莱宝真空泵说明书中文
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Trivac C工作原理
概述
• Trivac C 是一种油封式，双级、直联、风冷旋片真空泵 • 在德国设计，基于莱宝的TRIVAC A泵的改进产品（目前有超过十万台的A泵
在世界各地运转）。C泵由莱宝公司在中国天津的独资子公司生产，其高效、 可靠、低噪音及易维护的设计，不仅在制冷、冰箱、空调、照明、彩管等行 业得到广泛使用，而且也使用于实验室及科研场所。 • 它的工作压强范围为1000mbar~4x10-4mbar • 它可以单独使用，也可以作为 其它高真空泵或超高真空泵的前极泵 • 它可以抽除密封容器中的干燥气体。因附有气镇装置，还可以抽除一定量的 可凝性气体。但它不适于抽除含氧量过高的、有爆炸性的、对金属有腐蚀性 的、对泵油会起化学反应的以及含有颗粒尘埃的气体 • 泵头与电机由一个弹性连轴器连接，类似于国内的2X-Z。 • 油的供给靠压差来控制，达到轴承、叶片的润滑及泵腔的密封、冷却。油品 由低真空腔的进油铜嘴进入泵腔，便于油品的脱气、净化。
• 抽气过程分为吸气→ 气体密闭被压缩→排气参照双旋片泵
• 双旋片与三旋片的区别： 双旋片：每转一周吸排气各两次 三旋片：每转一周吸排气各三次
工作原理说明
• Trivac C泵是油封式旋片真空泵，驱动电机与泵主体直接用法兰连接，泵与 电机的轴由弹性联轴器直接连接，在联轴器上装有风扇，通过冷却孔隙使联 轴器周围即使在极端的条件下仍保持较低的温度，所有轴承均为油润滑的滑 动轴承。
在两级中间通道上设置中间辅助排气阀，当压强P2高于大气压强时，推开中 间排气阀片进行排气，使通道内压强永远不高于大气压强。当吸气压强较高 时，大部分气体经中间辅助排气阀排到大气中，小部分由低真空抽走。随着 吸气压强的降低，经中间辅助排气阀排气逐渐减小，，当吸入压强P1压缩到 使泵P，2多≤大做气成压等时腔，结则构中即间V辅1/V助2=排1，气因阀此将就自不动必关设闭置不中再间起辅作助用排了气。阀对了于。小旋片
设定中间辅助排气阀的原因
举例说明：假设高真空级泵腔容积V1为低真空级泵腔容积V2的四倍，由于是 同轴旋转，故高真空级的抽速S1为低真空级抽速S2的四倍。由气体流量连续 性空方级程吸可入知压：强PP11S为1大=P气2S压2，时又，因其S排1/气S2压=4强，P所2可以达P24/P个1=大4气。压由，此此看时出真，空当泵高就真 变成压气机了。由于真空泵配用的电机功率比压缩机小，因而工作困难。
工作原理图
1. 泵缸体 2. 转子 3. 定位销 4. 进气通道 5. 通气/隔离阀（防返油阀） 6. 尘粒过滤网 7. 进气口 8. 气镇阀帽 9. 排气口 10. 二次空气注入口（消音孔） 11. 油过滤器 12. 排气阀 13. 排气通道 14. 气镇通道 15. 注油口 16. 叶片
抽气过程
以上两项保证停泵后泵腔内充入大气。消除了因为压差而造成返油现象的发 生。
Trivac C 设计特点
• Trivac C内置的油雾过滤器以及长的内部排气管路设计。 解决了喷油问题。
影响极限真空的因素
• 极限真空（有害空间的存在） 有害空间： 转子与泵腔的接触点到排气口之间的尖角地带，藏在这里并处于排气压强下 不能被旋片推出泵腔之外的气体，常被旋片通过间隙挤到吸入腔内，因而降 低泵的极限真空。 旋片与转子、旋片与泵腔的接触点，这里的气体会因为压差的原因影响泵的 极限真空。 真空泵油的作用就是填充有害空间以消除其对极限真空的影响。
气镇的原理
• 气镇法又称掺气法，是防止蒸气凝结从而避免油污染的有效方法。这种方法 是将一股经过控制的气流（通常是室温干燥的空气）经气镇孔进入泵的压缩 腔中，让这股气流在压缩过程中与被抽蒸气相混，形成蒸气和空气的混合物。 把这种混合物压缩到排气压强时，使蒸气分压强能保持在泵温状态的饱和蒸 气压以下，因而蒸气不会凝结。这时推开排气阀，蒸气与其它气体一起被排 至泵外。被抽气体中蒸气的含量越多，掺入的干燥气体量就要越多。
• 关键部件来自德国----叶片，密封圈，轴封、垫片、阀片，离心开关、油、弹 性联轴体等。叶片靠自身高速旋转产生的离心力与泵腔接触，完成抽排气工 作。没有使用弹簧，增加了可靠性。叶片材质选用复合材料（玻璃纤维、酚 醛树脂等材料），性能可靠，符合环保要求。
外观图（连接口及控制件）
1. 注油口 2. 进气口 3. 气镇阀 4. 排气口 5. 电源接线盒 6. 放油口 7. 油位指示器
工作原理说明
• 在泵腔中，气体被压缩后通过排气阀12排入大气中，压缩气体中夹带的油收 集在油过滤器11中；它不仅过滤油，而且还过滤机械杂质。送入被称为“气 镇”的二次空气用以防止蒸汽凝聚在泵腔中。在压缩开始时，打开气镇阀注 入一定量的气镇气体，以确保泵抽除水蒸气压力达到技术参数的要求。开启 或关闭气镇阀由转动气镇阀帽8来实现。通常在泵运转于极限压强下会出现 油撞击声，这种噪音可由在10注入很小量的二次空气来消音。
泵油的作用及性能要求
• 作用： 1、密封---防止大气进入排气阀、有相对运动零件间间隙密封（转子与定子，旋
片与转子槽）。 2、润滑---相对运动件间的润滑。 3、冷却---油在泵内与油箱间循环，散热、冷却。 4、液体活塞---填充有害空间 . • 性能要求： 1、饱和蒸汽压要低，易挥发成分要少。 2、要有一定粘度，且随温度变化小（粘度温升曲线平滑）。 3、抗腐蚀、抗氧化、化学性能稳定。 4、不能与水反应。
影响极限真空的因素
• 极限真空（与油量的关系）
油量和极限真空也有一定的关系。油循环量与极限真空之间存在有下图所示 的曲线ABC的特性，并指出获得最佳的极限真空所需的最适当的油循环量 （在B点）。
极限压强
A C
DΒιβλιοθήκη Baidu
G
B
PB
E P0 F
QB
油量
影响极限真空的因素
• 极限真空（与油量的关系） 上图特性的物理意义： 油封式机械泵是靠油膜来密封的，如果油合乎要求，则随着油量的增多密封 的效果就越可靠，其极限真空与油量的关系应按DE曲线变化，最终达到油的 饱和蒸汽压P0。但实际上使用的泵油，吸收了大量的空气和水分，而这种泵 油进入泵腔后，吸收在油中的空气和水分又放出到泵腔内，因而油量的增加 就意味着放出的气体量增多，极限压强就会因此而上升，变成图上FG曲线那 样。所以，实际的油封机械真空泵的极限压强要将这两条曲线结合起来。， 构成曲线ABC的形状。在B点给出了极限压强最低值PB时油量的最佳值QB。
概述
• 当停泵后，防返油阀会自动封闭进气口，对被抽容器保压（10~100Pa, 保持 2小时左右，视泵阀清洁程度而定。）还可以防止油蒸汽对被抽容器造成污 染。该动作由安装在泵轴上的离心开关来控制，停泵向泵腔内充大气还可以 保证下次顺利启动。如果没有向泵腔冲入大气，在压差的作用下，油将被挤 如泵腔，下次启动时，泵所配的电机功率难以带动 ，造成电机“憋机”。
式真空计（或称麦式计）来测定泵的极限真空度。如果使用热传导真空计 （如热偶计或皮氏计），测量的结果要比压缩式真空计测得的结果低一个数 量级左右。 • 因为被抽气体是由永久性气体和可凝性气体两部分组成的，而压缩式真空计 只能测出永久性气体的分压强，通常测不出可凝性气体的分压强（或测出值 很小），热传导真空计能测出永久性气体和可凝性气体的分压强之和（即全 压强），所以压缩式真空计测得的压强值低（即真空度高）。
• 当泵停止时，泵轴上的离心开关开启放空通道，将大气空气送入通气/隔离阀 的活塞下，使通气/隔离阀的阀盘压住进气口，将通向真空容器的管道封闭， 并将空气放入泵中。泵上的油位观察窗便于检查油位，供应的标准泵型备有 单相或三相交流电机两种。
技术参数讨论
• 极限真空（与泵温的关系） • 泵在开始工作不久时，由于泵温达不到正常的工作温度，首先出现一个最低
Trivac C供油装置
• TrivacC 经压差供油，由低真空级的进油嘴进油。
Trivac C 设计特点
• 泵内置了锥型杂物过滤器，即使在不太清洁的环境下工作，在保护泵的前提 下，提供大的、稳定的抽速。
Trivac C 设计特点
• Trivac C泵内部离心开关 + 进气管路的设计 • Trivac C内置防返油阀的设计
影响极限真空的因素
• 其它因素 零件的加工精度等 可见影响极限真空的因素很多，有些也很难精确控制。故产品出厂前要逐台 检验，而且要经过一段时间的跑和运转，使其真空度稳定。 每台Trivac C在出厂前要经过16个小时的跑和，并测量极限真空、防返油阀 功能、泵温、是否漏油等。
中间辅助排气阀的设定
在双级泵中，若高真空级与低真空级之间是不等腔的结构（只是泵腔长度不 同），则需在两级中间通道上设置辅助排气阀。 原理图：
压强Pg'。继续运转，压强稍有回升到Pg。这是由于泵温升高，泵油的饱和蒸 汽压上升及油的粘度下降之故。如下图所示Pg为泵所获得的稳定的最低压强， 即泵的极限真空。
P（Pa）
1000mbar
Pg Pg’
T（时间）
技术参数讨论
• 极限真空（与真空计的关系） • 极限真空的测定值，根据测定时使用真空计的种类不同而异。一般使用压缩
Trivac C 极限真空的测定及合格标准
• 全压强：CTR90电容薄膜规+DM21显示器 开气镇Pul≦6E-3mbar 关气镇Pul≦3E-3mbar
• 分压强：ITR100热阴极溅射离子计(B-A规)+IT23显示器+液氮冷阱 关气镇Pul≦4E-4mbar
技术参数
技术参数
Trivac C 爆裂图（以D8C为例）
• 泵主体由用O圈密封的部件组装而成，所有部件均用定位销连接以便于拆卸， 泵体很易卸下且不需要专用工具。转子2偏心地装在泵体1内，由三个径向滑 动的叶片16将泵腔分隔成数个空间，每个空间的容积随着转子的旋转而周期 性的变化。
• 气体从进气口7被吸入，通过尘粒过滤网6和开启的通气/隔离阀5进入泵腔。 在泵腔中气体被传送，当入口处被叶片16封闭后气体被传送和压缩。在15处， 油被吸入泵腔中；一方面，它起到泵壁与叶片端面间的密封与润滑作用，另 一方面还起到叶片16在转子中的密封与润滑作用。
概述
• Trivac C 是一种油封式，双级、直联、风冷旋片真空泵 • 在德国设计，基于莱宝的TRIVAC A泵的改进产品（目前有超过十万台的A泵
在世界各地运转）。C泵由莱宝公司在中国天津的独资子公司生产，其高效、 可靠、低噪音及易维护的设计，不仅在制冷、冰箱、空调、照明、彩管等行 业得到广泛使用，而且也使用于实验室及科研场所。 • 它的工作压强范围为1000mbar~4x10-4mbar • 它可以单独使用，也可以作为 其它高真空泵或超高真空泵的前极泵 • 它可以抽除密封容器中的干燥气体。因附有气镇装置，还可以抽除一定量的 可凝性气体。但它不适于抽除含氧量过高的、有爆炸性的、对金属有腐蚀性 的、对泵油会起化学反应的以及含有颗粒尘埃的气体 • 泵头与电机由一个弹性连轴器连接，类似于国内的2X-Z。 • 油的供给靠压差来控制，达到轴承、叶片的润滑及泵腔的密封、冷却。油品 由低真空腔的进油铜嘴进入泵腔，便于油品的脱气、净化。
• 抽气过程分为吸气→ 气体密闭被压缩→排气参照双旋片泵
• 双旋片与三旋片的区别： 双旋片：每转一周吸排气各两次 三旋片：每转一周吸排气各三次
工作原理说明
• Trivac C泵是油封式旋片真空泵，驱动电机与泵主体直接用法兰连接，泵与 电机的轴由弹性联轴器直接连接，在联轴器上装有风扇，通过冷却孔隙使联 轴器周围即使在极端的条件下仍保持较低的温度，所有轴承均为油润滑的滑 动轴承。
在两级中间通道上设置中间辅助排气阀，当压强P2高于大气压强时，推开中 间排气阀片进行排气，使通道内压强永远不高于大气压强。当吸气压强较高 时，大部分气体经中间辅助排气阀排到大气中，小部分由低真空抽走。随着 吸气压强的降低，经中间辅助排气阀排气逐渐减小，，当吸入压强P1压缩到 使泵P，2多≤大做气成压等时腔，结则构中即间V辅1/V助2=排1，气因阀此将就自不动必关设闭置不中再间起辅作助用排了气。阀对了于。小旋片
设定中间辅助排气阀的原因
举例说明：假设高真空级泵腔容积V1为低真空级泵腔容积V2的四倍，由于是 同轴旋转，故高真空级的抽速S1为低真空级抽速S2的四倍。由气体流量连续 性空方级程吸可入知压：强PP11S为1大=P气2S压2，时又，因其S排1/气S2压=4强，P所2可以达P24/P个1=大4气。压由，此此看时出真，空当泵高就真 变成压气机了。由于真空泵配用的电机功率比压缩机小，因而工作困难。
工作原理图
1. 泵缸体 2. 转子 3. 定位销 4. 进气通道 5. 通气/隔离阀（防返油阀） 6. 尘粒过滤网 7. 进气口 8. 气镇阀帽 9. 排气口 10. 二次空气注入口（消音孔） 11. 油过滤器 12. 排气阀 13. 排气通道 14. 气镇通道 15. 注油口 16. 叶片
抽气过程
以上两项保证停泵后泵腔内充入大气。消除了因为压差而造成返油现象的发 生。
Trivac C 设计特点
• Trivac C内置的油雾过滤器以及长的内部排气管路设计。 解决了喷油问题。
影响极限真空的因素
• 极限真空（有害空间的存在） 有害空间： 转子与泵腔的接触点到排气口之间的尖角地带，藏在这里并处于排气压强下 不能被旋片推出泵腔之外的气体，常被旋片通过间隙挤到吸入腔内，因而降 低泵的极限真空。 旋片与转子、旋片与泵腔的接触点，这里的气体会因为压差的原因影响泵的 极限真空。 真空泵油的作用就是填充有害空间以消除其对极限真空的影响。
气镇的原理
• 气镇法又称掺气法，是防止蒸气凝结从而避免油污染的有效方法。这种方法 是将一股经过控制的气流（通常是室温干燥的空气）经气镇孔进入泵的压缩 腔中，让这股气流在压缩过程中与被抽蒸气相混，形成蒸气和空气的混合物。 把这种混合物压缩到排气压强时，使蒸气分压强能保持在泵温状态的饱和蒸 气压以下，因而蒸气不会凝结。这时推开排气阀，蒸气与其它气体一起被排 至泵外。被抽气体中蒸气的含量越多，掺入的干燥气体量就要越多。
• 关键部件来自德国----叶片，密封圈，轴封、垫片、阀片，离心开关、油、弹 性联轴体等。叶片靠自身高速旋转产生的离心力与泵腔接触，完成抽排气工 作。没有使用弹簧，增加了可靠性。叶片材质选用复合材料（玻璃纤维、酚 醛树脂等材料），性能可靠，符合环保要求。
外观图（连接口及控制件）
1. 注油口 2. 进气口 3. 气镇阀 4. 排气口 5. 电源接线盒 6. 放油口 7. 油位指示器
工作原理说明
• 在泵腔中，气体被压缩后通过排气阀12排入大气中，压缩气体中夹带的油收 集在油过滤器11中；它不仅过滤油，而且还过滤机械杂质。送入被称为“气 镇”的二次空气用以防止蒸汽凝聚在泵腔中。在压缩开始时，打开气镇阀注 入一定量的气镇气体，以确保泵抽除水蒸气压力达到技术参数的要求。开启 或关闭气镇阀由转动气镇阀帽8来实现。通常在泵运转于极限压强下会出现 油撞击声，这种噪音可由在10注入很小量的二次空气来消音。
泵油的作用及性能要求
• 作用： 1、密封---防止大气进入排气阀、有相对运动零件间间隙密封（转子与定子，旋
片与转子槽）。 2、润滑---相对运动件间的润滑。 3、冷却---油在泵内与油箱间循环，散热、冷却。 4、液体活塞---填充有害空间 . • 性能要求： 1、饱和蒸汽压要低，易挥发成分要少。 2、要有一定粘度，且随温度变化小（粘度温升曲线平滑）。 3、抗腐蚀、抗氧化、化学性能稳定。 4、不能与水反应。
影响极限真空的因素
• 极限真空（与油量的关系）
油量和极限真空也有一定的关系。油循环量与极限真空之间存在有下图所示 的曲线ABC的特性，并指出获得最佳的极限真空所需的最适当的油循环量 （在B点）。
极限压强
A C
DΒιβλιοθήκη Baidu
G
B
PB
E P0 F
QB
油量
影响极限真空的因素
• 极限真空（与油量的关系） 上图特性的物理意义： 油封式机械泵是靠油膜来密封的，如果油合乎要求，则随着油量的增多密封 的效果就越可靠，其极限真空与油量的关系应按DE曲线变化，最终达到油的 饱和蒸汽压P0。但实际上使用的泵油，吸收了大量的空气和水分，而这种泵 油进入泵腔后，吸收在油中的空气和水分又放出到泵腔内，因而油量的增加 就意味着放出的气体量增多，极限压强就会因此而上升，变成图上FG曲线那 样。所以，实际的油封机械真空泵的极限压强要将这两条曲线结合起来。， 构成曲线ABC的形状。在B点给出了极限压强最低值PB时油量的最佳值QB。
概述
• 当停泵后，防返油阀会自动封闭进气口，对被抽容器保压（10~100Pa, 保持 2小时左右，视泵阀清洁程度而定。）还可以防止油蒸汽对被抽容器造成污 染。该动作由安装在泵轴上的离心开关来控制，停泵向泵腔内充大气还可以 保证下次顺利启动。如果没有向泵腔冲入大气，在压差的作用下，油将被挤 如泵腔，下次启动时，泵所配的电机功率难以带动 ，造成电机“憋机”。
式真空计（或称麦式计）来测定泵的极限真空度。如果使用热传导真空计 （如热偶计或皮氏计），测量的结果要比压缩式真空计测得的结果低一个数 量级左右。 • 因为被抽气体是由永久性气体和可凝性气体两部分组成的，而压缩式真空计 只能测出永久性气体的分压强，通常测不出可凝性气体的分压强（或测出值 很小），热传导真空计能测出永久性气体和可凝性气体的分压强之和（即全 压强），所以压缩式真空计测得的压强值低（即真空度高）。
• 当泵停止时，泵轴上的离心开关开启放空通道，将大气空气送入通气/隔离阀 的活塞下，使通气/隔离阀的阀盘压住进气口，将通向真空容器的管道封闭， 并将空气放入泵中。泵上的油位观察窗便于检查油位，供应的标准泵型备有 单相或三相交流电机两种。
技术参数讨论
• 极限真空（与泵温的关系） • 泵在开始工作不久时，由于泵温达不到正常的工作温度，首先出现一个最低
Trivac C供油装置
• TrivacC 经压差供油，由低真空级的进油嘴进油。
Trivac C 设计特点
• 泵内置了锥型杂物过滤器，即使在不太清洁的环境下工作，在保护泵的前提 下，提供大的、稳定的抽速。
Trivac C 设计特点
• Trivac C泵内部离心开关 + 进气管路的设计 • Trivac C内置防返油阀的设计
影响极限真空的因素
• 其它因素 零件的加工精度等 可见影响极限真空的因素很多，有些也很难精确控制。故产品出厂前要逐台 检验，而且要经过一段时间的跑和运转，使其真空度稳定。 每台Trivac C在出厂前要经过16个小时的跑和，并测量极限真空、防返油阀 功能、泵温、是否漏油等。
中间辅助排气阀的设定
在双级泵中，若高真空级与低真空级之间是不等腔的结构（只是泵腔长度不 同），则需在两级中间通道上设置辅助排气阀。 原理图：
压强Pg'。继续运转，压强稍有回升到Pg。这是由于泵温升高，泵油的饱和蒸 汽压上升及油的粘度下降之故。如下图所示Pg为泵所获得的稳定的最低压强， 即泵的极限真空。
P（Pa）
1000mbar
Pg Pg’
T（时间）
技术参数讨论
• 极限真空（与真空计的关系） • 极限真空的测定值，根据测定时使用真空计的种类不同而异。一般使用压缩
Trivac C 极限真空的测定及合格标准
• 全压强：CTR90电容薄膜规+DM21显示器 开气镇Pul≦6E-3mbar 关气镇Pul≦3E-3mbar
• 分压强：ITR100热阴极溅射离子计(B-A规)+IT23显示器+液氮冷阱 关气镇Pul≦4E-4mbar
技术参数
技术参数
Trivac C 爆裂图（以D8C为例）
• 泵主体由用O圈密封的部件组装而成，所有部件均用定位销连接以便于拆卸， 泵体很易卸下且不需要专用工具。转子2偏心地装在泵体1内，由三个径向滑 动的叶片16将泵腔分隔成数个空间，每个空间的容积随着转子的旋转而周期 性的变化。
• 气体从进气口7被吸入，通过尘粒过滤网6和开启的通气/隔离阀5进入泵腔。 在泵腔中气体被传送，当入口处被叶片16封闭后气体被传送和压缩。在15处， 油被吸入泵腔中；一方面，它起到泵壁与叶片端面间的密封与润滑作用，另 一方面还起到叶片16在转子中的密封与润滑作用。