半导体物理第六章资料
半导体物理基础 第六章 MOS
QS QB qNa xd
2 qNa xd S 2k s 0
(6-5)
和
(6-6)
6.2 理想MOS电容器
代入(6-44)式解出 x
d
Xd
kS 0 kS 0 2VG 1 C0 2 C0 C0 qkS 0 N a
2 0 12
(6-45)
C 2C 1 qN k VG C0 a S 0
6.2 理想MOS电容器
积累区( VG <0)
MOS系统的电容C基本上等于绝缘体电容 C0。当负偏压的数值逐渐减少时,空间电 荷区积累的空穴数随之减少,并且 QS 随 C也就变小。 平带情况( VG =0)
S
的变化也逐渐减慢, C S 变小。总电容
C FB C0
1 k 0 LD 1 k s x0
(6-1)
掌握载流子积累、耗尽和反型和强反型的概念。 正确画出流子积累、耗尽和反型和强反型四种情况的能带图。 导出反型和强反型条件
6.2 理想MOS电容器
6.2 理想MOS电容器
系统单位面积的微分电容
微分电容C与外加偏压 VG 的关系称为MOS系统的电容—电压特性。
dQM C dVG
(6-1)
S =半导体表面的电场
k0 =氧化物的相对介电常数
k S =半导体相对介电常数
xd =空间电荷区在半导体内部的边界亦即空间电荷区宽度。
外加电压 VG 为跨越氧化层的电压
V0和表面势 S 所分摊:
(6-2)
VG V0 S
6.1 理想MOS结构的表面空S结构内的电位分布
(6-22)
dV0 d s 1 dVG C dQM dQM dQM
半导体物理_第六章学习资料
过剩少数载流子电子的复合率(通常其定义为 一个正值)则可以表示为:
对于带与带之间的直接复合过程来说,过剩多 数载流子空穴也将以同样的速率发生复合,即:
对于N型半导体材料,在小注入条件下,少数载 流子空穴的浓度将以时间常数τp0进行衰减。
在小注入的条件下,上述方程很容易求解。 对于非本征的N型半导体材料,通常n0>>p0;而对 于非本征的P型半导体材料,则有p0>>n0,小注入 条件也就是过剩载流子的浓度远远低于热平衡时 多数载流子的浓度。反之,大注入条件(接近或超 过)
对于P型半导体,在小注入条件下上述方程变为 此方程的解为一个指数衰减函数:
τp0称为过剩少数载流子的寿命。此时多数载流 子电子和少数载流子空穴的复合率也完全相等, 即:
一般而言,过剩载流子产生率通常与电子或空 穴的浓度无关。
讨论过剩载流子产生和复合过程常用的符号
3. 产生与复合过程 (1)带与带之间的产生与复合过程:
(2)通过复合中心的间接产生与复合过程:
(3)俄歇复合过程(三粒子过程):
过剩电子和过剩空穴一般是由外界激发条件 而产生的,其产生率通常记为gn'和gp',对于 导带与价带之间的直接产生过程来说,过剩电 子和过剩空穴也是成对产生的,因此有:
当有过剩载流子产生时,电子的浓度和空穴 的浓度就会高出热平衡时的浓度,即:
其中n0和p0分别是热平衡状态下导带电子和价带 空穴的浓度,δn和δp分别是过剩电子和过剩空 穴的浓度。
中电子和空穴的浓度不随时间发生变化。但是 这只是一种动态平衡,在半导体材料中仍然不 断地存在着大量电子-空穴对的产生过程,同 时也存在着大量电子-空穴对的复合过程。
半导体物理_第六章_pn结
Jn dEF dx n n
qDp dEF J p p0 kT dx
电流密度与费米能级的关系 对于平衡的pn结,Jn, Jp均为零,因此,
Jp dEF dx p p
EF=常数
qDp dEF J p p0 kT dx
当电流密度一定时,载流子浓度大的地方, EF随 位置变化小,而载流子浓度小的地方, EF随位置 变化较大。
非平衡载流子的电注入:正向偏压使非平衡载流子进入半导 体的过程。
注入到p区的电子断与空穴复合,电子流不断转化 为空穴流,直到全部复合为止。
扩散电流〉漂移电流
根据电流连续性原理,通过pp’(或nn’)任何一个界 面的总电流是相等的。只是电子电流和空穴电流 的比例不同。 总电流=扩散电流+漂移电流
反向偏移下,非平衡状态 外加反向电场与内建势场方向一致。
1. pp’处注入的非平衡少数载流子浓度:
EFn Ei n p ni exp( ) k0T EFn EFP n p p p ni exp( ) k0T
2
p p ni exp(
Ei EFp k0T
)
在pp’边界处, x=-xp, qV=Efn-Efp,
qV n p ( x p ) p p ( x p ) ni exp( ) k0T
电子电势能-q V(x)由n到p不断升高 P区能带整体相对n区上移。n区能带整体相对p区下移。 直到具有统一费米能级 pn结费米能级处处相等标志pn结达到动态平衡,无扩散、 漂移电流流过。
动态平衡时
本征费米能级Ei的变化与-qV(x)一致
k0T n Dn q
k0T n Dn q
同理,空穴电流密度为:
qV x p ( ) 0 2. 加反向偏压下,如果qV>>k0T, e k0T
半导体物理学第六章解读
ND X D ND NA
1
Q=eND
Xn
2
0e
(
NDNA ND NA
)(VD
V
2 )
♦单边突变结:
XD
2
e
0
1
(VD V NB
)
2
♦势垒区主要在轻掺杂 一边
• 对p+-n结, NB代表ND • 对p-n+结, NB代表NA
xn X D
xp XD
P+-n结
3. 突变结的势垒电容
电势
图6-8
电子势能(能带)
6.1.5p-n载流子的分布 ♦ 当电势零点取x=-xp处,则有: EC (x) EC qV (x)
EV (x) EV qV ( x)
x x p , EC ( x) EC x xn , EC (x) EC qVD
♦势垒区的载流子浓度为:
EC qV ( x ) EF
• 反向偏压下的突变结势垒电容(单位面积):
1
CT A
dQ dV
2(
0eND NA
ND NA )(VD
V
)
2
CT 0
A XD
CT
(VD
1 V )1/ 2
• 几点说明:
① p-n结的势垒电容可以等效为一个平行
板电容器,势垒宽度即两平行极板的距离
② 这里求得的势垒电容, 主要适用于反向 偏置情况
xn
NAXD ND NA
, xp
ND X D ND NA
• 代入上式
VD
q
2 0
( NAND ND NA
)
X
2 D
♦则,平衡p-n结
1
XD
半导体物理第6章
非平衡载流子的电注入
在一定的正向偏压下,单位时间内从n区来到pp’处的非 平衡少子浓度是一定的,并在扩散区内形成一稳定的 分布。
在pp’处有一不变的向p区内部流动的电子扩散流。
同理,在边界nn’处也有一不变的向n区内部流动的空穴 扩散流。
当增大偏压时,势垒降得更低,增大了流入p区的电子 流和流入n区的空穴流
,
qVD E Fn E Fp
对于非简并半导体,n区和p区的平衡电子浓度
nn 0 E Fn Ei ni exp( ) k 0T
n p 0 ni exp( E Fp E i k 0T )
两式相除取对数得
nn 0 1 ln ( E Fn E Fp ) n p 0 k 0T
x
p
n
线性缓变结 N D N A j ( x x j ), j 杂质浓度梯度
6.1.2 空间电荷区
半导体中载流子有扩散运动和漂移运动两种运 动方式。 载流子在电场作用下的定向运动称为漂移运动. 在半导体中,如果载流子浓度分布不均匀,因 为浓度差,载流子将会从浓度高的区域向浓度 低的区域运动,这种运动称为扩散运动。
p(x)
n(x) p n x
nno pno
npo
平衡p-n结中载流子的分布
利用上述公式计算电势能比n区导带底高0.1eV 的点x处的载流子浓度,假设势垒高度为0.7eV, 则
n( x ) n n 0 e
0.1 0.026
ND 50
0.6
qV ( x) qVD qV ( x) p( x) p n 0 exp( ) p p 0 exp( ) p p 0 e 0.026 10 10 N A k 0T k 0T
半导体物理课件 第六章(2015.11.20)
低空间电荷减少 ♦当pn结上外加的反向电压增加,势垒高度增
加空间电荷增加
26
偏压上升(含正负): 变窄
P区
空穴补偿 电子补偿
n区
偏压下降(含正负) : 变宽
P区
空穴释放 电子释放
n区
2015/12/26
Semiconductor Physics
27
②扩散电容 CD —当pn结上外加电压变化,扩散区的非平衡 载流子的积累相应变化所对应的电容效应. ♦当正向偏臵电压增加,扩散区内的非平衡载 流子积累很快增加 ♦在反向偏臵下,非平衡载流子数变化不大,扩 散电容 可忽略 pn结的势垒电容和扩散电容都随外加电压而变 化-- CT 和CD都是微分电容: C=dQ/dV
x xp
xn - x
eV ( x ) kT
n np 0
n nn0
eV ( x ) kT
p pp0
p pn0
n( x ) n p 0 e
p( x) p p 0e
12
平衡p-n结载流子浓度分布的基本特点: ♦ 同一种载流子在势垒区两边的浓度关系服 从玻尔兹曼关系 ♦ 处处都有n•p=ni2 ♦ 势垒区是高阻区(常称作耗尽层)
1. 热击穿
pn结的反向扩散流由平衡少子产生:
pno = ni2/ND
npo = ni2/ NA
产生电流正比于ni
反向电流密切依赖于本征载流子浓度。 |VR |
反向偏压
Pc
功 耗
Tj
结温
ni
IR
IR
击穿
ni2∝T3 exp(-Eg0/KT)
43
2. 隧道击穿
隧道效应---电子具有波动性,它可以一定几率穿过能量 比其高的势垒区,这种现象称作隧道效应。
微电子学 半导体物理学 第六章pn结
(N
2 x 2 + N D xn ) A p
x D = xn + x p N A x p = N D xn
NA ND xn = xD x p = xD NA + ND NA + ND
1/ 2
1/ 2
2ε 0ε r 2ε ε N + N D 代入 VD 得 x D = 0 r A VD = qN VD N AN D q eff q2 N A (x + x p )2 (-xp<x<0) EC ( x ) = EC ( p ) − 2ε 0ε r q2 N D ( x − xn )2 − 2011 EC ( x ) = E复旦大学半导体物理 -qV D (0<x<xn) + C ( p) 2ε 0ε r
复旦大学半导体物理 - 2011
14
平衡时的费米能级
J n = J n扩 + J n漂 = 0
dn 0 J n = qn 0 µ n E + qDn dx
dn0 1 dEi 1 dE F = − n0 + n0 dx k BT dx k BT dx dV ( x ) 1 dEi E=− = dx q dx
NDNA越大,VD越大;Eg越大,ni越小,VD越大。 NA=1017cm-3, ND=1015cm-3, Si的VD=0.70V. 复旦大学半导体物理 - 2011
17
平衡时,
qVD = Ecp − Ecn = E g + ( EFn − Ec ) + ( Ev − EFp )
对于非简并半导体,势垒高度会大于禁带宽度Eg吗?
耗尽层近似
从N区到P区,随着电子势能的升高,电子浓度 迅速下降,由于Vd(~1V),在势垒区的大部 分范围内,电子极为稀少,可视为电子耗尽, N侧空间电荷区的电荷基本是由电离施主贡献 的。同理,P侧空间电荷区的电荷有电离受主 贡献。 认为,在空间电荷区载流子被耗尽了
精选半导体物理第六章资料
外部的光照,也会产生额外的电子-空穴对,从 而建立起一个非热平衡状态。
6.1.1 热平衡状态半导体的产生和复合
处于热平衡状态的半导体材料,其电子和空穴的浓度 不随时间发生变化,但实际这是一种动态平衡。在半 导体材料中仍然不断地存在着大量电子-空穴对的产 生过程,也存在着大量电子-空穴对的复合过程。
扩散方程的物理意义:
与时间相关的扩散方程描述过剩载流子浓度随着时间和 空间位置的变化规律。
§6.3 双极输运
在第5章中,导出的电子电流密度方程和空穴电流密 度方程中,引起漂移电流的电场指的是外加的电场。
如果在半导体材料中的某一处产生了过剩电子和过剩 空穴,若有外加电场存在,这些过剩电子和过剩空穴 就会在外加电场的作用下朝着相反的方向漂移。
由于
所以扩散方程中的电子和空穴的浓度包含了: 热平衡时的载流子浓度; 非热平衡条件下的过剩载流子浓度;
热平衡载流子浓度n0、p0不随时间和空间位置变 化,因此:
电子和空穴的扩散方程可进一步变换为下式:
上述两式就是在掺杂和组分均匀的条件下,半导体材 料中过剩载流子浓度随着时间和空间变化规律的方程。
如果半导体材料受到外部的激励(如温度的突然 升高),那么在原来热平衡浓度的基础上,会增加额 外的导带电子和价带空穴----非平衡过剩载流子,过 剩载流子是半导体器件工作的基础。
本章重点学习描述非平衡过剩载流子随空间位置 和时间变化状态---双极输运方程,这是研究分析PN 结和双极型晶体管特性的基础。
电子的产生率---Gn0 空穴热产生率---Gp0,
单位:cm-3·s-1。
对于导带与价带之间的的复合率--- Rn0 空穴的复合率--- Rp0
《半导体物理》胡礼中第六章 非平衡载流子
第六章 非平衡载流子处于热平衡状态的半导体在一定温度下载流子密度是一定的。
但在外界作用下,热平衡状态将被破坏,能带中的载流子数将发生明显改变,产生非平衡载流子。
在半导体中非平衡载流子具有极其重要的作用,许多效应都是由它们引起的,如晶体管电流放大,半导体发光和光电导等都与非平衡载流子密切相关。
在大多数情况下,非平衡载流子都是在半导体的局部区域产生的,这些载流子除了在电场作用下作漂移运动外,还要作扩散运动。
本章主要讨论非平衡载流子的运动规律及其产生和复合机理。
§6-1 非平衡载流子的产生和复合一.非平衡载流子的产生。
若用n 0和p 0分别表示热平衡时的电子和空穴密度,则当对半导体施加外界作用使之处于非平衡状态时,半导体中的载流子密度就不再是n 0和p 0了,要比它们多出一部分。
比平衡态多出的这部分载流子称过剩载流子,习惯上也称非平衡载流子。
设想有一块n 型半导体,若用光子能量大于其禁带宽度的光照射该半导体,则可将其价带中的电子激发到导带,使导带比热平衡时多出了一部分电子n ∆,价带多出了一部分空穴p ∆,从而有:0n n n -=∆ (6-1) 0p p p -=∆ (6-2) 且 n ∆=p ∆ (6-3) 式中,n 和p 分别为非平衡状态下的电子和空穴密度,n ∆称非平衡多子,p ∆称非平衡少子,对于p 型半导体则相反。
n ∆和p ∆统称非平衡载流子。
图6-1为光照产生非平衡载流子的示意图。
通过光照产生非平衡载流子的方法称光注入,如果非平衡载流子密度远小于热平衡多子密度则称小注入。
虽然小注入对多子密度的影响可以忽略,但是对少子密度的影响却可以很大。
光注入产生的非平衡载流子可以使半导体的电导率由热平衡时的0σ增加到σσσ∆+=0,其中,σ∆称附加电导率或光电导,并有:p n pe ne μμσ∆+∆=∆ (6-4) 若n ∆=p ∆,则 )(p n pe μμσ+∆=∆ (6-5) 通过附加电导率的测量可直接检验非平衡载流子是否存在。
半导体物理第六章PN结
二、PN结的反向电流
加反向偏压时,外加电场与内 建电场方向相同,增强了势垒区的 电场强度,势垒区加宽、增高,漂 移运动超过了扩散运动。n区中的空 穴(p区中的电子)一旦到达势垒区 边界处,就立即被电场扫向p区(n 区),构成了pn结的反向电流,方 向由n区到p区。
一、PN结的正向电流
多子电流与少子电流的转换
注入的非平衡少子在扩散过程中与多子相遇
中性区 势垒区 扩散区 扩散区 中性区 + p n
而不断复合,经过一个扩散长度后,复合基 本完毕,载流子浓度接近平衡数值。非平衡 少子边扩散边复合的区域称为扩散区,载流 子浓度接近平衡值的区域称为中性区 半导体中的电流主要由多子运载,然而pn结 正向电流是由电注入的非平衡少子引起的。 �非平衡少子被多子复合并非电流的中断, 因为与少子复合的多子是从n区的右边过来的 电子,所以它们的复合正好实现了少子电流 到多子电流的转换,如图c所示。
qV ) k0T
� pn结的正向电流随正向偏压呈指数规律增长。
一、PN结的正向电流
正偏压作用下的能带图
1、由于正偏压的作用,势垒高度下降, pn结不再处于平衡状态,在势垒区和扩散区,电子 准费米能级和空穴准费米能级不一致,而在中性区二者则趋于重合。 �说明通过势垒边界分别注入到两侧的非平衡载流子扩散一段距离后才复合完毕。而中性区 载流子的分布接近热平衡分布,故在中性区,两个准费米能级趋于汇合成统一的费米能级。
qα j x d 2V ( x ) ρ ( x) = − = − dx 2 ε sε 0 ε sε 0
xD 对上式积分,并利用边界条件 ε ⎛ ± ⎜ ⎝ 2
⎞ ⎟ = 0 , 得: ⎠
ε ( x) =
qα j
2ε sε 0x − Nhomakorabea2
半导体物理第六章
16/52 16/52
因浓度差 多子的扩散运动 由杂质离子形成空间电荷区 空间电荷区形成内电场 内电场促使少子漂移 扩散运动 漂移运动 动态平衡 PN 结 内电场阻止多子扩散
多子从浓度大向浓度小的区域扩散,称扩散运动 多子从浓度大向浓度小的区域扩散 称扩散运动 扩散运动产生扩散电流 少子在内电场作用下电场向对方漂移,称漂移运动 少子在内电场作用下电场向对方漂移 称漂移运动 漂移运动产生漂移电流. 漂移运动产生漂移电流. 扩散电流=漂移电流,PN结内总电流=0. 扩散电流=漂移电流,PN结内总电流=0. 结内总电流=0 稳定的空间电荷区又称势垒区 稳定的空间电荷区 又称势垒区
p
--- +++ --- +++ --- +++
n
结
第六章-pn结 些电荷产生了从 n区指 即从正电荷指向负电荷的电场, 向p区,即从正电荷指向负电荷的电场,称 内建电场.在内建电场作用下, 为内建电场.在内建电场作用下,载流子 作漂移运动.显然, 作漂移运动.显然,电子和空穴的漂移运 自的扩散运动方向相反. 动方向与它们各 自的扩散运动方向相反. 因此, 因此,内建电场起着阻碍电子和空穴继续 扩散的作用. 扩散的作用. ε
第六章-pn结 结 第六章
13/52 13/52
由于本征费米能级随x的变化与电子电势能 qV ( x) 的变化一致, dEi dV ( x) 所以 = q = qε (6 6) dx dx dEF 所以J n = nn (6 7) dx Jn dEF 或 = dx n n dEF 同理,空穴电流密度J p = p p dx Jp dEF 或 = dx p p
第六章-pn结 结 第六章
半导体物理学[第六章pn结]课程复习(精)
山东大学《半导体物理》期末复习知识点第六章 pn结6.1 理论概要与重点分析(1)pn结是将同种半导体材料的n型和p型两部分紧密结合在一起,在交界处形成一个结,即称为pn结。
为使性能优越,一般采用合金法、扩散法、外延生长法和离子注入法等,改变其掺杂性质来实现这种“紧密接触”的。
pn结是重要半导体器件,如结型晶体管及其相应的集成电路的工作核心。
设两种杂质的交界面为xj,如果杂质有一个较宽的补偿过度阶段,为缓变结,较深的扩散法一般属此种情况。
(2)由于在结的两边两种载流子相差悬殊而发生扩散。
n区中的电子流入p区,在结附近留下不可以移动的电离施主;同样p区中的空穴流入n区在结的附近留下不可移动的电离受主,形成一个n区为正,p区为负的电偶极层,产生由n区指向p区的自建电场,此电场的作用是阻止载流子进一步相互扩散。
或者说产生了一个与扩散相反的载流子漂移,当两者达到平衡时,载流子通过结的净流动为零,达到平衡。
建立起一个稳定的空间电荷区和一个稳定的自建电场。
n型的一边带正电,电动势高;p型一边带负电,电势低,所产生电动势差称为pn结接触电动势差。
这个电动势差对n型区的电子和p型区的空穴各自向对方,运动都形成势垒,使整个结构在结区形成能带弯曲,其弯曲的高度称为势垒高度,它恰恰补偿了原来两边半导体中费米能级的高度差,使两边达到等高的统一费米能级。
山东大学《半导体物理》期末复习知识点(3)pn结上加正向电压V(p型一端接正,n型一端接负)时,外加电压电场与内建电场的方向相反,使内建电场减弱,势垒区变窄,势垒高度由平衡时的q VD变为q(VD-V)。
两区的费米能级分开为EnF-EpF=qV这时由内建电场引起载流子的漂移减弱,扩散相对增强。
于是有一个净的扩散电流从p区通过结流入n区,这便是pn结的正向电流。
随外加电压V的增加,势垒高度越来越小,载流子漂移越来越小,扩散进一步增加。
因此随外加正向电压的增加,正向电流迅速增大。
半导体物理学第6章(pn结)
在同一片半导体基片上,分别制造P 型半导 体和N 型半导体,经过载流子的扩散,在它们的 交界面处就形成了PN 结。
PN结是构造半导体器件的基本单元。其 中,最简单的晶体二极管就是由PN结构 成的。
PN
★ p-n结的形成
p-n结的形成 ♦ 控 制 同 一 块 半 导 体 的 掺 杂 , 形 成 pn 结 (合金法; 扩散法; 离子注入法等)
p(x) NV e
kT
pp0e kT
即有: x xp
n np0
p pp0
xn x
n nn0
p pn0
xp x xn
eV ( x)
n(x) np0e kT
eVD
np0 nn0e kT
eV ( x)
p(x) pp0e kT
eVD
pn0 pp0e kT
理想二极管方程(1)
新的坐标:
0
Dp
d 2pn dx'2
pn
p
边界条件:
-xp
xn
x
X’
0
pn (x' ) 0
pn (x'
0)
ni2 ND
eqVA / kT 1
空穴电流
一般解
pn (x')
A ex'/ LP 1
A ex'/ LP 2
其中, LP DP P
♦ 正向偏压时,在少子扩散区, 少子复合 率>产生率(非平衡载流子注入); 反向时, 产生率>复合率(少数载流子被抽取)
♦ 反向时, 少子浓度梯度很小反向电流 很小
半导体物理第六章 PN结
非平衡载流子的电注入:正向偏压使非平衡载流子 进入半导体的过程。
正向偏压下pn结的能带图
在正向偏压下,p、n区均有非平衡少子注入,必须用 准费米能级EFn、EFp代替平衡时的统一费米能级
能带特征:
1. EFp 在p区及势垒
区为水平线,在空 穴扩散区(nn’到Lp 区)为斜线;
EFp 、Efn在扩散区为斜线的原因:由于复 合,存在浓度梯度,电子、空穴浓度逐渐 减小
PN结的形成机理(2):
内电场作用促进少子的漂移运动,使N区的少子空穴向P区漂移,P区的少子电子向N 区漂移,漂移运动的方向正好与扩散运动的方向相反。从N区漂移到P区的空穴补充 了原来交界面上P区所失去的空穴,从P区漂移到N区的电子补充了原来交界面上N区 所失去的电子,这就使空间电荷减少,内电场减弱。因此,漂移运动的结果是使空间 电荷区变窄,扩散运动加强。 最后,多子的扩散和少子的漂移达到动态平衡。在P型半导体和N型半导体的结合面 两侧,留下离子薄层,这个离子薄层形成的空间电荷区称为PN结。PN结的内电场方 向由N区指向P区。在空间电荷区,由于基本上没有自由载流子,所以也称耗尽层。P、 n两侧空间电荷总数相同,对外保持整体的电中性。
nn 0 1 两式相除取对数可得: ln (E Fn E Fp ) np 0 k0T
因为 n n 0 N D ,n p 0
ni NA
2
k0T nn 0 1 VD ( EFn EFp ) (ln ) q q np0
接触电势差:
PN结的载流子分布:
平衡时的pn结,取p区电势为零, 则势垒区中一点x的电势V(x)正值, x点的电势能为E(x)=-qV(x) 对非简并材料, x点的电子浓度 n(x),应用第三章计算平衡时导 带载流子浓度计算方法
半导体物理学第六章
qV pn ( xn ) pn ( xn ) pn 0 pn 0 k0T
1
注入势垒区边界pp‘和nn’处的非平衡少数载流子是外加电压的 函数,同时也是解连续性方程的边界条件。
在稳定态时,空穴扩散区中非平衡少子的连续性方程为:
代入,
xn x qV pn ( x) pn ( x) pn 0 pn 0 exp( ) 1 exp L k0T p
同理,注入p区的非平衡少子可以求得
xp x qV n p ( x) n p ( x) n p 0 n p 0 exp( ) 1 exp k0T Ln
半导体物理学
理学院物理科学与技术系
第六章 pn结
6.1
pn结及其能带图 6.2 pn结电流电压特性 6.3 pn结电容
6.1 pn结及其能带图
1、pn结的形成和杂质分布
在一块p型(或n型)半导体单晶上,用适 当的工艺方法(如合金法、扩散法、离子注 入等),把n型(p型)掺入其中,使这块单 晶的不同区域分别具有n型和p型的导电类型, 在两者交界处就形成pn结。
讨论: (1)正向偏压下,当V一定时,在势垒区边界处非平衡少数载流子浓度一定, 对扩散区形成了稳定的边界浓度;扩散区,非平衡少子按指数规律衰减; (2)反向偏压下,
q V k0T exp(
( xn x ) Lp
qV )0 k0T
N区
pn ( x) pn0e
小注入时,扩散区不存在电场,在n区边界处,空穴扩 散电流密度为: qD p pn 0 qV dpn ( x) J p ( xn ) qD p exp 1 x xn dx Lp k0T
半导体物理-第六章-pn结
6.1.5 pn结载流子分布
平衡时pn结,取p区电势为零, 势垒区一点x的电势V(x),
x点的电势能为E(x)=-qV(x)
对非简并材料, x点的电子浓度 n(x),应用第三章计算平衡时导 带载流子浓度计算方法
因为E(x)=-qV(x)
nn0
Nc
exp(
EF Ecn ), k0T
Ecn
6.1.3 pn结能带图
电子从费米能级高的n区流向费米能级低的p区,空穴从p流到n区。
EFn不断下移,EFp不断上移,直到EFn=EFp 最后,pn具有统一费米能级EF, pn结处于平衡状态。
能带发生整体相对移动与pn结空 间电荷区中存在内建电场有关。
随内建电场(np)不断增大, V(x)不断降低,
n
p0
[exp(
qV k0T
)
1]
非平衡少数载流子浓度是电压的函数。
同理,nn’边界注入的非平衡少数载流子浓度为
pn (xn )
pn0
exp(
qV k0T
)
pp0
exp(
qV qVD k0T
)
qV pn (xn ) pn (xn ) pn0 pp0[exp( k0T ) 1]
px
pn0
exp(
qVD
qV (x) )
k0T
pn0是平衡时n区的少子浓度 当 X=Xn时,V(x)=VD, p(xn)=pn0
当 X=-Xp时,V(x)=0, p(-xp)=pp0
p(xp )
p p0
pn0
exp(
qVD k0T
)
pn0
半导体物理与器件-第六章 半导体中的非平衡过剩载流子
Generation rate
Recombination rate
3
6.1载流子的产生与复合 6.1.1平衡半导体
平衡态半导体的标志就是具有统一的费米能级
EF,此时的平衡载流子浓度n0和p0唯一由EF决定。
平衡态非简并半导体的n0和p0乘积为
n0p0
Nc N vexp(
Eg kT
)
ni2
质量定律
称n0p0=ni2为非简并半导体平衡态判据式。
第6章 半导体中的非平衡过剩载流子
1
第6章 半导体中的非平衡过剩载流子
6.1载流子的产生与复合 6.2过剩载流子的性质 6.3双极输运 6.4准费米能级 *6.5过剩载流子的寿命 *6.6表面效应
2
6.1载流子的产生与复合 6.1.1平衡半导体
平衡状态下产生率等于复合率
产生是电子和空穴的生成过程 复合是电子和空穴的消失过程
一般来说:n型半导体中:δn<<n0,δp<<n0。 p型半导体中:δn<<p0,δp<<p0。
小注入:过剩载流子浓度远小于平衡态时的多子浓度. 大注入:过剩载流子浓度接近或大于平衡时多子的浓度.
7
6.1载流子的产生与复合 6.1.2过剩载流子
注意:
1.非平衡载流子不满足费米-狄拉克统计分布.
(有发光现象)、把多余能量传递给晶格或者把多余能量交给其 它载流子(俄歇复合)。
15
6.1载流子的产生与复合 6.1.2过剩载流子
过剩载流子的产生与复合相关符号
16
6.2过剩载流子的性质 6.2.1连续性方程
单位时间内由x方向的粒子流产生的 空穴的净增加量
Fpx为空穴粒子的流量
半导体物理学第6章(pn结)
电位V
- - - - - - - - - - - - - - - - - - + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + +
V0
- - - - - -
P型区
空间 电荷 区
N型区
③ 空间电荷区 —— 在PN结的交界面附近,由于扩散 运动使电子与空穴复合,多子的浓度下降,则在P 区和N 区分别出现了由不能移动的带电离子构成的区域,这就是 空间电荷区,又称为阻挡层,耗尽层,垫垒区。 (见下一页的示意图)
漂移运动 P型半导体 - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - + + + + 内电场E
N型半导体
+ + + + + + + +
+ + + + + + + + + + + +
所以扩散和漂移这一对相反的运动最终达到平衡, 扩散运动 相当于两个区之间没有电荷运动,空间电荷区的厚 度固定不变。
Ei Ev
Ec Ei
Silicon (n-type)
Ef
Ev
热平衡条件
内建电势
内建电势
PN结的内建电 势决定于掺杂 浓度ND、NA、 材料禁带宽度 以及工作温度
③接触电势差: ♦ pn结的势垒高度—eVD 接触电势差—VD ♦ 对非简并半导体,饱和电离近似,接触 电势为:
半导体物理第六章
参照前边图中φFn、 φFp的定义,可以知道:
N qφFn = EFi − EF = −kT ln d ni N q φFp = EFi − EF = kT ln a ni
接触电势差的大小 直接和杂质浓度、 本征载流子浓度、 以及热电压(温度 及分布)相关。
§6.1 pn结的基本结构
若在同一半导体内部,一边是P 型,一边是N 型,则 会在P 型区和N 型区的交界面附近形成pn 结,它的行 为并不简单等价于一块P型半导体和N 型半导体的串联。 这种结构具有特殊的性质:单向导电性。PN 结是许多 重要半导体器件的核心。
q PN结的制备方法: (1)合金法制备突变pn结; (2)扩散法制备缓变pn结; (3)外延、离子注入等;
D
内建电势差维持着n区多子电子与p区少子电子之间以及p区多子空穴 与n区少子空穴之间的平衡(扩散与漂移的平衡)。 由于空间电荷区是电子的势垒,因而空间电荷区(耗尽区)又称作势 垒区
对于平衡状态的pn结我们有:
E − EFi nn 0 = N d = ni exp F kT pp0 EFi − EF = N a = ni exp kT
参照前边图中φFn、 φFp的定义,可以知道:
VD = φFn + φFp
对照:费米能级和 N N kT N a N d = ln 2 = VT ln a 2 d 掺杂以及温度的关 q ni ni 系
N(x) NA NA ND ND x SiO2 n-Si n-Si xj x 杂质扩散 N(x)
n-Si p-Si sub
xj
n-Si
q pn结的空间电荷区和内建电场
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
过剩少数载流子电子的净复合率:(通常取正值)
对于带与带之间的直接复合过程来说,过剩多数载流 子空穴也将以同样的速率发生复合,即:
在小注入条件下,对于N型半导体材料少数载流子空 穴的浓度将以时间常数τ p0进行衰减,且
τ p0:过剩少数载流子空穴的寿命。 多数载流子电子和少数载流子空穴的复合率也完全相 等,即:
6.2.2 与时间相关的扩散方程
在第5章中我们曾经推导出了空穴的电流密度方 程和电子的电流密度方程,它们分别为:
将上述两式分别除以电子的电量e,则可得到粒子流量。 则上述方程就变为:
对上述两式求散度(此处即对x求导数),并代回 到电子和空穴的连续性方程中,即可得到:
上述两式就是空穴和电子与时间相关的扩散方程。
注意:
δn和δp—过剩载流子浓度 n0、p0—热平衡载流子浓度 n,p—非平衡时导带电子浓度和价带空穴浓度
当有过剩载流子产生时,外界的激发作用打破了热平 衡状态,因此这时半导体材料不再处于热平衡状态。
电子和空穴的浓度也不再满足热平衡时的条件,即:
过剩载流子的复合
半导体中,即使有稳定的过剩载流子产生也不会导 致过剩电子浓度和过剩空穴浓度的持续增加。
§6.1 载流子的产生与复合
载流子的产生:把一个价带电子激发至导带,形成一 对可以参与导电的电子-空穴对的过程;
载流子的复合:一个导带电子跃迁至价带,使得一对 本来可以参与导电的电子-空穴对消失的过程。
对于热平衡状态的任何偏离,都会导致半导体材 料中电子浓度和空穴浓度的变化。
例如: 温度的突然升高,会导致电子和空穴热产生率的
注意: τ n0— P型半导体,过剩少数载流子电子的寿命
τ p0 —N型半导体,过剩少数载流子空穴的寿命
小注入时,过剩少数载流子的寿命取决于材料和多子 浓度。
6.1.3 过剩载流子的产生与复合过程 (1)带与带之间的产生与复合过程:
(2)通过产生-复合中心的间接产生复合过程: 复合中心:缺陷或特殊的杂质。
过剩电子也会不断地和过剩空穴相复合。
假设过剩电子和过剩空穴的复合率分别为Rn′、Rp′
由于过剩电子和过剩空穴是成对复合掉的,因此:
下图所示为半导体材料中过剩载流子的复合过程。
如果撤掉外界作用,由于过剩载流子的复合作用,非 热平衡状态会逐渐向热平衡状态恢复。
复合率和产生率(直接复合)
复合率: R 定义:单位时间、单位体积中被复合掉的载流子数。 单位: 对(个)/cm3·s
Eapp:外加电场; Eint:内建电场。
内建电场倾向于将过剩电子和过剩空穴保 持在同一空间位置,因此这些带负电的过剩电 子和带正电的过剩空穴就会以同一个等效的迁 移率或扩散系数共同进行漂移或扩散运动。
这种现象称为双极扩散或双极输运过程。
6.3.1 双极输运方程的推导
利用方程: 扩散方程; 泊松方程;
6.1.2 过剩载流子的产生与复合 讨论过流子的产生
当有外界激发条件(如光照)时,会把半导体价带中的 电子激发至导带,从而在导带中产生导电电子,同时也 会在价带中产生导电空穴,即受到外部激励时,半导体 材料相对于热平衡状态额外产生了电子-空穴对。
额外产生的电子------过剩电子 额外产生的空穴------过剩空穴
增大,从而导致半导体材料中电子和空穴浓度随着时 间而变化,直到最后达到新的平衡。
外部的光照,也会产生额外的电子-空穴对,从 而建立起一个非热平衡状态。
6.1.1 热平衡状态半导体的产生和复合
处于热平衡状态的半导体材料,其电子和空穴的浓度 不随时间发生变化,但实际这是一种动态平衡。在半 导体材料中仍然不断地存在着大量电子-空穴对的产 生过程,也存在着大量电子-空穴对的复合过程。
利用上述条件,可以把电子和空穴的扩散方程进一步 简化为:
利用上述两个方程消去其中电场的微分项,即可得 到:
上式称为双极输运方程。 它描述了过剩电子浓度和过剩空穴浓度随着时间和空 间的变化规律,其中的两个参数分别为:
D'和μ'分别称为双极扩散系数和双极迁移率。
根据扩散系数和迁移率之间的爱因斯坦关系.
过剩电子的产生率为:gn′ 过剩空穴的产生率为:gp′
单位---cm-3·s-1
对于导带与价带之间的直接产生过程来说,过剩 电子和过剩空穴也是成对产生的,因此有:
当有过剩载流子产生时,导带中电子的浓度和价带 中空穴的浓度就会高出热平衡时的浓度,即:
n0和p0分别是热平衡状态下电子和空穴的浓度; δ n和δ p分别是过剩电子和过剩空穴的浓度;
再将上述条件应用于双极迁移率的公式,同样可以 得到:
结论: 对于N型半导体材料和小注入条件:
双极扩散系数可简化为少子空穴的扩散系数; 双极迁移率可简化为少子空穴迁移率; 少子空穴的扩散系数和迁移率都为常数,因此: 双极输运方程也简化为一个线性微分方程。
注意:
对于N型半导体材料来说,双极迁移率是一个负值。
扩散方程的物理意义:
与时间相关的扩散方程描述过剩载流子浓度随着时间和 空间位置的变化规律。
§6.3 双极输运
在第5章中,导出的电子电流密度方程和空穴电流密 度方程中,引起漂移电流的电场指的是外加的电场。
如果在半导体材料中的某一处产生了过剩电子和过剩 空穴,若有外加电场存在,这些过剩电子和过剩空穴 就会在外加电场的作用下朝着相反的方向漂移。
(泊松方程能建立过剩电子浓度及过剩空穴浓度与内 建电场之间的关系),其表达式为:
其中εS是半导体材料的介电常数。
扩散方程中的
项不能忽略。
双级输运方程的推导: 半导体中的电子和空穴是成对产生的,因此电子和空 穴的产生率相等,即:
此外,电子和空穴也总是成对复合的,因此电子和空 穴的复合率相等,即:
利用准电中性条件,则有:
结论:
双极扩散系数D′和双极迁移率μ ′均为载流子浓度的函 数,因为载流子浓度n、p中都包含了过剩载流子的浓 度δ n ,因此:
双极输运方程中的双极扩散系数和双极迁移率都不是 常数。
双极输运方程是一个非线性的微分方程。
6.3.2 掺杂与小注入的约束条件 对于上述非线性的双极输运方程,利用半导体掺杂
小注入: 对于非本征的N型半导体材料:
通常n0 >>p0 ,n0 >>δ p
对于非本征的P型半导体材料:
则有p0 >>n0 ,p0 >>δ n
在小注入条件下,对于P型半导体材料上述方程可简 化为: 此方程的解为一个指数衰减函数:
τn0:过剩少数载流子的寿命。
对小注入条件,τ n0 是一个常数;上式反映了过剩少 数载流子电子的衰减过程。
电子的产生率---Gn0 空穴热产生率---Gp0,
单位:cm-3·s-1。
对于导带与价带之间的直接产生过程,电子和空 穴是成对产生的,因此有:
电子的复合率--- Rn0 空穴的复合率--- Rp0
单位:cm-3·s-1。
对于导带与价带之间的直接复合过程,电子和空穴也 是成对复合掉的,因此有:
在热平衡状态下,电子和空穴的浓度不随时间改变, 即达到动态平衡,因此有:
但是,由于过剩电子和过剩空穴都是带电的载流 子,因此,其空间位置上的分离就会在这两类载流子
之间诱生出内建电场。
内建电场又会反过来将这些过剩电子和过剩空穴往一 起拉,即内建电场倾向于将过剩电子和过剩空穴保持 在同一空间位置,其过程如下图所示。
考虑内建电场之后,上一节中导出的电子和空穴与时 间相关的扩散方程中的电场则应同时包含外加电场和 内建电场,即:
如果半导体材料受到外部的激励(如温度的突然 升高),那么在原来热平衡浓度的基础上,会增加额 外的导带电子和价带空穴----非平衡过剩载流子,过 剩载流子是半导体器件工作的基础。
本章重点学习描述非平衡过剩载流子随空间位置 和时间变化状态---双极输运方程,这是研究分析PN 结和双极型晶体管特性的基础。
再将上述条件应用于双极迁移率的公式,同样可以 得到:
结论: 对于P型半导体材料和小注入条件: 双极扩散系数简化为少子电子的扩散系数。 双极迁移率简化为少子电子的迁移率。 少子电子的扩散系数和迁移率都为常数,因此双极输 运方程也简化为一个线性微分方程。
N型半导体材料: 假定 n0 >> p0, Dn、Dp处于同一个数量级。当其满足 小注入条件,则 δ n<< n0 。 此时双极扩散系数可简化为:
和小注入条件可以对其进行简化和线性化处理。 根据前面的推导,双极扩散系数D´可表示为:
其中:n0和p0:热平衡时的电子和空穴浓度, δn:过剩载流子浓度。
P型半导体材料: 假定 p0 >> n0 , Dn、Dp处于同一个数量级。当其满 足小注入条件,则 δ n<< p0 。 双极扩散系数可简化为:
Rnp
R =αr np
α r --复合系数,表示单位时间一个电子与一个空穴 相遇的几率。
当半导体处于热平衡状态,则:
n = n0 p = p0
此时,单位时间单位体积被复合掉的电子、空穴对数
= αr n0 p0
产生率:G
定义:单位时间、单位体积中产生的载流子数。
G :在所有非简并情况下基本相同,与温度有关,
因为双极迁移率是与载流子的漂移运动相关的,因而 也就是与载流子的带电状态相关的。
对于双极输运方程,剩下的两项就是产生率和复合率。 对于电子,则有:
p :空穴的浓度; p /τpt :空穴的复合率; τpt:包含热平衡载流子寿命和过剩载流子寿命。
将上式两边分别除以微分体积元的体积,则有: 上式称为一维条件下,空穴连续性方程。
类似地,得到一维条件下电子连续性方程为:
式中:Fn-为电子的流量。单位:cm-2s-1; 电子的复合率:n/τ nt,其中τ nt既包含热平衡 载流子寿命,也包含过剩载流子寿命;