等离子体电子工程(2)-等离子体概述
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1.1 等离子体概述 冰升温至 0 C 会变成水， 如果继续使温度上升至 100 C ， 那么水 就会沸腾成为水蒸气。我们知道，随着温度的上升，物质的存在状态 一般会呈现出固态——液态——气态三种物态的转化过程， 我们把这 三种基本形态称为物质的三态。那么对于气态物质，温度升至几千度 时，将会有什么新变化呢？由于物质分子热运动加剧，相互间的碰撞 就会使气体分子产生电离， 这样物质就变成由自由运动并相互作用的 正离子和电子组成的混合物（蜡烛的火焰就处于这种状态） 。我们把 物质的这种存在状态称为物质的第四态，即等离子体（plasma） （参 见本章篇外话） 。因为电离过程中正离子和电子总是成对出现，所以 等离子体中正离子和电子的总数大致相等，总体来看为准电中性。反 过来，我们可以把等离子体定义为：正离子和电子的密度大致相等的 电离气体。 从刚才提到的微弱的蜡烛火焰，我们可以看到等离子体的存在， 而夜空中的满天星斗又都是高温的完全电离等离子体。 据印度天体物 理学家沙哈（M.Saha,1893~1956）的计算，宇宙中 99.9%的物质处于 等离子体状态。 而我们居住的地球倒是例外的温度较低的星球。 此外， 对于自然界中的等离子体，我们还可以列举太阳、电离层、极光、雷 电等。在人工生成等离子体Leabharlann Baidu方法中，气体放电法比加热的办法更加 简便高效，诸如荧光灯、霓虹灯、电弧焊等等。图 1.1 给出了主要类 型的等离子体的密度和温度的数值。从密度为 10 6 （单位： 个/m 3 ） 的稀薄星级等离子体到密度为 10 25 的电弧放电等离子体，跨越近 20
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Flames Ionosphere
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Electron Density (cm-3)
图 1.1 各种等离子体的密度和温度
通常，等离子体中存在电子、正离子和中性粒子（包括不带电荷 的粒子，如原子或分子以及后述的原子团）等三种粒子。设它们的密 度分别为 ne，ni，nn ，由于 ne =ni （准电中性） ，所以电离前气体分子密 度为（ ne +nn ） 。于是，我们定义电离度 =ne / ne nn ，以此来衡量等 离子体的电离程度。日冕、核聚变中的高温等离子体的电离度都是 100%，像这样 =1 的等离子体称为完全电离等离子体。电离度大于 1%（ 10 2 ）的称为强电离等离子体，像火焰中的等离子体大部分 是中性粒子（ 10 3 ） ，称之为弱电离等离子体。 若放电是在接近于大气压的高气压条件下进行， 那么电子、 离子、 中性粒子会通过激烈碰撞而充分交换动能， 从而使等离子体达到热平 衡状态。若电子、离子、中性粒子的温度分别为 Te ，Ti ，Tn ，我们把
个数量级。其温度分布范围则从 100K 的低温到超高温核聚变等离子 体的 108 ~ 108 K （1~10 亿度） 。单位 1eV 11600 K 。
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Electron Temperature (eV)
Fusion Goal Fusion Experiments Electro Low n Pressure Beams Arcs Solar Glow Corona Discharges High Pressure Arcs
Te ，但在除低温等离子体外的一般情况下， Te 与 Ti 近似相等。
等离子体的由来： 等离子体（plasma）一词源于希腊语 ，直译成英语就是 “to mold” ， 意味着像加工塑料制品那样将流体注入模具来实现成型。 朗缪尔（Irving Langmuir，1932 年诺贝尔化学奖得主）注意到，辉光 放电产生的电离气体也有这种成型的特性，并于 1928 年把这种电离 气体命名为“等离子体” 。 他 的 合 作 者 Tonks 在 他 的 一 篇 论 文 （Am.J.phys.,35(1967),p.857） 中， 这样生动地讲述了这个名称的由来： Langmuir came into my room in the General Electric Research Laboratory one day and said “Say, Tonks, I’m looking for a word. In these gas discharges we call the region in the immediate neighborhood of
这三种粒子的温度近似相等（ Te Ti Tn ）的热平衡等离子体称为热 等离子体（thermal plasma） ，在实际的热等离子体发生装置中，阴极 和阳极间的电弧放电作用使得流入的工作气体发生电离， 输出的等离 子体呈喷射状，可用作等离子体射流（ plasma jet ） 、等离子体喷焰 （plasma torch）等。 另一方面，数百帕以下的低气压等离子体常常处于非热平衡状 态。此时电子在与离子或中性粒子的碰撞过程中几乎不损失能量，所 以有 Te Ti ， Te Tn 。我们把这样的等离子体称为低温等离子体 （cold plasma） 。当然，即使在高气压下，低温等离子体还可以通过 不产生热效应的短脉冲放电模式来生成。 低温等离子体在工业中是应 用的最广泛的一种等离子体，图 1.1 的温度，严格的讲是指电子温度
the wall or an electrode a sheath, and that seems to be quite appropriate; but what should we call the main part of the discharge?.... there is complete space-charge neutralization. I don’t want to invent a word, but it must be descriptive of this kind of region as distinct from a sheath. What do you suggest?” My reply was classic “I’ll think about it, Dr. Langmuir.” The next day Langmuir breezed in and announced, “I know what we’ll call it! We’ll call it the plasma.” The image of blood plasma immediately came to mind: I think Langmuir even mentioned blood. 像该文中提及的那样，当时在医学界 plasma 已经被用于指代血浆 （blood plasma） ，而朗缪尔的这一命名与此毫无关系。通晓希腊语的 朗缪尔应该是看到放电气体发光部分会随着放电管形状而变化， 于是 根据上述希腊词源将其命名为等离子体的。 大家想想， 霓虹灯广告牌， 不论其文字、图形多么复杂，不都可以通过细长的放电管而绚丽发光 吗？
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图 1.1 各种等离子体的密度和温度
通常，等离子体中存在电子、正离子和中性粒子（包括不带电荷 的粒子，如原子或分子以及后述的原子团）等三种粒子。设它们的密 度分别为 ne，ni，nn ，由于 ne =ni （准电中性） ，所以电离前气体分子密 度为（ ne +nn ） 。于是，我们定义电离度 =ne / ne nn ，以此来衡量等 离子体的电离程度。日冕、核聚变中的高温等离子体的电离度都是 100%，像这样 =1 的等离子体称为完全电离等离子体。电离度大于 1%（ 10 2 ）的称为强电离等离子体，像火焰中的等离子体大部分 是中性粒子（ 10 3 ） ，称之为弱电离等离子体。 若放电是在接近于大气压的高气压条件下进行， 那么电子、 离子、 中性粒子会通过激烈碰撞而充分交换动能， 从而使等离子体达到热平 衡状态。若电子、离子、中性粒子的温度分别为 Te ，Ti ，Tn ，我们把
个数量级。其温度分布范围则从 100K 的低温到超高温核聚变等离子 体的 108 ~ 108 K （1~10 亿度） 。单位 1eV 11600 K 。
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Electron Temperature (eV)
Fusion Goal Fusion Experiments Electro Low n Pressure Beams Arcs Solar Glow Corona Discharges High Pressure Arcs
Te ，但在除低温等离子体外的一般情况下， Te 与 Ti 近似相等。
等离子体的由来： 等离子体（plasma）一词源于希腊语 ，直译成英语就是 “to mold” ， 意味着像加工塑料制品那样将流体注入模具来实现成型。 朗缪尔（Irving Langmuir，1932 年诺贝尔化学奖得主）注意到，辉光 放电产生的电离气体也有这种成型的特性，并于 1928 年把这种电离 气体命名为“等离子体” 。 他 的 合 作 者 Tonks 在 他 的 一 篇 论 文 （Am.J.phys.,35(1967),p.857） 中， 这样生动地讲述了这个名称的由来： Langmuir came into my room in the General Electric Research Laboratory one day and said “Say, Tonks, I’m looking for a word. In these gas discharges we call the region in the immediate neighborhood of
这三种粒子的温度近似相等（ Te Ti Tn ）的热平衡等离子体称为热 等离子体（thermal plasma） ，在实际的热等离子体发生装置中，阴极 和阳极间的电弧放电作用使得流入的工作气体发生电离， 输出的等离 子体呈喷射状，可用作等离子体射流（ plasma jet ） 、等离子体喷焰 （plasma torch）等。 另一方面，数百帕以下的低气压等离子体常常处于非热平衡状 态。此时电子在与离子或中性粒子的碰撞过程中几乎不损失能量，所 以有 Te Ti ， Te Tn 。我们把这样的等离子体称为低温等离子体 （cold plasma） 。当然，即使在高气压下，低温等离子体还可以通过 不产生热效应的短脉冲放电模式来生成。 低温等离子体在工业中是应 用的最广泛的一种等离子体，图 1.1 的温度，严格的讲是指电子温度
the wall or an electrode a sheath, and that seems to be quite appropriate; but what should we call the main part of the discharge?.... there is complete space-charge neutralization. I don’t want to invent a word, but it must be descriptive of this kind of region as distinct from a sheath. What do you suggest?” My reply was classic “I’ll think about it, Dr. Langmuir.” The next day Langmuir breezed in and announced, “I know what we’ll call it! We’ll call it the plasma.” The image of blood plasma immediately came to mind: I think Langmuir even mentioned blood. 像该文中提及的那样，当时在医学界 plasma 已经被用于指代血浆 （blood plasma） ，而朗缪尔的这一命名与此毫无关系。通晓希腊语的 朗缪尔应该是看到放电气体发光部分会随着放电管形状而变化， 于是 根据上述希腊词源将其命名为等离子体的。 大家想想， 霓虹灯广告牌， 不论其文字、图形多么复杂，不都可以通过细长的放电管而绚丽发光 吗？