.339 2.052 1.964 1.427 6.127 1.517 5.62 6.845 7.5847 4.643 1.433 4.506 6.043 6.516 2.858 8.465 转换系数 1.001 1.407 0.673 0.378 0.43 0.508 0.441 0.307 0.428 0.719 0.581 0.597 0.48 0.421 0.398 0.348 0.322 0.293 0.255 0.217 0.583 0.391 0.278 0.999 0.737 0.451 0.858 0.997 0.93 0.267 0.569 1.01 1 1 1 0.999 0.844 1.415 1.415 1 1.415 0.719 0.976 0.741 0.709 0.992 0.358 0.691 0.302 0.302 0.284 0.348 0.599 0.412 0.34 0.264 0.687 0.206
流量测量中常用的流体参数
流量测量中常用的流体参数对工业管道流体流动规律的研究、流量测量计算以及仪表选型时，都要遇到一系列反映流体属性和流动状态的物理参数．这些参数，常用的有流体的密度、粘度、绝热指数(等熵指数)、体积压缩系数以及雷诺数、流速比(马赫数)等；这些物理参数都与温度．压力密切相关。
流量测量的一次元件的设计以及二次仪表的校验，都是在一定的压力和温度条件下进行的。
若实际工况超过设计规定的范围，即需作相应的修正。
一、流体的密度流体的密度( )是流体的重要参数之一，它表示单位体积内流体的质量。
在一般工业生产中，流体通常可视为均匀流体，流体的密度可由其质量和体积之商求出：＝（1－2）式中 m——流体的质量，kg；V——质量为m的流体所占的体积，m3密度的单位换算见表1—3。
各种流体的密度都随温度、压力改变而变化．在低压及常温下，压力变化对液体密度的影响很小，所以工程计算上往往可将液体视为不可压缩流体，即可不考虑压力变化的影响．但这只是一种近似计算。
而气体，温度、压力变化对其密度的影响较大，所以表示气体密度时，必须严格说明其所处的压力、温度状况．工业测量中，有时还用“比容”这一参数。
比容数是密度数的倒数，单位为m3／kg。
二、流体的粘度流体的粘度是表示流体内摩擦力的一个参数。
各种流体的粘度不同，表示流动时的阻力各异。
粘度也是温度、压力的函数．一般说来，温度上升，液体的粘度就下降，气体的粘度则上升．在工程计算上液体的粘度，只需考虑温度对它的影响，仅在压力很高的情况下才需考虑压力的影响。
水蒸气及气体的粘度与压力、温度的关系十分密切．表征流体的粘度，通常采用动力粘度( )和运动粘度(v)，有时也采用恩氏粘度(°E)．流体动力粘度的意义是，当该流体的速度梯度等于l时，接触液层间单位面积上的内摩擦力．流体的动力粘度也可理解为两个相距1m、面积各为1m2的流体层以相对速度1m／s移动时相互间的作用力，即＝（1－3）式中――单位面积上的内摩擦力，Pa；v——流体流动速度，m／s；h——两流体层之间的距离，m；——速度梯度，I / S；动力粘度的单位Pa·s是国际单位制(SI)的导出单位，是我国法定单位．它与过去习惯使用的其他单位的换算关系见表l—4．表中的单位达因·秒／厘米2(dyn·s／cm2)是厘米—克—秒单位制(c．G．s单位制)的导出单位，习惯上称泊(P)。
SC200气体质量流量控制器使用说明书
使用说明书instruction manual陕西易度智能科技有限公司Shaanxi Yidu Intelligence Technology Co., Ltd.地址：陕西省西安市经济技术开发区草滩十路1787微信公众号公司网站基于哈根-泊肃叶定律（Hagen-Poiesuille Law ）设计，该定律描述了在温度、管径等参数一定的情况下，圆管内的不可压缩流体是层流运动状态时，体积流量与压降线性相关。
通过读取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，再对该体积流量进行压力和温度修正，从而获得标准体积流量和质量流量。
微型计算机将测量值与设定值进行对比，根据差值自动调一、工作原理图:产品外观图1 图产品外观图2:图快插接头示意图:卡套接头：卡套接头的安装方法如下图所示，将公头螺母拧到控制器进出口处，将管子接上前卡套、后卡套和螺母，再用扳手拧紧，以保证不漏气。
注意：拧螺母时使用双扳手，一只卡住接头不动，另一只旋转螺母，否则容易引起接头松动，影响密封。
图卡套接头示意图:）VCR 接头：控制器上不直接配备VCR 接头，VCR 即可。
内容1818（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输出＋（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输入＋２４ＶＤＣ－２４ＶＤＣ＋空图卡套—VCR 转接图:（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输入图:控制器显示界面（L）图:控制器显示界面（ml）其中，显示界面具体定义如下：温度：被测工质温度；压力：被测工质绝对压力，支持压力单位切换Ｋｐａ、Ｍｐａ、ＰＳＩ依次切换点击压力区域可切换压力单位；量程：控制器所测最大流量。
图:详细操作界面执行“自动校准”操作时，应确保无气体流动。
长时间在超压力或温度测量上（下）限的工况下工作，会对控制器造成不可逆损伤，导致较大测量误差。
图:高级菜单界面界面图:单一工质选择界面图:详细操作界面图:详细操作界面对洁净，必要时，须在气路中加装过滤器等。
如拆卸，需确保管路内无气体残留。
图:产品主界面图:流量设定界面图:设定方式选择界面若选择屏幕控制，在数字键盘上输入需要控制的目标流量，产品主界面“设定流量”区域显示当前设定的目标流量。
一般气体的密度和相对空气的转换系数表
转换系数
0
空气Air
0.24
1.2048
1.0000
1
氩气Ar
0.125
1.6605
1.4066
2
砷烷AsH3
0.1168
3.478
0.6690
3
三溴化硼BBr3
0.0647
11.18
0.3758
4
三氯化硼BCl3
0.1217
5.227
0.4274
5
三氟化硼BF3
0.1779
3.025
氢气H2
3.4224
0.0899
1.0040
31
溴化氢HBr
0.0861
3.61
0.9940
单一组分气体的转化系数表（续上表）：
32
氯化氢HCI
0.1911
1.627
0.9940
33
氟化氢HF
0.3482
0.893
0.9940
34
碘化氢HI
0.0545
5.707
0.9930
35
硫化氢H2S
0.2278
故障排除
一般气体的密度和相对空气的转换系数表
目前实验室还不能按照用户实际使用的气体标定质量流量，通常根据用户实际使用气体的流量转化成空气的流量后进行标定。用户在使用时，直接输出显示的是实际使用气体的质量流量或体积流量。
不同气体的换算是通过转换系数进行的，单一组分气体的转化系数可查表。如下表：
气体
比热(卡/克℃)
二氧化氮NO2
0.1923
2.052
0.7366
43
一氧化二氮N2O
98
1.964
氢气氮气流量计流量转换系数
氢气氮气流量计流量转换系数【主题】氢气氮气流量计流量转换系数【概念简介】氢气和氮气是广泛应用于工业生产、实验室研究和能源领域中的两种重要气体。
在许多应用中，准确测量氢气和氮气的流量是至关重要的。
而氢气氮气流量计则是一种专门用于测量这两种气体流量的设备。
在气体流体学中，流量转换系数是一个重要的指标，用于确定气体的实际流量和流量计的输出信号之间的关系。
本文将深入探讨氢气氮气流量计流量转换系数的相关概念、原理和应用实例，帮助读者全面理解其作用和影响因素。
【1. 氢气与氮气的特性】1.1 氢气的特性氢气是最轻的元素，具有很高的燃烧性和热值，是广泛用于能源产业的重要燃料。
由于其轻质性质，氢气在实验室研究和其他科学领域中也有广泛的应用。
然而，由于其高燃烧性和易泄露的特性，对氢气进行精确的流量测量变得尤为重要。
1.2 氮气的特性氮气是大气中最丰富的气体之一，在工业生产和实验室研究中扮演着多种角色。
氮气具有较高的稳定性和不可燃性，常用于保护性气氛、气氛调节和气体供应等方面。
虽然氮气相对于氢气而言具有较低的危险性，但精确的氮气流量测量依然是确保生产和研究质量的关键。
【2. 氢气氮气流量计的工作原理】氢气氮气流量计是一种基于物理原理测量气体流量的设备。
其原理基于滑动风门的运动和差压传感器的测量。
当气体通过滑动风门时，风门的位置会随气体流量的变化而调整。
差压传感器通过测量两侧风门间压差的变化，将其转换为电信号输出。
根据预先确定的气体性质和流体力学原理，计算出流量转换系数，从而得到实际气体流量的数据。
【3. 流量转换系数的重要性】3.1 测量精度的关键参数流量转换系数是氢气氮气流量计中的一个重要参数，直接影响到流量计的测量精度。
通过准确地确定和校准流量转换系数，可以提高流量计的准确性和可靠性，保证实际流量的精确测量。
3.2 对流量计输出的修正氢气和氮气在压力、温度和流速等方面的特性存在差异，因此传感器的输出信号需要经过修正，以获得准确的实际流量数据。
气体质量流量转换表
0.1405 3.4224 0.0861 0.1911 0.3482 0.0545 0.2278 1.2418 0..0593 0.2486 0.2464 0.5005 0.2378 0.1923 0.2098 0.2196 0.1247 0.261 0.1611 0.1324 0.127 0.1692 0.3189 0.1472 0.1332 0.1588 0.1489 0.1572 0.0956 0.0379
0.441 0.307
0.1659
3.9636
0.428
0.5318 0.4049 0.3658
0.715 1.162 1.251
0.719 0.581 0.598
2 4 CH 乙烷 2 6 CH 丙炔 3 4 CH 丙烯 3 6 CH 丙烷 3 8 CH 丁炔 C 4H 6 丁烯 C 4H 8 丁烷 C4H10 戊烷 C5H12 甲醇 CH3OH 乙醇 C 2H 6 O 三氯 乙烷 3 3 3 C H Cl 一氧 化碳 CO 二氧 化碳 2 CO 氰气 C 2N 2 氯气 Cl2 氘气 D2 氟气 F2 四氯 化锗 GeCl4
比热( 比热(卡/克℃) 0.24 0.125 0.1168 0.0647
密度( 密度(克/升 0℃) 1.293 1.7837 3.478 11.18
转换系数 1.006 1.415 0.673 0.378
0.1217
5.227
0.43
0.1779
3.025
0.508
0.502 0.1297
1.235 6.86
0.2488
1.25
1.00
0.2017
1.964
0.737
0.2608 0.1145 1.7325 0.197 0.1072
D07-7B型质量流量控制器 D07-7BM型质量流量计 说明书
D07 - 7B 型质量流量控制器D07-7BM 型质量流量计使 用 手 册版本2 0 0 9 . 02目录1. 用途和特点..............................1 5.2.2 检查和调整零点 (14)2. 主要技术指标...........................2 5.2.3 通气工作 (14)3. 结构和工作原...........................3 5.2.4 关机 (14)3.1 结构.......................................3 6. 注意事项 (14)3.2 工作原理.................................4 6.1 禁用流量介质 (14)4. 安装和接线 ...........................6 6.2 使用腐蚀性气体问题 (14)4.1 外形及安装尺寸........................6 6.3 阀口密封问题 (15)4.2 气路接头形式...........................7 6.4 阀控操作注意 (15)4.3 连接电缆插头...........................8 6.5 安装位置问题 (15)4.4 与计算机信号的连接..................10 6.6 注意工作压差 (15)4.5 调零和外调零...........................11 6.7 标定和不同气体的换算 (15)5. 使用方法和操作步骤..................12 6.8 D07-7B,7BM标准订单的填写格式 (17)5.1 质量流量控制器的操作...............127. 故障判断和处理 (20)5.1.1 开机操作..............................128. 保证、保修与服务 (22)5.1.2 清洗功能..............................138.1 产品保证和保修.. (22)5.1.3 显示仪与计算机连接的操作......138.2 保修对使用的要求.. (22)5.1.4 直接与计算机连接的操作.........138.3 服务.. (22)5.1.5 阀控功能..............................149. 附录 (23)5.1.6 关机操作..............................149.1 气体质量流量转换系数 (23)5.2 质量流量计的操作 ...................149.2 转换系数使用说明 (25)5.2.1 开机预热 (14)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共 22 页质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 用途和特点质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
堀场汇博隆S49 31系列流量计,流量控制器说明书
之内。特别是在高压下工作时，气压差过大，流量将无法关闭或调小。 在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差
小于要求值，有可能流量达不到满量程值。 7.5 阀口密封问题
质量流量控制器的电磁阀是调节阀，不能当截止阀使用，用户应另行配置截止阀以达到截 止的目的。特别是用户如果使用的是腐蚀性气体，通常应该在流量控制器进出口各加装一个 截止阀，以保证安全。 7.6 标定和不同气体的换算
程流量的几倍至几十倍。如果不通气，也可根据需要抽真空以排除MFC 内部及其上游残存气 体。然后必须将阀关闭，再开气，并转到“阀控”位工作。注意，清洗后不得直接转置“阀 控”位，此操作可能导致控制不准确。 6.4 外部控制和与计算机A/D 转换器连接
若流量设定使用外部信号，应将设定选择开关打至“外”，并从显示仪上的外控信号插 座接入（0～+5.00）V 和“0 电平”（信号地）上即可。也可直接与计算机的D/A 转换器连 接，实现自动控制。注意，流量设定的输入阻抗大于10KΩ。 6.5 流量检测和与计算机A/D 转换器的连接
图二 S49 31/MT 系列质量流量控制器外形及安装尺寸 5.2 入口和出口气路接头
可以根据用户的不同需求，选用两种类型： 1. 双卡套（Swagelok）:a.Φ3mm～Φ10mm; b. 1/4″;c.或其他。 2. VCR: a. 1/4″;b. 3/8″. 连接方法如图三，图四所示:
6
图三 双卡套接头的连接方法
10MPa
10
工作环境温度
5℃～45℃
11
材料
不锈钢316L
12
标准密封材料
13
漏率
Viton®， EPDM， 或其他由用户指定
SENSIRION CMOSens EM1 气体质量流量计 数据手册
1.1 气体流量特性
图 2 显示了实际气体流量与对应的 CMOSens® EcoLineEM1 质量流量计 200 ln/min 型 的数字输出量曲线。
250 EM1 output [ln/min] 200 150 100 50 0 0 50 100 150 Mass Flow [ln/min] 200 250
CMOSens EM1 产品简介
CMOSens® EcoLine EM 1 质 量 流 量 计 （ MFM ）可在较大的动态范围内对气体流量进 行快速和经济的测量。其较高的性价比源于 Sensirion 卓越的 CMOSens®传感器技术，将传感 器 元 件 与 放 大 器 、 A/D 转 换 电 路 集 成 在 一 个 CMOS 芯片。使产品不仅性能高，反映时间快， 动态范围大，而且价格诱人。 所有的测量数据都通过一个内部的微控制 器经过完全校准和温度补偿。 CMOSens® EcoLine EM 1，外壳耐用，抗化学剂， 广泛应用于过程控制，医疗器械及燃料电池等 领域的流量测量。 传感器外壳为测量气体流量提供两个入 口，并且抗 8bar (116psi)过压。 CMOSens® EcoLine EM 1 要求电压为 7…18 Vdc，并提供 RS-232 或 SPI 电气接口。
单位 °C / °F K K
VDC
最大操作压力 爆破压力 漏率 材料 接触材料
cm / incห้องสมุดไป่ตู้ cm / inch cm / inch g inch bar / psi bar / psi mbar l/s He
1 2 3 4 5
包括偏移，非线性，磁滞 如需要还有更高的精度，可咨询 占满量程（Full Scale)的百分比(FS)
表 3: CMOSens® Ecoline 质量流量计在不同流量水平和积分时间的分辨率（EM 1_V）. 流量水平 流量水平 200 ln/min 50 ln/min < 5 ln/min 流量积分时间 13 ln/min 4.0 ln/min 1.0 ln/min 5 ms 3.5 ln/min 1.0 ln/min 0.25 ln/min 20 ms 0.9 ln/min 0.3 ln/min 0.06 ln/min 80 ms 0.11 ln/min 0.03 ln/min 0.0143 ln/min 640 ms 读数频率 200 Hz 读数频率 50 Hz 读数频率 12.5 Hz 读数频率 1.56 Hz
AS200 系列气体质量流量控制器 说明书
AS200系列说明书气体质量流量控制器●可同时支持数字信号，1～5V 模拟信号，4～20mA 模拟信号●使用单电源（+15～+24VDC ）●支持自动故障报警，多气体多量程等功能应用范围AS200系列气体质量流量控制器（MFC ），主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。
它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
其典型的应用场合包括：集成电路工艺设备，如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD 等设备；其他行业设备，如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。
图 1.AS200系列质量流量控制器产品简述AS200系列气体质量流量控制器，适用于多种常规气体，提高了气体质量流量控制测量结果的准确度及可靠性。
重复精度高达±0.2%F.S.；1×10-10Pa ·m 3/sec He 的低泄露率，气密性好，保障生产安全；可支持多种信号输出，包括数字信号、1～5V 模拟信号以及4～20mA 模拟信号，可以使用单电源（+15～+24VDC ），适用于不同的工作场景；标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利；同时，产品还提供功能强大的免费客户端上位机软件，方便用户调试操作。
AS200系列产品是奥松电子采用先进的MEMS 技术研发，在传感器的驱动，零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术，保证了产品的高性能、高品质和高可靠性，是一款稳定性好、精度高、泄漏率低、耐压高的优质仪器。
1.产品说明1.1.声明本手册已经严格审校，但不保证手册中不含错误与遗漏，制造商不承担任何由于错误或遗漏的责任，亦不承担由于使用本手册中的信息所导致的损失的任何责任。
1.2.使用须知本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。
热式气体质量流量计
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VIRVO® Process Measurement and Control For Yours
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压缩空气流量测量
一台新式的空压机将百分之九十的电能转换成热能，而仅仅将百 分之十转换成压缩空气，这也使得压缩空气比电还要贵十倍。通 过测量压缩空气的流量，才能提供系统的运行效率。检测各工艺 管道的气体流量分配情况，才能更好的地减少能耗和成本。
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有效测量，并将这些数据值送到DCS系统，不但可对天然气的流
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量进行修正，同时也可以计算出它们内部的分配情况和热能放射
率等。VF10通过精确的测量控制，从而实现优化燃烧，减少了
污染气体的排放。
直接测出质量流量 量程比宽，计量更精确。 低流速灵敏
沼气/发酵气测量
沼气以及发酵容器中的废气是一种饱和的甲烷和二氧化碳的混合 物，由于流速和压力都很低，所以通常很难用其他的流量仪表来 测量它的流量。而热式气体质量流量计正是利用了其最卓越的低 流速灵敏的特点，成为测量这类气体最优的选择。
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使用最好的产品
使用最好的产品是有效控制生产过程的必要保证。VIRVO是热式质量流量计在工业领域应用的推广者，不断致力于将最新的技术应用于产品 中，开发出了具有更高性能的优化产品，以合理的价格向用户提供准确、可靠的热式质量流量仪表，为用户提供最好的服务。
质量流量控制器原理及选型教程（1）
质量流量控制器原理及选型教程（1）1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter （缩写为MFM ）, 是⼀种精确测量⽓体流量的仪表，其测量值不因温度或压⼒的波动⽽失准，不需要温度压⼒补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller （缩写为MFC ）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能⾃动控制⽓体流量，即⽤户可根据需要进⾏流量设定，MFC ⾃动地将流量恒定在设定值上，即使系统压⼒有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是⼀个稳流装置, 是⼀个可以⼿动设定或与计算机联接⾃动控制的⽓体稳流装置。
2. 质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放⼤控制器等部分组成。
质量流量控制器的剖⾯结构图见图1。
⽓体流量传感器采⽤⽑细管传热温差量热法原理测量⽓体的质量流量(⽆需温度压⼒补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送⼊放⼤器放⼤, 放⼤后的流量检测电压与设定电压进⾏⽐较, 再将差值信号放⼤后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显⽰仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
⽓体质量流量控制器与流量显⽰仪连接后的⼯作原理如图2所⽰。
流量显⽰仪质量流量计分流器通道传感器⼊⼝I 调节阀驱动阀控-15V +15V 0V ~220V 电源流量显⽰100.0(0 ~ +5.00V)setout 放⼤器⽐较器COM 设定+5.00V内(0 ~ +5.00V)外+15V出⼝-15V清洗关闭0 电平流量检测设定质量流量控制器图1. 质量流量控制器结构图图2. 质量流量控制器原理图3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？⽓体质量流量单位⼀般以sccm （Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm （Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表⽰。
质量流量计介绍MFC
=1SLM× =1.41SLM
1.410
1.000
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CF的换算的注意点
利用CF系数计算得出的流量，是丌能保证的 分子量差异比较大的气体间换算时，阀门流 量控制有可能发生问题
举例：H2 100SCCM 的MFC 用作N2使用时
H2 密度 CF 0.09 1.010
N2 1.25 1.000
小流量，精密控制 FC-DR980系列
弹簧 气体流向 膜片 基础原件
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气体以及CF值
① 转换系数是指？
② CF换算 ③ 气体特性
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气体转换系数
以N2为基准（1.000）流量转换系数
根据丌同气体的比热和密度计算 气体分子热交换程度表示值 定义->MFC相同输出时的流量比
气体的流量控制
半导体应用过程的化学反应
->化学反应以mol单位进行 例：2H2+O2=2H2O ->要求以mol单位进行流量控制 ->需要高性能流量控制器对应
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质量流量控制器的特点
MFC=Mass Flow Controller a) 稳定的流量供给丌受温度、压力变化影响 b) 低压条件下也可使用
蒸发系统
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温度系统设计
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蒸发系统
产品系列 ● AS50、AS50C TEOS\HCD
● AS60C H2O ● AS90C/90AC/91C/92C TEOS AS100S TEOS\HCD\TiCL4\SICL4…
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流量行业基本单位换算和常用参数
附录3 流量行业部分通用图表附3.1 常用图表附3.1.1 体积单位换算表附表3-1 体积单位换算表注：1964年国际计量委员会第十二届国际计量大会决议声明，“升”词作为立方分米的专门名称，因此，“升”与立方分米不再有数量差别。
附3.1.2 质量单位换算表附表3-2 质量单位换算表附3.1.3 英寸与毫米单位换算表附表3-3 英寸与毫米单位换算表附3.1.4 毫米与英寸单位换算表附表3-4 毫米与英寸单位换算表附3.1.5 体积流量单位换算表附表3-5 体积流量单位换算表附3.1.6 质量流量单位换算表附表3-6 质量流量单位换算表附3.1.7 密度单位换算表附表3-7 密度单位换算表附3.1.8 压力单位换算表附表3-8 压力单位换算表注：1、1工程大气压（at）=1公斤力/厘米2。
2、用水柱表示的压力，是以纯水在4℃时的密度值为标准的。
附3.1.9 温度单位换算表附表3-9 温度单位换算表附3.1.10 动力黏度单位换算表附表3-10 动力黏度单位换算表附3.1.11 运动黏度单位换算表附表3-11 运动黏度单位换算表附3.1.12 功、能及热量单位换算表附表3-12 功、能及热量单位换算表附3.1.13 管道内流速常用值附表3-13 管道内流速常用值/(m/s)附3.1.14 流量-管道内平均流速关系图附图3-1 流量-管道内平均流速关系图附3.1.15 ANSI(美国国家标准)和DIN(德国国家标准)的标准管径附表3-14 ANSI(美国国家标准)的标准管径附3.1.16 常用材料的热膨胀系数λ×106附表3-15 常用材料的热膨胀系数λ×106①采用该列数据时，工作温度下的管道内径或节流件开孔直径，应采用下式计算：D=D20[1+λD（t-25）]；d=d20[1+λd（t-25）]。
②灰口铸铁的20～100℃范围为10～100℃范围。
③采用该列数据时，工作温度下的管道内径或节流件开孔直径，应采用下式计算：D=D20[1+λD（t-0）]；d=d20[1+λd（t-0）]。
热式气体质量流量计说明书
传 真 ： 0592- 3776 651 邮 编 ： 3610 15 网 址 ： www.
HKTMF 系列热式质量流量计使用说明书
3 一、概述................................................................................................................. .................................................................................................................3 4 二、技术性能......................................................................................................... .........................................................................................................4 三、插入式和管道式尺寸..................................................................................... 5 6 四、选项................................................................................................................. .................................................................................................................6 （一）量程选择和通径选择........................................................................... 6 （二）安装方式选择：管道式安装和插入式安装 ........................................ 8 （三）结构类型选择....................................................................................... 8 （四）仪表输出类型选择............................................................................... 8 9 （五）计量单位及流量换算表 ........................................................................ ........................................................................9 （六）传感器材料的选择............................................................................. 10 （七）特种热式气体质量流量计供货范围（军用、科研、配套） ........... 10 11 五、安装............................................................................................................... ...............................................................................................................11 11 （一）安装位置及对管道的要求.................................................................. ..................................................................11 （二）插入式操作方法................................................................................. 12 （三）管道式安装方法................................................................................. 14 （四）电缆的安装方法................................................................................. 14 15 六、接线方法....................................................................................................... .......................................................................................................15 七、检定方法及年检........................................................................................... 17 17 八、定货指南....................................................................................................... .......................................................................................................17 20 资料篇（附录）................................................................................................... ...................................................................................................20 20 1、工况、标况的换算和举例........................................................................ ........................................................................20 21 2、插入深度的探讨和相关知识.................................................................... ....................................................................21
气体质量流量转换系数表
气 体 空气 Air 氩气 Ar 砷烷 AsH3 三溴化硼 BBr3 三氯化硼 BCl3 三氟化硼 BF3 硼 烷 B2H6 四氯化碳 CCl4 四氟化碳 CF4 甲烷 CH4 乙炔 C2H2 乙烯 C2H4 乙烷 C2H6 丙炔 C3H4 丙烯 C3H6 丙烷 C3H8 丁炔 C4H6 丁烯 C4H8 丁烷 C4H10 戊烷 C5H12 甲醇 CH3OH 乙醇 C2H6O 三氯乙烷 C2H3Cl3 氧化碳 CO 二氧化碳 CO2 氰气 C2N2 氯气 Cl2 氘气 D2 氟气 F2 四氯化锗 GeCl4 锗烷 GeH4 氢气 H2 溴化氢 HBr 氯化氢 HCl 氟化氢 HF 碘化氢 HI 硫化氢 H2S 氦气 He 氪气 Kr 氮气 N2 氖气 Ne 氨气 NH3 一氧化氮 NO 二氧化氮 NO2 一氧化二氮 N2O 氧气 O2 三氯化磷 PCl3 磷烷 PH3 五氟化磷 PF5 三氯氧磷 POCl3 四氯化硅 SiCl4 四氟化硅 SiF4 硅烷 SiH4 二氯氢硅 SiH2Cl2 三氯氢硅 SiHCl3 六氟化硫 SF6 二氧化硫 SO2 四氯化钛 TiCl4 六氟化钨 WF6 氙气 Xe 比热(卡/克℃) 0.24 0.125 0.1168 0.0647 0.1217 0.1779 0.502 0.1297 0.1659 0.5318 0.4049 0.3658 0.4241 0.3633 0.3659 0.399 0.3515 0.3723 0.413 0.3916 0.3277 0.3398 0.1654 0.2488 0.2017 0.2608 0.1145 1.7325 0.197 0.1072 0.1405 3.4224 0.0861 0.1911 0.3482 0.0545 0.2278 1.2418 0.0593 0.2486 0.2464 0.5005 0.2378 0.1923 0.2098 0.2196 0.1247 0.261 0.1611 0.1324 0.127 0.1692 0.3189 0.1472 0.1332 0.1588 0.1489 0.1572 0.0956 0.0379 密度(克/升0℃) 1.293 1.7837 3.478 11.18 5.227 3.025 1.235 6.86 3.9636 0.715 1.162 1.251 1.342 1.787 1.877 1.967 2.413 2.503 2.593 3.219 1.43 2.055 5.95 1.25 1.964 2.322 3.163 0.1798 1.695 9.565 3.418 0.0899 3.61 1.627 0.893 5.707 1.52 0.1786 3.739 1.25 0.9 0.76 1.339 2.052 1.964 1.427 6.127 1.517 5.62 6.845 7.5847 4.643 1.433 4.506 6.043 6.516 2.858 8.465 13.29 5.858 转换系数 1.001 1.407 0.673 0.378 0.43 0.508 0.441 0.307 0.428 0.719 0.581 0.597 0.48 0.421 0.398 0.348 0.322 0.293 0.255 0.217 0.583 0.391 0.278 0.999 0.737 0.451 0.858 0.997 0.93 0.267 0.569 1.01 1 1 1 0.999 0.844 1.415 1.415 1 1.415 0.719 0.976 0.741 0.709 0.992 0.358 0.691 0.302 0.302 0.284 0.348 0.599 0.412 0.34 0.264 0.687 0.206 0.215 1.415
热式流量计ppt课件
4.热双分原布子式气仪体表，用不于必H用2、这N些2、气O体2专、门CO标、定N。O直等接接用近空理气想标气定体的的 仪表，实验证明差别仅2%左右，用于Ar、He等单原子气体 则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差 可能稍大些。（气体的比热容会随着压力温度而变，但在所 使用的温度压力附近不大的变化可视为常数）
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四、 TMF的特点——缺点
• 1响应慢。 • 2变被化测，气测体量组值份会变有化较较大大变的化场而所产，生因误c差p值。和热导率 • 对于小流量，仪表会给被测气体带来相当的热量。 • 对于热分布式TMF，被测气体若在管壁沉积垢层
影响测量值，必须定期清洗；细管型仪表易堵。 • 对脉动流在使用上受到限制。 • 液体用TMF对于粘性液体在使用上受到限制。
28几种气体的转换系数f气体名化学式摩尔定压比热jmol?k转换系数f若干制造厂提供范围空气291氨气nh3730781077079氩气ar209139139143二氧化3660795073080一氧化co2911002100甲烷ch3540823069090几种气体的转换系数f气体名化学式摩尔定压比热jmol?k转换系数f若干制造厂提供范围乙烷5160565048056乙烯422069056069氦气he209139137143氢气2861019099103氮气2911003100102氧气292099909710030tmf流体中含有异相和低沸点液体气体用仪表热分布式必须是清洁气体不能有固相浸入式则可允许有微粒但均不得含有水汽
• 为了扩大仪表流量，还可采用在 管道内装管束等层流阻流件；扩 大更大流量和口径还常采用分流 方式，在主管道内装层流阻流件 （见图），以恒定比值分流部分 流体到流量传感部件。
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热分布式TMF——原理(6)