物理实验金属薄膜电阻率的测量

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银薄膜电阻率测量数据记录表

膜厚:44.4nm

电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV 0.151 0.162 0.163 0.163

0.172 0.186 0.185 0.186

0.193 0.207 0.208 0.208

0.223 0.241 0.240 0.241

0.281 0.301 0.302 0.302

0.316 0.340 0.339 0.340

0.356 0.383 0.384 0.384

0.402 0.433 0.434 0.434

0.448 0.482 0.483 0.483

电阻率为216.879(Ω/nm)

膜厚:88.8nm

电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV

0.532 0.121 0.126 0.124

1.743 0.404 0.409 0.407

3.264 0.759 0.764 0.762

4.744 1.105 1.110 1.108

5.642 1.314 1.320 1.317

7.539 1.758 1.763 1.761

9.163 2.138 2.143 2.141

10.679 2.492 2.497 2.495

12.221 2.854 2.859 2.857

电阻率为94.11(Ω/nm)

膜厚:133.2nm

电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV 0.794 0.107 0.112 0.110

2.372 0.327 0.332 0.330

3.988 0.553 0.558 0.556

5.235 0.727 0.732 0.730

6.904 0.960 0.965 0.963

8.488 1.181 1.187 1.184

9.785 1.362 1.368 1.365

13.193 1.839 1.844 1.842

14.871 2.073 2.079 2.076

电阻率为84.35(Ω/nm)

膜厚:222nm

电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV 3.970 0.376 0.382 0.379

10.090 0.962 0.967 0.965

14.480 1.382 1.387 1.385

21.480 2.052 2.058 2.055

26.670 2.547 2.552 2.550

33.170 3.171 3.176 3.174

39.750 3.801 3.806 3.804

45.230 4.325 4.330 4.328

51.150 4.892 4.897 4.895

电阻率为96.30(Ω/nm)

膜厚:277.5nm

电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV 3.990 0.124 0.129 0.127

11.480 0.363 0.368 0.366

15.550 0.493 0.498 0.496

20.010 0.635 0.640 0.638

25.170 0.800 0.805 0.803

30.150 0.958 0.963 0.961

36.510 1.161 1.166 1.164

42.650 1.357 1.311 1.334

54.970 1.749 1.755 1.752

电阻率为39.87(Ω/nm)

银薄膜电阻率和膜厚的实验曲线

电阻率(Ω/nm)膜厚(nm)

216.879 44.4

94.11 88.8

84.35 133.2

96.3 222

39.87 277.5

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