油扩散泵的维修2005 3

收稿日期:2002202212

3选自骆定祚著,翟瞻莱主审的《实用真空技术》

(长沙:湖南科学技术出版社,1980年)第五章。真空杂志社应读者要求,邀请原作者骆定祚先生重新修订,翟瞻莱先生审查后重新发表。作者简介:骆定祚(19362),男,江苏省扬州市人,高工。1960年毕业于南京工学院无线电工程系电真空专业(现名东南大学电子工程

系),分配到774厂工作。曾被派参加筹建775厂,不久又去筹建770厂(曙光电子管厂)并在770厂工作多年后,受聘于香港华盛昌机械企业有限公司,到深圳筹建亨达莱真空公司。曾任深圳金光真空电镀厂厂长、总工,深圳高特真空镀膜公司总工程师,深视达实业有限公司总顾问,中国真空学会真空电子器件应用专业委员会副主任,中国真空学会深圳市真空学会副理事长。

主 审:翟瞻莱(19292),男,广西柳州市人,教授级高工,1953年毕业于北京大学物理系,曾在774厂、772厂、770厂工作,曾

任770厂(曙光电子管厂)副总工程师、总工程师、中国真空学会理事。

油扩散泵的维修

骆定祚

(深圳市深视达实业有限公司,广东　深圳　518001)

摘　要:本文为《实用真空技术》一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值。关键词:扩散泵;维修

中图分类号:TH 3;TB 752 文献标识码:B 文章编号:100220322(2005)0320059203

M a i n tenance of o il vapour d iffusion vacuu m pu m p

LUO D ing 2zuo

(T op S olu tions Ind ustria l Co .L td .,S henz hen 518001,Ch ina )

Abstract :In th is article ,w h ich is one of kernel chap ters in the book “P racticalV acuum T echno logy ”and available to readers

fo r reference ,summ ing up p ractical experiences of w o rkers and com bining theo ry w ith p ractice ,autho r has m ade m enti on of m aintenance technique of vacuum pump comp rehensively ,system atically and earnestly .

Key words :vacuum p um p ;m ain tenance (上接2005年第2期第61页)

2.6.7.2　绘制被试泵进口压强与抽气速率关系特

性曲线图(参图37)。

图37a 是试验用真空系统示意图,在测定前级耐压和油锅压强时,保持泵进口压强在1×1023托,从前级管道经针阀(8)放入适量大气,通过充油的U

形管(7)、

(6)的液面差即得读数。抽速测定方法是:在5×1026托以下压强时用双规压差法;在5×1026托以上用定压法测定;在1×1023托以上压强则直接用热偶规读数。极限真空度的测试方法并不特殊:将泵抽至极限压强读数即得。注意这时应除去针阀。系统排气时应记取排气曲线逐点值画出曲线(图37b ),最后画出抽速与压强关系曲线(图37c )。在使用电离计读数时,冷阱中应加入冷凝剂。这就是用以研究图4所示的泵设计效果的方法,显然,从生产使用的角度看也就足够了。

3　真空系统的鉴定和清洗

真空系统中,损坏了的零部件如果修配完毕,或

者根据生产要求自行改进、设计的真空系统所需之零部件已准备就序,那么下一步应对这些零部件进行鉴定和清洗,只有事先做好了这些准备工作,后面系统安装和调试才会顺利。3.1　真空元件的鉴定

鉴定内容包括对于所使用的真空泵应检查其特性,主要是极限真空度和抽气速率能否满足要求。对一些主要零部件必须进行密封性能的鉴定;对玻璃零件是用机械泵抽空,用火花检漏器检漏;对金属零件通常是打气试漏,即在零件内打入压缩空气,放入水中或肥皂水中仔细观察因漏气所发生的连续气泡。用其他方便的检漏方法均可。真空元件的漏孔往往在焊缝处,需特加注意。密封性能要求高的地方,应用氦质谱检漏仪检漏。近来也有采用更方便直观的荧光检漏法找出漏隙的。3.2　清洁处理

为了使系统内不存在任何一点易于大量放气的物质以及除去蒸气压较高的物质,必须进行彻底的

第42卷第3期2005年5月 真　空 VACUU M

Vol .42,No .3

M ay .2005

清洁处理。不同的真空元件和不同的材料有其特殊的清洗方法,常用的真空元件清洗方法如下。3.2.1　机械泵的清洗

对无明显故障的机械泵的清洗,一般不拆开泵,只需从放油孔排出旧油及脏物,用漏斗从进气口注入新真空泵油(作洗涤用),用手慢慢的旋转泵轮几圈后,再把此油放出。用同样的方法重复一、二次,就可灌新油正式使用。对新机械泵不必清洗,

但需要检查管道入口处是否清洁,有无异物,并擦去表面油灰。

1.泵体

2.流量管

3.D G 21规

4.热偶规

5.液氮冷阱

6.油

锅压强观测管　7.充油U 形管　8.针阀　9.2X 23型机械泵　

10.泵棉罩

a .试验用真空系统示意图

b .系统排气曲线

c .抽速与压强关系曲线

图37　对玻璃油扩散增压泵性能试验方法及结果

3.2.2　金属扩散泵的清洗

根据实际经验总结,可按下述步骤进行:

①将泵内的喷口及引管小心地取出,并拆开,用干净的棉纱或废纸将泵内部及各级喷口与引管上的油脂擦掉;

②用浓度为50～100克 升的苛性钠溶液,并加热到60～70℃,进行浸洗,或者直接用有机溶剂如四氯化碳,三氯化乙烯、丙酮等进行浸洗;

③用热水冲洗;

④用冷水多次冲洗;

⑤将零部件用热风吹干或在烘箱中烘干。3.2.3　对玻璃扩散泵、玻璃管及玻璃活栓的清洗

①用冷水充分冲洗,必要时用药棉擦试;

②若玻璃表面有油脂时,用较浓的苛性钠溶液清洗;

③用重铬酸钾溶液(又称洗液)清洗,其配方如下:

重铬酸钾饱和水溶液　20～30毫升 浓硫酸(94%)　500毫升

配制方法是,将重铬酸钾加入蒸馏水内,直到结晶不再溶化,即得到饱和溶液,量出所需的数量,然后将浓硫酸缓慢加入并不断的搅动,即配成洗液。使用时温度最好在100～110℃,此时溶液是透明红色,用过多次失效后,溶液变成绿色或泞污;

④冷水冲洗,再用蒸馏水洗,玻璃上应没有肉眼可见的水珠;

⑤用吹风机吹干或放于烘箱内烘干。3.2.4　真空橡胶管(或橡皮块)的清洗

①在15%～20%苛性钠溶液中热煮(70℃～80℃)1小时以上。

②冷水漂净;③在水中煮沸;④吹干或烘干。

3.2.5　玻璃活栓在使用下清洗

玻璃活栓在使用一段时间后,常后产生漏气,转动困难,此时可用药棉花醮点汽油、三氯化乙烯或四氯化碳擦洗,除去油脂。待溶剂完全挥发后,再涂以适当型号的真空脂密封。3.2.6　金属零件的清洗

一般小型金属零件,用有机溶剂去除油污,然后烘干。对金属零件及材料若有特殊的清洁要求,则此时的清洗方法,可按具体要求办理,总的原则是尽量减少气源和污染源。

4　真空系统的安装与调试

4.1　安装

上述准备工作完成后,选好系统安装所必要的真空卫生环境,即可进行安装。此时应特别注意:对于用有机溶剂进行清洗过的玻璃容器或扩散泵,必须把这种溶剂弄干净,去除其蒸气后,才能用火焰加热熔接,否则容易引起爆炸,造成伤人和损坏事故。另外,对于零部件固定机架应设计合理,制做牢固,并要仔细考虑如何合理地进行结构布局,做到各元件间的合理配合,以便系统的加工及操作方便。下列几点在安装时应特别注意:

①各元件间的连接导管尽量粗短;

②机械泵在应用过程中振动较大,最好不要固

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