烧结作业指导书
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该作业由组长执行！ 5.1.1 开机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。 5.1.2 设备确认
检查设备和 PC 上是否有故障显示（红色灯或/和警告窗口）；确认冷却水温是否正常。确认设备运 行正常方可执行后续作业；确认急停按钮已经弹起。若设备有故障显示，应立即汇报班长。 5.1.3 确认工艺参数
每班接班后，生产工序长需对工艺参数进行点检，发现异常及时报告工艺人员，如无异常，将点检
烧结炉作业指导书
适用 多晶电池分厂
XXX 有限责任公司
受控状态 实施日期 2013 年 5 月 1 日
实施责任者
李宏克
1.目的 确保烧结工艺处于稳定、受控状态。
2.适用范围 适用于印刷后硅片在烧结炉中的烧结过程。
3.职责 3.1本作业指导书由技术部负责编写和修订； 3.2所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。 4.作业准备 4.1 劳保用品：穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。 4.2 确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。 5.作业步骤 5.1 工艺准备
5.3.2 烧结工艺确认
在放入预烧片后，流入印刷完成后的硅片 5 片。由工程师确认烧结工艺正常。
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 变更内容：
作成 谭旺
审核
批准
文件编号
版/次 A/0
总 5页 第 1页
烧结炉作业指导书
适用 多晶电池分厂
XXX 有限责任公司
受控状态 实施日期 2013 年 5 月 1 日
5.5 关机 该作业由组长执行！
5.5.1 确认烧结炉中所有加工硅片已经流出； 5.5.2 关机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。 6.自检
该作业由组长与操作人员一起执行！ 操作人员在流出硅片检测过程中，对硅片进行外观自检。自检要求如下所示： 6.1 表面检验
参考《单晶硅太阳电池企业标准》检测烧结后电池片正面和背面，无表面外观问题；翘曲度符合检 测标准。 6.2 破片检验
要求硅片没有裂片、没有明显裂纹、崩边、缺角。 6.3 烧结温度变更记录
烧结温度做改动时，在《工艺参数变更记录表》作出详细记录。
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 变更内容：
作成
审核
谭旺
文件编号
批准
版/次 A/0
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烧结炉作业指导书
适用 多晶电池分厂 6.4 工艺参数表
更改内容说明 增加点检表样表，见附件一
更改日期 2010-6-4
更改人 臧其军
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 变更内容：
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谭旺
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版/次 A/0
总 5页 第 4页
烧结炉作业指导书
适用 多晶电池分厂
附件一
XXX 有限责任公司
受控状态 实施日期 2013 年 5 月 1 日
实施责任者
李宏克
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谭旺
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总 5页 第 5页
程师。 8.相关文件 《单晶硅太阳电池企业标准》 9.安全注意项 9.1 非该工序生产、工艺和维护人员不得对设备进行操作、拆卸和改装。 9.2 设备运行时禁止打开，拆卸安全门。 9.3 在炉体温度降到 50℃下之前，禁止对设备内部做任何操作。 9.4 烧结炉内有硅片时禁止降温。 10.记录表格
《工艺参数变更记录表》
℃
15
15
15
20
25
Biblioteka Baidu25
30
40
40
0.25~0.45 43±2
气流量 40±10 45±10 25±10 15±10 20±10 15±5 10±5 15±5 50±10
各温度设定值与实际值偏差要求在±5℃。
7.异常处理 7.1 设备出现故障信号（红灯显示），组长应立即报告班长，并通知丝网印刷工序停止印刷。 7.2 工艺出现异常，如破片率高、连续出现外观问题，组长立即通知丝网印刷停止印刷，通知班长和工
《烧结工艺参数点检表》
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谭旺
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适用 多晶电池分厂
XXX 有限责任公司
受控状态 实施日期 2013 年 5 月 1 日
实施责任者
李宏克
更改记录
版次
条款
A/1
5.1.3 确认工艺参数
结果填写于《烧结工艺参数点检表》中，见附件一。
5.2 工艺启动，该作业由组长执行！
5.2.2 实际参数确认
等待参数：速度、温度达到稳定后；确认实际参数在设定的区间内（警示灯转为绿色）。
5.3 硅片流入
5.3.1 放入预烧片
开机和设定温度修改后，在正常硅片流入前，放入两片预烧片（从低效片中取出的电池片），
实施责任者
李宏克
5.3.3 硅片正常流入 待烧结工艺确认后，印刷完电极后的电池片自动流入烧结炉，无需人工操作。
5.4 电池片流出 取出预烧片，重复使用。 观察流入电池片的位置，如果发现电池片偏移，手动移正，保证流入硅片位置无偏移。 取出烧结过程中破损电池片；定时对流出电池片做外观检查。 如果分选仪停止，用手取出流出的电池片，防止由于电池片堵塞造成的破片。 发现连续异常及时通知丝网印刷工序操作人员。
XXX 有限责任公司
受控状态 实施日期 2013 年 5 月 1 日
实施责任者
李宏克
温区
冷 却 水 压 带速 温区 1 温区 2 温区 3 温区 4 温区 5 温区 6 温区 7 温区 8 温区 9
力/Mpa /rpm
温 度 / 300 ± 320 ± 340 ± 380 ± 480 ± 540 ± 650 ± 820 ± 850 ±
检查设备和 PC 上是否有故障显示（红色灯或/和警告窗口）；确认冷却水温是否正常。确认设备运 行正常方可执行后续作业；确认急停按钮已经弹起。若设备有故障显示，应立即汇报班长。 5.1.3 确认工艺参数
每班接班后，生产工序长需对工艺参数进行点检，发现异常及时报告工艺人员，如无异常，将点检
烧结炉作业指导书
适用 多晶电池分厂
XXX 有限责任公司
受控状态 实施日期 2013 年 5 月 1 日
实施责任者
李宏克
1.目的 确保烧结工艺处于稳定、受控状态。
2.适用范围 适用于印刷后硅片在烧结炉中的烧结过程。
3.职责 3.1本作业指导书由技术部负责编写和修订； 3.2所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。 4.作业准备 4.1 劳保用品：穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。 4.2 确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。 5.作业步骤 5.1 工艺准备
5.3.2 烧结工艺确认
在放入预烧片后，流入印刷完成后的硅片 5 片。由工程师确认烧结工艺正常。
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 变更内容：
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适用 多晶电池分厂
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5.5 关机 该作业由组长执行！
5.5.1 确认烧结炉中所有加工硅片已经流出； 5.5.2 关机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。 6.自检
该作业由组长与操作人员一起执行！ 操作人员在流出硅片检测过程中，对硅片进行外观自检。自检要求如下所示： 6.1 表面检验
参考《单晶硅太阳电池企业标准》检测烧结后电池片正面和背面，无表面外观问题；翘曲度符合检 测标准。 6.2 破片检验
要求硅片没有裂片、没有明显裂纹、崩边、缺角。 6.3 烧结温度变更记录
烧结温度做改动时，在《工艺参数变更记录表》作出详细记录。
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 变更内容：
作成
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谭旺
文件编号
批准
版/次 A/0
总 5页 第 2页
烧结炉作业指导书
适用 多晶电池分厂 6.4 工艺参数表
更改内容说明 增加点检表样表，见附件一
更改日期 2010-6-4
更改人 臧其军
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 变更内容：
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烧结炉作业指导书
适用 多晶电池分厂
附件一
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受控状态 实施日期 2013 年 5 月 1 日
实施责任者
李宏克
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 变更内容：
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文件编号
批准
版/次 A/0
总 5页 第 5页
程师。 8.相关文件 《单晶硅太阳电池企业标准》 9.安全注意项 9.1 非该工序生产、工艺和维护人员不得对设备进行操作、拆卸和改装。 9.2 设备运行时禁止打开，拆卸安全门。 9.3 在炉体温度降到 50℃下之前，禁止对设备内部做任何操作。 9.4 烧结炉内有硅片时禁止降温。 10.记录表格
《工艺参数变更记录表》
℃
15
15
15
20
25
Biblioteka Baidu25
30
40
40
0.25~0.45 43±2
气流量 40±10 45±10 25±10 15±10 20±10 15±5 10±5 15±5 50±10
各温度设定值与实际值偏差要求在±5℃。
7.异常处理 7.1 设备出现故障信号（红灯显示），组长应立即报告班长，并通知丝网印刷工序停止印刷。 7.2 工艺出现异常，如破片率高、连续出现外观问题，组长立即通知丝网印刷停止印刷，通知班长和工
《烧结工艺参数点检表》
注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 变更内容：
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谭旺
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批准
版/次 A/0
总 5页 第 3页
烧结炉作业指导书
适用 多晶电池分厂
XXX 有限责任公司
受控状态 实施日期 2013 年 5 月 1 日
实施责任者
李宏克
更改记录
版次
条款
A/1
5.1.3 确认工艺参数
结果填写于《烧结工艺参数点检表》中，见附件一。
5.2 工艺启动，该作业由组长执行！
5.2.2 实际参数确认
等待参数：速度、温度达到稳定后；确认实际参数在设定的区间内（警示灯转为绿色）。
5.3 硅片流入
5.3.1 放入预烧片
开机和设定温度修改后，在正常硅片流入前，放入两片预烧片（从低效片中取出的电池片），
实施责任者
李宏克
5.3.3 硅片正常流入 待烧结工艺确认后，印刷完电极后的电池片自动流入烧结炉，无需人工操作。
5.4 电池片流出 取出预烧片，重复使用。 观察流入电池片的位置，如果发现电池片偏移，手动移正，保证流入硅片位置无偏移。 取出烧结过程中破损电池片；定时对流出电池片做外观检查。 如果分选仪停止，用手取出流出的电池片，防止由于电池片堵塞造成的破片。 发现连续异常及时通知丝网印刷工序操作人员。
XXX 有限责任公司
受控状态 实施日期 2013 年 5 月 1 日
实施责任者
李宏克
温区
冷 却 水 压 带速 温区 1 温区 2 温区 3 温区 4 温区 5 温区 6 温区 7 温区 8 温区 9
力/Mpa /rpm
温 度 / 300 ± 320 ± 340 ± 380 ± 480 ± 540 ± 650 ± 820 ± 850 ±