半导体材料研究的新进展精

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半导体材料研究的新进展(续)

半导体材料研究的新进展(续)
连 、 光 计 算 和 光 神 经 网 络 等 领 域 有 着 分 重 要 的 _ 应 用前 景 。 3 2 光 子 晶体 近 年 来 , 人 们 又 提 出 了 光 了 晶 体 的 概 念 。 光
展 ,设 计 、制 造 有实 用 价 值 的光 学微 腔 己成 为 u J
能 , 并 在 低 ( ) 闽 值 激 光 器 研 制 方 面 取 得 了 很 无 大 进 展 。 大 家 知 道 , 当 光 腔 尺 度 与 光 波 长 口 比拟 j
维 纳米颗 粒光 子 晶体 : 维多孔硅 也 可制 作成一 个 二 理 想的 3 1  ̄5t . m和 15 m光 子带 隙材 料等 。 目前 . .g 二 维 光 子 晶体 制造 已取 得 根大 进 展 , 但 三 维光 子
微珠 、半 导 体及 其 微结 构 材 科 ,也 可 是有 机 染
式 在 其 中 的 传 播 是 被 禁 止 的 如 果 光 子 晶 体 的 周
期性 被 破 坏 .那么 在 禁 带 中也 会 引入 所 谓 的 “ 施 主 ”和 “ 主 ”摸 , 光 子 态 密 度 随 光 子 晶 体 维 受
度 降 低 而 量 子 化 。 如 三 维 受 限 的 “受 主 ” 掺 杂 的

光 学微 腔和 光 子 晶体
光 学 微 腔 …是 指 具 有 高 品 质 冈 子而 尺 寸 与 谐 振
3 1 光 学微 腔 .
光波 长 ( 1) 相 比 拟 的 光 学 微 型 谐 振 器 随 着 MBE、M OCVD 生 长 技 术 和 现 代 微 细 加 工 技 术 发
底 出光 和 便 于集 成 等 优 点 , 因而 除 在传 统 激 光器 的 各 个 应 用 方 面 外 ,特 别 在 光 信 息 处 理 、 光互

半导体技术的发展现状与趋势

半导体技术的发展现状与趋势

半导体技术的发展现状与趋势随着信息技术的迅猛发展,半导体技术也在不断进步。

今天我们将探讨半导体技术的发展现状和趋势。

1.半导体技术的发展现状半导体技术已经成为现代电子和信息技术的基础。

随着新材料、新工艺和新技术的不断涌现,半导体行业正经历着快速的发展。

以下是半导体技术的几个方面发展的现状:(1)材料:半导体材料是半导体技术的基础。

传统的硅材料已经被广泛应用,但随着技术的发展,新的半导体材料不断出现。

比如,碳化硅材料具有更高的耐高温和高电压性能,被广泛应用于电力电子和汽车电子领域。

此外,氮化镓、氮化铝等宽禁带半导体材料也在光电器件领域得到了广泛应用。

(2)工艺:半导体工艺的发展是推动半导体技术进步的关键。

微影技术是半导体工艺中的重要一环,随着纳米技术的发展,微影技术已经进入到亚纳米甚至纳米级别。

此外,三维集成技术、柔性电子技术、封装技术等都在不断进步。

(3)设备:半导体设备是支撑半导体制造的关键。

随着半导体工艺的不断精密化,半导体设备也在不断更新换代。

光刻机、离子注入机、薄膜沉积设备等在技术上都在不断改进。

(4)市场:半导体市场也在不断扩大。

随着5G、人工智能、物联网等新兴技术的发展,对半导体的需求也在增加。

同时,新兴市场的崛起也为半导体行业带来了新的机遇。

2.半导体技术的发展趋势半导体技术的发展有以下几个趋势:(1)新材料的发展:随着半导体器件尺寸的不断缩小,对新材料的需求也在增加。

新的宽禁带半导体材料、二维材料、纳米材料等都成为了半导体技术的研究热点。

(2)新工艺的研究:微纳米加工技术、三维集成技术、柔性电子技术等新工艺的研究将成为未来的发展方向。

这些新工艺将有助于提高器件的集成度、性能和功能。

(3)智能制造的发展:随着人工智能、大数据等技术的发展,智能制造将成为未来半导体制造的主要趋势。

半导体制造设备将实现智能化,生产过程将更加精密和高效。

(4)生态可持续发展:半导体工艺和设备的研发将更加注重环保和节能。

半导体技术的最新进展

半导体技术的最新进展

半导体技术的最新进展半导体技术是目前科技领域的热门话题之一,自从发明以来,半导体技术一直处于不断的发展中。

近年来,随着技术的进步和需求的增加,半导体技术又取得了新的突破,使人们的生活变得更加便利和智能化。

一、芯片智能化在互联网的浪潮中,芯片成为了重要的电子产品核心,而半导体技术的发展则成为芯片智能化的关键。

芯片最主要的功能之一是通过数据的处理和传输来实现设备的智能化控制。

为了实现芯片的智能化,在半导体技术方面,中国的科学家已取得了一些重要成果。

例如,利用芯片技术,中国科技大学为智能机器人研发了一种视觉处理芯片,可以进行物体识别和目标跟踪,大大提高机器人的智能化水平;同时,中科院电子研究所也在新一代人工智能芯片研究中取得了新进展,我们可以预见未来半导体产业将带来更多人工智能的产品。

二、量子芯片的突破在半导体技术的领域之中,实现量子芯片仍然是一个前沿的研究领域,目前国内外的科学家们正在为此不断努力。

量子芯片的研究是为了能够实现高速计算和通讯,以及安全的数据传输,为未来高速计算和数据保护提供技术支持。

量子计算机是指利用量子力学的规律制造计算机,可以用来解决目前计算机无法解决的问题。

而量子芯片则是为实现量子计算机而设计的重要制造部件。

目前,世界各地都在开展量子芯片制造的研究,这些研究都是为下一代计算机的发展而努力。

三、基于半导体技术的应用半导体技术的发展,不仅对芯片智能化和量子芯片研究有着直接或间接的影响,同时也引领着许多其他领域的技术进步。

例如,类似于Kindle的电子纸,就是基于半导体技术发展而来的优秀技术,这种技术可以帮助人们在不伤害眼睛的情况下阅读电子书,越来越受到人们的欢迎。

另一方面,目前半导体发光二极管在显示和照明方面的应用越来越广泛,以OLED为代表的新一代显示技术,成为了平板电视、智能手机等领域的主流产品。

四、未来展望随着半导体技术的突破和应用,我们可以预见到未来将会有更多技术的应用。

比如,在半导体材料和芯片制造方面的研究,以及通过应用的拓展将进一步带动着其他领域的创新。

宽禁带半导体材料新进展

宽禁带半导体材料新进展

谢谢大家!
宽禁带半导体材料新进展
氮化铝(AlN)材料
体单晶制备方法:物理气相传输法( PVT) 发展动态: 美国Crystal IS公司、俄罗斯N-Crystals公 司在该领域处于领先地位,可以制备出直径 为2inch(5.08cm)的体单晶
2 011年德国埃朗根一纽伦堡大学已利用AIN籽 晶生长出直径为25mm、厚度为15 m m 的AIN体 单晶 美国北卡罗莱纳州立大学于2010年获得了直径 为15 m m 高度为] 5 mm的无裂纹AIN晶圆.并于 2011年利用AIN衬底外延生长了高质量的A l N、 AlGaN薄膜 阻碍因素:籽晶的选取(AlN、SiC、AlN/SiC)
GaN–AlN–(4H)SiC新型光触发功率半导体器件
基 本 结 构 图
GaN–AlN–(4H)SiC新型光触发功率半导体器件
Band energy (eV)
GaN-AlN-SiC组态的稳定性
1Ha=27.2eV
Potential energy (Ha)
GaN–AlN–(4H)SiC新型光触发功率半导体器件
GaN–AlN–(4H)SiC新型光触发功率半导体器件
• 电学特性
未来展望
随着宽禁带半导体材料工艺技术的不断进步 、成熟,新结构的功率半导体器件的应用越来越 广泛。而GaN-AlN-4H-SiC OT PSD较好的开关 特性、增益以及阻断特性表明由于GaN较短的载 流子寿命和很好的光吸收效率(而这对高频率功 率电子器件十分关键)和光吸收能力(这对减少 激光成本非常重要)以及碳化硅很高的热导率, 以SiC作为衬底的GaN外延材料必将在未来的功 率半导体器件、高频、高压功率器件、以及光电 领域中广泛应用。
主要内容
• 几种主要半导体材料的物理属性 • 宽禁带半导体材料新进展 • GaN-AlN-(4H)SiC新型光触发功率

半导体晶圆材料的超精密加工研究方面获重要进展

半导体晶圆材料的超精密加工研究方面获重要进展

与近似解略有差别;(2)近似解曲线与Fluent计算曲线对比,最大的差别出现在远离壁面的边界层外层,原因在于文中为了计算方便,能够较快地计算出圆盘内部的速度分布,采用了幂函数速度型,除此之外,文中采用Fluent进行数值模拟时考虑了气体的可压缩性,不可压缩的假设也会带来一定的误差㊂3 结论(1)推导出了能比较准确地反映平行间隙内径向不可压缩湍流边界层厚度与无因次半径比之间的变化规律的新公式,以此式来计算进口段长度是可行的㊂(2)对于存在较长收缩段的新结构,采用型线切线的水平夹角等于一较小范围内来确定边界层起始发点对应的半径位置是可行的㊂(3)幂次型速度分布规律尚不能准确地描述径向湍流边界层的速度分布,需要在后续工作中继续改进㊂(4)采用近似解方法计算间隙对称面上的速度分布是可行的㊂参考文献ʌ1ɔCOLACITIAK,LÓPEZLMV,NAVARROHA,etal.Numeri⁃calsimulationofaradialdiffuserturbulentairflow[J].AppliedMathematicsandComputation,2007,189:1491-1504.ʌ2ɔGASCHEJL,ARANTESDM,ANDREOTTIT.Pressuredistri⁃butiononthefrontaldiskforturbulentflowsinaradialdiffuser[J].ExperimentalThermalandFluidScience,2015,60:317-327.ʌ3ɔMARIANIVC,PRATAAT,DESCHAMPSCJ.NumericalanalysisoffluidflowthroughradialdiffusersinthepresenceofachamferinthefeedingorificewithamixedEulerian⁃Lagrang⁃ianmethod[J].Computers&Fluids,2010,39:1672-1684.ʌ4ɔDESCHAMPSCJ,PRATAAT,FERREIRARTS.Modelingofturbulentflowthroughradialdiffuser[J].JournaloftheBrazilianSocietyofMechanicalSciences,2000,22(1):31-41.ʌ5ɔ徐凡.高供气压圆盘止推轴承设计理论研究及实验[D].武汉:武汉科技大学,2016:8-24.ʌ6ɔWOOLARDHW.Atheoreticalanalysisoftheviscousflowinanarrowlyspacedradialdiffuser[J].JournalofAppliedMechan⁃ics,1957,79:9-15.ʌ7ɔMOLLERPS.Radicalflowwithoutswirlbetweenparalleldiscs[J].TheAeronauticalQuarterly,1963,5:163-186.ʌ8ɔMOHNPE.Somephenomenaofradialflowbetweendiscs[D].Urbana,Ill.:GraduateSchooloftheUniversityofIllinois,1930.ʌ9ɔ王致清,尚尔兵.平行圆板间轴对称扩散层流与湍流进口段效应的研究[J].水动力学研究与进展,1988,3(1):8-17.WANGZQ,SHANGEB.Thestudiesonthecorrectioncoeffi⁃cientsintheentranceregionforthelaminarandturbulentradialdiffusiveflowbetweentwoparalleldisks[J].AdvancesinHydrodynamics,1988,3(1):8-17.ʌ10ɔ王致清,刘振北,刘永琳.平行圆板间径向扩散层流进口段流动阻力的分析与计算[J].哈尔滨工业大学学报,1985(3):83-91.WANGZQ,LIUZB,LIUYL.Ananalysisandcalculationoftheflowresistanceintheentranceregionoftheradialdiffusedlaminarflowbetweenparalleldisks[J].JournalofHarbinInsti⁃tuteofTechnology,1985(3):83-91.ʌ11ɔ袁镒吴.雷诺数较大时平行圆板间径向扩散层流进口段半径长度[J].力学与实践,1992,14(1):50-53.半导体晶圆材料的超精密加工研究方面获重要进展纳米加工过程中实现原子级精度的超精密制造对开发纳米电子器件的独特功能至关重要㊂理论上讲,半导体晶圆材料的加工极限为单原子层去除㊂以往传统的加工方法,如金刚石切削,以及后来发展的光刻技术均无法达到该加工极限㊂尽管原子层刻蚀技术或聚焦离子束辅助光刻技术可以实现原子级精度加工,但会带来表面化学污染或加工表面缺陷等问题㊂西南交通大学与清华大学摩擦学团队合作,首次基于扫描探针技术在不具有层状解理面的单晶硅材料表面实现了极限精度加工,即单层硅原子的可控去除㊂该方法不需要掩膜,无化学腐蚀,在普通潮湿环境下就可利用摩擦化学反应直接加工㊂与传统机械加工中材料的磨损㊁断裂和塑性变形不同,单晶硅原子级材料的摩擦化学去除主要归因于滑动界面间原子键合作用下基体硅原子的剥离㊂因此,原子层状材料去除后的次表层晶体结构保持完整,无滑移或晶格畸变等缺陷产生㊂在该研究中,通过高分辨透射电镜观测给出了单晶硅材料原子层状去除的直接证据,并结合分子动力学模拟揭示了硅原子的摩擦化学剥离机制㊂单晶硅作为半导体和光学工业应用最为广泛的晶体材料之一,其表面的超精密加工是大规模集成电路向结构立体化和布线多层化发展的基础㊂单晶硅表面的极限精度加工研究将助于提出在微小压力下实现大面积全局平坦化表面制造的新原理和新方法,为促进微纳电子器件持续微型化和集成化奠定理论基础㊂除此之外,基于摩擦化学反应的扫描探针加工技术也可扩展至其它材料的超精密加工,如在砷化镓表面为量子点的定点生长加工纳米织构母版,以及实现二维材料的层状去除等㊂6润滑与密封第43卷。

溶液相制备Ⅱ—Ⅳ族半导体纳米材料研究新进展

溶液相制备Ⅱ—Ⅳ族半导体纳米材料研究新进展


结构 特征 尺 寸 的减小 ( ≤

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新型半导体材料与微电子技术

新型半导体材料与微电子技术

新型半导体材料与微电子技术随着科技的发展,半导体材料和微电子技术已成为现代工业的关键领域。

今天,我们将探讨新型半导体材料和微电子技术的最新发展和应用领域。

一、新型半导体材料的发展传统的半导体材料主要是硅(silicon),但随着技术的不断进步和应用需求的变化,新型半导体材料已逐渐成为半导体产业的热点。

新型半导体材料一般指化合物半导体、有机半导体、半金属等材料。

1、化合物半导体化合物半导体的原理是利用两种或两种以上的元素形成有列不平等电性的键。

常见的化合物半导体包括氮化硅、硫化硒等。

氮化硅是一种新型的半导体材料,具有高硬度、高熔点和高化学稳定性等优点,已经被广泛应用于电力电子、光电子和微电子等领域。

2、有机半导体有机半导体是指以碳、氢、氮、氧、硫等有机化合物为基础材料的半导体。

由于有机半导体具有低成本、低能耗、柔性加工等特点,已成为研究的热点。

它们被广泛应用于屏幕显示器、智能手机、平板电脑等产品中。

3、半金属半金属是指在一定条件下由导带和价带同时填满的材料。

相对于硅(Si)等传统半导体材料,半金属材料具有能量传输更快、发热更少等特点,因此更具有潜力。

此外,半金属还可以在薄膜太阳能电池等方面发挥作用。

二、微电子技术的应用微电子技术是指将电子元器件制造成非常小的尺寸,使其可以嵌入各种产品中的一种技术。

现在,它被广泛应用于计算机、智能手机、各种家电、汽车电子等领域。

1、计算机计算机技术的目标是使电子电路集成的尺寸不断缩小,尽可能提高效率,以满足日益增长的数据处理需求。

微电子技术的应用使计算机处理速度得到大大提高,处理效率也更高。

2、智能手机微电子技术的应用使得智能手机的设计越来越小、轻便、功能强大。

各种软件和硬件的精度、稳定性和耐久性都得到了显著提高。

此外,智能手机还集成了各种先进的传感器和探测器,如加速计、光传感器和陀螺仪等。

3、各种家电在微电子技术的帮助下,各种家电产品也得以实现更加智能化、精确化的控制。

半导体材料研究的新进展

半导体材料研究的新进展

半导体二极管和三极管
二. N型半导体和P型半导体
1. 本征半导体与掺杂半导体
在常温下,本征半导体的两种载流子数量还是极少 的,其导电能力相当低。 如果在半导体晶体中掺入微量杂质元素,将得到掺 杂半导体,而掺杂半导体的导电能力将大大提高。
由于掺入杂质元素的不同,掺杂半导体可分为两大 类——N型半导体和 P型半导体。
半导体二极管和三极管
• 肖特基缺陷和弗仑克尔缺陷统称点缺陷。 • 虽然这两种点缺陷同时存在,但由于在Si、Ge中形成间隙
原子一般需要较大的能量,所以肖特基缺陷存在的可能性
远比弗仑克尔缺陷大,因此Si、Ge中主要的点缺陷是空位
(a) 弗仑克尔缺陷 (b) 肖特基缺陷 图1.11 点缺陷
半导体二极管和三极管
价电子受到激发,形成自 由电子并留下空穴。 自由电子和空穴同时产生 半导体中的自由电子和空 穴都能参与导电——半导 体具有两种载流子。
价电子
硅原子
载流子的产生与复合:
共价键
半导体二极管和三极管
• 本征半导体中的自由电子和空穴总是成对出现, 同时又不断进行复合。在一定温度下,载流子 的产生与复合会达到动态平衡,即载流子浓度 与温度有关。温度愈高,载流子数目就愈多, 导电性能就愈好——温度对半导体器件的性能 影响很大。 • 半导体中的价电子还会受到光照而激发形成自 由电子并留下空穴。光强愈大,光子就愈多, 产生的载流子亦愈多,半导体导电能力增强。 故半导体器件对光照很敏感。 • 杂质原子对导电性能的影响将在下面介绍。
一晶面发生移动,如图1.12(a)所示。这种相对移动称为滑移, 在其上产生滑移的晶面称为滑移面,滑移的方向称为滑移向。
(a) (b) 图1.12 应力作用下晶体沿某一晶面的滑移

半导体材料研究的新进展

半导体材料研究的新进展

半导体材料研究的新进展近年来,半导体材料的研究取得了许多新的进展。

这些进展涵盖了材料的制备方法、性能调控以及应用领域的拓展等多个方面。

在本文中,我们将介绍一些半导体材料研究的新进展。

首先,研究人员在半导体材料的制备方法方面取得了重要突破。

传统的半导体材料制备方法包括溶液法、气相沉积法和物理蒸镀法等,但这些方法通常具有成本高、工艺复杂等缺点。

然而,随着纳米技术的发展,一些新的制备方法被提出,如溶胶-凝胶法和电化学法等。

这些新的制备方法可以实现高效、低成本的制备,并且可以控制材料的尺寸和形状,从而提高材料的性能和稳定性。

其次,研究人员在半导体材料的性能调控方面取得了重要进展。

随着科技的发展,人们发现了一些新的半导体材料,如二维材料、量子点和有机半导体等。

这些材料具有独特的电子结构和光学性质,可以用于制备高性能的电子器件。

同时,研究人员还通过改变半导体材料的组分和结构,调控了材料的导电性、光电性以及热性能等,从而实现了半导体材料性能的优化。

另外,半导体材料的应用领域也在不断拓展。

传统的半导体材料主要应用于电子器件领域,如晶体管和集成电路等。

然而,近年来,随着人们对新材料和新能源的追求,半导体材料在光电子、能源存储和传感器等领域也得到了广泛应用。

例如,一些新的半导体材料被用于制备高效的光伏材料,用于太阳能电池的制备。

此外,半导体材料还被应用于制备高性能的光电器件、柔性电子器件和化学传感器等。

总结起来,半导体材料研究的新进展包括制备方法、性能调控和应用领域的拓展等多个方面。

这些进展使得半导体材料具有了更广阔的应用前景,为科技的发展带来了潜在的机会和挑战。

随着对半导体材料的深入研究,相信在不久的将来,我们将能够看到更多创新的半导体材料和应用领域的突破。

半导体材料的历史现状及研究进展(精)

半导体材料的历史现状及研究进展(精)

半导体材料的历史现状及研究进展(精)半导体材料的研究进展摘要:随着全球科技的快速发展,当今世界已经进入了信息时代,作为信息领域的命脉,光电子技术和微电子技术无疑成为了科技发展的焦点。

半导体材料凭借着自身的性能特点也在迅速地扩大着它的使用领域。

本文重点对半导体材料的发展历程、性能、种类和主要的半导体材料进行了讨论,并对半导体硅材料应用概况及其发展趋势作了概述。

关键词:半导体材料、性能、种类、应用概况、发展趋势一、半导体材料的发展历程半导体材料从发现到发展,从使用到创新,拥有这一段长久的历史。

宰二十世纪初,就曾出现过点接触矿石检波器。

1930年,氧化亚铜整流器制造成功并得到广泛应用,是半导体材料开始受到重视。

1947年锗点接触三极管制成,成为半导体的研究成果的重大突破。

50年代末,薄膜生长激素的开发和集成电路的发明,是的微电子技术得到进一步发展。

60年代,砷化镓材料制成半导体激光器,固溶体半导体此阿里奥在红外线方面的研究发展,半导体材料的应用得到扩展。

1969年超晶格概念的提出和超晶格量子阱的研制成功,是的半导体器件的设计与制造从杂志工程发展到能带工程,将半导体材料的研究和应用推向了一个新的领域。

90年代以来随着移动通信技术的飞速发展,砷化镓和磷化烟等半导体材料成为焦点,用于制作高速高频大功率激发光电子器件等;近些年,新型半导体材料的研究得到突破,以氮化镓为代表的先进半导体材料开始体现出超强优越性,被称为IT产业的新发动机。

新型半导体材料的研究和突破,常常导致新的技术革命和新兴产业的发展.以氮化镓为代表的第三代半导体材料,是继第一代半导体材料(以硅基半导体为代表和第二代半导体材料(以砷化镓和磷化铟为代表之后,在近10年发展起来的新型宽带半导体材料.作为第一代半导体材料,硅基半导体材料及其集成电路的发展导致了微型计算机的出现和整个计算机产业的飞跃,并广泛应用于信息处理、自动控制等领域,对人类社会的发展起了极大的促进作用.硅基半导体材料虽然在微电子领域得到广泛应用,但硅材料本身间接能带结构的特点限制了其在光电子领域的应用.随着以光通状态所需的能量。

新型功能材料的研究进展

新型功能材料的研究进展

新型功能材料的研究进展功能材料,是指具有一定的物理、化学、电子、光学、磁性、生物、机械等特性,能够在特定条件下完成特定功能的材料。

在众多的应用领域中,新型功能材料为各种新一代科技提供了关键性的突破和契机。

随着科技的发展和人类对材料性质的逐渐掌握,新型功能材料的研究也在不断深入,新的突破和发现不断涌现。

一、铁氧体材料的制备和应用铁氧体材料具有高饱和磁感应强度、低磁导率、高电阻率等优良特性,广泛用于计算机、通讯、精密仪器等领域。

随着人们对材料性质的深入了解,铁氧体材料的研究也进一步发展。

例如,近年来发现某些微纳米级的铁氧体颗粒对靶向治疗肿瘤具有能够不被普通药物替代的独特作用。

目前,铁氧体磁性纳米颗粒和低频磁场在磁流体靶向抑制癌细胞方面的应用,是新型功能材料带来的重要突破。

二、新型半导体材料的研究半导体材料因为其在电子、光电、光学等方面的独特特性,在信息科技、光电技术、能源技术等领域得到了广泛的应用。

新型半导体材料的研究成果主要体现在以下几个方面。

第一,新型半导体材料的设计和制备。

例如,经过反复实验和改进,研究者提出了一种基于ZnO和ZnS的超支化PVSK太阳能电池的构想,该构想成功提高了太阳能电池的光电性能。

第二,半导体材料在新兴技术领域的应用。

例如,自旋电子学是自然科学的一个新研究领域,而半导体材料中磁化自旋极化现象的出现,将使半导体材料在该领域应用成为可能。

第三,新型半导体材料的表征和表面物理。

例如,通过表面物理的研究,人们发现半导体材料表面会产生自旋谐振,这将有助于改进电子学产品的性能。

三、新型高分子材料的研究高分子材料是目前制备和使用范围最广泛的一类材料之一,其应用领域十分广泛,包括工程材料、建筑材料、塑料制品、纤维、胶粘剂、涂料等各行各业。

在高分子材料制备方面的研究中,近年来一直受到关注的问题是制备过程中污染问题。

以价廉易得的广谱抗生素四环素为例,人们发现在水溶液中,四环素与聚酰亚胺等高分子材料相结合,具有较好的去除效果。

半导体技术的发展现状与趋势

半导体技术的发展现状与趋势

半导体技术的发展现状与趋势一、引言半导体技术是当今科技领域的重要支柱之一,它在信息通讯、电子设备、能源、医疗、汽车等各个方面发挥着重要作用。

随着科技的不断进步,半导体技术也在不断发展和完善。

本文将对半导体技术的发展现状和趋势进行探讨,以期为读者提供一个全面而清晰的了解。

二、半导体技术的发展现状1.芯片制造技术的进步随着半导体材料、工艺和设备技术的不断进步,现代集成电路芯片的制造技术也越来越先进。

目前,先进的芯片制造技术已经实现了纳米级的制造精度,大大提高了芯片的性能和功耗比。

此外,3D集成技术、封装技术以及材料工艺的创新也为芯片制造技术带来了新的突破和发展空间。

2.半导体材料的发展半导体材料是半导体技术的基础,其性能和稳定性直接影响着半导体器件的性能。

近年来,各种新型半导体材料的研究和应用不断涌现,如碳化硅、氮化镓、氧化铟锡等材料的出现为半导体器件的性能提升和多样化提供了支撑。

而在纳米材料领域,石墨烯、量子点等新材料也为半导体技术带来了新的发展机遇。

3.半导体器件的创新随着半导体技术的不断发展,各种新型半导体器件也在不断涌现。

例如,功率半导体器件、光电器件、微波器件等新型器件的研究和开发为半导体技术的应用提供了丰富的空间。

此外,新型存储器件、传感器件等器件也在不断涌现,促使半导体技术在各个领域的应用不断扩展。

4.全球半导体产业的发展全球半导体产业在近年来也呈现出了快速增长的趋势。

虽然受到疫情等因素的影响,全球半导体市场在2020年出现了一定程度的波动,但这并没有影响到全球半导体产业的长期发展趋势。

目前,全球主要的半导体芯片制造企业依然在不断扩大生产规模,提高制造水平,不断推动全球半导体产业的发展。

三、半导体技术的发展趋势1.人工智能和大数据的发展对半导体技术提出了新的需求随着人工智能和大数据技术的不断发展,对计算性能和数据处理能力的需求也在不断提高。

这就要求半导体技术不断提升芯片的计算和数据处理性能,降低功耗和成本,提高芯片的集成度和稳定性。

半导体论文

半导体论文

半导体材料研究的新进展摘要本文重点对半导体硅材料,GaAs和InP单晶材料,半导体超晶格、量子阱材料,一维量子线、零维量子点半导体微结构材料,宽带隙半导体材料,光子晶体材料,量子比特构建与材料等达到的水平和器件概况及其趋势作了概述。

最后,提出了发展我国半导体材料的建议。

关键词半导体材料量子线量子点材料光子晶体1半导体材料的战略地位上世纪中叶,单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功,导致了革命;上世纪70年代初石英光导纤维材料和GaAs激光器的发明,促进了光纤通信技术迅速发展并逐步形成了高新技术产业,使人类进入了信息。

超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的研制成功,彻底改变了光电器件的设计思想,使半导体器件的设计与制造从“杂质工程”发展到“能带工程”。

纳米技术的发展和应用,将使人类能从原子、分子或纳米尺度水平上控制、操纵和制造功能强大的新型器件与电路,必将深刻地着世界的、格局和军事对抗的形式,彻底改变人们的生活方式。

2几种主要半导体材料的发展现状与趋势2.1硅材料从提高硅集成电路成品率,降低成本看,增大直拉硅(CZ-Si)单晶的直径和减小微缺陷的密度仍是今后CZ-Si发展的总趋势。

目前直径为8英寸(200mm)的Si单晶已实现大规模工业生产,基于直径为12英寸(300mm)硅片的集成电路(IC‘s)技术正处在由实验室向工业生产转变中。

目前300mm,0.18μm工艺的硅ULSI生产线已经投入生产,300mm,0.13μm工艺生产线也将在2003年完成评估。

18英寸重达414公斤的硅单晶和18英寸的硅园片已在实验室研制成功,直径27英寸硅单晶研制也正在积极筹划中。

从进一步提高硅IC‘S的速度和集成度看,研制适合于硅深亚微米乃至纳米工艺所需的大直径硅外延片会成为硅材料发展的主流。

另外,SOI材料,包括智能剥离(Smart cut)和SIMOX材料等也发展很快。

目前,直径8英寸的硅外延片和SOI材料已研制成功,更大尺寸的片材也在开发中。

半导体光催化剂制氢研究新进展

半导体光催化剂制氢研究新进展
[ 55 ]
图 4 半导体光催化反应历程
Fig . 4 M echanis m of sem iconductor photocatalysis
导体的表面 , 并且染料激发态的电位要与半导体导 带电位相匹配 . 由于激发态电子的寿命极短 (通常 为纳秒级 ) , 所以只有敏化剂与半导体的紧密结合 以及快速的电子注入才能实现有效的电子转移得到 较高的催化效率 . 在已知的染料中 , 钌吡啶类络合 物金属基光敏化剂具有稳定性好 、 激发态活性高 、 激 [ 68 ] 发态 寿 命 长 、 光 致 发 光 性 好 等 优 点 . 1991 年 Gr tzel将联吡啶钌 / TiO2 体系用于光电池中 , 光电 转化效 率 达 到 了 10% , 光 电 流 密 度 达 12 mA ・ - 2 cm . 2004 年 , 他们研究的染料敏化的多孔 TiO2 薄膜光电转化效率已经达到了 11% . 染料敏化方法除了在染料敏化太阳能电池领域 广泛应用外 , 在光催化领域也开始受到关注 . 可见 光下染料敏化半导体光催化制氢的机理如图 5 所 示 . B ae等研究了联吡啶钌敏 化的 Pt/ TiO2 在可 见
[ 32 ]
和有 效 传 递 光 生 电 子 , 促 进 光 还 原 水 放 氢 反 应 效率 . 半导体微粒 (如 TiO2 , ZnO , Fe2 O3 , CdS, ZnS) 光催化作用的本质是充当氧化还原反应的电子传递 体和反应场所 . 水在这种电子 — 空穴对的作用下发 生分解 , 生成 H2 和 O2 . 价带空穴是一种强氧化剂 ( 1. 0 ~3. 0V vs . NHE ) , 导带电子是一种强还原剂 ( 0. 5 ~ - 1. 5 V vs . NHE ) , 因此 , 大多数有机物和 无机物能被光生载流子直接或间接地氧化或还原 . 为了阻止半导体粒子表面和体相的电子再结合以提 高光催化反应效率 , 反应物种预先吸附在其表面上 是必要的 . 因此 , 反应物种在催化剂表面的吸附对 光催化反应是一个重要的前提条件 .

半导体技术论文高分子材料论文半导体材料的发展现状(精)

半导体技术论文高分子材料论文半导体材料的发展现状(精)

半导体技术论文高分子材料论文:半导体材料的发展现状摘要在半导体产业的发展中,一般将硅、锗称为第一代半导体材料;将砷化镓、磷化铟、磷化镓等称为第二代半导体材料;而将宽禁带(Eg>2.3eV)的氮化镓、碳化硅和金刚石等称为第三代半导体材料。

本文介绍了三代半导体的性质比较、应用领域、国内外产业化现状和进展情况等。

关键词半导体材料;多晶硅;单晶硅;砷化镓;氮化镓1 前言半导体材料是指电阻率在107Ω·cm~10-3Ω·cm,界于金属和绝缘体之间的材料。

半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力电子器件、光电子器件的重要基础材料[1],支撑着通信、计算机、信息家电与网络技术等电子信息产业的发展。

电子信息产业规模最大的是美国和日本,其2002年的销售收入分别为3189亿美元和2320亿美元[2]。

近几年来,我国电子信息产品以举世瞩目的速度发展,2002年销售收入以1.4亿人民币居全球第3位,比上年增长20%,产业规模是1997年的2.5倍,居国内各工业部门首位[3]。

半导体材料及应用已成为衡量一个国家经济发展、科技进步和国防实力的重要标志。

半导体材料的种类繁多,按化学组成分为元素半导体、化合物半导体和固溶体半导体;按组成元素分为一元、二元、三元、多元等;按晶态可分为多晶、单晶和非晶;按应用方式可分为体材料和薄膜材料。

大部分半导体材料单晶制片后直接用于制造半导体材料,这些称为“体材料”;相对应的“薄膜材料”是在半导体材料或其它材料的衬底上生长的,具有显著减少“体材料”难以解决的固熔体偏析问题、提高纯度和晶体完整性、生长异质结,能用于制造三维电路等优点。

许多新型半导体器件是在薄膜上制成的,制备薄膜的技术也在不断发展。

薄膜材料有同质外延薄膜、异质外延薄膜、超晶格薄膜、非晶薄膜等。

在半导体产业的发展中,一般将硅、锗称为第一代半导体材料;将砷化镓、磷化铟、磷化镓、砷化铟、砷化铝及其合金等称为第二代半导体材料;而将宽禁带(Eg>2.3eV)的氮化镓、碳化硅、硒化锌和金刚石等称为第三代半导体材料[4]。

半导体芯片化学机械抛光过程中材料去除机理研究进展

半导体芯片化学机械抛光过程中材料去除机理研究进展

半导体芯片化学机械抛光过程中材料去除机理研究进展半导体芯片化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)是一种重要的加工技术,用于平坦化半导体材料表面。

它的基本原理是结合化学刻蚀和机械摩擦来去除材料表面的凸起。

目前,人们对CMP过程中的材料去除机理进行了广泛的研究。

其中,以下几个方面是重要的研究进展:1. 摩擦力和切割机制:研究者们通过实验和仿真模拟来探究CMP过程中的摩擦力对材料去除的影响。

他们发现,摩擦力对CMP过程中的材料去除起着重要作用。

此外,还有研究表明,切割机制是CMP过程中材料去除的主要方式之一。

2. 材料去除速率的控制:研究人员发现,CMP过程中的材料去除速率可以通过多种因素来控制,比如材料的硬度、颗粒形状和尺寸、化学溶液的成分等。

他们针对不同的材料和工艺条件,进行了系统的实验研究,为CMP过程的优化提供了理论依据。

3. 表面质量和平坦度:在半导体芯片制造过程中,表面质量和平坦度是关键指标。

研究人员通过改变CMP过程中的压力、速度、溶液浓度等参数,来研究这些因素对表面质量和平坦度的影响。

他们还通过使用不同的抛光垫材料和化学溶液,来改善芯片表面的质量。

4. 环保性和经济性:CMP过程中产生的废液和废料对环境造成了一定的影响。

因此,研究人员致力于寻找更环保和经济的CMP工艺。

他们开发了一系列新型的抛光垫材料和化学溶液,以减少对环境的污染,并提高工艺的经济性。

在未来的研究中,人们将继续探索新的材料和工艺,进一步提高CMP的性能和效率。

此外,与CMP相关的领域,如CMP模拟和表征、CMP装备的设计和控制等,也将得到更多的关注和研究。

5. 复杂材料的CMP研究:除了传统的硅基材料,现在还有各种复杂材料在半导体芯片制造中得到广泛应用,如氮化硅、钨、铜等。

这些材料的CMP特性与传统硅材料有所不同,因此研究人员在CMP过程中对这些复杂材料的材料去除机理和参数优化进行了深入研究。

半导体材料的发展趋势和创新应用

半导体材料的发展趋势和创新应用

半导体材料的发展趋势和创新应用半导体材料作为现代电子科技领域的基础材料,一直以来都扮演着重要的角色。

随着科技的不断进步和应用领域的拓展,半导体材料的发展趋势和创新应用也日益受到关注。

本文将重点探讨半导体材料的发展趋势以及在创新应用方面的潜力。

一、半导体材料的发展趋势随着信息技术的迅速发展,对于半导体材料的需求也日益增长。

在半导体材料的发展趋势方面,以下几个方面值得关注。

1. 新一代半导体材料的崛起传统的硅材料在电子器件领域表现出色,但其性能已经逐渐达到极限。

为了满足高性能、低功耗、高集成度等要求,新一代半导体材料逐渐崭露头角。

例如,砷化镓(GaAs)、蓝宝石(Al2O3)和氮化硅(Si3N4)等材料在光电子器件领域具有广阔的应用前景。

2. 半导体材料的微纳加工技术随着微纳加工技术的不断发展,半导体材料的微纳加工得到了巨大的进步。

通过光刻、离子注入、电子束曝光等技术,可以实现对半导体材料的精确控制和微观加工,从而提高器件制造精度和性能。

3. 基于二维材料的创新二维材料如石墨烯、硒化钼等具有独特的电子结构和优良的性能,成为半导体材料研究的热点之一。

基于二维材料的器件在柔性电子、能源存储等领域具有潜力,并且开启了新的材料设计和加工方法。

二、半导体材料的创新应用半导体材料的创新应用涵盖了多个领域,以下是几个具有代表性的应用方向。

1. 光电子器件半导体材料在光电子器件领域有着广泛的应用。

例如,砷化镓材料被广泛应用于激光器、光电子器件和光通讯器件中。

光电子器件的快速发展推动了通信技术和信息处理能力的提升。

2. 新能源半导体材料在新能源领域具有巨大的潜力。

例如,通过半导体材料制备和改性可以实现高效的太阳能电池、燃料电池以及光电催化材料,从而推动可再生能源的发展和利用。

3. 传感器技术半导体材料的优异电子特性使其成为传感器技术中的重要组成部分。

例如,硅基传感器在汽车、医疗和环境监测等领域中被广泛应用。

半导体材料的发展促进了传感器技术的进步和应用范围的拓展。

半导体材料的应用研究进展

半导体材料的应用研究进展

半导体材料的应用研究进展半导体材料是导电能力介于导体与绝缘体之间的物质。

半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料,其电导率在10(U-3)~10(U-9)欧姆/厘米范围内。

本文介绍了半异体材料的定义、分类、特制及发展,叙述了半导体材料的早期应用及第二代半导体材料在产业发展中的应用。

标签:半导体材料;纳米;应用1 前言半导体材料(semiconductormaterial)是导电能力介于导体与绝缘体之间的物质。

半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料,其电导率在10(U-3)~10(U-9)欧姆/厘米范围内。

半导体材料可分为元素半导体、无机化合物半导体、有机化合物半导体和非晶态与液态半导体。

纳米材料的尺度处于原子簇和宏观物体交界的过渡区域,是介于宏观物质与微观原子或分子间的过渡亚稳态物质,它能够产生不同于传统固体材料的显著的表面与介面效应、小尺寸效应、量子尺寸效应和宏观量子隧道效应,并且表现出奇异的力学、电学、磁学、光学、热学和化学特性等等[1-2]。

半导体材料第一代半导体是“元素半导体”。

典型如硅基和锗基半导体。

其中以硅基半导体技术较成熟。

应用也较广泛,一般用硅基半导体来代替元素半导体的名称[3]。

第二代半导体材料是化合物半导体。

化合物半导体是以砷化镓、磷化铟和氮化镓等为代表,包括许多其它III—V族化合物半导体。

这些化合物中,商业半导体器件中用得最多的是砷化镓和磷砷化镓、磷化铟、砷铝化镓和磷镓化铟。

其中砷化镓技术较成熟,应用也较广泛。

2 半导体材料的应用半导体材料的第一个应用就是利用它的整流效应作为检波器。

就是点接触二极管。

除了检波器之外,在早期,半导体材料还用来做整流器、光伏电池、红外探测器等。

半导体材料的四个效应都用到了。

从1907年到1927年,美国的物理学家研制成功晶体整流器、硒整流器和氧化亚铜整流器。

1931年,兰治和伯格曼研制成功硒光伏电池[4]。

半导体技术的最新进展与应用前景

半导体技术的最新进展与应用前景

半导体技术的最新进展与应用前景近年来,半导体技术在各个领域取得了巨大的突破,不仅在计算机、通信、光电等行业有广泛应用,还在环境保护、医疗健康等领域发挥着重要作用。

本文将介绍半导体技术在不同领域的最新进展,并展望半导体技术在未来的应用前景。

一、半导体技术在计算机领域的最新进展与应用前景随着人工智能的不断发展,计算机在数据处理速度、存储容量和能源消耗等方面面临着巨大挑战。

而半导体技术在计算机领域的应用正不断推动着计算机的发展。

最新的半导体技术之一是三维集成电路,通过将芯片垂直堆叠,提高了芯片性能,并大大缩小了芯片的体积。

这种技术不仅能够提高计算机的处理速度,还能降低能源消耗,为计算机领域提供了新的发展方向。

此外,半导体技术还在存储器领域取得了重大突破。

相较于传统的硬盘驱动器,基于半导体的固态硬盘具有更高的读写速度、更低的能耗和更大的存储容量。

随着存储器技术的不断革新,未来可预见的是,基于半导体技术的存储器将会在计算机领域的应用中占据主导地位。

二、半导体技术在通信领域的最新进展与应用前景随着5G时代的到来,通信技术对于半导体技术的需求也在不断增加。

半导体材料的高频性能和低功耗是支撑5G通信的关键因素。

最新的半导体技术中,基于高能量效应的高电子移动率材料成为了研究的热点。

这种材料不仅能够提高通信设备的传输速度,还能降低功耗,为5G通信技术的发展提供了技术支撑。

除了5G通信,半导体技术在光纤通信领域也有着广阔的应用前景。

光纤通信的核心器件是激光器和光电探测器,而这两种器件都需要依赖半导体材料。

最新的半导体技术中,通过掺杂和外延生长等方法,提高了激光器和光电探测器的性能,使光纤通信系统具备更高的传输速率和更低的信号衰减。

三、半导体技术在环境保护领域的最新进展与应用前景随着全球环境问题的日益严峻,环境保护成为了当今社会的重要议题。

半导体技术在环境保护领域发挥着越来越重要的作用。

最新的半导体技术之一是传感器技术,通过使用半导体材料制造高精度的传感器,可以实时监测大气污染、水质污染以及土壤污染等。

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半导体材料研究的新进展王占国(中国科学院半导体研究所,半导体材料科学实验室,北京100083摘要:首先对作为现代信息社会的核心和基础的半导体材料在国民经济建设、社会可持续发展以及国家安全中的战略地位和作用进行了分析,进而介绍几种重要半导体材料如,硅材料、GaAs和InP单晶材料、半导体超晶格和量子阱材料、一维量子线、零维量子点半导体微结构材料、宽带隙半导体材料、光学微腔和光子晶体材料、量子比特构造和量子计算机用材料等目前达到的水平和器件应用概况及其发展趋势作了概述。

最后,提出了发展我国半导体材料的建议。

本文未涉及II-VI族宽禁带与II-VI族窄禁带红外半导体材料、高效太阳电池材料Cu(In,GaSe2、CuIn(Se,S等以及发展迅速的有机半导体材料等。

关键词:半导体材料;量子线;量子点材料;光子晶体中图分类号:TN304.01 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(200203-0008-05 New progress of studies on semiconductormaterialsWANG Zha n-guo(Lab. of Semic on ductor Materials Scien ce,I nstitute of Semico nductors,Chinese Academy of Sciences , Beijing 100083, ChinaAbstract:The strategic positi on and importa nt role of semic on ductor materials, as a core and foundation of the information society, for development of national economic, national safety and society progressare analyzed first in this paper. Then the present status and future prospects of studies on semic on ductor materials such as silic on crystals, III-V compo und semic on ductor materials and GaAs,l nP and silic on based superlattice and quantum well materials, quantum wires and quantum dots materials, microcavity and photonic crystals, materi-als for quantum computation and wide band gap materials as well are briefly discussed.Fin ally the suggesti ons for the developme nt of semic on ductor materials in our country are proposed. II-VI narrow and wide band gap materials, solar cell materials and organic materials for optoelectronic devices etc. are not included in this article.K e y w o r d s: semic on ductor materials;qua ntum wire;qua ntum dot materials;phot onic materials1半导体材料的战略地位本世纪中叶,半导体单晶硅材料和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功,导致了电子工业革命,深刻地影响着世界的政治、经济格局和军事对抗的形式彻底改变了人们的生活方式。

70年代初,石英光导纤维材料和GaAs等川-V族化合物半导体材料及其G a A s激光器的发明,促进了光纤通信技术迅速发展并逐步形成了高新技术产业,使人类进入了信息时代。

超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的研制成功,彻底改变了光电器件的设计思想,使半导体器件的设计与制造从过去的杂质工程”发展到能带工程”出现了以电学特性和光学特性可剪裁”为特征的新范筹,使人类跨入到量子效应国家基础研究发展规划项目(G20000683008和低维结构特性的新一代半导体器件和电路时代。

半导体微电子和光电子材料已成为21世纪信息社会高技术产业的基础材料。

它的发展将会使通信、高速计算、大容量信息处理、空间防御、电子对抗以及武器装备的微型化、智能化等这些对于国民经济和国家安全都至关重要的领域产生巨大的技术进步,受到了各国政府极大的重视。

下面就几种主要的半导体材料研究进展作一简单地介绍。

2几种主要半导体材料的发展现状与趋势2.1 硅材料从提高硅集成电路成品率,降低成本看,增大直拉硅(CZ-Si单晶的直径仍是今后CZ-Si发展的总趋势。

目前直径为8英寸(200m m的S i单晶已实现大规模工业生产,基于直径为12英寸(300m m硅片的集成电路(I C技术正处在由实验室向工业生产转变中。

目前已有一个300mm硅片的超达规模集成电路(U L S I试生产线正在运转,另外几个试生产线和一个生产线业已建成。

预计2001年300mm, 0.18 m工艺的硅ULSI生产线将投入规模生产,300mm, 0.13 m工艺生产线也将在2003年完成评估。

直径18英寸硅片预计2007年可投入生产,直径27英寸硅单晶研制也正在积极筹划中。

日本1999年国内生产6~12英寸的硅单晶为7000吨(8000亿日元。

18英寸重达414公斤的硅单晶和18英寸的硅园片也已研制成功。

从进一步提高硅IC的速度和集成度看,研制适合于硅深亚微米乃至纳米工艺所需的大直径硅外延片会成为硅材料发展的主流。

目前,直径8英寸的硅外延片已研制成功,更大尺寸的外延片也在开发中。

理论分析指出,30n m左右将是硅M O S集成电路线宽的极限”尺寸。

这不仅是指量子尺寸效应对现有器件特性影响所带来的物理限制和光刻技术的限制问题,更重要的是将受硅、S i O2自身性质的限制。

尽管人们正在积极寻找高K介电绝缘材料(如用Si3N等来替代SiO2,低K介电互连材料,用C u代替A l引线以及采用系统集成芯片(system on a chip技术等来提高ULSI的集成度、运算速度和功能,但硅将最终难以满足人类不断的对更大信息量需求。

为此,人们正在寻求发展新材料、新技术,如,纳米材料与纳米电子、光电子器件、分子计算机、 D N A生物计算机、光子计算机和量子计算机等。

其中,以G a A s、I n P为基的化合物半导体材料,特别是纳米半导体结构材料(二维超晶格、量子阱,一维量子线与零维量子点材料以及可与硅平面工艺兼容GeSi合金材料等是最有希望的替补材料之一。

2.1 GaAs和InP单晶材料G a A s和I n P是微电子和光电子的基础材料,为直接带隙,具有电子饱和漂移速度咼、耐咼温、抗辐照等特点,在超咼速、超咼频、低功耗、低噪音器件和电路特别在光电子器件和光电集成方面占有独特的优势。

目前,世界GaAs单晶的总年产量已超过200吨(日本1999年的GaAs单晶的生产量为94吨,G a P为27吨,其中以低位错密度的V G F和H B方法生长的2~3英寸的导电GaAs衬底材料为主;近年来,为满足高速移动通信的迫切需求,大直径(4,6 和8英寸的SI-GaAs发展很快,4英寸70cm长,6英寸35cm长和8英寸的半绝缘砷化钾(S I-G a A s也在日本研制成功。

美国摩托罗拉公司正在筹建6英寸的SI-GaAs 集成电路生产线。

预计1998~2003年,GaAs外延片市场以每年30%的速度增长(SI- GaAs 片材1998年销售为1.24亿美元。

InP具有比GaAs更优越的高频性能,发展的速度更快;但不幸的是,研制直径3英寸以上大直径的InP单晶的关键技术尚未完全突破,价格居高不下。

GaAs和InP单晶的发展趋势是:(1增大晶体直径,目前3~4英寸的SI-GaAs已用于大生产,预计21世纪初的头几年直径为6英寸的SI-GaAs也将投入工业应用。

(2提高材料的电学和光学微区均匀性。

(3降低单晶的缺陷密度,特别是位错。

(4GaAs和InP单晶的VGF生长技术发展2.3半导体超晶格、量子阱材料半导体超薄层微结构材料是基于先进生长技术(M B E,M O C V D的新一代人工构造材料。

它Semic on ductor T ech no logy Vol. 27 No. 3March 20029以全新的概念改变着光电子和微电子器件的设计思想,即从过去的所谓杂质工程”发展到能带工程”出现了电学和光学特性可剪裁”为特征的新范畴,是新一代固态量子器件的基础材料。

2.3.1 III-V族超晶格、量子阱材料GaAIAs/GaAs,Gal nAs/GaAs, AlGaI nP/ GaAs; GaI nAs/l nP,AII nAs/l nP,InGaAsP/InP等GaAs、InP基晶格匹配和应变补偿材料体系已发展得相当成熟,已成功地用来制造超高速,超高频微电子器件和单片集成电路。

高电子迁移率晶体管(HE M T,贋高电子迁移率晶体管(P-HEMT器件最好水平已达fmax=600GHz,输出功率58m W,功率增益6.4d B;双异质结晶体管(H B T的最高频率fmax也已高达500G H乙H E M T逻辑大规模集成电路研制也达很高水平。

基于上述材料体系的光通信用1.3 m和1.5 m的量子阱激光器和探测器,红、黄、橙光发光二极管和红光激光器以及大功率半导体量子阱激光器已商品化;表面光发射器件和光双稳器件等也已达到或接近达到实用化水平。

目前,研制高质量的1.5 m分布反馈(DFB激光器和电吸收(EA调制器单片集成InP基多量子阱材料和超高速驱动电路所需的低维结构材料是解决光纤通信瓶颈问题的关键,在实验室西门子公司已完成了80M0Gbps传输40km的实验。

另外,用于制造准连续兆瓦级大功率激光阵列的高质量量子阱材料也受到人们的重视。

虽然常规量子阱结构端面发射激光器是目前光电子领域占统治地位的有源器件但由于其有源区极薄(约0.01 m 端面光电灾变损伤,大电流电热烧毁和光束质量差一直是此类激光器的性能改善和功率提高的难题。

采用多有源区量子级联耦合是解决此难题的有效途径之一。

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