洁净度等级对照-iso洁净等级

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国标洁净等级对应的国际标准

国标洁净等级对应的国际标准

国标洁净等级对应的国际标准国标洁净等级对应的国际标准中国国家标准对于洁净室的分类有很多,但和国际标准相对就不那么统一了。

下面就我们所熟悉的国家标准洁净等级和其对应的国际标准进行探讨,希望能够对大家有所帮助。

一、国标洁净等级1. GB 50073-2001《洁净室设计规范》2. GB/T 16292-2008《洁净室运行规程》3. GB/T 15480-2002《空气净化技术术语》以上三项是中国国内比较常用的洁净室标准,但是对比国际标准,会发现侧重点不一样。

二、ISO标准1. ISO 14644-1《洁净室与与相关受控环境的分级》2. ISO 14644-2《洁净室测试和监测》3. ISO 14698-1《洁净室与与相关受控环境的生物污染控制》在ISO标准的体系中,主要用ISO 14644-1进行洁净室的分级,包括颗粒物计数标准、空气动力学参数和生物污染控制等指标。

ISO 14698-1是针对生物污染控制的标准,而ISO 14644-2则是关于洁净室测试和监测的具体规范。

国标与ISO标准对比,可以看出ISO标准更强调对生物污染控制的要求,而国标相对更注重对空气中颗粒物的控制。

这也反映了不同国家和地区在洁净室标准上的侧重点有所不同。

三、个人观点和理解从国标和ISO标准对比中,我个人觉得国家标准和国际标准都有其适用的场景,不能一概而论哪个更好。

国标更符合国内实际情况和行业需求,而ISO标准更具有全球性的参考性和通用性。

在实际应用中,可以根据具体情况灵活选择采用国标还是ISO标准,以满足洁净室设计、运行和管理的要求。

也可以借鉴国际经验,不断完善国内洁净室标准体系,使其更适合符合我国的实际情况。

总结起来,国标洁净等级和其对应的国际标准是相辅相成的,我们应该充分利用国际资源,提高我国洁净室标准的水平,以满足不断发展的产业和科技需求。

在本文中,我以对比国家标准和ISO标准的方式为主线,结合个人观点和理解,对国标洁净等级对应的国际标准进行了深度和广度兼具的探讨。

洁净度等级对照

洁净度等级对照
ISO 1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级
等于或大于相应粒径的最大允许浓度(粒/mLeabharlann )0.1μm0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
ISO1
10
2
ISO2
100
24
10
4
ISO3
1000
237
102
35
8
ISO4
10000
2365
1018
352
83
ISO5
100000
1-9级可能是参照的ISO的标准\国际标准,
一般我们所说的百级相当于ISO5级
万级相当于ISO7级
十万级相当于ISO8级
一百万级相当于ISO9级
3,或3530颗/m3)
3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用0.5μm粒径考核的居多;
4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如0.5μm)而要用到更多的粒径,如0.3 μm 0.2μm甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。
23651
10176
3517
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ISO6
1000000
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ISO7
351676
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ISO8
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ISO9
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292511

洁净室洁净度级别标准

洁净室洁净度级别标准

洁净室洁净度级别标准
洁净室的洁净度级别标准通常使用国际标准化组织(ISO)的洁净度级别标准。

以下是常见的洁净度级别标准:
1. ISO 1级:最高级别的洁净度,适用于对粒子污染非常敏感的特殊应用,允许的最大粒子浓度为每立方米不超过10个0.1微米颗粒。

2. ISO 2级:适用于对粒子污染非常敏感的应用,允许的最大粒子浓度为每立方米不超过100个0.1微米颗粒。

3. ISO 3级:适用于对粒子污染敏感的应用,允许的最大粒子浓度为每立方米不超过1,000个0.1微米颗粒。

4. ISO 4级:适用于对粒子污染较为敏感的应用,允许的最大粒子浓度为每立方米不超过10,0000个0.1微米颗粒。

5. ISO 5级:适用于对粒子污染较为敏感的应用,也是医疗行业洁净手术间常用的洁净度级别,允许的最大粒子浓度为每立方米不超过100,000个0.1微米颗粒。

6. ISO 6级:适用于对粒子污染要求较高的应用,允许的最大粒子浓度为每立方米不超过1,000,000个0.1微米颗粒。

7. ISO 7级:适用于对粒子污染要求一般的应用,允许的最大粒子浓度为每立方米不超过10,000,000个0.1微米颗粒。

8. ISO 8级:适用于对粒子污染要求较低的应用,允许的最大粒子浓度为每立方米不超过100,000,000个0.1微米颗粒。

这些标准主要参考了洁净室中的空气质量,以0.1微米颗粒为基准进行粒子浓度的限制。

洁净度级别标准可根据具体应用需求进行调整和修改。

洁净室等级从低到高的标准

洁净室等级从低到高的标准

洁净室是一种特殊的生产环境,用于控制空气中的微粒和微生物数量,以确保对特定产品的生产或处理过程不会受到污染。

洁净室等级通常按照国际标准或行业规范进行分类,不同的等级适用于不同的生产场景和需要。

以下将从低到高的顺序,详细介绍洁净室等级的标准。

一、ISO 14644-1国际标准1. ISO 8级别:该级别要求每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.5微米,液滴颗粒物不得大于5微米。

这种级别适用于一些普通的办公室、车间等环境。

2. ISO 7级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.5微米,液滴颗粒物不得大于5微米。

这个级别适用于一些对环境要求较高的生产场所,如电子元件生产线等。

3. ISO 6级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

此级别适用于一些对洁净度要求很高的生产场所,如制药厂等。

4. ISO 5级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

这个级别适用于一些对微生物污染要求极高的场所,如生物实验室等。

5. ISO 4级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

这个级别适用于一些对微生物污染要求极高的场所,如医院手术室等。

6. ISO 3级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

这个级别适用于一些对微生物污染要求非常严格的场所,如生物制药厂等。

7. ISO 2级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

在这个级别下,洁净室内的空气质量已经接近于绝对洁净的水平,适用于一些对微生物污染要求极为严格的场所,如超洁净手术室等。

8. ISO 1级别:这是最高等级的洁净室标准,要求每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

这种级别适用于一些对微生物污染要求极其苛刻的场所,如微电子芯片生产工艺中的洁净室等。

iso洁净度等级标准

iso洁净度等级标准

iso洁净度等级标准
ISO洁净度等级标准是一种衡量洁净度的国际标准。

它主要用于洁净室、实验室、电子工业、制药业、食品工业等领域。

ISO洁净度等级标准将洁净度分为不同的等级,每一等级对应不同的空气中悬浮粒子的数量。

具体来说,ISO洁净度等级标准将洁净度分为1至10级,每一级别对应的空气中悬浮粒子的数量不同,越高级别的洁净度要求越高,相应的成本也越高。

以下是ISO洁净度等级标准的具体内容:
1级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于35200个。

2级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于3520个。

3级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于1250个。

4级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于250个。

5级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于50个。

6级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于5个。

7级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于1个。

8级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于0.5个。

9级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于0.1个。

10级:空气中每立方米悬浮粒子的数量少于0.05个。

需要注意的是,ISO洁净度等级标准只是一种参考标准,实际应用中还需要根据具体的生产工艺和产品要求进行调整和优化。

洁净室iso标准

洁净室iso标准

洁净室iso标准洁净室是维护工厂质量和生产状态的重要条件之一,其清洁度和质量的维护是保证产品质量的关键。

ISO是国际标准化组织制定的国际标准,其中洁净室也有现行的ISO标准,可以用来衡量洁净室的质量和要求。

洁净室根据ISO14644-1:2015(《洁净空气环境,空气净化设备和质量测量方法》)划分为8个等级:ISO 5-ISO 8等级,即洁净度要求越高等级越高,ISO 8等级的洁净度要求最高。

洁净室的洁净度表示为空气中颗粒物浓度/百万,其要求如下:ISO 5级要求在12.5纳米以下,≤35000;ISO 6级要求在12.5纳米以下,≤2500;ISO 7级要求在10纳米以下,≤500;ISO 8级要求在5纳米以下,≤50。

洁净室内温湿度应符合机械制造行业ISO5005文件规定的污染物浓度要求:温度为20℃±2℃,湿度为40~60%相对湿度,以避免蒸发性溶液形成的水蒸气。

另外,根据《ISO14644-2》的规定,洁净室的结构和细节一定程度上也会影响空气的洁净度。

ISO14644-2中规定了洁净室的基本结构、气流,以及结构和物体表面的粗糙度、毛细管的型号等,要求洁净室的结构和细节能够满足洁净度的要求。

同时,洁净室根据ISO14644-3(《洁净室洁净系统设计、安装、试验方法》)规定,应妥善安装和试验洁净系统以保证洁净室达到洁净度要求。

包括控制温度、湿度及空气污染物浓度,同时检查洁净室和洁净系统是否达到规定要求,如果有问题应及时处理和调整,才能保证洁净室达到洁净度要求。

此外,洁净室还要求满足其它标准,如《洁净技术规范制定和控制》(PTC/ISO14644-4)要求:洁净区应配备有洁净空气过滤器,过滤器及室外空气系统应经常清洁,以保证洁净室中无过滤器污染。

总之,维护洁净室的清洁度和质量是保证工厂的生产质量和效益的重要举措,应根据洁净室的ISO标准要求严格执行,并对洁净室进行定期检查和评估,不断提高质量和保证安全。

洁净度等级标准表

洁净度等级标准表

洁净度等级标准表
洁净度等级标准表如下:
1、洁净度级别为100级,≥0.5μm尘粒的最大允许数为3500每立方米,≥5μm的最大尘粒数为0每立方米,浮游菌的最大允许数为5每立方米,沉降菌的最大允许数为1每皿。

2、洁净度级别为10000级,≥0.5μm尘粒的最大允许数为350000每立方米,≥5μm的最大尘粒数为2000每立方米,浮游菌的最大允许数为100每立方米,沉降菌的最大允许数为3每皿。

3、不同行业、不同物质洁净度标准不一样。

空气洁净度等级是洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。

医药工业药生产工序的洁净级别和洁净区的划分,应参照《药品生产质量管理规范》中制剂和原料药工艺内容及环境区域划分而定。

药品生产洁净室的空气洁净度划分为四个等级。

4、洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um范围内呈累积分布的粒子群。

根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

洁净度检测方法:
1、沉降菌培养。

2、尘埃粒子计数器检测。

3、浮游菌检测。

根据检测结果确定级别。

检测方法可以查相应的标准。

洁净度等级的划分标准及比较

洁净度等级的划分标准及比较
洁净度等级标准【1】
洁净度等级标准ISO 14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。空气洁净度分级标准:ISO14644-1(国际标准)
0
2
2
1
M1.5
C
0.035

1
3
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10
M2.5
D
0.35

2
4
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100
M3.5
E
3.5
4000
3
5
5
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M4.5
G
35

4
6
6
10000
M5.5
J
350
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5
7
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9

上一篇:洁净测试相关名词解释
G
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美国联邦
美国联邦
英国标准
澳大利亚标准
法国标准
德国标准
国际标准
日本标准
标准209D

洁净度等级对照

洁净度等级对照
等于或大于相应粒径的最大允许浓度(粒/m3)
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
ISO1
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ISO2
1002410源自4ISO31000
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ISO4
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ISO5
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23651
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29
ISO6
1000000
236514
洁净度等级对照
1-9级可能是参照的ISO的标准\国际标准,
一般我们所说的百级相当于ISO5级
万级相当于ISO7级
十万级相当于ISO8级
一百万级相当于ISO9级
1,洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级
3,或3530颗/m3)
3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用0.5μm粒径考核的居多;
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ISO7
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4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如0.5μm)而要用到更多的粒径,如0.3μm0.2μm???甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。
ISO1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级

洁净度等级对照

洁净度等级对照
ISO1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级
等于或大于相应粒径的最大允许浓度(粒/m3)
0.1μm
0.2μm
0.3μm
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ISO9
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1-9级可能是参照的ISO的标准\国际标准,
一般我们所说的百级相当于ISO5级
万级相当于ISO7级
十万级相当于ISO8级
一百万级相当于ISO9级
3,或3530颗/m3)
3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用0.5μm粒径考核的居多;
4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如0.5μm)而要用到更多的粒径,如0.3μm0.2μm???甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。

洁净度等级对照

洁净度等级对照
4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如μm)而要用到更多的粒径,如μμm甚至μm对洁净室进行检测评定。
ISO1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级
洁净度等级对照
1-9级可能是参照的ISO的标准\国际标准,
一般我们所说的百级相当于ISO5级
万级相当于ISO7级
十万级相当于ISO8级
一百万级相当于ISO9级
1,洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级
3,或3530颗/m3)
3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用μm粒径考核的居多;
等于或大于相应粒径的最大允许浓度(粒/m3)
μm
μm
μm
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1μm
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ISБайду номын сангаас6
1000000
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国内外洁净区标准等级对比

国内外洁净区标准等级对比

*
对平面布局影响大的条款-2
浪费了投资
增大了污染的风险
降低了标准
混淆了无菌及非无菌控制区的界限
许多设计不分无菌控制万级及非无菌控制万级
在过大、过复杂更衣室的同时
E
D
C
B
A
F
*
送风速度和换气次数
达到动态洁净度标准,须一定的条件 换气次数,单位: 次/小时
01
总送风量÷房间体积 风速,层流要求 0.45 (1±20%)米/秒 折算-比较
级别
静态
动态
最大允许粒子数/m3
最大允许粒子数/m3
0.5-5.0μm
>5.0μm
0.5-5.0μm
>5.0μm
A
3 500
0
3500
0
B
3 500
0
350 000
2 000
C
350 000
2 000
3 500 000
20 000
D
3 500 000
20 000
不作规定
不作规定
*
WHO GMP-2002 说明-1
01
03
02
*
WHO GMP 2002 微生物限度
级别b
空气样CFU/m3
沉降碟(90mm)CFU/4小时c
接触碟(55mm)CFU/碟
5指手套CFU/手套
A
<3
<3
<3
<3
B
10
5
5
5
C
100
50
25

D
200
100
50

*
国际GMP规范对洁净度要求的特点

洁净度等级划分

洁净度等级划分

洁净度等级划分是针对空气环境中悬浮粒子浓度的一种标准,通常用于评估和控制生产环境、实验室、手术室等场所的空气质量。

洁净度等级划分为以下几个等级:1. 一级洁净室(GMP洁净室):主要用于制造高纯度药品、生物制品、医疗器械等产品的生产环境。

空气中悬浮粒子浓度要求非常低,通常不超过每立方米0.5微米颗粒物3520个。

2. 二级洁净室(ISO 7级洁净室):主要用于电子、光学、精密仪器等行业的生产环境。

空气中悬浮粒子浓度要求较低,通常不超过每立方米0.5微米颗粒物35200个。

3. 三级洁净室(ISO 8级洁净室):主要用于一般工业产品的生产环境。

空气中悬浮粒子浓度要求适中,通常不超过每立方米0.5微米颗粒物352000个。

4. 四级洁净室(ISO 9级洁净室):主要用于一般实验室、办公室等场所。

空气中悬浮粒子浓度要求较低,通常不超过每立方米0.5微米颗粒物3520000个。

5. 五级洁净室(ISO 10级洁净室):主要用于普通住宅、学校等场所。

空气中悬浮粒子浓度要求适中,通常不超过每立方米0.5微米颗粒物35200000个。

6. 六级洁净室(ISO 11级洁净室):主要用于一般商业建筑、娱乐场所等。

空气中悬浮粒子浓度要求较低,通常不超过每立方米0.5微米颗粒物352000000个。

7. 七级洁净室(ISO 12级洁净室):主要用于一般公共建筑、道路等。

空气中悬浮粒子浓度要求适中,通常不超过每立方米0.5微米颗粒物3520000000个。

8. 八级洁净室(ISO 13级洁净室):主要用于一般工业区、农田等。

空气中悬浮粒子浓度要求较低,通常不超过每立方米0.5微米颗粒物3520000000个。

9. 九级洁净室(ISO 14级洁净室):主要用于一般城市区域、郊区等。

空气中悬浮粒子浓度要求适中,通常不超过每立方米0.5微米颗粒物3520000000个。

10. 十级洁净室(ISO 15级洁净室):主要用于一般污染区域、沙漠等。

iso洁净度级别

iso洁净度级别

iso洁净度级别ISO洁净度级别是一种常用的标准,用于衡量物体表面的洁净度程度。

ISO洁净度级别通常用于生产、工程和实验室环境中,以确保符合特定的洁净度要求。

本文将介绍ISO洁净度级别及其相关参考内容。

ISO洁净度级别根据物体表面上的无尘颗粒数量来划分,通常以每立方米空气中的颗粒数为单位进行测量。

ISO洁净度级别从1到9共分为9个级别。

级别1表示最高的洁净度,级别9表示最低的洁净度。

以下是每个级别的洁净度要求:- 级别 1:每立方米空气中的颗粒数不超过10。

- 级别 2:每立方米空气中的颗粒数不超过100。

- 级别 3:每立方米空气中的颗粒数不超过1,000。

- 级别 4:每立方米空气中的颗粒数不超过10,000。

- 级别 5:每立方米空气中的颗粒数不超过100,000。

- 级别 6:每立方米空气中的颗粒数不超过1,000,000。

- 级别 7:每立方米空气中的颗粒数不超过10,000,000。

- 级别 8:每立方米空气中的颗粒数不超过100,000,000。

- 级别 9:每立方米空气中的颗粒数超过100,000,000。

为了确保满足特定的洁净度要求,通常需要采取一系列的控制措施。

以下是一些常见的参考内容:1. 定期检测空气中的颗粒数。

通过定期使用空气采样器,可以测量空气中的颗粒数量,从而判断是否满足特定的洁净度要求。

2. 使用洁净室。

洁净室是一种特殊的空间,通过过滤空气来降低颗粒数。

洁净室通常具有严格的空气循环和过滤系统,可以有效地控制空气中的颗粒数量。

3. 净化空气源。

确保供应设备的空气源净化,可以有效地减少空气中的颗粒数。

这可以通过使用高效过滤器或其他净化设备来实现。

4. 建立适当的工作流程。

在具有特定洁净度要求的环境中,应制定适当的工作流程,包括合适的工作区域、操作规范和清洁程序等。

5. 培训员工。

所有参与洁净度控制的员工应接受必要的培训,了解洁净度级别的要求,并掌握正确的操作和清洁技巧。

洁净度等级对照-iso洁净等级

洁净度等级对照-iso洁净等级
3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通经常使用0.5μm粒径考核的居多;
4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如0.5μm)而要用到更多的粒径,如0.3 μm 0.2μm甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。
1000000
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ISO7
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1-9级可能是参照的ISO的尺度\国际尺度,之南宫帮珍创作
一般我们所说的百级相当于ISO5级
万级相当于ISO7级
十万级相当于ISO8级
一百万级相当于ISO9级
1,洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级还有著名的美国联邦尺度(Fed.St.209系列)可以参考;
2,ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级(≥0.5μm粒子,≤3.5颗/升,或100颗/ft3,或3530颗/m3)
ISO 1644国际尺度中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级
等于或大于相应粒径的最大允许浓度(粒/m3)
1μm
5μm
ISO1
10
2
ISO2
100
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ISO3
1000
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洁净度等级对照

洁净度等级对照
1-9级可能是参照的ISO的标准\国际标准,
一般我们所说的百级相当于ISO5级
万级相当于ISO7级
十万级相当于ISO8级
一百万级相当于ISO9级
3,或3530颗/m3)
3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用0.5μm粒径考核的居多;
4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如0.5μm)而要用到更多的粒径,如0.3 μm 0.2μm甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。
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ISO 1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级
等于或大于相应粒径的最大允许浓度(粒/m3)
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0.2μm
0.3μm
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ISO1
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83Байду номын сангаас
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1-9级可能是参照的ISO的标准\国际标准,
一般我们所说的百级相当于ISO5级
万级相当于ISO7级
十万级相当于ISO8级
一百万级相当于ISO9级
1,洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级 还有著名的美国联邦标准(Fed.St.209系列)可以参考;
2,ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级(≥0.5μm粒子,≤3.5颗/升,或100颗/ft3,或3530颗/m3)
3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用0.5μm粒径考核的居多;
4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如0.5μm)而要用到更多的粒径,如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。
ISO 1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级
等于或大于相应粒径的最大允许浓度(粒/m3)
0.1μm
0.2μm
0பைடு நூலகம்3μm
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