X射线谱课件
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X-射线光电子能谱.ppt
电子结合能,电子就可从原子的各个能级发射出来。 但是,实际上物质在一定能量的光子作用下,从原 子中各个能级发射出的光电子数是不同的,也就是 说,原子中不同能级电子的光离子化几率不同。光 离子化几率可以用光电(效应)截面σ来表示 σ定义:某能级电子对入射光子有效能量转移面积
XPS-基本原理
光电截面是决定灵敏度的主要因素 影响因素:电子所在壳层的平均半径,
样品的制备
1. 样品的大小
• 在实验过程中样品必须通过传递杆,穿过超高真空隔离 阀,送进样品分析室。因此,样品的尺寸必须符合一定 的大小规范。
• 对于块体样品和薄膜样品,其长宽最好小于10 mm, 高 度小于5 mm。
• 对于体积较大的样品则必须通过适当方法制备成合适大 小的样品。
1
K
1s
13-33
2
L
2p
34-66
3
M
3d
67-71
4
N
4d
72-92
4
N
4f
XPS-基本原理
3.光电子逸出深度 自样品表面发射出的光电子,在穿过样品时,一部分
光电子会产生非弹性散射(即改变运动方向并有能量损 失的碰撞)。电子能谱所研究的信息深度取决于逸出电 子的非弹性散射平均自由程
电子逸出深度(平均自由程)是指电子在经受非弹性碰 撞前所经历的平均距离。
第八章X-射线光电子能谱
X-Ray Photoelectron Spectroscopy
表面:
一、表面分析概述
物质存在的一种形态,气态,液态,固态, 表面态
固体表面:
理想的---固体终端
实际的---体相性质开始变化,
5~20 nm数量级
表面特点:
XPS-基本原理
光电截面是决定灵敏度的主要因素 影响因素:电子所在壳层的平均半径,
样品的制备
1. 样品的大小
• 在实验过程中样品必须通过传递杆,穿过超高真空隔离 阀,送进样品分析室。因此,样品的尺寸必须符合一定 的大小规范。
• 对于块体样品和薄膜样品,其长宽最好小于10 mm, 高 度小于5 mm。
• 对于体积较大的样品则必须通过适当方法制备成合适大 小的样品。
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13-33
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2p
34-66
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3d
67-71
4
N
4d
72-92
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N
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XPS-基本原理
3.光电子逸出深度 自样品表面发射出的光电子,在穿过样品时,一部分
光电子会产生非弹性散射(即改变运动方向并有能量损 失的碰撞)。电子能谱所研究的信息深度取决于逸出电 子的非弹性散射平均自由程
电子逸出深度(平均自由程)是指电子在经受非弹性碰 撞前所经历的平均距离。
第八章X-射线光电子能谱
X-Ray Photoelectron Spectroscopy
表面:
一、表面分析概述
物质存在的一种形态,气态,液态,固态, 表面态
固体表面:
理想的---固体终端
实际的---体相性质开始变化,
5~20 nm数量级
表面特点:
X射线光谱法 ppt课件
PPT课件
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5.1.基本原理
X射线是由高能电子的减速运动或原子内层 轨道电子跃迁产生的短波电磁辐射。X射线的波 长在10-6~10 nm,在X射线光谱法中,常用波长 在0.01~2.5 nm范围内。
5.1.1. X射线的发射
1.用高能电子束轰击金属靶;
2.将物质用初级X射线照射以产生二级射线——X射 线荧光;
应的半衰期为2.6a:
55Fe → 54Mn + hν
PPT课件
7
5.1.2. X射线的吸收
5.1.2.1.基本原理和概念
X射线照射固体物质时,一部分透过晶体,产生热 能;一部分用于产生散射、衍射和次级X射线(X荧光) 等;还有一部分将其能量转移给晶体中的电子。因此, 用X射线照射固体后其强度会发生衰减。
第5章 X射线光谱法
1895年,Rontgen W C发现了X射线,1913 年Moseley H G J在英国Manchester大学奠定了X 射线光谱分析的基础,在初步进行其用于定性 及定量分析的基础研究后,预言了该方法用于 痕量分析的可能性。目前,X射线光谱法发展 成熟,多用于元素的定性、定量及固体表面薄 层成分分析等。而X射线衍射法(X-ray diffraction analysis,XRD)则广泛用于晶体结 构测定。
3.利用放射性同位素源衰变过程产生的X射线发射;
4.从同步加速器辐射源获得。在分析测试中,常用的 光源为前3种,第4种光源虽然质量非常优越,但设 备庞大,国内外仅有少数实验室拥有这种设施。
PPT课件
2
5.1.1.1.电子束源产生的连续X射线
在轰击金属靶的过程中,有的电子在一次碰撞 中耗尽其全部能量,有的则在多次碰撞中才丧失全 部能量。因为电子数目很大、碰撞是随机的,所以 产生了连续的具有不同波长的X射线,这一段波长的 X光谱即为连续X射线谱。
X射线荧光光谱分析技术精讲PPT课件
300>
第39页/共99页
脉冲高度分布
高计数率带来的问题 :堆积、脉冲高度漂移
escape
I[kcps]
Intensity: < 100 kcps
LiF(200) Fe KA1 FC
Intensity: 200 - 300 kcps
Pulshight shift
Pile-up effect
Pulshight-shift
Mo
B [0,18 keV] 6 e-I+
B
X-rays
ra
rc
r
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流气计数器或封闭计数器
Ar + 10% CH4 e- e- e- e- e- e- eI+ I+ I+ I+ I+ I+ I+
CH4: quench gas (electropositive!) Toxic for the FC: elektonegative gasses, e.g.
S Cl
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X射线的发生: 改变电压和电流对原级谱线 的影响(如何选择电压、电流参数)
Change in kV:
Optimum settings are predefined in SPECTRAplus !!!
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Changing of mA will change only the intensity
l = 11.3 - 0.02 nm
or
元素范围从铍 (Be)到铀 (U)
第2页/共99页
单位
Name 波长 能量 Quatum 强度
符号 单位 t]
description
X射线能谱分析解读PPT课件
能量色散谱仪简称能谱仪,是利用特征X射线能量 不同来展谱而进行成分分析的仪器。
.
1
9 X射线能谱分析
9.1能谱仪的主要组成部分
由探针器、前置放大器、脉冲信号处理单元、模数 转换器、多道分析器、微型计算机及显示记录系统组 成,是一套较为复杂的电子仪器。组成结构见图2-93。
.
2
9 X射线能谱分析
9.2能谱仪的工作原理
空间分辨率和精度。
.
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.
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.
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.
13
9 X射线能谱分析
9.4 分析方法及其应用
(2)计数率和计数时间
在分析时,每一次强度测量要有足够的累计计数N。 这不仅可提高测量精度,同时要使每个谱峰从统计角 度来看都是显然可见的。一般N需大于105 ,对中等 浓度元素计数率约为103~104cps。计数时间为 10~100s。对于能谱仪,计数率过高有增加能谱失 真的趋势,要使能谱系统在最佳分辨率情况下工作, 计数率一般保持在2000cps以下,如总计数率不够, 可适当增加计数时间。计数率cps主要决定于试样状 况和束流大小。对于一定的试样,可通过调节束流大 小来控制计数率。但必须注意,束流过大不仅导致样 品的污染,同时也导致镜筒的污染,使图像分辨率下 降。
由试样出射的具有各种能量的X光子相继经Be窗 射入Si(Li)内,在Ι区产生电子一空穴对。每产生 一对电子一空穴对,要消耗掉X光子3.8eV能量,因 此每一个能量为E的入射光子产生的电子一空穴对数 目N= E/3.8。
加在Si(Li)上的偏压将电子一空穴对收集起来, 每入射一个X光子,探测器输出一个微小的电荷脉 冲,其高度正比于入射的X光子能量E、电荷脉冲经 前置放大器、信号处理单元和模数转换器处理后以 时钟脉冲形式进入多道分析器。
《X射线光电子能谱》课件
3 3. 问题探讨和建议
鼓励听众思考和讨论涉及 X射线光电子能谱的问题, 并提供相关研究建议。
3
3. 统计研究实验中的应用,以及如何进行误差分析和数据可靠性评 估。
第四部分:X射线光电子能谱的应用案例
1. 反应机理和反应动力学 的研究
探索X射线光电子能谱在研究化 学反应机理和反应动力学中的应 用案例。
2. 材料表征和界面分析
展示X射线光电子能谱在材料表 征和界面分析中的实际应用,如 薄膜表面分析和纳米材料研究。
3. 化学成分分析
说明X射线光电子能谱在化学成 分分析中的优势,如表面元素含 量检测和化学状态表征。
第五部分:X射线光电子能谱的研究进 展和展望
1 1. 新技术和新方法的发展
预测X射线光电子能谱领域未来的发展方向,包括新的仪器技术和数据处理方法。
2 2. 应用领域的拓展
展望X射线光电子能谱在新的应用领域,如生物医学、能源材料和环境科学等方面的发展。
2 2. 光电效应原理
深入解释X射线光电子能谱的定义和原理,以 及如何通过光电效应获得材料表面化学信息。
讲解光电效应的基本概念和原理,以及光电 子发射的条件和限制。
3 3. 能量分辨率和解析度的概念
4 4. 应用领域
介绍X射线光电子能谱的能量分辨率和解析度 是如何影响数据质量和实验结果的。
探讨X射线光电子能谱在材料科学、化学分析、 表面物理和界面研究等领域的广泛应用。
3 3. 未来的发展方向
探讨X射线光电子能谱可能的未来发展方向,如高分辨率、原位研究和多模态分析等。
总结
1 1. X射线光电子能谱
的优势和特点
总结X射线光电子能谱作 为表面分析技术的独特优 势,如高灵敏度、非破坏 性等特点。
波长散射X射线光谱分析ppt课件
不同的晶体和晶面间距具有不 的分辨能力;
最佳晶体的选择
晶体 LiF (420) LiF (220) LiF (200) Ge (111) Ge(111)C* InSb(111) InSb(111)C* PE (002) PE(002) C*
2d n 0.180 0.285 0.403 0.653 0.653 0.748 0.748 0.874 0.874
电压 KV 的最佳选择
激发条件选择 - 轻元素
激发轻元素时,采 用 低 电 压,大电流
激发条件选择-重元素
Rhk光谱
MoK吸收限
RhL光谱
连续谱
采用高电压,低电流和RhK光谱激发,如 60KV 50mA
仪器基本结构- 晶体使用平面和弯曲
分为平面和弯曲两种晶体
晶体的色散本领
基本结构-探测器(光电转换器)
常用的探测器
流气正比计数器 轻元素探测器 FC 封闭正比计数器 过渡元素探测器 FX 闪烁计数器 重元素探测器 SC 复合探测器 中间元素探测器 Du
结构-流气正比计数器
入射窗口
阳极丝 50μm
放大器
出射窗口
光学元件-滤光片的作用
1. 消除光管特征线的干扰 2. 微量分析时可提高峰/背比,获得较低的 LLd 3. 减弱初级光束强度 4. 抑制管光谱的光谱杂质
探测器工作原理 : 以X射线的光电效应为基础把X射线 光子转换成可测量的电压脉冲 。 闪烁计数器 : 探测重元素和短波X射线 0.04 - 0.15nm (8 - 30 keV) 流气正比计数器 : 轻元素和长波辐射 0.08 - 12nm (0.1 - 15 keV); 封闭正比计数器 : 中间元素和中波长辐射 0.10 - 6nm (9 - 11 keV );
X射线衍射图谱分析——介绍 ppt课件
六、X射线衍射仪组成:
带有稳压稳流装置的X射线发生器 精密的测角仪系统
控制及数据处理系统
PPT课件
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PPT课件
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(利用单色器得到特征X射线)
PPT课件
6
七、数据分析方法
X射线物相分析 晶胞参数的确定 晶粒尺寸的计算 结晶度的测量 晶粒取向测定 ……
PPT课件
7
X射线物相分析
① 粉末衍射图谱的获得 ② d 值的测量: 2θ →d 2dsinθ=nλ ③ 相对强度的测量
各衍射线的峰高比——最强线为100 ④ 查阅索引 ⑤ 核对卡片
PPT课件
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1、晶体不同晶面“反射”衍射强度不同,测得的衍射线强度是一组晶 面(hkl)反射的X射线总量,即积分强度。
2、入射X射线不是严格平行而是有一定散度的光束,晶体也非严整的 格子,一组晶面反射的X射线是在θ附近一个小的角度范围内
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PPT课件
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二、晶胞参数测定方法
• 间接方法;直接测量某一衍射线的θ 角,然后通 过晶面间距公式、布拉格公式计算出晶格常数。
• 以立方晶体为例,其晶面间距公式为:
•
a d H 2 K 2 L2
• 根据布拉格3 方程2dsinθ =λ,则有:
•
H 2 K 2 L2
PPT课件
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1 横坐标:衍射角2θ 单位 °
2 纵坐标:强度标值 I 单位cps(记数/秒)
3 峰顶标值:网面间距d 单位埃
4 基线:BL
5 衍射强度:去背景后的峰高h 单位cps
可用相对强度 峰值最大为100
6 半高宽:峰高的1/2宽度(表示某些晶体的
结晶度)单位 °
X射线光电子能谱分析ppt课件
多通道检测器是由多 个微型单通道电子倍 增器组合在一起而制 成的一种大面积检测 器,也称位敏检测器 (PSD)或多阵列检 测器。
26
真空系统
电子能谱仪的真空系统有两个基本功能。
1、使样品室和分析器 保持一定的真空度, 以便使样品发射出来 的电子的平均自由程 相对于谱仪的内部尺 寸足够大,减少电子 在运动过程中同残留 气体分子发生碰撞而 损失信号强度。
EY(Z+Δ):Y电子电离所需的能量。
Φ-功函数
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俄歇过程和俄歇电子能量
WXY 跃 迁 产 生 的 俄 歇 电子的动能可近似地 用经验公式估算,即
:EWXY EW (Z) EX (Z)
EY (Z )
原子序数
功
函
实验值在
1 2
和
3 之间
4
数
俄歇电子
WXY俄歇过程示意图
21
§7.5 电子能谱仪简介
36
电子能谱仪主要由激发源、电子能量分析器、 探测电子的监测器和真空系统等几个部分组成。
22
能量分析器
电子能量分析器其作用是探测样品发射出来的不同 能量电子的相对强度。它必须在高真空条件下工作 即压力要低于10-3帕,以便尽量减少电子与分析器 中残余气体分子碰撞的几率。
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半球形电子能量分 析器
半球形分析器示意图 24
ppt课件24半球形电子能量分析器半球形分析器示意图ppt课件25筒镜形电子能量分析器筒镜分析器示意图ppt课件26检测器检测器通常为单通道电子倍增器和多通道倍增器光电子或俄歇电子流a1010913倍增器1a104通道电子倍增器是一种采用连续倍增电极表面管状通道内壁涂一层高阻抗材料的薄膜静电器件
第七章 电子能谱
第3章 X射线荧光光谱(XRF)PPT课件
3. TXRF元素分析仪的应用
TXRF元素分析仪在元素分析领域内的应用现状和发展 前景都是令人鼓舞的
它可以广泛应用于地矿、冶金、化工、食品、生物、 医药、环保、法检、考古、高纯材料等各领域内的常量、 微量、痕量元素分析测定 特别在半导体工业中的硅片 表面质量控制方面 有着不可替代的优势
几年来 做了许多仪器改进工作 并在下列应用研究领域内 做过元素分析 地矿:金矿石、金矿泥、萤石、长石、氧化锑 冶金:镍电解液 纯金中杂质元素、铸铁、轴承 环保:纯水、矿泉水、高矿化度盐湖水、自来水、大气飘尘、
五、影响分析精度的因素
采样位置、样品大小、缩分导致的样品代表性问题 样品加工过程中的污染 样品与标样基体差异导致的误差 仪器系统误差(系统稳定性 如电流电压稳定性) 分光精度不高导致的谱线重叠产生误差 检测器的质量 检测方法
六、分析实例
Al2O3 Fe2O3 SiO2 TiO2 SO3 CaO K2O MgO P2O5 LOI
二、X射线荧光光谱仪的组成
X射线发射系统:主要部件是X射线管,在高压和电 流作用下,产生出极高强度X射线,用于激发样品。 冷却系统:用于冷却产生大量热的X射线管,X射线 的发生效率为0.2%。X射线管消耗的电能几乎全部转 化为热量,因此,在X射线管工作时,必须保证冷却 系统运转正常。
样品传输系统:将放置在样品盘中的样品传输到测定 位置。
EC
1470 259 356 347
七、XRF的发展趋势
便携 原位 检测限更低
便携
XLt793便携式 土壤重金属光谱仪
检测物质: 土壤及相关类似松散 (颗粒状)样品
特点:
符合人机工程学设计 手枪手柄式XRF分析仪 分析松散质(颗粒状) 样品 带可工作6-12小时的可充电锂电池 高分辨率检测器 微型X射 线管激发源 内置条码读入器 LCD触摸屏
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作业:P52, 2.6
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现为强度的提高。
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
二、 特征X射线谱
当某个具有足够能量的电子将阳极靶的内层电子击出时, 出现空位,系统能量升高,不稳定激发态。较高能级跃迁, 特征X射线谱。
靶材确定,能级差一定,所以特征X射线能量一定,即固定波长。
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
X射线谱
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
§2.3 X射线谱
一、X射线谱的定义与分类
主
要
二、连续X射线谱
内
容
三、特征X射线谱
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2
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
一、X射线谱的定义与分类
1、定义 X射线谱指的是X射线的强度随波长变化的关系曲线。
2、分类 由X射线管发射出来的X射线可以分为两
种类型: (1)连续(白色)X射线(连续辐射) (2)特征(标识)X射线(特征辐射)
材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
二、X射线连续谱
具有连续波长的X射线,构成连续X射线谱,它和可见光相似, 亦称多色X射线。
i增加,谱线上移,各波长强度一致提高,但 λ0 、λm不变。U不变i增大,电子能量不变,密 度增加。
共性:波长限λ0,谱线向 沿波长方向延伸,强度有 最大值,对应λm。
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Z提高,谱线上移,强度增加, 但λ0 、λm不变。U、i不变, 电子能量、密度都未变,但 是Z提高,原子壳层增加,被 电子激发产生X射线的几率 增加,X光子数量增加,表
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K系辐射
材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
L系辐射
Hale Waihona Puke h K WK WLh K WK WM h K WK WN
K K K
(L K) (M K) (N K)
特征峰Kα、Kβ
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
课堂小结
1、分类:连续谱和特征谱 2、连续谱产生机理 3、特征谱产生机理
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
2、短波限
连续X射线谱在短波方向有一个波长极限,称为短波限 λ0。它是由电子一次碰撞就耗尽能量所产生的X射线。它 只与管电压有关,不受其它因素的影响。
eU hmax
hc
0
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•定义
材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
3、X射线的强度
X射线的强度是指垂直X射线传播方向的单位面积 上在单位时间内所通过的光子数目的能量总和。
•单位:
J/cm2.s
• 因素:I=nhυ
n:光子数
hυ:光子能量
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
连续谱形态:管压U,管流i,靶材原子序数Z
U增加,谱线左上移,各波长的强度增加,λ0减小, λm减小。 U增大,单个电子的能量增加所致。
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➢ 产生机理 ➢ 短波限 ➢ X射线强度
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
1、产生机理
(1)能量为eU的电子与阳极靶的原子碰撞时,碰撞一
次产生一个能量为hυ的光子,这样的光子流即为X射线。
(2)单位时间内到达阳极靶面的电子数目是极大量的, 绝大多数电子要经历多次碰撞,产生能量各不相同的辐射, 因此出现连续X射线谱。
原子的壳层模型,电子分布在若干壳层中,如K、L、M、 N...壳层,处在主量子数为n的壳层上,能量值为:
En
Rhc n2
(Z
)2
式中:R、h、c为常数,Z为原子序数,σ称为屏蔽系数。
h n2 n1
En2
En1
Rhc(Z
)2
(
1 n12
1 n22 )
1
K2(Z
)
莫赛莱定律
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现为强度的提高。
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二、 特征X射线谱
当某个具有足够能量的电子将阳极靶的内层电子击出时, 出现空位,系统能量升高,不稳定激发态。较高能级跃迁, 特征X射线谱。
靶材确定,能级差一定,所以特征X射线能量一定,即固定波长。
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
X射线谱
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
§2.3 X射线谱
一、X射线谱的定义与分类
主
要
二、连续X射线谱
内
容
三、特征X射线谱
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
一、X射线谱的定义与分类
1、定义 X射线谱指的是X射线的强度随波长变化的关系曲线。
2、分类 由X射线管发射出来的X射线可以分为两
种类型: (1)连续(白色)X射线(连续辐射) (2)特征(标识)X射线(特征辐射)
材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
二、X射线连续谱
具有连续波长的X射线,构成连续X射线谱,它和可见光相似, 亦称多色X射线。
i增加,谱线上移,各波长强度一致提高,但 λ0 、λm不变。U不变i增大,电子能量不变,密 度增加。
共性:波长限λ0,谱线向 沿波长方向延伸,强度有 最大值,对应λm。
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Z提高,谱线上移,强度增加, 但λ0 、λm不变。U、i不变, 电子能量、密度都未变,但 是Z提高,原子壳层增加,被 电子激发产生X射线的几率 增加,X光子数量增加,表
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K系辐射
材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
L系辐射
Hale Waihona Puke h K WK WLh K WK WM h K WK WN
K K K
(L K) (M K) (N K)
特征峰Kα、Kβ
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课堂小结
1、分类:连续谱和特征谱 2、连续谱产生机理 3、特征谱产生机理
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2、短波限
连续X射线谱在短波方向有一个波长极限,称为短波限 λ0。它是由电子一次碰撞就耗尽能量所产生的X射线。它 只与管电压有关,不受其它因素的影响。
eU hmax
hc
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•定义
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3、X射线的强度
X射线的强度是指垂直X射线传播方向的单位面积 上在单位时间内所通过的光子数目的能量总和。
•单位:
J/cm2.s
• 因素:I=nhυ
n:光子数
hυ:光子能量
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连续谱形态:管压U,管流i,靶材原子序数Z
U增加,谱线左上移,各波长的强度增加,λ0减小, λm减小。 U增大,单个电子的能量增加所致。
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➢ 产生机理 ➢ 短波限 ➢ X射线强度
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材 料 科 学 研 究 方 法(20xx年春季)
1、产生机理
(1)能量为eU的电子与阳极靶的原子碰撞时,碰撞一
次产生一个能量为hυ的光子,这样的光子流即为X射线。
(2)单位时间内到达阳极靶面的电子数目是极大量的, 绝大多数电子要经历多次碰撞,产生能量各不相同的辐射, 因此出现连续X射线谱。
原子的壳层模型,电子分布在若干壳层中,如K、L、M、 N...壳层,处在主量子数为n的壳层上,能量值为:
En
Rhc n2
(Z
)2
式中:R、h、c为常数,Z为原子序数,σ称为屏蔽系数。
h n2 n1
En2
En1
Rhc(Z
)2
(
1 n12
1 n22 )
1
K2(Z
)
莫赛莱定律
2020/10/21
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