镀膜机常见故障及分析解决预防措施
真空镀膜过程中常见问题分析
调整气压,涂料雾化充分,调整喷枪合适的距离
涂料的喷涂量过多
在遮盖的情况下尽量喷薄
真空镀膜底漆常见问题分析
底漆常见问题分析
1、干燥不良：涂料固化不充分出现发白或发彩现象
原
因
溶剂挥发
不完全
红外流平温度过低或时间不足
提高温度,降低速度
涂膜过厚
加入适量稀释剂或降低喷漆流量
溶剂挥发速度慢
调整溶剂的挥发速度
现场温度过高
除湿干燥
溶剂挥发过快导致水气凝露
调低溶剂挥发速率
镀膜层太薄,显示底色
加厚金属镀层
6、桔皮现象：镀膜层凹凸不平的现象
原
因
底漆粘度太高
调整涂料的粘度：增加稀释剂或涂料加温
IR段的温度和流平时间不足
增加IR的温度和流平时间
底材被污染
底材清洗或增加底漆润湿性
喷涂压力太低或太高
调整喷枪的压力~cm2和距离15~30cm
真空镀膜过程中常见问题分析
镀膜过程中常见问题分析
1、烧蚀现象：镀膜层被烧黑或变黄的现象
原
因
工件与钨丝的距离过近
根据工件调整与钨丝的距离
蒸发的发光时间过长
控制金属蒸发的时间
蒸发时的电力过高
控制蒸发时的电压
在真空度低的状态下作业
严格控制蒸发的真空度
铝丝被氧化
清洁铝丝或更高纯度的铝丝
2、失光现象：镀膜层颜色出现灰色,失去镜面效果的金属光泽
原
因
铝丝过薄地被蒸发
增加铝丝的用量
发光时间过短
控制金属蒸发的时间
在真空度低的状态下作业
严格控制蒸发的真空度
蒸发速率过慢
提高蒸发速率
镀膜机常见故障及分析解决预防措施
镀膜机常见故障及分析解决预防措施一.常见故障,问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.12346二.一些基础知识及注意事项和应急措施1. 膜厚控制仪控制参数Soak power1----预熔功率1 约为蒸发功率的一半Soak power2----预熔功率2 也称预蒸镀功率略小于最大功率Maxpower ----最大功率Dep Rate ----蒸发速率Final Thk ----膜厚（波长）Soak time----预熔时间Rise time ----功率上升时间Density ----材料密度检测膜厚原理通过改变探头上晶片的频率（由于膜的蒸发改变了其重量，所以其震动频率发生变化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度，探头的位置和测试膜厚的关系如小：(1).探头高了,测试得到的厚度<实际得到的膜厚(玻片上厚度)(2).探头低了,测试得到的厚度>实际得到的膜厚(玻片上厚度)(3).工具因数调高,相当于探头位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料间的关系2.1.U5吸收杂光,影响膜质和亮度.镀的过多,膜会发银;镀的过少,膜发黑,不亮泽,有银色;没镀上,则为银白2.2.U3脱膜剂,影响膜质.镀的过多,膜质稀烂,易脱落;镀的过少,膜会打卷,发硬2.3.SiO2决定颜色2.4.U6基层,影响膜的鲜艳度和亮度3. 均匀性3.1.径向均匀性:同一玻片上部与下部的不均匀,与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和转向、玻片的曲率有关3.2.重复均匀性:同一锅膜的每一套间的不均匀,与真空度的高低、操作者看颜色有关3.3.整体均匀性:同一套膜四块玻片上的均匀性,与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关4. 灯丝问题4.1.放气时要记住关灯丝电源,以免氧化灯丝4.2.初次使用或更换新灯丝,应进行灯丝预热定型处理,以防灯丝加热过快变形.预热时,高压关闭,直接加热灯丝,缓慢加灯丝电流,由几安培加至15A时,维持3-5分钟4.3.灯丝安装a.灯丝不宜太高或太低:太高会造成光斑不可调,容易打烂栅极和阳极片;太低会造成光斑能量太散,不易蒸发b.栅极片应略低于阳极片c.各个压块、引线的接触面应清洗干净避免造成接触不良d.打紧螺钉时应松紧适当，太松会接触不良，太紧会造成“滑丝”5. 轰击条件：真空度4.0Pa到8.0Pa之间时间:20到30分钟轰击棒应用240#砂纸砂干净再用酒精擦一遍再装入真空室轰击完后关闭轰击开关,取轰击棒时应带手套或用包住轰击棒以免被烫伤6. 换机械泵油将油放干净,把出气口的盖板取下,然后取下挡油板,用布将机械泵油腔内擦干净(特别注意死角地方),擦干净后倒点新油盖住出气口开机械泵运行20秒将油放出,这样反复做两到三次,洗干净后即可加油.加油应加到观察油窗伤两条红线之间(油加少了会造成机械泵的抽气性能下降,油加多了会造成抽气时油喷出来).油加好后将挡油板,盖板依次装好.7. 应急措施7.1. 突然停电首先将设备总电源开关关闭(防止突然恢复电力所有用电设备工作造成电流冲击过大),然后将所有开关复位,处在关的状态(开关弹起为关的状态),等待电力恢复如果长时间电力无法恢复应将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使其冷却.设备循环水关小,防止停电时间过长导致循环水无法循环使水流失7.2.停水首先应关闭扩散泵,将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使扩散泵冷却关闭各阀门及机械泵,不能让其长时间在无冷却水的状态下工作导致设备损坏7.3.停气气压低于0.43Mpa时阀门会自动关闭,此时应将各阀门开关复位处在关的状态(开关弹起为关).如果长时间无法恢复供气,则将扩散泵,机械泵等运作的设备关闭,关扩散泵15分钟后打开扩散泵快冷冷却扩散泵。
电阻蒸发镀膜机 常见故障及解决方法
电阻蒸发镀膜机常见故障及处理方法
一、膜层发黑或变黄：
1、真空度低
1）系统泄漏（检漏）；
2）精抽阀不完全打开（检查气压、活塞）；
2、蒸发时间太长（控制镀膜时间）；
二、抽气周期变长：
1、滑阀泵工作不正常（检查泵油）；
2、漏气（检查密封圈）；
3、工作室内表面膜层太厚（清除膜层）；
三、膜层变薄：
1、铝丝太少（适当增加铝丝）；
2、蒸发电流小（加大电流）；
四、机械泵、滑阀泵返油：
1、电机反转（对调两相电源线）；
2、油太多（减少泵油）；
五、蜂鸣器报警：
1、水压不足（检查有无水压）；
2、压力控制器失灵（检查压力控制器）；
3、在触摸屏上进入“报警显示”界面查看相关报警信息；
六、电动机不转动：
1、断路器脱扣跳闸（检查线路后合上断路器）；
2、交流接触器不吸合理（检查或更换）；
七、蒸发电流上不去：
1、蒸发变压器故障（检查变压器）；
2、电极输入接触不良（检查输入电极）；
八、蒸发电流大且镀料不能完全蒸发：
1、蒸发电极间绝缘不好（清洗或更换绝缘材料）；
2、蒸发变压器故障（修理或更换蒸发变压器）；
九、气动阀门无动作：
1、气压不足（增加气压）；
2、电控换向阀及有关部件出毛病（检查电控换向阀、线路）；。
电镀常见的问题及解决方案
电镀常见的问题及解决方案
电镀过程中可能出现的问题及其解决方案如下：
1.针孔或麻点：这是由于前处理不良、有金属杂质、硼酸含量太少、镀液温度太低等原因造成的。
可以使用润湿剂来减小影响，并严格控制镀液维护及流程。
2.结合力低：如果铜镀层未经活化去氧化层，铜和镍之间的附着力就差，会产生镀层剥落现象。
因此，在电镀前应对基材进行适当的预处理，如酸洗、活化等。
3.镀层脆、可焊性差：这通常是由于有机物或重金属物质污染造成的。
添加剂过多会使镀层中夹带的有机物和分解产物增多，此时可以用活性炭处理或电解等方法除去重金属杂质。
4.镀层发暗和色泽不均匀：有金属污染可能是造成这一问题的原因。
应尽量减少挂具所沾的铜溶液，并在发现污染时立即处理。
5.镀层烧伤：这可能是由于硼酸不足、金属盐的浓度低、工作温度太低、电流密度太高、PH值太高或搅拌不充分等原因造成的。
需要检查并调整相关工艺参数，确保其处于合适的范围。
6.沉积速率低：PH值低或电流密度低都可能导致沉积速率低。
应检查并调整镀液的PH值和电流密度，以优化沉积速率。
7.其他问题：如辅助阳极的铜条未与生产板长度一致或已发粗，不允许再使用。
全板及图形镀后板需在24小时内制作下工序。
图形镀上板戴细纱手套，下板戴棕胶手套，全板上板戴橡胶手套，下板戴干燥的粗纱手套。
在处理电镀问题时，需要综合考虑多个因素，包括镀液成分、设备状况、操作条件等。
如遇到难以解决的问题，建议寻求专业人士的帮助。
真空镀膜产品常见不良分析及改善对策
真空镀膜常见的不良分析及改善对策一、膜强度膜强度是镜片在镀膜的一项重要指标，也是镀膜工序最常见的不良。
膜强度的不良（膜弱）主要表现为：1)擦拭或用专用的胶带拉撕，产生成片的脱落；2)擦拭或用专用的胶带拉撕，产生点状的脱落；3)水煮15分钟后用专用的胶带拉撕产生点状或片状的脱落；4)用专用橡皮头、1KG力摩擦40次，有道子产生；5)膜层擦拭或未擦拭出现龟裂、网状细道子。
改善思路：基片与膜层的结合是首要考虑的，其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力的因素。
膜强度不良的产生原因及对策；1)基片与膜层的结合；一般情况，在减反膜中，这是膜弱的主要原因，由于基片表面在光学领加工及清洗过程中不可避免地会有以下有害杂质附着在表面伤，而基片的表面由于光学冷加工的作用，总有一些破坏层，深入破坏曾的杂质（如水汽、油气、清洗液、擦拭液、抛光粉等，其中水汽为主），很难以用一般的方法去除干净，特别对于亲水性好的材料，吸附力强的基片尤其如此，当膜料分子堆积在这些杂质上面时，就影响了膜层的附着，也就影响了膜强度。
此外，如果基片的亲水性差、吸附力差，对膜层的吸附差，同样会影响膜强度。
硝材化学稳定性差，基片在前加工过程中流转过程中，表面已经受到腐蚀，形成了腐蚀层或水解层（也许是局部的、极薄的）。
膜层镀在腐蚀层或水解层上其吸附就差，膜牢固度会受到影响。
基片表面有脏污、油斑、灰点、口水等，局部膜层附着不良，造成局部膜牢固度不良。
改善对策：a)加强去油去污处理，如果是超声波清洗，应重点考虑去油功能，并保证去油溶液的有效性，如若是手擦，可考虑先用碳酸钙粉擦拭后再清擦；b)加强镀前烘烤，条件许可，基片温度能达到300℃以上最好，恒温20分钟以上，尽可能使基片表面的水汽、油气挥发。
温度过高时基片的附着力变大，同时也容易吸附灰尘，因此需要提高真空室清洁度，真空室基片上的水汽化学解析温度在260℃以上。
不是所有的零件都需要高温烘烤，有的硝材温度高了反而膜强度不高，还会有色斑产生，这与应力及材料热匹配有较大的关系；c)设备机组安装冷凝机（POLYCOLD），可以提高机组抽真空的能力的同时帮助去除水汽、油气；d)设备安装离子源，镀前轰击，清洁基片表面，镀膜过程辅助更有利于提高膜层密度；e)镀膜辅耗去潮湿，膜料可以存放特制的干燥柜或真空干燥柜中；f)保持工作区域环境干燥，清洁环境时不能有太多的水，环境保持恒温恒湿状态；g)薄膜设计是考虑第一层膜与基片的匹配，尽可能的使用与基片吸附力强的膜料，例如：增透膜使用AL2O3、金属膜使用CR或CR合金；h)镀前采取研磨液（抛光液）重复手动擦拭抛光，去除表面的腐蚀层和水解层；i)增透膜可以适当的降低蒸发速率，提高膜层光洁度，金属膜提高速率，或者提高设备的真空度，对于基片到蒸发源大于1米以上的镀膜机，蒸镀开始真空度应高于3*10-3Pa，镀膜机越大，蒸镀开启真空越高越好；2)膜层应力；薄膜的成膜过程，是一个物质形态转变的过程，不可避免的在成膜后的膜层中会有应力的存在，对于多层膜来说有不同的膜料组合，各膜层体现出的应力是有所不同的，有的是张应力，有的是压应力，还有膜层及基片的热应力。
真空镀膜的常见问题和解决办法
真空镀膜的常见问题和解决办法第一篇：真空镀膜的常见问题和解决办法真空镀膜机的一些常见问题与解决办法随着镀膜技术的快速增长，各种类型的真空镀膜机也开始逐渐出现。
但是论起薄膜的均匀性，恐怕所有的真空设备镀制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响，现在我们就溅控溅射镀膜机来看看造成不均匀的因素有哪些。
对此，真空镀膜机厂家指出，它的运作原理其实很简单。
就是通过真空状态下正交磁场使电子轰击氩气形成的氩离子再轰击靶材，靶材离子沉积于工件表面成膜。
如此车灯镀膜机厂家就该考虑与膜层厚度的均匀性有关的有真空状态、磁场、氩气这三个方面。
真空状态就需要抽气系统来控制的，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就可以控制好抽气的均匀性，如果抽气不均匀，在真空室内的压强就不能均匀了，压强对离子的运动是存在一定的影响的。
另外抽气的时间也要控制，太短会造成真空度不够，但太长又浪费资源，不过有真空机的存在，要控制好还是不成问题的（1）真空镀膜对环境的要求。
加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。
基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理，达到工件去油、去污和脱水的目的。
基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。
真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。
对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。
用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至最小。
因为这些容器优先吸附碳氢化合物。
对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。
清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。
空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行烘烤除气。
要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。
镀膜产品常见不良分析、改善对策（文章虽长，值得品味）
镀膜产品常见不良分析、改善对策（文章虽长，值得品味）镀膜产品的不良，部分是镀膜工序的本身造成的，部分是前工程遗留的不良，镀膜最终的品质是整个光学零件加工的（特别是抛光、清洗）的综合反映，对策镀膜不良时必须综合考虑，才能真正找到不良产生的原因，对策改善才能取得成效。
一、膜强度膜强度是镜片镀膜的一项重要指标，也是镀膜工序最常见的不良项。
膜强度的不良（膜弱）主要表现为：① 擦拭或用专用胶带拉撕，产生成片脱落；② 擦拭或用专用胶带拉撕，产生点状脱落；③ 水煮15分钟后用专用胶带拉撕产生点状或片状脱落；④ 用专用橡皮头、1Kg力摩擦40次，有道子产生；⑤ 膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子。
改善思路：基片与膜层的结合是首要考虑的，其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力。
膜强度不良的产生原因及对策：① 基片与膜层的结合。
一般情况，在减反膜中，这是膜弱的主要原因。
由于基片表面在光学冷加工及清洗过程中不可避免地会有一些有害杂质附着在表面上，而基片的表面由于光学冷加工的作用，总有一些破坏层，深入在破坏层的杂质（如水汽、油汽、清洗液、擦拭液、抛光粉等，其中水汽为主要），很难以用一般的方法去除干净，特别对于亲水性好，吸附力强的基片尤其如此。
当膜料分子堆积在这些杂质上时，就影响了膜层的附着，也就影响了膜强度。
此外，如果基片的亲水性差、吸附力差，对膜层的吸附也差，同样会影响膜强度。
硝材化学稳定性差，基片在前加工过程中流转过程中，表面已经受到腐蚀，形成了腐蚀层或水解层（也许是局部的、极薄的）。
膜层镀在腐蚀层或水解层上其吸附就差，膜牢固度不良。
基片表面有脏污、油斑、灰点、口水点等，局部膜层附着不良，造成局部膜牢固度不良。
改善对策：㈠加强去油去污处理，如果是超声波清洗，应重点考虑去油功能，并保证去油溶液的有效性；如若是手擦，可考虑先用碳酸钙粉擦拭后再清擦。
㈡加强镀前烘烤，条件许可，基片温度能达到300℃以上更好，恒温20分钟以上，尽可能使基片表面的水汽、油汽挥发。
真空镀膜常见问题
真空镀膜常见问题真空镀膜是一种常见的表面处理技术，广泛应用于各个行业。
它可以提供一种均匀、耐磨、耐腐蚀的保护层，使物体表面具有更好的光学性能、机械性能和化学稳定性。
然而，在进行真空镀膜过程中，也会遇到一些常见问题。
本文将介绍一些常见的真空镀膜问题，并提供相应的解决方法。
1. 沉积速率不稳定：在真空镀膜过程中，沉积速率的稳定性是非常重要的。
如果沉积速率不稳定，可能会导致镀层厚度不均匀，甚至出现漏镀或过镀现象。
解决这个问题的方法是检查真空系统的泵速是否稳定，检查镀膜材料的纯度是否达到要求，以及检查镀膜设备是否存在漏气现象。
2. 镀层附着力不好：镀层附着力不好是真空镀膜过程中常见的问题之一。
这可能是由于基材表面存在污染物或氧化物，也可能是由于镀层材料与基材之间的相互作用不良所致。
解决这个问题的方法是在进行镀膜前对基材进行彻底的清洗和处理，确保基材表面干净无污染物，并选择合适的镀膜材料和工艺参数。
3. 镀层色差：在一些特殊应用中，需要得到均匀且具有一定颜色的镀层。
然而，在真空镀膜过程中，可能会出现镀层色差的问题，即部分区域的镀层颜色与其他区域不一致。
解决这个问题的方法是调整镀膜设备的工艺参数，确保沉积过程中温度、压力和沉积速率的均匀性，并选择合适的镀膜材料和镀膜工艺。
4. 镀层厚度不均匀：在一些应用中，需要得到均匀且具有一定厚度的镀层。
然而，在真空镀膜过程中，可能会出现镀层厚度不均匀的问题，即部分区域的镀层厚度较大或较小。
解决这个问题的方法是调整镀膜设备的工艺参数，确保沉积过程中温度、压力和沉积速率的均匀性，并对基材进行适当的旋转或倾斜，以提高镀层厚度的均匀性。
5. 镀层质量不理想：在真空镀膜过程中，可能会出现镀层质量不理想的问题，即镀层表面存在气孔、裂纹、颗粒等缺陷。
解决这个问题的方法是检查真空系统的泵速是否稳定，检查镀膜材料的纯度是否达到要求，以及检查镀膜设备是否存在漏气现象。
此外，还可以调整镀膜设备的工艺参数，改变沉积速率和温度等条件，以改善镀层质量。
光驰镀膜机离子源异常处理
光驰镀膜机离子源异常处理1. 关于光驰镀膜机离子源异常处理1.1 这个话题可谓是每个使用光驰镀膜机的人都需要关心的一个大问题啊！镀膜机不仅让我们的产品更亮眼，更花俏，更有魅力，更让人想要拥有，所以，镀膜机的正常运行对我们来说真的太太太太重要了！一旦离子源出了问题，那可真是不能忍受啊！2. 离子源异常表现及诊断2.1: 首先呢，我们得看看离子源到底出了什么问题。
可能会出现异常放电，电压不稳定，甚至是光强下降等等。
这时候得立即停止使用，对镀膜机进行检查，看看到底是哪里出了问题。
2.2: 可能是设备老化导致的，也有可能是清洗不及时，积累了太多的灰尘，也可能是电源接触不良，总之，出了问题就是得找到原因才行啊！这离子源可是干着重要的活儿呢！3. 离子源异常解决方法3.1 要处理这种情况，首先我们得保持冷静，动作要快！得迅速把镀膜机关闭，给它一个小小的休息时间。
然后，得打开设备，看看里面是不是出了什么岔子。
3.2 如果是清洁问题导致的，得及时清洗，把灰尘给扔了，让它通通畅畅！如果是老化问题，咱得考虑换一下部件了。
可不能让老化的部件拖累我们美丽的产品！总之，处理问题就得有一套对策！4. 离子源异常预防4.1 说到预防，可真是个老生常谈的话题了。
但是，千万别小看它！早预防胜过晚治疗！我们得时常检查设备，保持设备整洁，随时注意设备的使用情况。
这样，才能让我们的镀膜机一直都保持着最佳状态！4.2 别等到出了问题才后悔莫及啊！平时多留心，少许多心思在设备上，也不是啥大问题。
自己设备坏了，产品没得用，那可是得亏口气了！所以，预防万一，小事化大事一点都不丢面子！5. 总结5.1 咱每个人用镀膜机都是为了让我们的产品变得更加花俏，更加亮眼。
所以，要保持设备的正常运行，离子源异常是要尽快处理的大问题！要保持冷静，尽快诊断，果断处理！这样，我们的产品才能一直保持在最美的状态！管好离子源，让镀膜机一直都给我们带来好运！啊呀呀，镀膜机啊，镀膜机，你可千万别给我出了什么岔子啊！。
镀膜产品常见不良分析
镀膜产品常见不良分析、改善对策镀膜产品得不良,部分就是镀膜工序得本身造成得,部分就是前工程遗留得不良,镀膜最终得品质就是整个光学零件加工得(特别就是抛光、清洗)得综合反映,对策镀膜不良时必须综合考虑,才能真正找到不良产生得原因,对策改善才能取得成效。
一、膜强度膜强度就是镜片镀膜得一项重要指标,也就是镀膜工序最常见得不良项、膜强度得不良(膜弱)主要表现为:①擦拭或用专用胶带拉撕,产生成片脱落;②擦拭或用专用胶带拉撕,产生点状脱落;③水煮１5分钟后用专用胶带拉撕产生点状或片状脱落;④用专用橡皮头、1Kg力摩擦40次,有道子产生;⑤膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子。
改善思路:基片与膜层得结合就是首要考虑得,其次就是膜表面硬度光滑度以及膜应力。
膜强度不良得产生原因及对策:①基片与膜层得结合、一般情况,在减反膜中,这就是膜弱得主要原因。
由于基片表面在光学冷加工及清洗过程中不可避免地会有一些有害杂质附着在表面上,而基片得表面由于光学冷加工得作用,总有一些破坏层,深入在破坏层得杂质(如水汽、油汽、清洗液、擦拭液、抛光粉等,其中水汽为主要),很难以用一般得方法去除干净,特别对于亲水性好,吸附力强得基片尤其如此。
当膜料分子堆积在这些杂质上时,就影响了膜层得附着,也就影响了膜强度。
此外,如果基片得亲水性差、吸附力差,对膜层得吸附也差,同样会影响膜强度、硝材化学稳定性差,基片在前加工过程中流转过程中,表面已经受到腐蚀,形成了腐蚀层或水解层(也许就是局部得、极薄得)。
膜层镀在腐蚀层或水解层上其吸附就差,膜牢固度不良、基片表面有脏污、油斑、灰点、口水点等,局部膜层附着不良,造成局部膜牢固度不良、改善对策:㈠加强去油去污处理,如果就是超声波清洗,应重点考虑去油功能,并保证去油溶液得有效性;如若就是手擦,可考虑先用碳酸钙粉擦拭后再清擦。
㈡加强镀前烘烤,条件许可,基片温度能达到300℃以上更好,恒温20分钟以上,尽可能使基片表面得水汽、油汽挥发。
真空镀膜机常见的故障和维修办法
真空镀膜机常见的故障和维修办法
当真空镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象，之后要亲自开机观察故障，这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
当真空镀膜机排除故障应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室），低真空正常后再开主泵，主泵正常后检测下室真空中是否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而恢复真空和真空不正常则可能主泵有问题。
以下列举真空镀膜机常见故障及维修方法：
一、当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）
2、坩埚被打穿（更换坩埚）
3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）
4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否正常）
8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）
9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
二、长期的镀膜机抽真空的时间很长且达不到真空、恢复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）
2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）
4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）
6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）
7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）
8、高低预阀是否密封可靠（注油）
常见的真空镀膜机维修办法就先分享到这里了。
镀膜产品常见不良分析
镀膜产品常见不良分析、改善对策镀膜产品的不良，部分是镀膜工序的本身造成的，部分是前工程遗留的不良，镀膜最终的品质是整个光学零件加工的（特别是抛光、清洗）的综合反映，对策镀膜不良时必须综合考虑，才能真正找到不良产生的原因，对策改善才能取得成效。
一、膜强度膜强度是镜片镀膜的一项重要指标，也是镀膜工序最常见的不良项。
膜强度的不良（膜弱）主要表现为：①擦拭或用专用胶带拉撕，产生成片脱落；②擦拭或用专用胶带拉撕，产生点状脱落；③水煮15分钟后用专用胶带拉撕产生点状或片状脱落；④用专用橡皮头、1Kg力摩擦40次，有道子产生；⑤膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子。
改善思路：基片与膜层的结合是首要考虑的，其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力。
膜强度不良的产生原因及对策：①基片与膜层的结合。
一般情况，在减反膜中，这是膜弱的主要原因。
由于基片表面在光学冷加工及清洗过程中不可避免地会有一些有害杂质附着在表面上，而基片的表面由于光学冷加工的作用，总有一些破坏层，深入在破坏层的杂质（如水汽、油汽、清洗液、擦拭液、抛光粉等，其中水汽为主要），很难以用一般的方法去除干净，特别对于亲水性好，吸附力强的基片尤其如此。
当膜料分子堆积在这些杂质上时，就影响了膜层的附着，也就影响了膜强度。
此外，如果基片的亲水性差、吸附力差，对膜层的吸附也差，同样会影响膜强度。
硝材化学稳定性差，基片在前加工过程中流转过程中，表面已经受到腐蚀，形成了腐蚀层或水解层（也许是局部的、极薄的）。
膜层镀在腐蚀层或水解层上其吸附就差，膜牢固度不良。
基片表面有脏污、油斑、灰点、口水点等，局部膜层附着不良，造成局部膜牢固度不良。
改善对策：㈠加强去油去污处理，如果是超声波清洗，应重点考虑去油功能，并保证去油溶液的有效性；如若是手擦，可考虑先用碳酸钙粉擦拭后再清擦。
㈡加强镀前烘烤，条件许可，基片温度能达到300℃以上更好，恒温20分钟以上，尽可能使基片表面的水汽、油汽挥发。
常见电镀故障的分析和纠正方法
常见电镀故障的分析和纠正方法_1.针孔针孔大多是气体(一般是氢气)在镀件表面上停留而造成的。
针孔属于麻点，但针孔不同于麻点，它像流星一样，往往带有向上的“尾巴"，而麻点仅仅是镀层上微小的凹坑，一般是没有向上的“尾巴"。
那些因素会促使镍层产生针孔呢?镀前处理不良；镀液中有油或有机杂质过多；镀液中有固体微粒；防针孔剂太少；镀液中铁等异金属杂质过多；镀液pH太高或操作电流密度过大；镀液中硼酸含量太少和镀液温度太低等都会导致镀镍层产生针孔。
由于不同原因引起的针孔现象略有不同，所以在分析故障时，首先要观察现象。
例如镀前处理不良，它仅仅使镀件的局部表面上的油或锈未彻底除去，造成这些部位上气体容易停留而产生针孔，所以这种因素造成的针孔现象是局部密集的，而且是无规则的；镀液中有油或有机杂质过多引起的针孔较多地出现在零件的向下面和挂具上部的零件上，镀液中固体微粒产生的针孔较多地出现在零件的向上面；防针孔剂太少造成的针孑L在零件的各个部位都有，镀液中铁杂质过多，pH值过高和阴极电流密度较大引起的针孔较多地出现在零件的尖端和边缘(即高电流密度处)，硼酸含量太少产生的针孔较多地出现在零件的下部，镀液温度过低造成的针孔是稀少的，也是零件各个部位都有可能出现的。
通过观察现象，可以初步判断造成针孔的部分原因，然后再进一步试验。
例如零件的局部表面上有密集的针孔，从现象来看，好像是前处理不良造成的，那么究竟是不是这个原因呢?可以取一批零件，进行良好的前处理后直接镀镍，假使经这样处理后所得的镀层上没有针孔，那么原来的针孔是镀前处理不良造成的。
否则就是其他方面的原因。
镀液的温度、pH值和阴极电流密度，比较容易检查，所以可首先检查和纠正。
镀液中是否缺少十二烷基硫酸钠，从平时向镀液中补充十二烷基硫酸钠的情况就能基本确定，如难以确定时，可以向镀液中加入O.05g/L十二烷基硫酸钠后进行试镀，若这样所得的镀层上针孔现象没有改善，那就不是缺少十二烷基硫酸钠，可能是镀液中的杂质或硼酸太少引起的，这就可按前述的方法，用小试验分析故障原因，然后按试验所得的结果讲行纠正。
真空镀膜的常见问题和解决办法
真空镀膜机的一些常见问题与解决办法随着镀膜技术的快速增长，各种类型的真空镀膜机也开始逐渐出现。
但是论起薄膜的均匀性，恐怕所有的真空设备镀制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响，现在我们就溅控溅射镀膜机来看看造成不均匀的因素有哪些。
对此，真空镀膜机厂家指出，它的运作原理其实很简单。
就是通过真空状态下正交磁场使电子轰击氩气形成的氩离子再轰击靶材，靶材离子沉积于工件表面成膜。
如此车灯镀膜机厂家就该考虑与膜层厚度的均匀性有关的有真空状态、磁场、氩气这三个方面。
真空状态就需要抽气系统来控制的，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就可以控制好抽气的均匀性，如果抽气不均匀，在真空室内的压强就不能均匀了，压强对离子的运动是存在一定的影响的。
另外抽气的时间也要控制，太短会造成真空度不够，但太长又浪费资源，不过有真空机的存在，要控制好还是不成问题的（1）真空镀膜对环境的要求。
加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。
基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理，达到工件去油、去污和脱水的目的。
基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。
真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。
对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。
用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至最小。
因为这些容器优先吸附碳氢化合物。
对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。
清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。
空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行烘烤除气。
要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。
（2）镀层与镀膜的基本原理A、原材料与基本原理：原材料都是树脂、聚合物、铁氟隆、硅酮、丙烯酸、硅酸盐等，辅料、配方与量度有所不同。
真空镀膜连续生产线的工作原理及故障分析
真空镀膜连续生产线的工作原理及故障分析摘要：随着科技的发展，光电技术的应用已经深入到各行各业。
光电技术应用的必需设备是真空镀膜机。
真空镀膜机已经由最初的复杂化；手动化发展到现在的简单化；智能化。
真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛应用的设备，是目前应用电子技术蒸发获得真空条件最为广泛的设备。
本文主要论述了真空镀膜机器连续生产的工作原理及故障分析。
关键词：真空；镀膜；连续生产线；工作原理；故障分析1.真空镀膜机的简介真空镀膜机有三种形式：蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
1.1.蒸发镀膜蒸发镀膜通过对某种物质进行加热蒸发使这种物质再沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。
蒸发物质可以是金属、化合物等，把这些物质放在坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，等镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前，系统抽至高真空后，加热坩埚使当中的物质蒸发。
1.2.溅射镀膜溅射镀膜是用高能粒子轰击固体表面，使固体表面的粒子能够获得能量并且逸出表面，最后沉积在基片上。
一般把沉积的材料制成板材靶，固定在阴极上，基片放在正对靶面的阳极上，但是票距靶几厘米，不能太近。
当系统抽到高真空后，充入一定量的气体（一般为氩气），在阴极和阳极之间加上几千伏的电压，那么两极之间就会产生辉光放电。
放电产生的正离子在电场的作用下飞向阴极，与靶表面的原子发生一定的碰撞，受到碰撞后，从靶面逸出的靶原子称为溅射原子，它的能量在一至几十伏电子的范围，之后溅射原子就会在基片表面沉积形成膜。
与蒸发镀膜有所不同，溅射镀膜不受膜材熔点的限制，可溅射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等难熔的物质。
采用磁控溅射可使沉积速率比非磁控溅射提高近一个数量级。
1.3.离子镀离子镀蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面，称为离子镀（这种方法用的比较少，就不做介绍了）。
2.真空镀膜机连续生产的基本原理电子枪高压电源是真空镀膜机这种大型设备比较复杂而且容易出故障的部分，想要真空镀膜机能连续生产就必须保证电子枪高压源的连续。
论述真空镀膜机的原理及故障排除策略
论述真空镀膜机的原理及故障排除策略1、引言随着经济的不断的发展，电子工业也随之不断的发展，因此对于工业的要求也在不断的提高，对于主要应用在电子工业中的真空镀膜机而言，真空镀膜机自身的性能也在不断的提升。
设备的使用有时候会出现某些故障，而对故障的及时排除不但可以缩短维修的时间，同时对类似的设备的排除工作提供便利。
2、真空镀膜机简介2.1真空镀膜机结构本文主要介绍DMF-700真空镀膜机的结构和特点，DMF-700真空镀膜机是一种大型的真空镀膜的设备。
DMF-700真空镀膜机是在以前的镀膜机的基础上进行改进而来。
DMF-700真空镀膜机主要是由真空系统、机械系统以及电子束蒸发系统为主要部分构建而成。
三大系统中的电子束蒸发系统又是主要由纵向以及横向扫描单元和电子枪的灯丝变压和高压电源组合而成。
2.1.1基于高压电源的电子枪设备：三相变压器电路为电子枪的使用提供了它所需要的直流的电压，在正端是和复合装置相连，可以到达接地的目的，而相较于正端的接地，负端和电子枪中的电子枪灯丝相连接。
以此来组成回路。
2.1.2纵向/横向扫描单元：两种扫描单元都可以提供三角波扫描信息，主要的特点是三角波扫描信号是对称发生的。
当它和比较稳定的电源相配合的时候就会对电子枪提供扫描电流，从而可以达到对电子束的控制。
2.2真空镀膜机的原因真空镀膜机是用于真空的条件下，采用了电阻式的蒸发源的形式，来对石英片蒸镀一层可以导电的导电膜，导电膜通常使用的是银，这样就会形成电极，以便于可以作为各种不同频率的振荡器。
2.3真空镀膜机的主要特点：2.3.1真空镀膜机在整个镀膜的过程中都是处于在高真空、恒温以及设备的自动控制中进行处理的，在这种的环境中，可以保证元器件所镀的膜的均匀性、一致性以及整个膜层的牢固度，保证了膜的整体的质量。
2.3.2设备在连续的高温烘烤的环境状态中，机器中的十八个工作的工位夹会连续的进行六十到一百二十度的持续翻转，工作夹的准确定位、没有噪音的产生以及不会发生卡滞的现象，会在一定的程度上确保蒸镀上的晶片上每个被镀的表面上都有均匀、牢固的膜层。
镀膜机使用时的注意事项以及应急处理措施
在操作过程中，如发现异常情 况，如烟雾、异味、异常声音
等，应立即停机检查。
操作后维护
清洁设备
对镀膜机表面进行清洁，去除残留物 和污渍，保持设备整洁。
检查设备状态
检查镀膜机各部位是否正常，如发现 异常应及时维修或更换。
记录使用情况
对每次使用情况进行记录，包括使用 时间、工艺参数等，以便于后续分析 和维护。
安全须知
操作人员安全须知
操作人员必须经过专业培训，熟 悉镀膜机的工作原理和操作流程。
操作人员应佩戴防护眼镜、手套 等个人防护用品，防止有害物质
和高温烫伤。
操作人员应保持稳定的精神状态， 避免疲劳操作，确保工作安全。
设备安全须知
使用前应检查镀膜机各部件是 否正常，如有异常应及时处理。
操作过程中应保持设备清洁， 定期检查和维护，确保设备正 常运行。
真空泵工作正常，防止真空度过高或过低。
其他问题应急处理
总结词
遵循操作规程，及时求助
VS
详细描述
遇到其他问题时，应遵循操作规程，避免 盲目操作导致设备损坏或安全事故。如问 题无法解决，应及时求助专业技术人员或 厂家售后服务。同时，注意保存设备相关 资料和维修记录，以便日后排查故障和保 养维护。
04
镀膜机使用时的注意事项以 及应急处理措施
• 镀膜机使用注意事项 • 镀膜机常见问题及处理 • 镀膜机应急处理措施 • 安全须知
01
镀膜机使用注意事项
操作前准备
检查电源
路或断路现象。
对镀膜机表面进行清洁， 去除灰尘和杂物，确保
设备处于良好状态。
其他常见问题
总结词
其他常见问题可能包括机械故障、电气故障等。
卧式镀膜机安全隐患排查(3篇)
第1篇一、引言卧式镀膜机作为一种常见的表面处理设备，广泛应用于电子产品、光学器件、金属制品等领域。
然而，由于操作不当、设备老化、维护保养不及时等原因，卧式镀膜机存在一定的安全隐患。
为了确保生产安全，预防事故发生，本文将对卧式镀膜机的安全隐患进行排查，并提出相应的预防措施。
二、卧式镀膜机安全隐患排查内容1. 设备结构安全隐患（1）基础与支架：检查基础与支架是否牢固，是否存在变形、裂纹等问题。
（2）传动机构：检查传动带、齿轮、链条等传动机构是否存在磨损、松动、断裂等情况。
（3）电控系统：检查电源线、电缆、插座等是否完好，是否存在老化、破损现象。
2. 操作安全隐患（1）人员操作：检查操作人员是否经过专业培训，是否熟悉操作规程。
（2）操作程序：检查操作程序是否规范，是否存在违章操作。
（3）安全防护：检查操作人员是否佩戴安全防护用品，如安全帽、防护眼镜、防护手套等。
3. 环境安全隐患（1）通风与排尘：检查通风系统是否畅通，排尘设备是否正常运行。
（2）温湿度控制：检查温湿度是否在正常范围内，是否存在过热、过湿现象。
（3）电气安全：检查电气设备是否接地，是否存在漏电现象。
4. 维护保养安全隐患（1）定期检查：检查是否定期对设备进行保养和检查。
（2）维护记录：检查维护记录是否完整，是否存在维护不及时、不到位现象。
（3）配件更换：检查配件更换是否符合规定，是否存在劣质配件使用。
三、预防措施1. 加强设备管理（1）定期对设备进行检修和维护，确保设备正常运行。
（2）对设备进行定期检查，发现隐患及时整改。
2. 加强人员培训（1）对新员工进行岗前培训，使其熟悉操作规程和安全注意事项。
（2）对现有员工进行定期培训，提高其安全意识和操作技能。
3. 严格执行操作规程（1）规范操作程序，确保操作人员按照规程进行操作。
（2）加强现场管理，对违章操作进行制止和纠正。
4. 加强环境安全管理（1）保持生产环境整洁，定期清理生产区域。
（2）加强通风、排尘、温湿度控制，确保生产环境安全。
镀膜机使用时的注意事项以及应急处理措施
三、机台操作和应急处理注意事项
1.操作机台前一定要点检到位，包括水、电、气三项，发现安全 隐患要及时解决； 2.操作时一定要先想后做，尽量避免误操作的出现，例：
× 错误 √ 正确 注意：关闭分子泵电源前要先时分子泵转速将为0.
3.机台的例行维护 包括对机台的日常清洁、整理、检查等等。
需要清洁的地方有： 各大泵体表面，管道，阀门，筒体顶部，电源表面等，在清洁 过程中也是一个点检的过程，可以及时发现很多平时不注意的细 节问题。
拆卸时，先将固定插销拔除，再将衬板拿掉，拆卸顺序应为由外向里，由上向下；
安装时，安装顺序应为由里向外，由下向上，确认内衬位置无误之后用销钉固定。
2、脱膜注意事项
a.需要脱膜的部件有：内衬、截流阀或百叶窗、气管、加热器、靶屏蔽罩、大 盘屏蔽罩、支撑杆、转架顶、绝缘垫等。 b.除绝缘垫、气管和加热器只能喷砂脱膜外，其他部件均可通过下列程序脱膜：
泡酸 1~2小 时 高压水 枪冲洗 烤箱烤 干 喷砂处 理 酒精布 擦拭干 净 装机
c.气管喷砂完后用气管通气，将里面的沙粒全部排出。 注意：酸脱膜时要小心，要避免将酸弄到衣服或者是皮肤上！如不慎弄到，立即 用水冲洗！ 3、清炉注意事项 a.清炉前先用布帘将镀膜机大门侧围起来，防止灰尘扩散； b.装置风扇，保持良好的通风性； c.先使用除锈枪将炉内膜层较厚的地方打掉，再用手电钻打磨干净； d.打磨完成后，用吸尘器吸净，再用气枪吹干净，最后用酒精布擦拭干净即可。 e.将分子泵的前级充气，手动将三个高阀顶起，将高阀密封圈用酒精布擦拭OK。 注意：打磨前要戴好口罩，眼罩，纱手套以及工作服等等；打磨完成后，打磨人 员应立即将身上灰尘清洗干净，尽量避免膜层进入体内。
罗茨泵 油位
分子泵 油位
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4.调整坩埚转速
5.取出被污染的材料或更换新材料
6.调整晶片挡板位置.抽气应检
1
7.电柜出问题
查晶片是否被挡
7.检修电柜
1.8.阻蒸电流调不上去
1.蒸发舟烧断或松掉造成接触不良
2.空气开关跳闸
3.调节电流的电位器坏了
4.铜电极与真空室底板下的引线接触不良
1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为了防止接触不良，各电极和压块应清洗干净.更换在蒸发舟时应将铜压块取下砂干净再安装蒸发舟
2.将连接灯丝变压器的高压引线取下（注意引线不能碰到机器应悬空）开高压，正常则枪体或高压电极保护罩或屏蔽短路造成
3.放气检查电极保护罩或屏蔽
4.检修电柜
立即关高压
1.3.开枪无高压，无束流
1.高压保护不到位（偏转.真空.柜门）
2.高压电路出问题
1.检查相应的高压保护
2.检修高压控制电路
1.4.镀膜时高压会下跌
6.掉膜问题
6.1.掉膜
1.真空室或玻片潮湿（更换防污板后）
2.玻片没洗干净
3.更换新玻片,玻片上有油污
4.真空度低
5.打火严重,造成膜厚不均匀引起应力大
6.真空室有油污
7.蒸发速率过高
8.脱膜剂镀得过多
9.扩散泵返油造成高阀盖及冷井处有油污
1.烘烤玻片及防污板的时间要适当
2.用干净的布清洗好玻片,清洗时应认真仔细
1.真空继电器烧坏
2.高压电路出问题
1.更换真空继电器
2.检修高压电路
常见4号机
1.5.镀膜时灯丝突然很亮(束流达到满格)
T138可控硅被击穿
2.枪体短路
1.更换BT138
2.检查枪体
常见4号机
1.6有高压，有灯丝电流，无光斑
1.栅极片短路
2.扫描出问题或扫描线接反了
1.整理枪体
2.检修扫描，正确连接扫描线
5.调节真空表基准或更换真空表
6.检修机械泵,罗茨泵
4
7.真空室暴露在大气时间过长或玻片未烘干
8.漏气
7.尽量减少敞大气时间,玻片应完全烘干
8.按5.4步骤检漏
5.4.真空度低
1.真空表测量不准
2.真空规管测量口被百叶窗挡住
3.真空室大门没关好
4.真空泵出问题
5.管道漏气
6.动密封如坩埚,工转,观察窗,挡板等密封漏气
2.修理挡板
3.打开高压
6
4.束流控制调在手动
4.将束流控制调的自动
9.2.枪挡板打不开
1.气压不够
2.控制挡板的气动阀坏了
3.气缸与挡板轴的连接键或螺钉脱落
1.调高气压到合适位置
2.维修或更换气动阀
3.重新装上键或螺钉
二.一些基础知识及注意事项和应急措施
1.膜厚控制仪
控制参数
Soak power1----预熔功率1约为蒸发功率的一半
5.探头挡板碰到工
1.更换好的晶片.在用超声波清洗晶片时应注意打晶片的时间及方法,延长晶片的使用寿命
2.更换晶片压簧.在取压簧时应轻拿轻放
3.整理各连接处
4.调大探头冷却水流量或开启冷冻机降水温,水温小于28度
5.调在探头挡板与工转的距离
8.2.开始镀膜控制仪无工作
1.程序清零
2.没选择到镀膜程
1.重新设置程序.在操作膜厚控制仪时动作不应过快,控制仪要有良好的接地
3.先用洗洁精清洗干净玻片,再用清水将玻片冲洗干净
4.检漏
5.解决打火现象
6.清洗真空室
7.降低速率到合适位置
8.减少脱膜剂的厚度
9.擦洗高阀盖及冷井.给扩散泵加热时间不能少于90分钟.
6.2.周一掉膜严重且膜质不好
1.洗机时产生的一些粉尘在抽气时飞到玻片上
2.洗机时的潮气及防污板的潮气未干
1.用酒精仔细擦干净真空室
4.维修机械泵
5.维修罗茨泵
6.维修管道
7.更换或维修机放阀
8.按5.4步骤检漏
5.3抽气慢
1.真空室太脏,没换防污板
2.扩散泵太久没洗
3.扩散泵出气口挡油板被吸起
4.机械泵没掺气
5.真空测量表基准不准
6.机械泵,罗茨泵有问题
1.更换防污板或清洗真空室
2.清洗扩散泵(大约一年洗一次)
3.调整挡油板
4.给机械泵掺气或换油
1.玻片太脏
2.玻片表面光洁度差
3.U3材料镀的过少
1.仔细清洗玻片,玻片放入真空室经抽气未使用应更换或清洗后才能使用.应打扫完真空室卫生后再装玻片,减少污染
2.更换好的玻片
3.适当增加U3厚度
8.膜厚控制仪
8.1.晶片失效
1.晶片使用寿命已到
2.晶片压簧损坏
3.连接探头的各接触点接触不良
4.探头冷却水过小或水温过高
3.维修坩埚,当卡料时不能强行转坩
5.2.低真空突然抽不动
1.机械泵掺气阀没关
2.真空室门压到东西
3.并路阀(旁通阀),截止阀自动关闭
4.机械泵出问题
5.罗茨泵出问题
6.管道漏气
7.机械泵上的机放阀漏气
8.真空室漏气
1.关闭掺气阀
2.检查大门密封.关门抽气时应检查大门是否压到东西或密封圈上有杂物
3.检查相应的阀门及控制阀门的气动阀和气压
7.重新安装好键
3.2工转噪音大,晃动大
1.电机轴承坏了
2.大轴承干磨性能下降
3.电机与减速箱连接不好
4.传动齿轮磨损
1.更换电机轴承
2.清洗或更换大轴承
3.将电机与减速箱连接好
4.更换齿轮
3.3工转转不了
1.电机损坏
2.电机与传动部分的键脱落或磨损
3.传动的齿轮磨损
4.单向器坏了
5.电路出问题
1.更换电机
1.气压不够
2.控制阀门的气动阀有问题
3.阀门间互锁
1.调高气压到适当位置
2.维修或更换气动阀
3.检查与其互锁的阀门.应注意阀门指示灯显示关闭但实际阀门并未关闭的现象
4.2.阀门打开后会自动关闭
1.气压不够
2.气动阀阀芯内的橡皮松脱
1.调高气压到合适位置
2.更换阀芯或气动阀
4.3.放气取膜,放气阀打不开
7.洗机或维修时动过的部件或附近有松动
8.堵头没装好
9.通了水的如坩埚,工转,探头等地方有漏点
10.高阀,低阀气缸漏气
11.金属焊缝漏
1.更换真空表
2.关闭高阀,若此时真空室真空度比较稳定,则放气调整百叶窗的位置
3.用酒精注射大门密封看真空度变化,如有变化则放气整理真空室门密封
4.维修或更换真空泵
5.维修管道
镀膜机常见故障及分析解决预防措施
一.常见故障,问题及解决方法
下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.
故障点
故障现象
故障原因
解决及预防措施
备注
1.高压和束流
1.1.开枪有高压，无束流
1.灯丝保险烧断
2.灯丝烧断
3.南光枪枪体右边引线碰到枪体底坐
12.功率设置不合理
1.整理枪体，在吹枪体时应用吸尘器边吸使吹出的杂物吸走不被落在枪体里
2.拧紧各连接处，使其接触良好
3.清洗或更换套管，应定时清洗
4.调整或更换阳极，栅极片
5.更换高压电极
6.调整屏蔽或加装屏蔽
7.调整好光斑，检查扫描
8.蒸镀1枪时应关闭2枪高压
9.将被污染的材料去除或更换新材料
10.将高压调在正确的档位（中档8KV）.在触摸屏上操作时(如调整坩埚转速时)应注意是否误碰到高压调节档位
5.更换新料
6.检查真空度
7.2.膜发银
1.U5材料镀多了
2.跳程序或假速率造成U5材料没镀上或镀少
3.U3材料蒸发过快造成U5没镀上或镀少
1.适当减少U5厚度
2.发现时应适当加镀一些U5,在镀2.6层时应特别注意有无此现象
3.镀U3材料时速率不要过高,镀完U3材料时应稍微停顿5秒再镀U5
7.3.膜质发硬,打卷
2.打开空气开关
3.更换电位器
4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉
1.9.速率不稳定
1.晶片失效
2.料面不好
3.功率设置不合理
4.控制参数PID设置不合理
5.灯丝接触不好或老化
6.高压打火
1.选择好的晶片，1.2枪的速率要匹配
2.料要加平整，养成停坩埚的好习惯
3.预熔功率及最大功率设置合理(最大功率为略大于蒸发时所需功率）
4.设置合理的PID参数
5.紧固或更换灯丝
6.解决打火现象
1.10.高压打火
1.枪体污染，杂物掉入枪体
2.各接线处未拧紧
3.聚四氟套管太脏
4.枪体阳极，栅极变形
5.高压电极太脏
6.屏蔽不佳或未屏蔽
7.光斑位置不合理，扫描状态不好
8.2枪高压干扰
9.材料污染有杂物
10.高压打在10KV
11.预熔不够充分
2.延长轰击时间,防污板应彻底烘干后才装入真空室
7.膜质
7.1.膜质发黑不亮泽
1.U5材料镀少了(有时有银灰色)
2.2枪光斑能量太散(扫描频率有问题)
3.U3材料镀多了(膜质稀烂)
4.2枪坩埚位置不合适
5.U5材料太旧或氧化
6.真空度低
1.适当增加U5厚度
2.调节光斑和扫描频率
3.适当减少U3厚度
4.将2枪坩埚位置移到适当位置
2.选择好镀膜程序.在调程序时应注意光标是否在对应的镀膜程序上
8.3.手动遥控盒不受控
1.连接控制仪的接头没接好
2.遥控盒上的按键的接线脱焊