物理实验金属薄膜电阻率的测量
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银薄膜电阻率测量数据记录表
膜厚:44.4nm
电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV 0.151 0.162 0.163 0.163
0.172 0.186 0.185 0.186
0.193 0.207 0.208 0.208
0.223 0.241 0.240 0.241
0.281 0.301 0.302 0.302
0.316 0.340 0.339 0.340
0.356 0.383 0.384 0.384
0.402 0.433 0.434 0.434
0.448 0.482 0.483 0.483
电阻率为216.879(Ω/nm)
膜厚:88.8nm
电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV
0.532 0.121 0.126 0.124
1.743 0.404 0.409 0.407
3.264 0.759 0.764 0.762
4.744 1.105 1.110 1.108
5.642 1.314 1.320 1.317
7.539 1.758 1.763 1.761
9.163 2.138 2.143 2.141
10.679 2.492 2.497 2.495
12.221 2.854 2.859 2.857
电阻率为94.11(Ω/nm)
膜厚:133.2nm
电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV 0.794 0.107 0.112 0.110
2.372 0.327 0.332 0.330
3.988 0.553 0.558 0.556
5.235 0.727 0.732 0.730
6.904 0.960 0.965 0.963
8.488 1.181 1.187 1.184
9.785 1.362 1.368 1.365
13.193 1.839 1.844 1.842
14.871 2.073 2.079 2.076
电阻率为84.35(Ω/nm)
膜厚:222nm
电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV 3.970 0.376 0.382 0.379
10.090 0.962 0.967 0.965
14.480 1.382 1.387 1.385
21.480 2.052 2.058 2.055
26.670 2.547 2.552 2.550
33.170 3.171 3.176 3.174
39.750 3.801 3.806 3.804
45.230 4.325 4.330 4.328
51.150 4.892 4.897 4.895
电阻率为96.30(Ω/nm)
膜厚:277.5nm
电流I/mA 正向电压U+/Mv 反向电压U-/mV 平均电压U/mV 3.990 0.124 0.129 0.127
11.480 0.363 0.368 0.366
15.550 0.493 0.498 0.496
20.010 0.635 0.640 0.638
25.170 0.800 0.805 0.803
30.150 0.958 0.963 0.961
36.510 1.161 1.166 1.164
42.650 1.357 1.311 1.334
54.970 1.749 1.755 1.752
电阻率为39.87(Ω/nm)
银薄膜电阻率和膜厚的实验曲线
电阻率(Ω/nm)膜厚(nm)
216.879 44.4
94.11 88.8
84.35 133.2
96.3 222
39.87 277.5