质量流量控制器原理及选型教程 (1)
质量流量控制器原理
质量流量控制器原理质量流量控制器是一种用于控制气体质量流量的仪器，它可以根据用户设定的质量流量值，精确地调节气体的流量，从而确保气体流量的准确性和稳定性。
本文将重点介绍质量流量控制器的原理及其工作方式。
一、质量流量控制器原理质量流量控制器的原理基于流场动态计量技术，它通过测量气体密度和瞬时流量计算气体的质量流量，然后根据设定值调节流量控制阀门的开度，从而实现质量流量的精确控制。
在质量流量控制器中，气体通过流量计进入测量腔体，测量腔体中装有传感器，可以进行压力、温度、流量、密度等参数的测量。
这些参数直接影响了气体密度的计算，而气体密度的准确计算是控制质量流量的关键。
测量系统完成数据采集后，将数据转换为质量流量值，并通过控制阀门的开度来调节气体流量，实现质量流量的精确控制。
二、质量流量控制器的工作方式质量流量控制器主要分为两个部分，即测量模块和电子控制模块。
（一）测量模块测量模块由流量计和密度计组成。
流量计可以根据气体流过流体的速度进行测量，而密度计则是利用气体压力、温度、流量等参数进行测量。
这两种仪器都非常精确，可以实时测量气体的流量和密度。
在测量模块中，流量计和密度计通过传感器与电子控制模块相连。
当气体经过流量计时，流量计产生信号并将其传输到控制模块，控制模块根据信号计算出气体的流量。
当气体经过密度计时，密度计也会产生信号并传输到控制模块，控制模块根据信号计算出气体的密度。
（二）电子控制模块电子控制模块主要由控制器、流量计控制器、密度计控制器和阀门控制器等部分组成。
电子控制模块的主要作用是接收来自测量模块的信号，并根据用户设定的质量流量值自动调节阀门的开度，从而控制气体的流量。
具体的工作流程如下：1. 用户根据需要设定目标质量流量值，并将该值输入到控制器中。
2. 测量模块中的流量计和密度计开始测量气体的流量和密度，并将测量结果传输到电子控制模块中。
3. 电子控制模块根据测量结果计算出当前的质量流量值，并将该值与用户设定的目标质量流量值进行比较。
气体质量流量控制器和流量计工作原理
气体质量流量控制器和流量计工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
左图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图：（将该地址复制粘贴到网叶地址栏里）控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。
满量程检测输出电压为5VDC。
气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度（量程比为50：1），流量分辨率为0.1%满刻度。
注意:气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。
这时，流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。
需要注意的是，一旦输出电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。
清洗时，流量显示是不准确的，而且还可能出现流量增大、显示减小的现象，但这些不会损坏质量流量控制器。
2、气体质量流量计和气体质量流量控制器结构（将该地址复制粘贴到网叶地址栏里）气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。
增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。
3、气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
应用对象：质量流量控制器应用系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、电池系统集成商、生化系统集成商、气体装配流水线集成商、大学实验室、气体公司、研。
质量流量控制器工作原理
质量流量控制器工作原理质量流量控制器，这个名字听起来有点复杂，但其实它就像我们生活中那些默默无闻却又不可或缺的“小帮手”。
想象一下，你在厨房里煮汤，水流的大小掌控得宜，汤才不会煮得过稠或过稀，味道才会恰到好处。
这种控制其实就是质量流量控制器在发光发热。
它的原理也并不神秘，简单来说，就是通过测量流体的质量流量来调节流量，确保每一滴水、每一毫升液体都恰到好处。
我们可以把质量流量控制器想象成一个调皮的小精灵，专门负责监控液体的流动。
当你调节阀门的时候，它就像在耳边轻声提醒：“慢点，别太急，水要慢慢流。
”当流量不合适时，它就会立刻做出反应，调整流量，确保你不会做出“泼汤”这样的失误。
你知道的，厨房可不允许有任何的“黑历史”啊！在工业生产中，这种控制器就更重要了，涉及到各种液体、气体的流动，确保设备安全、生产稳定。
想象一下，如果没有它的“把关”，可能会出现意想不到的事故，那可真是“闹笑话”了。
这家伙的工作原理还跟我们呼吸有点相似哦！它通过压力、温度等各种参数来判断流体的状态，然后精准地调节流量，就像我们在换气的时候，吸气与呼气的节奏必须得刚刚好。
你能想象吗？如果我们吸气太急，结果可能就会呛到；同样，如果流量控制器失灵，结果可想而知，可能就会“卡壳”。
它的使用范围非常广泛，从化工、制药到食品工业，无一不在它的“护航”之下，真是“无处不在，妙不可言”。
聊到这里，可能有人会问，质量流量控制器的实际应用是什么样的呢？让我们来个生活中的小例子吧！你去咖啡店点一杯拿铁，咖啡师就得精准掌握牛奶的流量，如果牛奶多了，那简直是“牛奶海”；少了又觉得没味道。
而这个过程中，质量流量控制器就像咖啡师的得力助手，确保每一杯咖啡都是完美的比例，香浓可口。
这样的默契配合，简直让人心情愉悦，真是“天作之合”。
科技的发展也让质量流量控制器的功能越来越强大。
现在的控制器能通过传感器实时监测流量变化，数据传输到电脑，随时调整，简直是科技感满满。
气体质量流量控制器原理
气体质量流量控制器原理气体质量流量控制器是一种用于控制气体流量的装置，通过精确检测和调节气体的质量流量，实现对气体流量的精确控制。
其主要原理是根据气体的密度、压力、温度等参数来计算气体的质量流量，并根据设定值和反馈信号来调节阀门的开度，从而控制气体的流量。
气体质量流量控制器的工作原理可以分为以下几个步骤：1. 气体检测：气体质量流量控制器通常配备有气体传感器，通过传感器可以实时检测气体的属性，如压力、温度和气体浓度等。
传感器会将检测到的气体属性转换为相应的电信号。
2. 信号处理：传感器产生的电信号被送到信号处理器中进行处理。
信号处理器会将信号进行放大、滤波和线性化等处理，以确保信号的可靠性和稳定性。
3. 质量流量计算：信号处理器将处理后的信号传递给质量流量计算器进行质量流量的计算。
质量流量计算器根据一定的计算公式，将气体的密度、压力、温度和流体状态等参数结合起来，计算得出气体的质量流量。
质量流量计算器通常采用数值计算的方法，能够实时准确地计算出气体的质量流量。
4. 控制信号生成：质量流量计算器将计算得到的质量流量值与设定值进行比较，生成控制信号。
控制信号通常是电信号，根据设定值和实际值的差异，控制信号会有不同的大小和方向，用于调节下一步的阀门开度。
5. 阀门调节：控制信号被送到阀门执行器，通过执行器调节阀门的开度，从而控制气体的流量。
阀门执行器通常是一种电动执行器，可以根据控制信号的大小对阀门进行精确的调节。
通过不断地调节阀门的开度，气体质量流量控制器能够实现对气体流量的精确控制。
6. 反馈控制：气体质量流量控制器通常还具备反馈控制功能，通过将执行器和流量计等装置的反馈信号与设定值进行比较，实时调整控制信号的大小和方向，从而更加精确地控制气体的流量。
反馈控制在控制系统中起到了重要的作用，可以稳定和优化控制系统的性能。
总结起来，气体质量流量控制器的原理是通过精确检测气体的属性并进行流量计算，通过生成的控制信号调节阀门的开度，实现对气体流量的精确控制。
数字式气体质量流量控制器工作原理
数字式气体质量流量控制器工作原理数字式气体质量流量控制器是一种高精度、高灵敏的仪表，它可以对气体进行精确的流量控制，并能够实时地监测和记录气体的流量、温度、压力等参数，是广泛应用于气体流量计量和控制的仪器之一。
那么，数字式气体质量流量控制器的工作原理是什么呢？本文将从两个方面探讨这一问题，分别是流量控制的原理和数字化的实现方式。
一、流量控制的原理流量控制是数字式气体质量流量控制器最主要的功能，其基本原理是利用增压阀、流量计和比例控制阀组成的反馈控制回路，通过比例积分控制算法精确地调节比例控制阀的开度，使得气体的流量达到预期的设定值，并保持不变。
具体来说，流量控制过程分为三个阶段：供气、检测和修正。
1. 供气阶段在这一阶段，气体从气源经过预处理设备（例如过滤、减压、降温等）进入增压器。
增压器的作用是将气体压力升高到一定程度，以保证流量计的测量精度。
当气体经过流量计时，它会产生一定的压降，流量计会将这个压降转换成一个电信号，同时将这个信号送给比例控制阀。
然后，比例控制阀根据这个信号来控制其开度，从而调节气体的流量，使得流量达到设定值。
2. 检测阶段在流量控制器的工作过程中，会不断地检测气体的流量（实际流量）和设定值（目标流量），并将它们进行比较。
如果实际流量小于设定值，那么就需要增加比例控制阀的开度；反之，则需要减小比例控制阀的开度。
这样，就能不断地调节气体的流量，使其保持在目标值附近。
3. 修正阶段在实际的工作中，由于气体的温度、压力等因素的变化，会对流量计的测量精度造成一定的影响。
此时，流量控制器就需要对测量结果进行修正，以保证流量控制的精度。
具体操作是：将测量得到的流量信号与气体温度、压力等参数进行比较，然后利用修正算法调整比例控制阀的开度，从而修正测量误差。
二、数字化的实现方式除了流量控制功能外，数字式气体质量流量控制器还具有数字化的特点，即它采用了数字电路和计算机技术来实现流量控制和参数显示。
质量流量计工作原理
质量流量计工作原理
质量流量计是一种用于测量流体质量流量的仪器。
它的工作原理是利用流体在
测量管道中的质量变化来计算流体的质量流量。
在质量流量计中，流体的密度是一个重要的参数，因为质量流量是由流体质量和流体密度的乘积得出的。
首先，让我们来看一下质量流量计的基本结构。
质量流量计通常由测量管道、
传感器和数据处理单元组成。
测量管道是流体流动的路径，传感器用于测量流体的质量变化，数据处理单元用于处理传感器采集到的数据并计算出流体的质量流量。
在质量流量计中，流体的质量变化是通过测量管道中的传感器来实现的。
传感
器可以采用多种不同的原理来实现质量变化的测量，比如热敏电阻、压电效应、振动频率等。
这些传感器可以将流体的质量变化转化为电信号，并传输给数据处理单元进行处理。
数据处理单元是质量流量计的核心部分，它通过处理传感器采集到的数据来计
算出流体的质量流量。
在数据处理过程中，需要考虑到流体的密度、温度、压力等参数，以确保计算结果的准确性。
此外，数据处理单元还可以对测量结果进行校正和补偿，以提高测量的精度和稳定性。
总的来说，质量流量计的工作原理是通过测量管道中流体的质量变化来计算流
体的质量流量。
它利用传感器采集到的数据，并通过数据处理单元进行处理和计算，最终得出流体的质量流量。
质量流量计在工业生产、化工、石油、天然气等领域有着广泛的应用，它能够准确、稳定地测量流体的质量流量，对于生产过程的控制和优化具有重要意义。
质量流量计(MFC)原理
质量流量计（MFC）原理及如何来选择使用首先什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM），是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
（2）测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。
通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，能非常方便地与计算机连接，进行自动控制。
（3）精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
（4）适用范围宽，有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa；可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，最大流量范围可达0～200 slm。
流量显示的分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围是满量程的2～100% （量程比为-- 50:1），因此在很多领域得到广泛应用。
质量流量控制器 原理
质量流量控制器原理
质量流量控制器是一种用于控制流体系统中质量流量的设备。
其原理是通过调节流体的压力或阀门的开度来控制流体的通量，从而实现对流量的控制。
质量流量控制器的基本原理是根据流体的质量守恒定律，通过测量流体的质量变化来控制流量。
当流体通过流量控制器时，会经过一个质量传感器，该传感器能够实时测量流体的质量。
通过与预设值进行比较，流量控制器能够自动调节阀门的开度或调节系统的压力，从而使流体的质量保持在设定的范围内。
质量流量控制器通常由以下几个主要部件组成：质量传感器、控制电路、执行机构（如电动阀门或调节阀门）等。
质量传感器通过测量流体的质量变化来实现对流量的监测，将测量结果传输给控制电路。
控制电路根据测量结果与设定值的差异，通过输出控制信号来驱动执行机构调节阀门的开度或系统的压力，从而实现流量的调控。
在实际应用中，质量流量控制器常用于各种工业生产过程中，如化工、石油、制药等领域。
它可以用于控制液体、气体等不同介质的流量，具有准确、稳定和可靠的控制性能，对生产过程中的流量变化能够实时作出响应，从而提高生产效率和产品质量。
总之，质量流量控制器通过测量流体的质量变化并根据设定值进行比较，通过调节阀门开度或系统压力来实现对流量的精确
控制。
它在工业生产中起到了至关重要的作用，有助于提高生产效率、节约能源，并确保产品质量的稳定性。
质量流量控制器原理
质量流量控制器原理质量流量控制器是一种用于控制流体流量的装置，它能够有效地调节流体的流量，保证系统的稳定运行。
在工业生产中，流量控制是非常重要的，它涉及到流体的输送、混合、分配等工艺，对于保证生产过程的稳定性和产品质量都起着至关重要的作用。
本文将介绍质量流量控制器的原理及其工作方式。
首先，质量流量控制器的原理是基于质量守恒定律和动量守恒定律的。
在流体力学中，质量守恒定律是指在封闭系统中，质量是守恒的，即质量的输入等于输出。
而动量守恒定律则是指在封闭系统中，动量也是守恒的，即动量的输入等于输出。
基于这两个基本定律，质量流量控制器通过控制流体的压力、速度、流道面积等参数，从而实现对流体流量的控制。
其次，质量流量控制器的工作方式主要包括两种，一种是基于压力差的控制方式，另一种是基于流速的控制方式。
在基于压力差的控制方式中，质量流量控制器通过改变流体管道中的压力差来实现对流量的控制。
当需要增加流量时，可以通过增加管道的压力差来促使流体流动；当需要减小流量时，则可以通过减小管道的压力差来降低流体流动。
而在基于流速的控制方式中，质量流量控制器通过改变流体的流速来实现对流量的控制。
通过调节流体的流速，可以有效地控制流体的流量大小。
除此之外，质量流量控制器还可以根据具体的应用需求，采用不同的控制策略。
例如，在一些需要精确控制流量的场合，可以采用闭环控制策略，通过不断地检测流体流量并对控制信号进行调整，来实现对流量的精确控制。
而在一些对流量要求不是很严格的场合，也可以采用开环控制策略，通过事先设定好的控制参数来实现对流量的控制。
总的来说，质量流量控制器是一种非常重要的流体控制装置，它基于质量守恒定律和动量守恒定律，通过控制流体的压力、流速等参数来实现对流量的控制。
在工业生产中，质量流量控制器的应用范围非常广泛，它对于保证生产过程的稳定性和产品质量起着至关重要的作用。
希望通过本文的介绍，读者能够对质量流量控制器有一个更加深入的了解。
质量流量计工作原理
今天我们就来介绍质量流量计工作原理.质量流量计工作原理：质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果。
质量流量计是一个较为准确、快速、可靠、高效、稳定、灵活的流量测量仪表，在石油加工、化工等领域将得到更加广泛的应用，相信将在推动流量测量上显示出巨大的潜力。
质量流量计是不能控制流量的，它只能检测液体或者气体的质量流量，通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值.但是，质量流量控制器，是可以检测同时又可以进行控制的仪表。
质量流量控制器本身除了测量部分，还带有一个电磁调节阀或者压电阀,这样质量流量控制本身构成一个闭环系统，用于控制流体的质量流量。
质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流，或者计算机、PLC提供。
质量流量计的工作原理和典型结构科氏力式质量流量计一般由传感器和信号处理系成，而流量传感器又是一种基于科里奥利力效应的谐振式传感器。
这种传感器的敏感元件——振动管，是处于谐振状态的空心金属管，又称测量管。
科氏力式质量流量传感器的测量管有各种不同的结构形式，按照传感器测量管的数量可将其分为单管型、双管型和连续管型三种结构。
单管型结构简单,不存在分流问题，管路清洗方便。
一般地说，它对外来振动比较敏感。
双管型结构容易实现相位差的测量，可以较好地克服外来振动的影响,并对提高振动系统的Q值有利.目前大多数产品均采用这种结构。
但这种结构同时带来的问题是两测量管中流过的流量不可能做到绝对相等，其中的沉积物和磨蚀也不可能绝对一致，从而引起附加误差.而且在两相流工作状态下,难以作到两测量管中流体分布的均匀一致，以致影响振动系统的稳定性。
随着单管型结构中测量管系统的振动不平衡问题的解决，单管型结构仍具有一定的发展前景。
连续管型是一种特殊形式的单管．它以环绕两圈的单管结构试图集单、双管型的优点于—身。
根据测量管的形状，又可分为直管型和弯管型两大类。
质量流量控制器原理及选型教程（1）
质量流量控制器原理及选型教程（1）1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter （缩写为MFM ）, 是⼀种精确测量⽓体流量的仪表，其测量值不因温度或压⼒的波动⽽失准，不需要温度压⼒补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller （缩写为MFC ）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能⾃动控制⽓体流量，即⽤户可根据需要进⾏流量设定，MFC ⾃动地将流量恒定在设定值上，即使系统压⼒有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是⼀个稳流装置, 是⼀个可以⼿动设定或与计算机联接⾃动控制的⽓体稳流装置。
2. 质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放⼤控制器等部分组成。
质量流量控制器的剖⾯结构图见图1。
⽓体流量传感器采⽤⽑细管传热温差量热法原理测量⽓体的质量流量(⽆需温度压⼒补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送⼊放⼤器放⼤, 放⼤后的流量检测电压与设定电压进⾏⽐较, 再将差值信号放⼤后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显⽰仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
⽓体质量流量控制器与流量显⽰仪连接后的⼯作原理如图2所⽰。
流量显⽰仪质量流量计分流器通道传感器⼊⼝I 调节阀驱动阀控-15V +15V 0V ~220V 电源流量显⽰100.0(0 ~ +5.00V)setout 放⼤器⽐较器COM 设定+5.00V内(0 ~ +5.00V)外+15V出⼝-15V清洗关闭0 电平流量检测设定质量流量控制器图1. 质量流量控制器结构图图2. 质量流量控制器原理图3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？⽓体质量流量单位⼀般以sccm （Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm （Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表⽰。
格里尔斯数字式质量流量控制器原理
格里尔斯数字式质量流量控制器原理格里尔斯数字式质量流量控制器（GFC）是一种先进的仪器，常用于液体和气体的流量控制。
该控制器基于质量流量原理，通过测量进入和流出系统的质量来实现精确的流量控制。
GFC的工作原理可以分为三个主要步骤：传感器测量、信号处理和控制反馈。
首先，通过装有传感器的仪器，GFC能够准确地测量流体的质量。
这些传感器可以是热敏电阻、压力传感器等，能够实时观测到流体的质量变化。
接下来，测量到的质量数据将经过信号处理，将质量数值转化为电信号。
这个过程需要将传感器的输出进行放大、滤波和线性化处理，以便后续的数据分析和控制。
最后，经过信号处理的数据将发送到控制反馈回路中。
控制反馈回路是整个系统中的关键部分，它根据设定的目标流量和测量到的实际流量之间的差异，来调整执行控制动作。
通过改变控制阀的开度，控制系统可以实现质量流量的精确调节。
格里尔斯数字式质量流量控制器具有许多优点。
首先，它能够提供非常高精度的流量控制，误差通常在1%以下。
其次，GFC对温度、压力、温度变化等外界条件的影响相对较小，能够在恶劣的工况条件下保持稳定的流量控制。
此外，由于采用数字化的控制技术，GFC可以实现智能化的自适应控制，能够根据系统的性质和要求进行实时调节。
使用格里尔斯数字式质量流量控制器需要注意一些关键因素。
首先，安装和校准仪器必须按照厂家提供的说明和标准进行，以确保测量和控制的准确性。
其次，在使用过程中，需要定期检查和维护仪器，以确保其可靠性和稳定性。
最后，为了获得最佳的性能和效果，选择适合流体性质和要求的型号和参数是非常重要的。
总之，格里尔斯数字式质量流量控制器是一种高精度、稳定性强的流量控制仪器。
它基于质量流量原理，通过传感器测量、信号处理和控制反馈实现精确的流量调节。
在各种工业和实验室应用中，GFC发挥着重要的作用，提供可靠的流量控制和数据采集服务。
为了获得最佳效果，使用前需要仔细阅读使用说明，并进行适当的校准和维护。
流量控制器的原理
流量控制器的原理
流量控制器是一种用于控制流量的机器或设备,通常被用于管道、工艺流程或管道系统等设施中。
其原理可以简单地概括为:根据流量
测量值和设定值,进行流量调节和控制,从而使流量保持在所需的范
围内。
流量控制器通常包括传感器、执行器、控制电路和软件等组成。
其中,传感器用于测量管道中的流体流量,执行器用于控制流体的流动,控制电路用于处理传感器的测量结果并将流量控制信号发送给执
行器,软件则用于实现流量控制器的算法和逻辑。
在实际应用中,流量控制器的调节方式包括手动调节、自动控制
和远程监测等。
手动调节通常通过人力操作,例如阀门开度调节或手
动调整补偿环等方式实现。
自动控制则是通过设定流量目标值,发送
控制信号到流量控制器,使其根据设定值进行流量调节。
远程监测则
是通过监控系统录像或远程传感器监测等方式,实时监测管道中流量
的变化,并在需要时进行流量调节。
流量控制器的原理主要基于传感器测量和执行器控制,通过对流
量的精确控制,以达到所需的工艺要求和系统运行效率。
质量流量计工作原理
质量流量计工作道理流体的体积是流体温度.压力和密度的函数.在工业临盆和科学研讨中,仅测量体积流量是不敷的,因为产品德量掌握.物料配比测定.成本核算以及临盆进程主动调节等很多运用处合的须要,还必须懂得流体的质量流量.质量流量计的测量办法,可分为间接测量和直接测量两类.间接式测量办法经由过程测量体积流量和流体密度经盘算得出质量流量,这种方法又称为推导式;直接式测量方轨则由检测元件直接检测出流体的质量流量.1．间接式质量流量计间接式质量流量测量办法,一般是采取体积流量计和密度计或两个不合类型的体积流量计组合,实现质量流量的测量.罕有的组合方法重要有3种.（1）撙节式流量计与密度计的组合由前述知,撙节式流量计的差压旌旗灯号P∆正比于2qρ,如图v1所示,密度计持续测量出流体的密度ρ,将两内心的输出旌旗灯号送入运算器进行须要运算处理,即可求出质量流量为（1-1）靶式流量计的输出旌旗灯号与2qρ也成正比关系,故同样可按上述v办法与密度计组合构成质量流量计.密度计可采取同位素.超声波或振动管式等持续测量密度的内心.图1 撙节式流量计与密度计组合（2）体积流量计与密度计的组合如图2所示,容积式流量计或速度式流量计,如涡轮流量计.电磁流量计等,测得的输出旌旗灯号与流体体积流量q成正比,这类v流量计与密度计组合,经由过程乘法运算,即可求出质量流量为（1-2）（3）体积流量计与体积流量计的组合如图3所示,这种质量流量检测装配平日由撙节式流量计和容积式流量计或速度式流量计构成,它们的输出旌旗灯号分离正比于和经由过程除法运算,即可求出质量流量为（1-3）图2体积流量计和密度计组合图3 撙节式流量计和其他体积流量计组合除上述几种组合式质量流量计外,在工业上还常采取温度.压力主动抵偿式质量流量计.因为流体密度是温度和压力的函数,而持续测量流体的温度和压力要比持续测量流体的密度轻易,是以,可以依据已知被测流体密度与温度和压力之间的关系,同时测量流体的体积流量以及温度和压力值,经由过程运算求得质量流量或主动换算成尺度状况下的体积流量.但这种测量方法不合适高压或温度变更规模大的情况,因为在此前提下主动抵偿检测出来的温度.压力很艰苦.2．直接式质量流量计直接式质量流量计的输出旌旗灯号直接反应质量流量,其测量不受流体的温度.压力.密度变更的影响.直接式质量流量计有很多种情势.（1）热式质量流量计热式质量流量计的基起源基本理是运用外部热源对管道内的被测流体加热,热能随流体一路流淌,经由过程测量因流体流淌而造成的热量（温度）变更来反应出流体的质量流量.如图4所示,在管道中装配一个加热器对流体加热,并在加热器前后的对称点上检测温度.设c为流体的定压比热,T∆为测得的p两点温度差,则依据传热纪律,对流体的加热功率P与两点间温差的关系可暗示为（1-4）由上式可写出质量流量的方程式（1-5）图4 热式质量流量计构造示意图当流体成分确准时,流体的定压比热为已知常数.是以由上式可知,若保持加热功率P恒定,则测出温差T∆即可求出质量流量;若采取恒定温差法,即保持两点温差T∆不变,则经由过程测量加热的功率P也可以求出质量流量.因为恒定温差法较为简略.易实现,所以现实运用较多.这种流量计多用于较大气体流量的测量.为防止测平和加热元件因与被测流体直接接触而被流体玷辱和腐化,可采取非接触式测量办法,即将加热器和测温元件装配在薄壁管外部,而流体由薄壁管内部经由过程.非接触式测量办法,实用于小口径管道的渺小流量测量.当用于大流量测量时,可采取分流的办法,即仅测量分流部分流量,再求得总流量,以扩展量程规模.图5为热式质量流量计的外不雅图.图5 热式质量流量计外不雅图（2）差压式质量流量计差压式质量流量计是以马格努斯效应为基本的流量计,现实运用中运用孔板和定量泵组合实现质量流量测量.罕有的有双孔板和四孔板与定量泵组合两种构造.双孔板构造情势如图6所示,在主管道上装配构造和尺寸完整雷同的两个孔板A 和B,在分流管道上装配两个流向相反.流量固定为q 的定量泵,差压计衔接在孔板A 进口和孔板B 出口处.设主管道体积流量为v q ,且知足v q q >,则由图可知,流经孔板A 的体积流量q q v -,流经孔板B 的流量为q q v +,依据差压式流量测量道理,孔板A 和B 处压差分离为（1-6）（1-7）式中,K 为常数;ρ为流体的密度.由上式可得（1-8）可见,孔板A.B 前后的压差31p p p -=∆与流体质量流量v m q q ρ=成正比,测出压差p ∆即可以求出流体质量流量.图6 双孔板差压式质量流量计构造道理图因为双孔板质量流量计的定量泵流量必须大于主管道流量,并且要用两个定量泵,在主管道流量较大时比较艰苦.是以,提出采取一个定量泵和四个孔板组合的改良计划.如图7所示,从主管道流入的流量v q 分成两路,并在歧路装配雷同的孔板A.C 和B.D,两个歧路间装配一个定量泵,流量为q .设流过孔板A 的体积流量为A q ,流过孔板B.C.D 的体积流量如图7中所示.用与上述盘算雷同的办法,在v q q >时,可求出如下关系（1-9）假如v q q <,则变成如下关系（1-10）可见,四孔板与定量泵组合构造不管v q q >或v q q <均可测量.这种测量办法,适于测量液体的质量流量,测量规模为0.5～250 kg/％.图7 四孔板差压式质量流量计构造道理图（3）科里奥利质量流量计科里奥利质量流量计（简称科氏力流量计）是一种运用流体在振动管中流淌而产生与质量流量成正比的科里奥利力的道理来直接测量质量流量的内心.科氏力流量计构造有多种情势,一般由振动管与转换器构成.振动管（测量管道）是迟钝器件,有U 形.Ω形.环形.直管形及螺旋形等几种外形,也有效双管等方法,但基起源基本理雷同.下面以U 形管式的质量流量计为例介绍.图8 科氏力流量计测量道理图8所示为U 形管式科氏力流量计的测量道理示意图.U 形管的两个启齿端固定,流体由此流入和流出.U 形管顶端装有电磁激振装配,用于驱动U 形管,使其铅垂直于U 形管地点平面的偏向以O-O 为轴按固有频率振动.U 形管的振动迫使管中流体在沿管道流淌的同时又随管道作垂直活动,此时流体将受到科氏力的感化,同时流体以反感化力感化于U 形管.因为流体在U 形管两侧的流淌偏向相反,所以感化于U 形管两侧的科氏力大小相等偏向相反,从而使U 形管受到一个力矩的感化,管端绕R —R 轴扭转而产生扭改变形,该变形量的大小与经由过程流量计的质量流量具有肯定的关系.是以,测得这个变形量,即可测得管内流体的质量流量.设U 形管内流体流速为u ,U 形管的振动可视为绕O-O 为轴的瞬时迁移转变,迁移转变角速度为ω若流体质量为m ,则其上所感化的科氏力为2F m u ω=⨯ （1-11）式中,F .ω.u 均为矢量,ω是按正弦纪律变更的.U 形管所受扭力矩为112224M Fr F r Fr m ur ω=+== （1-12） 式中12F F F F ===,12r r r ==为U 形管跨度半径.因为质量流量和流速可分离写为：/m q m t =,/u L t =,式中t 为时光,则上式可写为4m M rLq ω= （1-13）设U 型管的扭转弹性模量为s K ,在扭力矩M 感化下,U 型管产生的扭转角为θ.故有（1-14）是以,由上两式得4s m K q rL θω= （1-15）U 型管在振动进程中,θ角是不竭变更的,并在管端超出振动中间地位Z-Z 时达到最大.若流量稳固,则此最大θ角是不变的.因为θ角的消失,两直管端1P .2P 将不克不及同时超出中间地位Z-Z,而消失时光差t ∆.因为θ角很小,设管端在振动中间地位时的振动速度为p u ,（p u L ω=）,则2sin 2p r r t u L θθω∆== （1-16）从而（1-17）将上式代入式（1-15）,得（1-18）对于肯定的流量计,式中的s K 和r 是已知的,故质量流量m q 与时光差t ∆成正比.如图8所示,只要在振动中间地位Z-Z 处装配两个光电或磁电位移传感器,测出时光差t ∆,即可由式（1-18）求得质量流量.科氏力流量计能直接测得气体.液体和浆液的质量流量,也可以用于多相流测量,且不受被测介质物理参数的影响.测量精度较高,量程比可达l00：1.图9为科里奥利质量流量计的外不雅图.图9 科里奥利质量流量计外不雅图。
质量流量控制器原理
质量流量控制器原理质量流量控制器是一种用于控制流体流量的装置，它在工业生产中起着非常重要的作用。
它可以根据需要调整流体的流量，保证生产过程中的安全稳定。
那么，质量流量控制器的原理是什么呢？首先，质量流量控制器的原理基于流体力学和控制理论。
它通过控制流体的流速和流量来实现对流体的精准控制。
一般来说，质量流量控制器包括流量传感器、控制阀和控制系统三个部分。
流量传感器是质量流量控制器的核心部件之一，它通过检测流体的流速和流量来获取实时的流体信息。
流量传感器通常采用电磁式、超声波式或者压力式等原理来测量流体的流量，然后将这些信息传输给控制系统。
控制阀是质量流量控制器的执行部件，它根据流量传感器获取的信息，通过控制流体的流动来实现对流量的调节。
控制阀的开合程度可以根据需要进行调整，从而控制流体的流速和流量。
控制系统是质量流量控制器的大脑，它接收来自流量传感器的实时信息，并根据预设的控制策略来调节控制阀的开合程度，从而实现对流体流量的精准控制。
控制系统通常采用PID控制、模糊控制或者神经网络控制等算法来实现对流量的闭环控制。
总的来说，质量流量控制器的原理就是通过流量传感器获取实时的流体信息，然后通过控制阀和控制系统对流体的流速和流量进行调节，从而实现对流量的精准控制。
质量流量控制器在化工、石油、冶金、电力等领域有着广泛的应用，它可以保证生产过程中的安全稳定，提高生产效率，降低能耗，减少生产成本。
总之，质量流量控制器的原理是基于流体力学和控制理论，通过流量传感器、控制阀和控制系统实现对流体流量的精准控制，为工业生产提供了重要的保障。
希望通过本文的介绍，读者能对质量流量控制器的原理有一个更加清晰的了解。
热式质量流量控制器原理
热式质量流量控制器原理小伙伴们！今天咱们来唠唠热式质量流量控制器的原理，这听起来是不是有点高大上？但其实呀，没那么神秘啦。
咱先得知道啥是流量。
你想啊，就像水在水管里流，有快有慢，这个流动的快慢和多少就是流量的概念。
那质量流量呢，就是在单位时间里流过的物质的质量。
比如说，你在一分钟里能喝多少克的水，这就是水的质量流量啦。
热式质量流量控制器啊，它主要是利用热的传递来测量流量的。
想象一下，你在冬天的时候，手里拿着个暖宝宝，暖宝宝的热量会传到你的手上。
在这个流量控制器里呢，也有类似的热传递过程。
这里面有个很关键的东西叫热传感器。
这个热传感器就像是一个小小的热量侦探。
它有两个部分，一个是加热的部分，一个是测量温度的部分。
就好比一个小火炉和一个温度计。
当有气体或者液体流过的时候呢，这个流过的物质就会把热量带走。
就像一阵风吹过，会把小火炉的热量吹走一些一样。
如果流量大呢，带走的热量就多。
你可以把流量想象成一群调皮的小怪兽，流量大的时候，小怪兽的数量就多，它们跑过去的时候就会把更多的热量抢走。
那热传感器测量温度的那部分就会发现温度下降得比较快。
相反，如果流量小，小怪兽数量少，带走的热量就少，温度下降得就慢。
这个热式质量流量控制器还有一个很聪明的地方，就是它能根据这个温度的变化来算出流量到底是多少。
它里面有个小脑袋，也就是控制电路啦。
这个控制电路就像是一个数学小天才，它知道温度变化和流量之间的关系。
根据热传感器传来的温度信号，它就能算出质量流量是多少。
比如说，这个控制电路知道，温度下降了多少度，就对应着多少质量的物质流过。
就像你知道吃了几个饺子就会饱一样。
而且啊，这个热式质量流量控制器还能控制流量呢。
如果流量太大或者太小，它就会像一个小管家一样，调整一些参数，让流量达到我们想要的数值。
再来说说它在不同环境下的表现。
在一些比较干净的气体环境里，它的测量就比较准确。
但是如果气体里有很多杂质，就像一群捣乱的小坏蛋，可能会影响热量的传递，让测量不那么准确了。
质量流量控制器原理及介绍
质量流量控制器的工作原理特征介绍质量流量控制器可以用于控制各种清洁干燥气体，包括腐蚀性气体和特殊气体，但对于使用腐蚀性气体和特殊气体，需要恰当选择型号和密封材料。
用户在订货时，需要向供货厂商特殊说明使用气体，以免因为选型或选择密封材料错误，造成严重损失。
通常质量流量控制器接触工作气体的材质为316L不锈钢、密封材质分为金属焊接，聚四氟乙烯和普通氟橡胶。
质量流量控制器采用金属焊接密封的MFC原则上可以用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特种气体。
对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属焊接密封的MFC。
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。
质量流量控制器传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
质量流量控制器是一种无须温度、压力补偿就能方便而且准确地监测在管道中流动的各种气体、热式气体质量流量计是一种新型流量计量、监控仪表。
质量流量控制器采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。
其典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD)，一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。
当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。
流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。
气体流速增加，介质带走的热量增多。
使传感器温度随之降低。
为了保持温度的恒定，则必须增加通过质量流量控制器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。
质量流量计工作原理
质量流量计工作原理流体的体积是流体温度、压力和密度的函数。
在工业生产和科学研究中，仅测量体积流量是不够的，由于产品质量控制、物料配比测定、成本核算以及生产过程自动调节等许多应用场合的需要，还必须了解流体的质量流量。
质量流量计的测量方法，可分为间接测量和直接测量两类。
间接式测量方法通过测量体积流量和流体密度经计算得出质量流量，这种方式又称为推导式；直接式测量方法则由检测元件直接检测出流体的质量流量。
1．间接式质量流量计间接式质量流量测量方法，一般是采用体积流量计和密度计或两个不同类型的体积流量计组合，实现质量流量的测量。
常见的组合方式主要有3种。
（1）节流式流量计与密度计的组合由前述知，节流式流量计的差压信号Pqρ，如图1所示，密度计∆正比于2v连续测量出流体的密度ρ，将两仪表的输出信号送入运算器进行必要运算处理，即可求出质量流量为（1-1）靶式流量计的输出信号与2qρ也成正比关系，故同样可按上述方法与密度计组合v构成质量流量计。
密度计可采用同位素、超声波或振动管式等连续测量密度的仪表。
图1 节流式流量计与密度计组合（2）体积流量计与密度计的组合如图2所示，容积式流量计或速度式流量计，如涡轮流量计、电磁流量计等，测得的输出信号与流体体积流量q成正比，这类流量计与密度计组合，通过乘v法运算，即可求出质量流量为（1-2）（3）体积流量计与体积流量计的组合如图3所示，这种质量流量检测装置通常由节流式流量计和容积式流量计或速度式流量计组成，它们的输出信号分别正比于和通过除法运算，即可求出质量流量为（1-3）图2体积流量计和密度计组合图3 节流式流量计和其他体积流量计组合除上述几种组合式质量流量计外，在工业上还常采用温度、压力自动补偿式质量流量计。
由于流体密度是温度和压力的函数，而连续测量流体的温度和压力要比连续测量流体的密度容易，因此，可以根据已知被测流体密度与温度和压力之间的关系，同时测量流体的体积流量以及温度和压力值，通过运算求得质量流量或自动换算成标准状态下的体积流量。
恒差压质量流量控制器设备工艺原理
恒差压质量流量控制器设备工艺原理恒差压质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）是一种广泛应用于半导体、光电、化工、制药等领域的仪器，主要用于气体流量的控制。
本文将介绍MFC的工艺原理及其相关特点。
一、恒差压原理恒差压原理是MFC的核心工艺原理。
在恒差压质量流量控制器中，气体进入仪器后，经过一个恒定宽度的小孔流经MFC内部独特的节流结构，此时对气体进行精确的流量计量和控制。
具体地，恒差压质量流量控制器采用差压传感器，以常数压差计算流量并通过反馈控制调整流量，从而实现高精度的气体流量控制。
二、恒差压质量流量控制器的优点1.具有高精度的流量控制能力，精度可达到0.5%FS。
2.所有的MFC均经过严格的校准，确保其在整个设备寿命内维持高度精确的流量控制。
3.具有良好的稳定性和可靠性，可广泛应用于各种领域的工业流程控制。
4.MFC 与其他流量测量设备相比，其结构简单，组装容易，维护成本较低。
三、恒差压质量流量控制器的分类根据使用场景和具体应用需要，MFC可分为单气体型、混合气体型两种。
3.1 单气体型MFC单气体型MFC经校准后，可用于控制各种单一气体的流量。
根据不同的使用场景和需要，可选择各种不同的单气体型MFC，包括但不限于：氢气、氮气、氧气、氩气、乙炔、乙烯等。
3.2 混合气体型MFC混合气体型MFC在单气体型MFC的基础上，增加了多个气体的混合调节功能。
经过调节后，可实现各种不同流量比例的混合气体输出，用于各种多气体的精确流量控制。
四、结论恒差压质量流量控制器是一种高度精确，稳定，可靠的气体流量控制设备。
其具有高精度，易维护，结构简单的特点，已广泛应用于半导体、光电、制药等领域。
此外，根据不同应用场合，MFC可分为单气体型和混合气体型两种，为各行各业的流量控制需求提供了多种选择。
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1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter （缩写为MFM ）, 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller （缩写为MFC ）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
2. 质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。
质量流量控制器的剖面结构图见图1。
气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图2所示。
流量显示仪质量流量计分流器通道传感器入口I 调节阀驱动阀控-15V +15V 0V ~220V 电源流量显示100.0(0 ~ +5.00V)setout 放大器比较器COM 设定+5.00V内(0 ~ +5.00V)外+15V出口-15V清洗关闭0 电 平流量检测设 定质量流量 控制器图1. 质量流量控制器结构图 图2. 质量流量控制器原理图3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以sccm （Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm （Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。
这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。
标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。
这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm ﹑slm 不同于mL/min ﹑L/min 之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min ）,这个要求是很容易实现的。
因为标准状态下传感器 分流器通道 放大控制电路流量调节阀的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。
所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）, 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI国际标准。
有关标准的详细情况见:“SEMI E12-96”, 标准文件的局部如图3所示。
图3.有关质量流量单位的标准4.什么情况下用质量流量计, 什么情况下用质量流量控制器?一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。
某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。
注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。
5.质量流量计/ 质量流量控制器的主要优点是什么？(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/ 质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
(2) 测量控制的自动化质量流量计/ 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。
通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3) 精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4) 适用范围宽有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，最大流量范围可达0～200 slm。
流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。
6.质量流量计的缺点是什么? 使用质量流量控制器最害怕什么?相对廉价的转子流量计来说, 质量流量计的主要缺点就是价格比较昂贵。
使用质量流量控制器有四怕:第一怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;第二怕液体和油污进入MFC,会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;第三怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;第四怕在使用强腐蚀性、易燃易爆、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。
正确使用, 安全操作, 对每个用户都是最重要的。
7.质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。
MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于最低值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于最高值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。
用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
8.质量流量控制器在高压条件下如何使用?质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 第一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 第二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 第三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围(见图4的高压工作示意图)。
只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
图4. MFC高压工作管路示意图9.使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源(如用丙酮等), 气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。
这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。
通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。
为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。
如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。
10.质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。
用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。
采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD 使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。
如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。
其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。
氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡胶; 三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等——需要采用全氟橡胶。
11.选择产品和订货时应当注意什么？这一点关系到用户的切身利益，涉及的问题也比较多，因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。
(1) 注意选择正确的品牌一般应当全面衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的量程A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量（质量流量）。
B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表，将您所用气体的质量流量值换算成与氮气（标定气体）等价的质量流量值。
如果您希望按您实际使用的气体标定，请向厂家说明。
有关质量流量转换系数的问题，以下还有进一步解答。
C. 确定所需标准量程。
厂家一般有自己的各种规格的标准量程，您实际使用的流量最大值应接低于某个标准量程值。
标准量程的选取要避免过大或过小。
质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的，如果实际流量较小而量程值选取过大，则测量值的相对误差较大。
(3) 注意选择正确的工作压力指标不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。
质量流量控制器（MFC）除最大工作压力之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。
(4) 注意选择合适的精度指标准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标，其中重复精度在很多应用场合尤为重要。
指标不一定追求最高，应考虑自己的实际需要。
如果对厂家给出的指标不放心，有条件的用户也可以自己标定一下。