柔性铰链位移放大机构设计
柔性铰链位移放大机构设计
柔性铰链位移放大机构1 机构简介柔性机构是一类利用材料的弹性变形传递或转换运动、力或能量的新型机构实施运动时如果通过某种特殊的柔性单元——柔性铰链来实现,则通常称为柔性铰链机构,这类机构通常应用在精密工程场合,因此又称为柔性精微机构。
在仿生机械及机器人等领域,柔性机构也发挥着越来越重要的作用,该类机构通常又被称为柔性仿生机构,下文都简称为柔性机构。
较之于传统的刚性机构,柔性机构具有许多优点:⑴整体化设计和加工,可简化结构、减小体积和质量、免于装配;⑵无间隙和摩擦,可实现高精度运动;⑶免于磨损,提高寿命;⑷免于润滑,避免污染;⑸增大结构刚度。
柔性铰链是近年来发展起来的一种新型机械传动和支撑机构,利用其结构薄弱部分的弹性变形实现类似普通铰链的运动传递,具有无摩擦、无间隙、运动灵敏度高的特点,在微型机械中,柔性铰链常作为位移放大器,可将位移放大到数百微米,极大地拓展了微位移驱动器的应用范围和应用领域。
伴随着微纳米技术所引发的制造、信息、材料生物和医疗等众多领域的革命性变化,使得柔性机构在微电子、光电子的微制造和微操作、微机电系统和生物医学工程等纳米定位中得到了广泛的应用。
在精微领域,柔性机构可以设计作为传动装置执行器和传感器等,不过,距离实际应用还面临若干理论与技术层面上的挑战,相对刚性机构而言,柔性机构的系统研究不过才刚刚走完20年的历程,很多理论及方法还不完善。
2 机构的结构特征本次设计超磁致伸缩致动器中采用的最大设计输出位移为45μm,最小输出力为500N;柔性铰链放大机构的设计输出负载大于80 N,输出位移大于300μm。
因此放大机构放大倍数必须大于6.67,所以选用的是一种两级对称式柔性铰链位移放大机构,图1为该放大机构,各铰链节点为单轴圆弧型结构,依靠节点微转动变形实现运动的传递或位移的放大。
整个机构为对称式结构,有较高的整体刚性,输入位移可通过左右两条运放链向输出点进行传递,理论上可完全消除机构的侧向附加位移,有效地减小了自身的纵向耦合位移误差。
一种层叠式柔性放大机构的设计与分析
o
= I
J 亩 ‘ c ‘k ,0
经过计算得 , 输入输 出特征方程为 :
上
2 A 3 , 2 C, 3 一 C C A + 1
』
~I 1 2
s( + z 一 亩 亩z 一 n 亩 ) ( = } 亩 }
(亩+ 亩 设 l _2l A . 岳, 酉, 1= c C 2 =, = :
取 A , : :1 则
安臻 盟
肛 旨 c 2 2 : 2
其 ,} 中 =
×
对于铰链的旋转刚度 , 设铰链的最小铰链厚度为 t , 宽度为 b , 半径为 r , 其参数图如图 5 所示 。 其旋转刚度为 := Et 1 r 。 K 2 b 9 R  ̄
No 1 .2
l 2
机 械 设 计 与 制 造
De .01 c2 1
将上述有限元模型的结果分布图进行分析 , 并带入 S = S oa + 计算后得结果 , 如表1 所示。
4层叠式柔性机构存在 问题和解决方 案
在上述的分析 中,我们将各层之间的连接关系简化 为同一
个平面上的相互作用 。实际上 , 各层之 间的耦合分别作用于不同 的深度上 。 由此将引起一些 问题 , 在实际应用上应予 以重视 。 由于 层叠式柔性机构是将单层的叠加而成 , 以采用三维模型进行分 所 图5柔性铰链参数图 由前面公式可知 , 该结构 的理论放大倍数可以达到三倍 对
由于 M = O, cK c即 , 将 带入式() : 2 得
( A3=332 c+(—— cG 3 一a_a+A) 62AA) +
3 + C-A 2 3 32 C
一
( 2 )
() 3
1 【 3+ A )26 3 3 A 2 ‘C+ C —
基于柔性铰链的桥式微位移机构特性探析
基于柔性铰链的桥式微位移机构特性探析ﻭﻭ全柔性机构是一种新型机构,通过采用免安装、无间隙和无摩擦的设计方式可实现微米级甚至纳米级的高精度。
为了达到精密运到的目的,全柔性机构多采用高精度的微位移驱动器。
压电陶瓷驱动器是近年来应用越来越新型微位移器件,它具有体积小、出力大、分辨率和频响高的优点,且不发热、无噪声.然而压电陶瓷驱动器的输出位移仅限制在在几微米到几十微米范围,因此全柔性机构通常要采用微位移放大机构来实现对压电陶瓷输出位移的放。
目前,常用的微位移放大机构主要有杠杆原理放大机构和桥式放大机构.ﻭ基于杠杆原理的微位移放大机构结构简单、刚性好、功效比高,理论上可以实现输入输出的线性关系,但是其一级放大倍数是有限的,复合式杠杆放大机构体积较大、放失真严重。
ﻭ而根据放大原理设计的桥式放大机构具有结构紧凑、易于加工以及具有较高的放大倍数等特点,近些年来得到了关注。
ﻭJunHyung Kim等人采用矩阵法建立了柔性链的刚度矩阵并对桥式放大机构进行了优化设计;马洪文等人采用弹性梁理论分析了微位移桥式放大机构的放等特性。
N. Lobont iu等人基于应变能原理与卡氏第二定理推导了桥式放大机构的位移和刚度计算公式。
张兆成等人采用了伪刚体模型和卡氏第二定理研究了桥式柔性链的刚度和应力模型。
本文采用解析法建立了桥式放大机构的变形公式,在所建模型的基础上,进一步分析了桥式放大机构的刚度、放等特性,采用ANSYS软件进行仿真,并设计了相关的验证实验。
1 桥式放大机构数学模型柔性桥式微位移放大机构是在一块金属材料上采用线切割技术整体加工而成。
为了保证良好的导向性能,桥式微位移放大机构通常设计成全对称结构,并要求其在运动方向上具有良好的灵敏度,同时在整体上还应具备一定的刚度。
桥式微位移放大机构采用全对称设计,其由4个柔性支链组成,因此对桥式微位移放大机构特性的分析可以简化为对其柔性支链的特性分析,柔性支链的数学模型。
ﻭ为便于分析,作如下假设:ﻭ1)除柔性链外,柔性机构的其他部分均为刚体;ﻭ2)材料为均匀的各向材料;3)柔性桥式微位移放大机构是全对称的;4)柔性链的变形是线弹性的,且弹性变形相对较小。
基于柔性铰链微位移放大机构的设计和分析
(h n h i Saga Maie E up n eerh Istt,h n h i 0 0 , C ia r q imetR sac ntue S a g a n i 2 0 3 1 hn )
Abtat B cue o els v v oejun yo i — t e l tct ed bc jt ie ev vl , dslcm n snr s s c: eas ft es a ecr ore ft r s g e cr i fe — a k e r h l hd a ei y pp sro a e i ae e t eo i v p
Ke W o d : ti — tg e c c y e d b c ;jt i s r v le l xbe ig s y r s hr s e l t i fe — a k e d a er t i pp ev av ;f i hn e ;mi o i lc me t e o e l c ds a e n manfig r p g i n me h ns ; y ca i m
f i e e n a ay i i t l me t n l ss ne
Hv a lc e m ai s& S a sNO 12011 dr u is Pn u tc e l/ . .
基 于 柔性 铰 链 微 ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ 移 放 大 机 构 的 设计 和 分 析
王思 民 云 霞 陈军 政
20 3 ) 0 0 1 ( 国船舶 重工 集 团公 司上 海船 舶设 备研 究所 , 海 中 上
中 图分 类 号 : H1 75 T 3. 文 献 标 识 码 : A 文 章 编 号 :0 8 0 1 (0 10 — 0 7 0 10 — 83 2 1 )1 0 1— 4
基于柔性铰链的微位移放大机构设计
刚度是决定柔性铰链性能的重要参数。对于含有较 多柔性接头的机构和复合柔性铰链来说,理论估计有一 定的局限性。对于设计此类柔性铰链,有限元分析方法 是一种有效的设计方法。在本节,通过研究最常用的柔 性铰链——直圆型柔性铰链,并利用其成熟的理论公式 来验证有限元模型。
图 1 直圆型柔性铰链的结构图 Fig.1 Structure diagram of right circular flexure hinge
Table 1 Results of theoretical analyses and FEA
R(mm)
kx (N/m)×108 Analytic FEA Error%
kαz (Nm/rad) Analytic FEA Error%
2.0
2.59 2.36 8.92
10.05 9.71 3.41
2.5
2.1 理论推导
如图 1 所示的直圆型柔性铰链,其设计公式最先由
Paros 和 Weisbord[6]推导出来并讨论了在柔性铰链三个坐
标轴方向施加载荷所引起的转角和线性位移。吴鹰飞和
周海英[13]从基本材料力学出发推导了一组设计公式,其
结果在数值上与 Paros 公式相同。选择后者作为理论计算
的依据。
1引 言
作为精密机械与精密仪器的关键技术之一,微位移 技术随着微电子、宇航和生物工程等学科的发展而迅速 发展起来。柔性铰链以其无空回和无机械摩擦、运动平 滑以及分辨率高等优点广泛的应用在科研以及工业装置 中。这些装置包括微位移平台[1]、超精密机械加工[2]、微 夹持器[3]、加速度计[4]、陀螺仪、扫描隧道显微镜[5]、运 动导轨、导弹控制装置、高精度照相机、天线和阀等。
Kα z
基于柔性铰链的微位移机构的设计与分析
黄志威 梅 杰 明廷 鑫 胡吉 全 陈定 方
武 汉理 工大 学物 流工程 学院
摘
武汉 4 3 0 0 6 3
要 :针 对传 统 机 械 式 微 位 移 机 构 无 法 实 现 高 精 度 定 位 的 问 题 ,采 用 半 圆 型 柔 性 铰 链 设 计 了 一 种 反 对 称
wh i c h c a n a mp l i f y t h e i np u t l i n e a r d i s p l a c e me nt a n d t r a ns f o r m i t i n t o a ng ul a r d i s p l a c e me n t f o r o ut pu t .Th e p a p e r a n a l y z e s i t s a n g u l a r s t i f f ne s s, s t r uc t u r e t y pe, s t uc r t u r a l p a r a me t e r s, a n d o u t p ut c h a r a c t e r i s t i c s o f s t a t i c d i s p l a c e me n t . Th e s o f t wa r e An —
性铰 链与 传统 铰链 相 比,具有 无 间隙、无 摩擦 、
运动 灵敏 度 高 等优 点 。但 传 统 铰 链 允 许 较 大 的相 对转 动 ,而 柔 性 铰 链 只允 许 很 小 的相 对 转 动 。在 精密 工程 中 ,基 于 柔 性 铰 链 的柔 性 放 大 机 构 作 为 微位 移放 大器 ,可 将 压 电 陶瓷 驱 动 器 的 输 出位 移 放大 到几 十甚 至几 百 微 米 ,以实 现较 大 行 程 范 围 内的精密 位移 驱动 。 柔性 放大 机构 有 多种 放 大原 理 ,如桥 式 原 理 、
基于柔性铰链的柔性放大机构参数化设计
大机 构 _ 3 ] 、 差 动 杠 杆放 大机 构 ] 、 三 角 放 大 机 构 ]
和桥 式放 大机 构 等 。杠 杆放 大机 构原 理 简单 , 易
理设计 的桥 式放 大 机 构具 有 结 构 紧凑 、 分 析 简 单 和 位移放 大增 益 较大 等优 点 。 因此 , 桥 式 放 大 机 构 近 几 年得 到 了广泛 研究 与应 用 。 结 构柔 度直 接影 响到 柔性微 位 移放 大机 构 的整 体 性能 , 很 多学者 采 用 不 同 的建 模 方 法 对 柔 性 机构 的结构 柔度 与放 大 性 能 进 行 了 研究 l _ 1 ¨ ] , 但 基 本都
设计 , 最终输 出位移行程与有限元仿真设计 的结果误差率 为 3 . 8 o 。基 于柔性铰链 的结构参 数 £ 和柔度 比 A对柔
性 放 大 机 构 进行 参 数 化设 计 是 可 行 且 正 确 的 , 有 利 于这 一 类 柔 性 放 大 机构 的优 化设 计 。
关键词 柔性铰链 ; 柔 性 放 大 机 构 ;结构 参 数 ; 柔 度 比 ;参 数 化设 计
出 了一 个 通 用 的 结 构 参 数 e , 探讨 了£ 对 不 同 柔性 铰链 柔 度 系 数 的 影 响 规 律 , 并 横 向 比较 了 常 用 柔 性 铰链 的柔 度 特
性 。另一方面 , 基 于 柔 度 特 性 的影 响分 析 , 提 出 了 新 的 参 数 柔 度 比 , 重 点 分 析 了不 同 柔 度 比 的 柔 性 铰 链 主 要 输 出 位移 形 式 的 灵 敏 度 。 以实 际 的桥 式 柔 性 微 位 移 放 大机 构 为 例 , 利 用参数 e 和 实 现 了该 柔 性 放 大 机 构 的参 数 化 设计, 并 用 有 限 元 软 件 进 行 了仿 真 计 算 。实 验 测 量 结 果 表 明 , 对 基 于 柔 性 铰 链 的柔 性 微 位 移 放 大 机 构 进 行 参 数 化
用于压电驱动器位移放大的柔性铰链放大机构研究
用于压电驱动器位移放大的柔性铰链放大机构研究压电微位移驱动器在精密微位移应用场合具有许多优点,但它的输出位移较小。
为了放大它的输出位移,研究人员提出各种不同种类的放大机构,放大倍数是衡量放大机构性能的主要指标。
文章主要介绍了常用的杠杆式柔性铰链机构Scott-Russell机构和桥式柔性铰链机构三种放大机构的放大倍数的计算方法。
标签:压电驱动器;微位移;柔性铰链放大机构Abstract:The piezoelectric micro-displacement actuator has many advantages in the application of precise micro-displacement,but its output displacement is small. In order to amplify its output displacement,researchers put forward a variety of amplification mechanisms,as the magnification is the main index to measure the performance of the amplification mechanism. This paper mainly introduces the calculation methods of magnification of three kinds of amplifying mechanisms,i.e.,commonly-used lever-type flexure hinge mechanism,Scott-Russell mechanism and bridge-type flexure hinge mechanism.Keywords:piezoelectric actuator;microdisplacement;flexure hinge amplifier 引言由于壓电陶瓷具有逆压电效应,当其在两级施加外电压时,压电陶瓷会沿极化方向产生微变形,利用这个特性可以制成微位移驱动器。
基于柔性铰链通用模型的柔性位移放大机构建模方法研究
基于柔性铰链通用模型的柔性位移放大机构建模方法研究基于柔性铰链通用模型的柔性位移放大机构建模方法研究 1. 引言柔性位移放大机构是一种具有较大位移放大比和较高工作频率的重要机构,广泛应用于精密机械、医疗器械、航空航天等领域。
然而,传统的刚性机械建模方法往往难以准确描述柔性位移放大机构的动态性能。
因此,针对柔性位移放大机构的特点,本文提出了一种基于柔性铰链通用模型的建模方法,旨在提高柔性位移放大机构的动态性能分析的准确性和效率。
2. 柔性铰链通用模型柔性铰链通用模型是一种能够较为准确地描述柔性位移放大机构动力学性能的模型。
该模型将柔性杆连接的结构简化为一系列等效质点,以及连接质点的弹性元件。
通过引入柔性铰链,能够更好地考虑柔性杆的挠曲和扭转,从而准确描述柔性位移放大机构的整体动态行为。
3. 柔性位移放大机构的建模方法通过引入柔性铰链通用模型,本文提出了一种基于有限元分析的柔性位移放大机构建模方法。
具体步骤如下:3.1. 几何建模根据柔性位移放大机构的实际结构,利用CAD软件进行几何建模,包括各个零件的外形、尺寸和连接关系等。
3.2. 材料属性确定根据柔性位移放大机构所用材料的力学性质,确定其弹性模量、泊松比等参数。
3.3. 网格划分将建模的柔性位移放大机构进行网格划分,形成离散的节点和单元。
3.4. 边界条件设定根据柔性位移放大机构的工作条件,设定固定边界条件和加载边界条件。
3.5. 弹性元件建模根据柔性铰链通用模型,利用弹性力学理论,将柔性杆简化为一系列等效质点和弹性元件,并设置相应的刚度参数。
3.6. 动力学分析通过有限元软件进行动力学分析,考虑柔性位移放大机构的惯性和弹性特性,并获取其动态性能。
4. 建模结果分析根据柔性位移放大机构的建模结果,进行动态性能分析。
通过振动模态分析、应力应变分析等方法,评估柔性位移放大机构在不同工况下的动态性能。
5. 实例分析通过实例分析,验证了该建模方法的准确性和可行性。
基于6T!Y的柔性铰链位移放大机构
9:引:言
;:柔性铰链机构的位移放大原理
柔性铰链是近年来发展起来的一种新型机械传动 和支撑机构&利用其 结 构 薄 弱 部 分 的 弹 性 变 形 实 现 类 似普通铰链的运动传递&具有无摩擦*运动灵敏度高的 特点(<) + 在微型机械中&柔性铰链常作为位移放大机 构&可将位移放大到数百微米&放大倍数可达几倍到几 十倍&极大地拓展了 微 位 移 驱 动 器 的 应 用 范 围 和 应 用 领域 (!C=) + 但是柔性铰链位移放大机构的结构复杂&有 时需要多次修改模型才能满足要求&如果按照传统的 三维建模思路&势必大量增加重复的工作量&而且对于 超精密复杂机构不能完全转换&造成修改的复杂性+
数化程序设计语言 ?LSd 编写了柔 性 铰 链 杠 杆 放 大 机 构 的 建 模 和 仿 真 分 析 程 序 仿 真 试 验 表 明所
设计的柔性铰链杠杆放大机构的输入位移与输出位移线性度高实际放大位移与理论值相差 Br完全
可以满足机构的微位移放大要求
关键词柔性铰链?7[`[ 参数化设计语言位移放大仿真分析
利用杠杆放大原理设计的柔性铰链一级位移放大 结构示意图如图 < 所 示+ 当 在 杠 杆 :+中 心 施 加 一 个 输入位移 +时& 位 移 通 过 柔 性 铰 链 B作 用& 使 得 杠 杆 ;3绕 ;铰链转动&转动角为 !&此时杠杆 3?推动杠杆 N?转动& 转 动 角 也 为 !& 从 而 推 动 @> 输 出 位 移+ 从 图 < 可以看出'3点一方面绕铰链 ;转动&一方面向前
基于类V型柔性铰链的微位移放大机构
基于类V型柔性铰链的微位移放大机构刘敏;张宪民【摘要】A micro-displacement flexure amplifier was designed based on a high accuracy quasi-V-shaped flexure hinge to reduce its parasitic motion and to improve its dynamics performance.The performance of the quasi-V-shaped flexure hinge was compared with that of a common high accuracy right circular flexure hinge.In consideration of the central offset during the rotation of flexure hinge, the amplification ratios of secondary-lever micro-displacement mechanisms based on the quasi-V-shaped flexure hinge and the right circular flexure hinge were derived on the basis of the theories of elastic mechanics and material mechanics.The finite element model was established with ANSYS software to verify the theoretical derivation of amplification ratios of displacement.The amplification ratios of displacement, the parasitic motions and inherent frequencies of the two kinds of amplifiers mentioned above were compared.The finite element results show that the amplifier based on quasi-V-shaped flexure hinge has smaller parasitic motion but higher inherent frequency,and its first two-order inherent frequencies are 1.68 times and 1.41 times of those based on right circular flexure hinge.Finally, the amplification ratios of displacement and the parasitic motions for the two kinds of amplifiers were measured by a micro-vision measurement system.The experiment results show that the amplification ratios and relative parasitic motion ratios of amplifiers based on quasi-V-shaped and right circular flexure hinge are 4.387 and 4.529 aswell as 0.3147 and 0.3342 respectively.It concludes that the parasitic motion is effectively reduced and the dynamics performance is improved if the quasi-V-shaped flexure hinge is used in the micro-displacement amplifiers.%采用新型高精度类V型柔性铰链设计了柔性微位移放大机构,以减小该类机构的寄生运动并提高其动力学性能.对类V型柔性铰链与最常见的高精度直圆型柔性铰链的性能进行了比较;在考虑柔性铰链转动中心偏移量的基础上,基于弹性力学和材料力学理论推导了基于类V型柔性铰链和基于直圆型柔性铰链的两类二级杠杆式微位移放大机构的放大比.采用ANSYS软件,建立了放大机构的有限元模型,验证了位移放大比的理论推导,并对上述两类放大机构的位移放大比、寄生运动和固有频率进行了仿真和比较.有限元分析结果显示:基于类V型柔性铰链的放大机构有着更小的寄生运动和更高的固有频率,且前2阶固有频率分别是基于直圆型柔性铰链放大机构的1.68倍和1.41倍.最后,采用微视觉测量系统测量了两类放大机构的位移放大比和寄生运动.结果表明:基于类V型和直圆型柔性铰链放大机构的放大比和相对寄生运动比分别为4.387、4.529和0.314 7、0.334 2,显示类V型柔性铰链用于微位移放大机构可有效减小寄生运动并提高动力学性能.【期刊名称】《光学精密工程》【年(卷),期】2017(025)004【总页数】10页(P999-1008)【关键词】位移放大机构;类V型柔性铰链;直圆型柔性铰链;寄生运动;固有频率【作者】刘敏;张宪民【作者单位】华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室,广东广州510641;华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室,广东广州 510641【正文语种】中文【中图分类】TH132随着精密工程、精密测量、微机电系统(MEMS)以及机器人等领域的快速发展,柔顺机构的应用越来越广泛且有着巨大的优势和潜力,尤其是在轻型、微型化领域[1-4]。
基于APDL的柔性铰链位移放大机构
D isplacem en t magn ify ing m echan ism w ith flex ible h inges ba sed on APDL ZOU Xiang, L I Guo2p ing, SHEN J ie, HAN Tong2peng
( Facu lty of Eng ineering, N ingbo U n iversity, N ingbo 315211, Ch ina) Abstract: In order to magnify the output disp lacement of p iezoelectric actuators, a disp lacement magnifying mechanism with flex2 ible hinges was developed for p iezoelectric actuators. Its parametric modeling method was p roposed, and it was also analyzed by using ANSYS software parametric design language for finite element analysis. The test results indicate that the linearity degree is high between the output disp lacement and the input disp lacement of the magnifying mechanism w ith flexible hinges, and the error of the real output disp lacement of the magnifying mechanism w ith flexible hinges is below five percent by the data on p rincip le of disp lacement magnifying mechanism output disp lacement. It is p roved that the mechanism can meet the requirements of the dis2 p lacement magnification. Key words: flexible hinge; ANSYS parametric design language (APDL ) ; disp lacement magnification; simulation and analysis
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
柔性铰链位移放大机构
1 机构简介
柔性机构是一类利用材料的弹性变形传递或转换运动、力或能量的新型机构实施运动时如果通过某种特殊的柔性单元——柔性铰链来实现,则通常称为柔性铰链机构,这类机构通常应用在精密工程场合,因此又称为柔性精微机构。
在仿生机械及机器人等领域,柔性机构也发挥着越来越重要的作用,该类机构通常又被称为柔性仿生机构,下文都简称为柔性机构。
较之于传统的刚性机构,柔性机构具有许多优点:
⑴整体化设计和加工,可简化结构、减小体积和质量、免于装配;
⑵无间隙和摩擦,可实现高精度运动;
⑶免于磨损,提高寿命;
⑷免于润滑,避免污染;
⑸增大结构刚度。
柔性铰链是近年来发展起来的一种新型机械传动和支撑机构,利用其结构薄弱部分的弹性变形实现类似普通铰链的运动传递,具有无摩擦、无间隙、运动灵敏度高的特点,在微型机械中,柔性铰链常作为位移放大器,可将位移放大到数百微米,极大地拓展了微位移驱动器的应用范围和应用领域。
伴随着微纳米技术所引发的制造、信息、材料生物和医疗等众多领域的革命性变化,使得柔性机构在微电子、光电子的微制造和微操作、微机电系统和生物医学工程等纳米定位中得到了广泛的应用。
在精微领域,柔性机构可以设计作为传动装置执行器和传感器等,不过,距离实际应用还面临若干理论与技术层面上的挑战,相对刚性机构而言,柔性机构的系统研究不过才刚刚走完20年的历程,很多理论及方法还不完善。
2 机构的结构特征
本次设计超磁致伸缩致动器中采用的最大设计输出位移为45μm,最小输出
力为500N;柔性铰链放大机构的设计输出负载大于80 N,输出位移大于300μm。
因此放大机构放大倍数必须大于6.67,所以选用的是一种两级对称式柔性铰链位移放大机构,图1为该放大机构,各铰链节点为单轴圆弧型结构,依靠节点微转动变形实现运动的传递或位移的放大。
整个机构为对称式结构,有较高的整体刚性,输入位移可通过左右两条运放链向输出点进行传递,理论上可完全消除机构的侧向附加位移,有效地减小了自身的纵向耦合位移误差。
图4-1 两级对称式位移放大机构
图4-2 位移放大机构原理图
图4-2为该机构原理图,由图示可求得该机构位移放大倍数A: A=A 1/A 2
其中,A 1=1+l 2/l 1,A 2=1+l 4/l 3,代入实际尺寸1l =8, 2l =12, 3l =8, 4l =24,则该放大机构的放大倍数为A=10。
机构的应力分析与最大位移输入
为使该位移放大机构正确可靠地工作,须对其工作状态下所承受的应力进行计算,以求取各铰链节点所允许的最大作用应力以及整个机构的最大输入位移,以保证各节点实际作用应力控制在所允许的材料屈服应力范围。
1 放大机构各节点的应力计算
放大机构各铰链节点的几何结构如图3所示,在力矩M Z 作用下,其最大应力和转角分别为:
b
t C M Z 26=
σ
(4-1)
()
ααα
θπ
π
d R t R Eb R M Z ⎰-
-+=22
3
cos 22cos 12
(4-2)
式中:
E ——弹性模量(MPa); b ——节点厚度(mm); R ——圆弧半径(mm); t ——铰链最小厚度(mm);
C ——应力集中系数,其值可按下式计算:
325
.084.572
+++=
t
R R t C
(4-3)
图4-3 圆弧型柔性铰链
假设该机构在工作时仅在铰链节点处产生微小的弹性变形,其余部分看作为完全刚性体,,若机构输入位移为y in ,可根据y in 以及式(1)-(4)计算出放大机构各节点实际作用应力σ。
由式(4)可求得铰链节点的转动刚度k θ:
θK ()
ααα
θ
π
π
d R t R Eb R M Z
⎰-
-+==
22
3
cos 22cos 12/1(N ·M/)
(4-4)
由于机构的对称性,仅需对图4-2左半部或右半部各节点进行计算,左半部节点1,2,9实际作用应力为:
=j σin j j
j j in j j y t R R t bl t y C K ⎥⎥⎦
⎤⎢⎢⎣⎡+++0325.084.527612
θ (4-5)
同理,左半部5,7,10,13各节点应力为:
()3
22
216l bl t l l y C K j in j j p +=
θσ
(4-6)
把j C 带入上式。
3.2 机构所允许的最大输入位移
设放大机构选用材料为65Mn,弹性模量为E=210Gpa,泊松比μ=0. 3,许用应
力[б]=571MPa,铰链节点厚度b=10mm 。
对于铰链节点1,其结构尺寸为R 1×t 1=1. 5×0. 3,可通过式(4)计算转动刚度k θ1=12. 7093,代入式(5)可求得y in1=0. 09976mm 。
同样,对于节点2,其R 2×t 2=1.5×0.4,转动刚度k θ2=6.1364,可求得y in2=0.04745mm;节点9,其R 9×t 9=2.0×0.3,k θ9=5.2791,则y in9=0.11729mm;其余节点,R ×t=2.0×0.3,k θ=5.2791,通过式(6)可求得y in =0.11731mm 。
由上述分析可见,节点2为结构最薄弱部分,当放大机构的输入位移超过y in =0.04745mm 时,节点2所作用的实际应力超过材料许用应力,将造成机构失效。
因而,该放大机构所允许的最大输入位移即为y 允=0.04745mm,若改善薄弱节点强度,所允许的最大输入位移将有所提高。
通过这次对所选用的两级对称式柔性铰链的强度和刚度的校核,以及对其工作状态下所承受的应力进行计算,该放大机构的输入位移为45μm,小于机构所允许的最大输入位移47.45µm,所以该位移放大机构可以可靠地工作, 能保证各节点实际作用应力在所允许的材料屈服应力范围之内。