第一篇__组织形貌分析(终版)

2. 由于光的折射，物镜接收衍射光线 的能力也强烈的依赖于在样品与 镜头之间的介质。因此，数值孔 径的概念更加能够有效的描述物 镜的成像能力。
油浸物镜
4.2.1 瑞利判据
R0
分辨两埃利斑的判据——瑞利判据：两埃利斑中心间距等于第一暗 环半径R0。此时, 两中央峰之间叠加强度比中央峰最大强度低19％，
2.2 光学显微镜的分辨率
分辨率是可分辨的两点间的最小距离，制约光学显 微镜分辨率的因素是光的衍射。衍射使物体上的一 个点在成像的时候不会是一个点，而是一个衍射光 斑。如果两个衍射光斑靠得太近，它们将无法被区 分开来。
分辨率与照明源的波长直接相关，若要提高显微镜 的分辨率，关键是要有短波长的照明源。
孔径角是物镜光轴上的物点与物镜前透镜的有效 直径所形成的角度。孔径角与物镜的有效直径成 正比，与物镜的焦距成反比。
物点
物镜
F
4.1 数值孔径
物镜的数值孔径和分辨率成正比：
1. 如果全部接收一级衍射光线，则 图像基本不会失去细节。细节越 微小，形成各级衍射斑点的衍射 角越大。因此，物镜口径越大， 能接受的衍射线角度越大，则分 辨率就越高。
6~9 m 红血球 ~10 m 白血球
4.1 扫描探针显微镜简介
1981年，IBM公司的两位科学家Gerd Binnig和Heinrich Rohrer发明了所谓的扫描隧道显微镜，完全失去了传统显 微镜的概念。
扫描隧道显微镜依靠所谓的“隧道效应”工作，它没有镜 头，使用一根金属探针，在探针和物体之间加上一定偏压 （几十mV），当探针距离物体表面很近（纳米级）隧道效 应就会起作用。电子会穿过物体与探针之间的空隙，形成 一股微弱的电流。如果探针与物体的距离发生变化，电流 会呈指数级改变。这样，通过测量电流可以探测物体表面 的形状，分辨率可以达到原子的级别(埃，10-10m)。
目前扫描电子显微镜的分辨率已经达到了1.0 nm左右。
扫描电镜与X射线能谱仪配合使用，使得我们在看到样品 的微观结构的同时，还能分析样品的元素成分及在相应 视野内的元素分布。
金纳米线
1018号钢的断口——塑性断裂
钛靶局部被单脉冲激光烧蚀
高分子聚合物薄膜断口
~100 m 头发分叉处
~100 m 脑神经元
显微组织
加工
结构缺陷
1. 1 组织形貌分析的含义
表面和内部组织形貌，包括材料的外观 形貌、晶粒大小与形态、界面（表面、 相界、晶界）。
微观结构的观察和分析对于理解材料的 本质至关重要。
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金纳米线
1018号钢的断口——塑性断裂
钛靶局部被单脉冲激光烧蚀
韧窝状形貌 和夹杂物
高分子聚合物薄膜断口
径。埃利斑半径与照明光源波长成正比，与射形成的埃利斑
埃利斑光强分布图
2.2.1 阿贝成像原理（重点）
透射光显微镜的成像过程。光源：准平行
相干光，物体：具有周期性结构。 直射光
光通过细小的网孔时发生衍射，同一方向 的衍射光成为平行光束，在后焦面上汇聚。
凡是光程差满足 =k, k = 0,1,2,…的，互
1926年布施提出用轴对称的电场和磁场聚焦电子束（。电磁透镜）
在这两个理论基础上，1931～1933年鲁斯卡等设计并制造 了世界第一台透射电子显微镜，用于组织分析和物相分析， 目前分辨率可达0.2 nm。（利用电子的波动性）
用于组织形貌分析的扫描电子显微镜是在1952年由英国工 程师Charles Oatley发明的，分辨率达1.0 nm。（利用电子
材料现代研究方法
Modern Methods of Materials Analysis
杨 静 副教授
课程内容
第一篇 组织形貌分析 （6学时，第1~2周）
第二篇 晶体物相分析 （14学时，第3~6周）
期中PPT展示答辩（第6~7周）
第三篇 成分和价键（电子）结构分析 第四篇 分子结构分析
期末PPT展示答辩
相加强，形成0级、1级、2级衍射斑点。
某个衍射斑点是由不同物点的同级衍射光 相干加强形成的；同一物点上的光由于衍 射分解，对许多衍射斑点有贡献。
样品 物镜
1 0 1 后焦面
从同一物点发出的各级衍射光，在产生相 应的衍射斑点后继续传播，在像平面上又 相互干涉，形成物像。
像面
2.2.1 阿贝成像原理（重点）
X射线波长在10～0.05nm范围，γ射线的波长更短， 但是由于它们具有很强的穿透能力，不能直接被聚焦， 不适用于显微镜的照明源。
波长短，又能聚焦成像的新型照明源成为迫切需要。
3.1 电子显微镜发展历程
1924年，德布罗意提出，运动的实物粒子（电子、质子、 中子等）都具有波动性质，后来被电子衍射实验所证实。 物质波的波长与其动量关系=h/p，200-300 kV加速电压 下，电子束波长为0.025 nm。（波长短）
4.3.2 光学显微镜的有效放大率
有效放大倍数由下式确定：
M有效 = ∆r / ∆r0
4.3.1 放大率和有效放大率
显微镜总的放大率Γ应该是物镜放大率β和目镜 放大率1的乘积： = 1
无效放大倍率：当选用的物镜数值孔径不够大， 即分辨率不够高时，显微镜不能分清物体的微细 结构，此时即使过度地增大放大倍率，得到的也 只能是一个轮廓虽大但细节不清的图像。
有效放大倍率：光学显微镜提供足够的放大倍数， 把它能分辨的最小距离放大到人眼能分辨的程度。
第 1 篇 组织形貌分析
第一章 组织形貌分析概论
第一章 组织形貌分析概论
1. 组织形貌分析的含义和发展阶段 2. 光学显微镜简介 3. 电子显微镜简介
扫描电子显微镜 透射电子显微镜
4. 扫描探针显微镜简介
1. 1 组织形貌分析的含义
原子结构
成分
什么是 原子排列
性能
材与料工科程学组织形结构貌分析？相结构
的粒子性）
3.2 扫描电子显微镜简介
扫描电子显微镜是将电子枪发射出来的电子聚焦成很细 的电子束，用此电子束在样品表面进行逐行扫描，电子 束激发样品表面发射二次电子，二次电子被收集并转换 成电信号，在荧光屏上同步扫描成像。由于样品表面形 貌各异，发射二次电子强度不同。对应在屏幕上亮度不 同，得到表面形貌像。
1.2 恩斯特·阿贝
在显微镜的发展史中，贡献最为卓著的是德国的 物理学家、数学家和光学大师恩斯特·阿贝(Ernst Abbe)。
他提出了显微镜的完善理论，阐明了成像原理、 数值孔径等问题，在1870年发表了有关放大理论 的重要文章。
两年后．又发明了油浸物镜，并在光学玻璃、显 微镜的设计和改进等方向取得了光辉的业绩。
2. 光学显微镜的成像原理
2.1 衍射的形成 2.2 阿贝成像原理 （重点）
2.1.1 什么是波的衍射？
光即电磁波，具有波动性质。光波在遇到尺寸可 与光波波长相比或更小的障碍物或孔时，将偏离 直线传播，这种现象叫做波的衍射。
水波的衍射
障碍物线度越小，衍射现象越明显。 衍射现象可以用“子波相干叠加”的原理来解释。
肉眼刚刚能分辨是两个物点的像 。
4.2.2 透镜的分辨率
两埃利斑中心间距等于第一暗环半径R0时 , 样品上相应 的两个物点间距离∆r0 定义为透镜能分辨的最小距离，
也就是透镜的分辨本领，或分辨率。
0.61 r0 R0/Mnsin
透镜的分辨率由数值孔径和照明光源的波长两个因素决 定。数值孔径越大，照明光线波长越短，分辨率就越高。
阿贝成像原理可以简单地描述 为两次干涉作用。
当平行光束通过有周期性结构 的物体时，
1. 不同物点的同级衍射波在后焦面 的干涉 ——形成衍射谱；
2. 同一物点的各级衍射波在像面的 干涉——形成反 映物的特征的 物像。
2.2.2 物与像之间的相似性
物像是由直射光和衍射光互相干涉形成的。不让 衍射光通过就不能成像，参与成像的衍射斑点愈多， 则物像与物体的相似性愈好。
2.1.2 狭缝衍射实验
狭缝中间连线b上每一点可以看成一个“点光源”，向四面八方 发射子波，子波之间相互干涉（叠加），在屏幕上形成衍射花 样。
整中从增央强狭个亮区缝狭的斑上缝中。缘内心在和发，P下出1处称缘的发为发光生第出波相一的在干级光P抵0衍波点消射的的，极波波形大程程成值差差光。1½为强零个的，波低相长谷干，。增P在2强成P2，为点形处相，成干
1610年，意大利物理学家伽利略(Galileo)制造了具有物镜、 目镜及镜筒的复式显微镜（左图）。
1665年，英国物理学家罗伯特·胡克(Robert Hooke)用这台复 式显微镜观察软木塞时发现了小的蜂房状结构，称为“细 胞”，由此引起了细胞研究的热潮。
1684年，荷兰物理学家惠更斯(Huygens) 设计并制造出双透镜目镜－惠更斯目镜， 是现代多种目镜的原型。这时的光学显 微镜已初具现代显微镜的基本结构(右图)。
接观测到原子的图像。
1. 2 组织形貌显微技术的 三个发展阶段
扫描探针显微镜 放大倍率
电子显微镜
×10,000,000 ×1,000,000
×100,000
光学显微镜
×10,000 ×1,000
×100
分辨率
1000 100
10-6 10-7
×10
10
1
0.1 0.01 0.001 nm
10-8 10-9 10-10 10-11
像 面
后 焦 面
3. 光学显微镜的构造和光路图
光学显微镜包括光学系统和机械装置两大部分：
目镜 物镜
聚光镜和光阑 反光镜
4. 显微镜的重要光学技术参数
4.1 数值孔径 4.2 分辨率（重点） 4.3 放大率和有效放大率 4.4 光学透镜的像差
4.1 数值孔径
数值孔径（NA）是物镜前透镜与被检物体之间介 质的折射率（n）和半孔径角（α）的正弦之乘积， NA= nsinα。表示物镜分辨细节的能力。