微传感器和微机电系统(MEMS)-上海交通大学微电子学院
上海交通大学研究生教学安排和上课时间表-上海交通大学-电子信息
2、上课周数从第二周开始的上课时间就从2016年9月19日开始；第三周开始的时间2016.09.26.
上海交通大学微纳电子学系硕士研究生
课程教学安排和上课时间表
（2016－2017学年第一学期）
课程代码
课程名称
总
学
时
本学
期学
时数
学
分
ES26023
微机电系统（MEMS）
48
48
3
1-16
吴校生
陈瑞球楼216
周三晚上18:00-20:20
ES26038
混合信号电路设计与自动化方法
48
48
3
1-16
施国勇
陈瑞球楼205
周四下午14:00-16:40
ES26025
微系统设计、测试与控制
48
48
3
1-16
陈佳品
陈瑞球楼203
周四下午14:00-16:40
ES26019
纳米科学与技术
48
48
3
1-16
侯中宇
刘海，刘越
陈瑞球楼223
周四晚上
18:00-20:20
ES26026
电子材料科学与工程
48
48
3
1-16
冯洁
陈瑞球楼202
周五上午9:00-11:40
ES26018
有限元分析
32
32
2
1-11
张卫平
陈瑞球楼202
周五下午14:00-16.40
ES26040
2
2－16
注意班级、教室号及上课时间
第二外语
微机电系统结构
微机电系统结构
微机电系统（MEMS）是一种将微电子技术与机械工程结合的微型系统。
它的结构主要包括以下几个部分：
1.微传感器：这是MEMS的最基本组成部分，用于感知外部信号，如温度、
压力、声音等，并将其转换为可处理的电信号。
2.微执行器：这是MEMS的另一重要组成部分，负责将电能转换为机械能，
以实现驱动、控制等功能。
3.信号处理电路：为了对微传感器采集的信号进行处理，MEMS还包括相应
的信号处理电路，以便对信号进行放大、滤波、模数转换等处理。
4.通信接口：MEMS系统通常还需要一个通信接口，以便将MEMS传感器采
集的数据传输到外部设备或系统中。
5.电源：为使MEMS系统正常工作，通常需要为其提供电源。
这可以是内部
电池，也可以是外部电源。
6.封装：MEMS系统需要进行封装，以保护其内部的微机械结构和电路等免
受外界环境的影响。
封装可以采用各种材料和技术，以满足不同的应用需求。
MEMS系统的结构可以根据需要进行定制，以满足特定的应用需求。
其微型化的特点使得MEMS在许多领域都具有广泛的应用前景，如汽车、医疗、航空航天等。
微机电系统传感器的研发与应用
微机电系统传感器的研发与应用随着科技的发展，微机电系统（Micro-electromechanical System, MEMS）作为一种新型的技术得到了广泛的应用。
MEMS技术涵盖了微小机电元器件的制造、设计和集成，其可以制作出微型传感器、微型执行器等微型系统，目前主要应用于医疗、汽车、航空和卫星通信等领域。
本文将重点探讨微机电系统传感器的研发与应用。
一、微机电系统传感器的研发微机电系统传感器是目前MEMS技术领域应用广泛的一种微型元件。
一般指在微小的机械结构或电子结构上植入传感器元件，通过对物理现象的捕捉和转换电信号，完成某种物理量的测量。
微机电系统传感器又分为惯性传感器、压力传感器、温度传感器、位移传感器等多种类型。
下面分别详细介绍几种主要的微机电系统传感器。
1. 惯性传感器惯性传感器是一种测量加速度和角速度的传感器，主要应用于导航、惯性引导和姿态控制等领域。
惯性传感器一般由加速度计和陀螺仪组成。
加速度计用来测量加速度，通过积分能够求得速度和位置信息。
陀螺仪用来测量角速度和角度变化，通过积分能够求得角度信息。
由于惯性传感器有自身的噪声和漂移，因此需要对信号进行降噪和校准处理。
2. 压力传感器压力传感器是测量气体或液体压力变化的传感器。
压力传感器可以分为绝对压力传感器、相对压力传感器和差压传感器。
绝对压力传感器用于测量真空或不同基准压力下的压力值，相对压力传感器用于测量相对压力变化，差压传感器用于测量两个点之间的压差。
压力传感器的结构一般由感受元件、线性放大器和信号处理电路组成。
3. 温度传感器温度传感器是测量温度变化的传感器，可分为接触式温度传感器和非接触式温度传感器。
接触式温度传感器通过接触测量物体的表面温度，一般通过热电偶或热敏电阻来实现。
非接触式温度传感器则通过测量物体的辐射能量来间接得出物体表面的温度。
温度传感器的精度和响应速度与制造工艺和材料有关。
4. 位移传感器位移传感器用来测量两个物体之间的距离或位置。
微机电系统(mems)工程技术 半导体制造工艺技术
微机电系统(mems)工程技术半导体制造工艺技术微机电系统（MEMS）是一种融合微电子技术、机械工艺和微纳米加工技术的新型技术，具有微小体积、高性能和低功耗等优点，被广泛应用于传感器、执行器、微机械系统等领域。
MEMS制造工艺技术作为其核心技术之一，在MEMS设备的设计、生产和测试过程中起着至关重要的作用。
一、MEMS制造工艺技术的基本原理MEMS制造工艺技术是利用微纳米加工技术对微电子元件进行加工，实现微小尺寸的器件。
其基本原理包括光刻、薄膜沉积、刻蚀、清洗和包装等步骤。
在制造过程中，需要考虑到器件的性能、成本和效率等因素，并采用不同的工艺流程进行处理。
二、MEMS制造工艺技术的工艺流程1.设计阶段：确定MEMS器件的功能和结构，并进行软件仿真和电路设计，制定完整的器件设计方案。
2.掩膜光刻：利用掩膜和紫外光曝光的技术，将器件的图形准确转移到光敏材料上，形成所需的图形。
3.薄膜沉积：采用物理气相沉积、化学气相沉积等技术，在衬底表面沉积一层或多层薄膜，用于制备MEMS器件的功能部件。
4.刻蚀工艺：采用干法或湿法刻蚀技术，将多余的材料去除，形成所需的器件结构。
5.清洗和检测：在制造过程中，需要对器件进行清洗和检测，确保器件的质量和性能。
6.包装封装：将制备好的器件封装在封装体中，保护器件免受外部环境的影响。
三、MEMS制造工艺技术的发展趋势1.纳米加工技术：随着纳米加工技术的发展，MEMS器件的尺寸将进一步减小，性能将得到显著提升。
2.多功能集成：未来的MEMS器件将具有多功能集成的特点，可以同时实现多种功能，提高器件的综合性能。
3.自组装技术：自组装技术的应用将使MEMS制造工艺更加灵活和高效，降低成本，提高生产效率。
4.高可靠性设计：随着MEMS器件在汽车、医疗等领域的广泛应用，高可靠性设计将成为MEMS制造工艺技术的重要发展方向。
四、结语MEMS制造工艺技术是一项复杂而重要的工艺技术，对MEMS器件的性能和质量起着决定性的作用。
微电子机械系统MEMS概述
微电子机械系统MEMS概述微电子机械系统（Micro-electromechanical Systems, MEMS）是一种将电子技术与机械工程相结合的技术领域，通过制造微尺度的电子器件和机械系统，可以实现微小化、集成化和高性能的微型设备。
MEMS用于制造传感器、执行器和微操纵系统等微型装置，已经广泛应用于通信、汽车、医疗、军事和消费电子等领域。
MEMS的核心技术包括微纳加工技术、传感器技术和微机电系统技术。
微纳加工技术是MEMS制造的基础，主要包括光刻、薄膜沉积、离子刻蚀、扩散和薄膜技术等。
这些技术可以制造出微米甚至纳米级别的微型结构和器件。
传感器技术是MEMS的重要应用领域之一，利用微型传感器可以实现对温度、压力、流量、位移、加速度和姿态等物理量的检测和测量。
而微机电系统技术则是将传感器和执行器等微型装置集成在一起，实现自动化控制和微操纵的功能。
MEMS具有以下几个显著的特点：微小化、集成化、多功能和低成本。
微小化可以实现高密度的集成和高灵敏度的检测，同时降低设备的功耗和重量。
而集成化可以将多个功能模块集成在一个芯片上，提高了系统性能和可靠性，同时减少了系统的体积和重量。
多功能则是指MEMS可以同时实现多种功能，如传感、处理和控制等。
此外，由于MEMS采用的是集成化的制造工艺，可以大规模制造，降低了生产成本，为大规模应用提供了可能。
MEMS在各个领域的应用也越来越广泛。
在通信领域，MEMS技术可以制造微型光机械开关，用于光通信网络的光信号调控和光路径选择。
在汽车领域，MEMS技术可以制造出压力传感器、加速度传感器和姿态传感器等，用于车辆的安全控制系统和车载导航系统。
在医疗领域，MEMS技术可以制造出微型生物传感器，用于检测体内的生物信号，如血压、血氧和葡萄糖等。
在军事领域，MEMS技术可以制造微型化的惯性导航系统和气体传感器，应用于导弹制导系统和化学生物探测等。
在消费电子领域，MEMS技术可以制造微型微镜头和投影显示器，应用于智能手机、平板电脑和智能手表等。
微机电系统MEMS简介
1992年 体硅加工工艺 (SCREAM process, Cornell)
1993年 数字微镜显示器件 (Texas Instruments)
1994年 商业化表面微机械加速度计 (Analog Devices)
1999年 光网络开关阵列 (Lucent)
4:03 PM
微机电系统MEMS简介
微机电系统-MEMS
4:03 PM
微机电系统MEMS简介
1
MEMS定义
早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明 不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的 机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器 等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上， 就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。
4:03 PM
微机电系统MEMS简介
8
1979年 集成化气体色谱仪 (C.S. Terry, J.H. Jerman, J.B.Angell)
1981年 水晶微机械 (Yokogawa Electric)
1982年“Silicon as a mechanical material” (K. Petersen)
4:03 PM
微机电系统MEMS简介
7
MEMS的发展过程的重要历史事件
1939年 P-N结半导体 (W. Schottky) 1948年 晶体管 (J. Bardeen, W.H. Brattain, W. Shockley) 1954年 半导体压阻效应 (C.S. Smith) 1958年 集成电路（IC） (J.S. Kilby) 1959年 “There is plenty of room at the bottom” (R. Feynman) 1962年 硅集成压力驱动器 (O.N. Tufte, P.W. Chapman, D. Long) 1965年 表面微机械加速度计 (H.C. Nathanson, R.A. Wichstrom) 1967年 硅各向异性深度刻蚀 (H.A. Waggener) 1973年 微型离子敏场效应管 (Tohoku University) 1977年 电容式硅压力传感器 (Stanford)
微机电系统(MEMS)技术介绍
微机电系统（MEMS）技术介绍微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。
MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。
MEMS 器件的特征长度从1毫米到1微米--1微米可是要比人们头发的直径小很多。
MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。
然而，MEMS器件加工技术并非机械式。
相反，它们采用类似于集成电路批处理式的微制造技术。
今天很多产品都利用了MEMS技术，如微换热器、喷墨打印头、高清投影仪的微镜阵列、压力传感器以及红外探测器等。
MEMS技术可以用于制造压力传感器、惯性传感器、磁力传感器、温度传感器等微型传感器，这些传感器以及它们的部分信号处理电路都可以在只有几毫米或更小的芯片上实现。
与传统的传感器相比，MEMS传感器不仅体积更小、功耗更低，而且它们往往会比传统传感器更加准确、更加灵敏。
随着人们对海洋观测的需求不断增加和海洋观测技术的不断发展，MEMS技术也在逐渐进入海洋观测技术研究领域。
一、MEMS概念“他们告诉我一种小手指指甲大小的电动机。
他们告诉我，目前市场上有一种装置，通过它你可以在大头针头上写祷文。
但这也没什么；这是最原始的，只是我打算讨论方向上的暂停的一小步。
在其下是一个惊人的小世界。
公元2000年，当他们回顾当前阶段时，他们会想知道为何直到1960年，才有人开始认真地朝这个方向努力。
”——理查德·费曼，《底部仍然存在充足的空间》发表于1959年12月29日于加州理工大学（Caltech）举办的美国物理学会年会。
但我们可能会问：为什么要在这样一个微小尺上生成这些对象？MEMS器件可以完成许多宏观器件同样的任务，同时还有很多独特的优势。
这其中第一个以及最明显的一个优势就是小型化。
2023年微电子科学与工程专业考研院校
2023年微电子科学与工程专业考研院校微电子科学与工程是一门涉及半导体器件、电子集成电路以及微系统技术的交叉学科。
随着信息技术的不断发展和应用，微电子科学与工程已逐渐成为高新技术产业的重要支撑，其市场需求和就业前景十分广阔。
为此，许多院校都开设了微电子科学与工程专业，以下是一些考研微电子专业比较好的院校。
1.清华大学清华大学微电子与纳电子学系是国内最早启动VLSI设计和制造技术研究的系之一。
至今已有30多年历史，被誉为中国微电子第一学科。
该系的硕士研究生导师均来自国内外一流的微电子学科研机构和企业，师资力量雄厚。
清华大学还与国内许多知名企业合作开展微电子领域的科研工作，如在芯片设计、微纳米加工、器件测试等方面取得了很大进展。
2.上海交通大学上海交通大学微电子学系是我国创办最早的微电子学科之一，学科师资力量雄厚，拥有一批优秀的教师和学术骨干。
学院硕士研究生导师包括来自世界一流高校和知名企业的专家学者，不仅具有丰富的教学经验，同时也在硬件电路设计、模拟电路设计、数字信号处理等领域有深入研究。
3.北京大学北京大学微电子学研究所是国内专门开展微电子科学与工程研究的高水平机构之一，堪称国内微电子研究的源头。
该研究所在可编程逻辑、系统芯片设计、混合信号集成电路设计、电子设计自动化等领域具有国内一流的学科实力，硕士导师队伍规模较大、专业分工合理，学科研究成果丰富。
4.华中科技大学华中科技大学微电子与固体电子学院力图培育高技能微电子设计和应用人才。
学院具有较强的师资力量，拥有国内外知名专家教授、与国内外多家企事业单位合作，开展多项重要科研项目和产学研合作，广泛开展国际交流与合作，学术交流频繁活跃。
5.天津大学天津大学是国家首批重点建设的大学之一，在微电子学科领域也十分有实力。
微电子学院的硕士导师队伍结构合理，涵盖了从半导体材料，器件、设计、制造到测试等各个方面的专业领域，他们有着在实践中积累的丰富经验，并且一直保持与国外名校的紧密联系，学术水平也在不断提高。
原位封装MEMS低温温度传感器
66传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)2021年第40卷第4期DOI ： 10.13873/J. 1000-9787(2021)04-0066-04原位封装MEMS 低温温度传感器黎云，尤敏敏，林祖德，刘景全(上海交通大学电子信息与电气工程学院，上海200240)摘要：针对高精度低温温度测量需求,提出一种基于氮氧化错薄膜的微机电系统(MEMS)低温温度传感器。
通过微加工工艺,将传感器制备与封装相结合，有效简化传统低温温度传感器的制备流程,缩小低温温度传感器尺寸。
研制的低温温度传感器尺寸仅为3.2mm x2.0mmx0.73 mm,质量低于12 mg 。
通过颗粒碰撞噪声检测和显微结构观测，盖帽中的凸点结构和金属化空腔可有效提高传感器可靠性。
制备得到的低温温度传感器通过低温测试平台进行标定，传感器适用于4.2 -300 K 之间的温度测量，特别是50K以下时，传感器具有很高的灵敏度。
通过磁场环境测试,表明传感器在磁场中具有很好的稳定性。
关键词：低温温度传感器；封装；微机电系统(MEMS)中图分类号：TN44； TP212 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2021)04-0066-04MEMS cryogenic temperature sensor with in-situ packagingLI Yun , YOU Minmin , LIN Zude , LIU Jingquan(School of Electronic Information and Electrical Engineering , Shanghai Jiao Tong University , Shanghai 200240, China )Abstract : Aiming at the requirement of high precision cryogenic temperature measurement , a MEMS cryogenictemperature sensor based on zirconium oxynitride film is proposed. Through the micro ・machining process , the sensor preparation and packaging are combined to effectively simplify the preparation process of the conventionallow-temperature temperature sensor and reduce the size of the low-temperature temperature sensor ・ The preparedcryogenic temperature sensor has a size of only 3. 2 mm x2・ 0 mm x0. 73 mm and mass is less than 12 mg. Throughthe particle impact noise detection and microstructure observation , the bump structure and the metallized cavity inthe cover plate can effectively improve the reliability of the sensor. The prepared cryogenic temperature sensor iscalibrated by a low temperature test platform , and the sensor is suitable for temperature measurement between4.2 〜300 K ,especially when the temperature is below 50 K, the sensor has high sensitivity. The magnetic fieldenvironment test shows that the sensor has good stability in magnetic field.Keywords : cryogenic temperature sensor ； packaging ； micro ・electro ・mechanical ・system( MEMS)0引言随着温度降低，材料的性质会随之发生改变，产生许多 奇异的现象，例如：气态液化、凝固、超导现象、超流体现象E 。
微机电系统MEMS简介
陀螺仪
总结词
用于测量或维持方向的传感器
详细描述
陀螺仪是一种基于角动量守恒原理的传感器，用于测量或维持方向。它通过测量物体旋转轴的方向变 化来工作，通常由高速旋转的陀螺仪转子组成。陀螺仪广泛应用于导航、姿态控制、游戏控制等领域 ，如智能手机、无人机和导弹制导系统等。
压力传感器
总结词
用于测量流体或气体压力的传感器
MEMS市场应用领域
消费电子
汽车电子
医疗健康
工业自动化
MEMS传感器在消费电子产品 中的应用广泛，如智能手机、 平板电脑、可穿戴设备等。这 些设备中的传感器用于运动检 测、加速度计、陀螺仪、气压 计等。
随着汽车智能化的发展， MEMS传感器在汽车领域的应 用也越来越广泛，如车辆稳定 性控制、安全气囊、发动机控 制等。
MEMS材料
单晶硅
单晶硅是MEMS制造中最常用的材料 之一，具有高强度、高刚度和良好的 化学稳定性。
多晶硅
多晶硅在MEMS制造中常用于制造柔 性结构，具有较好的塑性和韧性。
玻璃
玻璃在MEMS制造中常用于制造光学 器件，具有较高的透光性和稳定性。
聚合物
聚合物在MEMS制造中常用于制造生 物传感器和柔性器件，具有较好的生 物相容性和可塑性。
集成化
未来的MEMS系统将更加集 成化，能够将多个MEMS器 件集成在一个芯片上，实现 更高效、更低成本的应用。
03
CATALOGUE
MEMS传感器与器件
加速度传感器
总结词
用于测量 物体运动状态的传感器
详细描述
加速度传感器是一种常用的MEMS传感器，主要用于测量物体运动状态的加速度。它通常由质量块和弹性支撑结 构组成，通过测量质量块因加速度产生的惯性力来计算加速度值。加速度传感器广泛应用于汽车安全气囊系统、 手机和平板电脑的姿态控制、运动检测等领域。
mems微机电系统名词解释
mems微机电系统名词解释MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是一种集成微型机械、电子与传感器功能于一身的微型设备。
它结合了传统的机械制造技术、半导体工艺和微纳米技术，将微型机械部件、传感器、电子电路以及微纳加工技术集成在一个晶圆上，以实现微型化、多功能化和集成化的目标。
以下是一些与MEMS相关的名词解释：1. 传感器（Sensor）：一种能够感知并转换外部物理量、化学量或生物量的设备，可以将感应到的物理量转化为电信号。
2. 执行器（Actuator）：一种能够接收电信号并将其转化为相应的机械运动的设备，用来实现对外界的控制或作用。
3. 微型机械（Micro-Mechanical）：指尺寸在微米或纳米级别的机械部件，由微细加工技术制造而成，具有微小、精确和高效的特点。
4. 纳米技术（Nanotechnology）：一种研究和应用物质在纳米尺度下的特性、制备和操作的技术，常用于MEMS器件的加工制造。
5. 惯性传感器（Inertial Sensor）：一种基于测量物体运动状态和变化的MEMS传感器，如加速度计和陀螺仪。
6. 压力传感器（Pressure Sensor）：一种可以测量气体或液体压力的MEMS传感器，常用于汽车、医疗、工业等领域。
7. 加速度计（Accelerometer）：一种测量物体在空间中加速度的MEMS传感器，常用于移动设备、运动检测等应用。
8. 微镜（Micro-Mirror）：一种利用MEMS技术制造的微型反射镜，通常用于显示、成像和光学通信等应用。
9. 微流体器件（Microfluidic Device）：一种用于实现微小流体控制的MEMS器件，常用于生化分析、药物传递和微生物学研究等领域。
10. 无线传感器网络（Wireless Sensor Network）：一种由多个分布式的MEMS传感器节点组成的网络系统，可以实现对环境信息的实时采集、处理和通信。
微机电MEMS技术
微机电MEMS技术近些年来，微机电MEMS（Micro-Electro-Mechanical System，即微机电系统）技术的发展已成为一个热门的研究课题。
这项技术的开发有利于推动社会经济的发展，改善人们的生活质量，并为更多新技术的研发提供技术支持和技术指导。
微机电MEMS技术是一种利用微机电元件、微机电系统和微机电结构的新型技术。
它是将传感器、控制器、处理器、存储器、显示仪和其他微机电系统组件结合在一起，实现信息采集、信号处理、计算机图形处理以及传感器系统动态控制等功能。
微机电MEMS技术可以实现单个传感器解决多个问题，以节省成本，提高系统的可靠性和可维护性。
微机电MEMS技术在多个行业的应用十分广泛。
它极大地简化了传感器的设计和实施，可用于行业中一些复杂的测量工作。
微机电MEMS技术还可以用于提高机械性能，改善可靠性，提升效率，提高生产效率，降低成本等方面。
微机电MEMS技术发展的过程中，受到了许多因素的影响，其中包括材料选择、制造工艺以及测量与控制等方面。
在材料选择方面，应用不同种类的微机电材料，由于其特殊的制造工艺，具有一定的传感性能和操作性能。
在测量和控制方面，应用不同的传感器、控制器和处理器，可以实现实时可靠的信号处理和逻辑控制。
此外，微机电MEMS技术的发展还受到芯片体积小、重量轻等基本特点的限制，因此在设计实现过程中，必须加以考虑。
不能超过物理限制，否则，微机电MEMS系统将无法实现。
在未来，微机电MEMS技术再次受到科学家们的重视，发展前景无限。
它将成为人们改善和提高生活水平的重要技术，并在工业系统的可靠性和效率方面发挥重要作用。
微机电MEMS技术的未来发展应以低成本、高效率、精确操作、可靠性高和环保技术为目标，将为社会、工业和科学发展做出重大贡献。
综上所述，微机电MEMS技术的发展对社会的发展具有重要的意义。
未来的发展将为社会、工业和科学发展带来积极的影响，为人类带来更加舒适的生活方式。
微机电系统(mems)研究报告
微机电系统(mems)研究报告
微机电系统（MEMS）是一种将微米（微薄）尺度的机械系统与先
进的微电子技术和纳米加工技术相结合的领域。
它是一个综合性的交
叉学科，包括机械工程、电子工程、材料科学等多个领域。
MEMS通常
用于制造微型设备以及各种传感器、执行器、微机械系统等。
MEMS技术的发展始于20世纪60年代。
在此之前，人们只能制造出很大的电气机械系统。
然而，伴随着硅微米加工技术的进步，科学
家们终于有能力制造出微型机器。
现在，MEMS技术已经得到广泛应用，例如气体传感器、压力传感器、光学器件、生物传感器等。
MEMS设备的制造非常复杂。
尽管它的大小很小，但有时候需要数百步的加工流程，这通常需要利用高精密的光学和电子设备。
MEMS技
术还需要涉及到虚拟与实际的领域，制造出来的设备通常都需要通过
计算机模拟来测试性能，同时还要回到实验室进行物理实验。
MEMS技术不仅在实验室中被应用于研究，其实在各个领域都有应用。
这些应用通常涉及到小型手机、传感器、医学诊断等领域。
综上所述，MEMS技术代表了一个快速发展的领域，它的出现大大扩展了微电子技术的应用。
这种技术对于现代社会的重要性越来越广泛，它的不断发展和创新相信也会带来更多的惊喜和可能性。
微纳科学技术研究院 - 上海交通大学统一身份认证
纳米加工
通讯地址：中国上海市华山路1954号上海交通大学微纳科学技术研究院 邮政编码：200030 电话：（021）62821093；62933978－103 E-mail：mzxu@
微纳科学研究院
学科 岗位 教授 人数 1 岗位职责 岗位条件 从事本学科前沿基础和重大应用基础研究工作， 博士 50岁以下 微电子学与固体电子学、 科学研究方面取得国内外同行的认可，具备开展 物理学专业背景； 多学科交叉的能力，具有带领本学科在其领域 五年以上从事微光机电系统相关的工作经 前沿赶超国际先进水平的学术水平。 历；国外学习和工作经历优先。 从事本学科前沿基础和重大应用基础研究，科学 博士 50岁以下 微电子学与固体电子学、 研究成果取得国内外同行的认可，具备独立从事 物理学专业背景； 重大项目研究的能力，具有带领团队在其研究 五年以上从事微光机电系统相关研究的工作
从事纳加工与器件基础和应用基础研究工作，具 备独立从事科学研究和指导研究生的学术水平， 掌握纳米电子学、纳米光学与基础纳米曝光的纳 加工技术的理论和研究方法，能独立开展与提高 纳加工技术研究及微纳器件研发水平。 博士 35岁左右 讲师或助理研究员；任职以 来主持省部级科研项目或作为主要研究人员 参加国家或省部级科研项目，以第一作者或 通讯作者发表SCI收录学术论文多篇，国外 学习或工作经历者优先。
微光机电系统 （MEMS）
研究员 1
领域赶上国际先进水平的学术水平。 微光机电系统 （MEMS）
经历；国外学习或工作经历优先。
纳米生物医学
副研究员
5
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
从事本学科基础和应用基础研究，具备独立从 事科学研究和指导研究生的学术水平，掌握本 学科的基本原理与研究方法，开拓与提高微系 统与微器件的设计与加工水平，良好地团队合 博士 35岁左右讲师或助理研究员；任职以来 作精神和创新能力。 主持省部级科研项目，以第一作者或通讯作 从事纳米生物医学基础和应用基础研究工作， 者发表SCI收录学术论文多篇。国外学习 具备独立从事科学研究和指导研究生的学术水 或工作经历者优先。 平，掌握与熟悉纳米材料可控制备与表面修饰 以及纳米生物医学基本原理与研究方法，良好 的团队合作精神和创新能力。
微电子学院 - 上海交通大学统一身份认证
学科 岗位
先进数字系统设计与芯片 实现 （副教授/副研究员） 系统级芯片设计 通信集成电路系统 （副教授/副研究员） 系统设计 （副教授/副研究员） 无线通信系统 混合信号/模拟集成电路 模拟与射频芯片设计 设计 射频集成电路设计 （副教授/副研究员） 集成电路设计自动化 (EDA)
人数
1
通讯地址：中国上海市闵行区东川路800号上海交通大学微电子学院 邮政编码：200240 联系人：郁美娟 电话：（021） 34204546-1022 E-mail：yumeijuan@ 传真：（021）34204719
岗位基本职责
①教学：承担数字芯片设计方面的教学任务 ②科研：承担先进设计方法和体系构架方面的研究工作
岗位基本条件
熟悉先进体系结构设计技术；熟悉Байду номын сангаас硬件协同设计技术； 3年以上研究机构或企业工作经历者优先。
1
1
2
副教授/副研究员 神经系统工程 生物医疗MEMS/NEMS （研究员） 光电子材料／器件 磁材料／器件 微机电／纳米机电系统 （NEMS/MEMS） （研究员） 光电子材料／器件 磁材料／器件 微机电／纳米机电系统 （NEMS/MEMS） （副教授/副研究员）
1
生物及医疗电子
1
1
半导体器件与工艺研 究
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①教学: 数字通信原理，数字信号处理 相关物理层通信系统的专业背景；熟悉: Matlab/C, ②科研: 宽带通信系统物理层建模,核心算法及其VLSI结 Verilog/VHDL。 构的研究和实现 具有多核处理器、高性能计算结构设计的研究经历；具有 ①教学：嵌入式系统设计，多媒体应用； 无线自组织网络的研究经历；具有DSP算法设计的研究经 ②科研：基于通信、音视频、图像的DSP算法与系统实现 历；具有Matlab、systemC、RTL coding、FPGA开发、 。 PCB设计等设计技能。 熟练应用英文；有工作经验者优先；有流片经验, 测试经 ①教学(任选2门)：模拟集成电路， 混合信号集成电路， 验者优先；有以下经验者优先: 高速高性能ADC, 高性能 射频集成电路，数字通信原理，射频系统工程，新开专业 通用模拟电路, 高性能Frequency Synthesizer, 超高速 课程； /超宽带/低功耗, 有线或无线收发器电路,数字基带和射 ②科研：参与无线通信芯片的在研项目； 申请新的课 频通信系统建模和仿真, 熟悉至少一种通信协议标准 题； 发表论文。 （如数字电视，3G, GPS ,UWB等）。 在设计自动化研究领域有深厚积累；具有英文讲课能力， ①教学：数字/模拟集成电路设计方面的基础课程、设计 能开设具有国际先进水平的双语课程；能以项目主持人身 自动化方面的专业课； 份吸引项目；能发表高水平论文；能保持在本领域的知名 ②科研：参与在研项目；申请新的课题；发表论文。 度。 ①教学：生物及医疗电子系统；新开专业课程； 熟练应用英文；熟悉生物电子系统领域，包括神经系统工 ②科研：参与在研生物及医疗电子的科研项目； 申请新 程，生物传感器等；有生物医疗MEMS/NEMS器件经验者优 的课题；发表论文 先。 具有主持重大科研项目的经历；具有以下条件者优先：四 ①教学：半导体物理及器件（本科生或研究生）光电子材 年以上工业界先进器件设计及工艺集成的实际经验，熟悉 料及器件、薄膜技术及理论、MEMS/NEMS领域课程（研究 相关领域最前沿的研究方向，熟悉实际工业界器件的设 生）； 计，工艺集成，器件可靠性原理及Layout；能够独立申请 ②科研：在传统CMOS器件，工艺及新概念器件领域，光电 并承担各类相关课题，指导研究生和本科生。 子材料和磁材料／器件领域开展前沿基础和应用研究；在 具有以下条件者优先：两到三年工业界先进器件设计及工 微机电／纳米机电系统领域，尤其是在生物和医疗芯片系 艺集成的实际经验，熟悉相关领域最前沿的研究方向，熟 统，纳米传感器及能源高效利用／捕获器件领域开展前沿 悉实际工业界器件的设计，工艺集成，器件可靠性原理及 基础和应用研究。 Layout；能够独立申请并承担各类相关课题，指导研究生 和本科生。
微机电系统(MEMS)
何谓微机电系统(MEMS)为了说明什么是微机电系统MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)，首先来解释一下什么是机电系统。
20多年以前，汽车还是一个单纯的机械系统，后来随着电子技术的发展，汽车的很多零部件(例如电子点火器、燃油电子喷射装置、电控自动变速箱等)都依靠电子系统进行控制，因此现在的汽车实际上就是一个大的机械电子系统。
而微机电系统则是指微小的机械电子系统，例如比一粒花生米还要小的飞机或汽车，是由很多只有几百微米大小的零件组成的，而这些零件是用微电子等微细加工技术制备出来的，既包含机械部件又包含电子部件，因此我们称这类微小的机械电子系统为微机电系统。
微机械电子系统是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械融为一体的系统。
MEMS将电子系统和外部世界有机地联系起来，它不仅能感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号，使之转换成电子系统可以识别的电信号，而且还能通过电子系统控制这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所需的操作。
MEMS主要包含微型传感器、执行器和相应的处理电路三部分。
作为输入信号的自然界各种信息首先通过传感器转换成电信号，经过信号处理以后(模拟/数字)再通过微执行器对外部世界发生作用。
传感器可以把能量从一种形式转化为另一种形式，从而将现实世界的信号(如热、运动等信号)转化为系统可以处理的信号(如电信号)。
执行器根据信号处理电路发出的指令完成人们所需要的操作。
信号处理器则可以对信号进行转换、放大和计算等处理。
美国AnalogDevice公司已经研制出很多种将集成电路与MEMS集成在一起的集成微加速度计、微陀螺等产品。
MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。
MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。
微机电系统对传感器技术发展的推动作用
微机电系统对传感器技术发展的推动作用近年来，微机电系统（Micro-electro-mechanical systems, MEMS）在传感器技术领域发挥了巨大的推动作用。
微机电系统是一种集成了微传感器、微执行器和微器件的技术，具有体积小、功耗低、成本低以及快速响应等优势。
本文将探讨微机电系统对传感器技术发展的重要作用，并从几个方面进行详细阐述。
首先，微机电系统为传感器技术的微型化提供了可能。
传感器的微型化一直以来都是科学家和工程师们努力追求的目标，而微机电系统的出现给了实现这一目标的新途径。
通过微米级的加工工艺，可以在微机电系统上集成多种功能，并将传感器的微型化程度提高到一个新的水平。
例如，利用微机电系统可以制造出微型压力传感器、微型加速度传感器、微型光学传感器等，这些微小而高效的传感器在诸多领域都发挥了重要的作用。
其次，微机电系统在传感器技术中提供了更高的灵敏度和更大的信号处理能力。
传感器的灵敏度指的是其对于输入信号的变化程度的感知能力，而信号处理能力则是传感器对信号进行转换、放大和滤波等处理的能力。
微机电系统利用先进的微纳加工技术和集成电路技术，能够制造出高度灵敏的传感器，例如微型气体传感器、微型生物传感器等，这些传感器对微小变化的感知能力非常强。
同时，微机电系统还通过内置的处理单元和算法，实现了对信号的即时处理和分析，大大提高了传感器的信号处理能力。
此外，微机电系统为传感器技术的多元化提供了平台和条件。
传感器的应用领域非常广泛，涵盖了环境监测、医疗诊断、工业控制等多个领域。
而微机电系统的出现使得不同领域的传感器能够集成在一个芯片上，从而实现传感器的多元化。
例如，利用微机电系统可以同时集成温度传感器、湿度传感器和气压传感器，实现对环境的全面监测。
另外，微机电系统还可以与其他技术相结合，如光学技术、生物技术等，实现传感器的高级功能。
这些多元化的传感器技术使得传感器在不同的应用领域中得到了更广泛的应用。
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2015暑期夏令营项目招募计划及方向介绍
（微传感器和微机电系统（MEMS）方向）
一、面向对象
★电子、仪器、机械、物理等相关专业本科三年级学生（上海交通大学本校学生也可申请参加）
★对可穿戴和可植入柔性电子器件感兴趣的同学；
★对极端环境微传感器好奇的同学；
★对生物芯片和便携式微型生物医疗电子仪器有想法的同学；
★有志于进一步深造，包括攻读博士、硕士学位的同学；
二、实习目标：
★了解柔性电子、极端环境微传感器和生物芯片的技术发展和最新动向；
★了解集成电路工艺和MEMS器件设计工具和流程；
★培养学生的团队合作能力、解决问题的能力以及创新精神。
三、实习内容：
★讲授微机电系统（MEMS）和生物芯片的相关课程。
★参观净化室环境和了解集成电路工艺。
★初步设计一个掩膜版，并完成光刻等试验。
★配合高年级同学器件设计、器件研制、器件测试、电路调试和界面设计等参与完成中间的某一部分工作。
四、主要使用工具：
L-EDIT，AUCAD，COMSOL，ANSYS，嵌入式系统FPGA开发平台等。
五、指导教师：刘景全杨春生杨斌陈翔。