微型加速度计
微加速度计的技术现状和发展趋势
微加速度计的技术现状和发展趋势微加速度计是一种用于测量微小加速度的仪器。
它通常由一个微加速度传感器和一个信号处理单元组成。
微加速度计可以广泛应用于工业、航天、医疗等领域，在这些领域中具有重要的应用价值。
下面将重点介绍微加速度计的技术现状和发展趋势。
技术现状：1.传感器技术：传感器是微加速度计的核心部件，直接影响着仪器的性能。
目前，常用的微加速度传感器技术有压电、电容、激光干涉等。
其中，压电传感器具有体积小、灵敏度高、稳定性好等优点，广泛应用于微加速度计中。
2.信号处理技术：微加速度计产生的信号较小，需要经过放大、滤波等处理才能得到可靠的结果。
目前，常用的信号处理技术包括模拟信号处理和数字信号处理。
模拟信号处理一般采用放大器、滤波器等电路来处理信号，而数字信号处理则通过模数转换、滤波、数字滤波器等算法来实现。
3.精度和灵敏度：微加速度计要求具有高精度和高灵敏度的特点。
目前，微加速度计的精度一般能达到0.001g，灵敏度可达到0.0001g。
但是，随着科技的不断发展，人们对微加速度计的精度和灵敏度的要求也越来越高。
4.非线性和温度稳定性：微加速度计的非线性和温度稳定性也是技术现状中需要解决的问题。
非线性误差一般用百分比来表示，目前常用的微加速度计的非线性误差在1%以内。
而温度稳定性是指在不同温度下测量精度是否得到保证，目前主要解决方案是采用温度补偿技术，使得微加速度计在不同温度下仍能保持较好的性能。
发展趋势：1.小型化：随着科技的不断发展，人们对微加速度计的需求越来越高。
在航天、医疗等领域，对微加速度计的要求是体积小、重量轻。
因此，微加速度计的小型化将是未来的发展趋势。
2.高精度：微加速度计的精度一直是人们关注的焦点。
未来的发展方向是通过改进传感器的设计、提高信号处理的技术水平，使得微加速度计的精度进一步提高。
3.多功能化：随着应用领域的不断扩大，微加速度计的需求也在不断增加。
未来的发展方向是通过增加传感器的功能，实现多种物理量的测量。
第一二章电容式微加速度计的结构设...
第一章引言图１．１静电力驱动式微型夹钳“”２．电磁力驱动微型夹钳电磁力驱动微型夹钳的驱动器一般包括线圈和电磁铁等，线圈所产生的电磁场驱动电磁铁运动，推动夹钳的卡爪完成夹持动作。
这类微型夹钳的卡爪能获得较大范围的开合量，夹持动作响应快，无磨损，控制简单，但是电磁线圈的结构难于用ｌｃ工艺兼容（难于用ＩＣ工艺加工），而且体积大，无法做的很小，还不能称为微夹钳。
３．压电式微夹钳图１－２为压电式微夹钳，驱动源是压电变换器。
通过施加电压，压电变换器产生长度变化，使钳口张合。
此微夹钳具有可控输出，无摩擦，易制作等优点，但是以压电元件驱动的微夹钳受压电元件尺寸的限制，难以做得很小。
压电元件的逆压电效应产生的变形量很小，通常为几～十几微米，不能满足微尺度操作的要求。
一般采用机械增幅机构，利用杠杆原理，来放大位移。
经过二、三级的放大，可以将压电元件的变形量放大到几百微米。
机械增幅机构中多采用柔性铰链，柔性铰链适合于实现小范围偏转的支承，可以作为杠杆支点和构件间的铰接点，体积容易做得很小，无机械摩擦、无间隙。
图１．２压电式微夹钳…１８第一章引言４．形状记忆合金微夹钳上文中提到机械增幅机构，机械增幅机构中多采用柔性铰链，柔性铰链适合于实现小范围偏转的支承，可以作为杠杆支点和构件间的铰接点，体积容易做得很小，无机械摩擦、无间隙。
柔性铰链绕轴作复杂运动的有限弹性角位移时，储存了一定的弹性势能，当机械增幅机械去掉驱动力之后，机构可以靠柔性铰链的弹性能恢复处理和记忆训练后，它对原有的形状具有记忆能力。
利用这种记忆效应来夹持、释放物体，这就是形状记忆合金夹钳的基本原理。
形状记忆合金是一种功能材料，经过一定的热处理和记忆训练后，对原有的形状具有记忆能力。
利用此记忆效应来夹持，释放物体。
如图１．３所示，通过加热由形状记忆合金组成的驱动单元Ｉ，使其产生变形，引起驱动单元ＩＩ变形，从而使钳爪闭合；反之，温度下降，变形恢复，钳爪张开。
形状记忆合金具有较高机械性能，抗蚀性能好，可恢复应变量大，恢复力大，本身既是驱动材料，又是结构材料，便于实现机构的简化和小型化。
MEMS加速度计的原理及应用
MEMS加速度计的原理及应用MEMS加速度计（Microelectromechanical Systems Accelerometer）是一种基于微电子机械系统的加速度测量器件。
它利用微电子技术和微米制造工艺，将加速度的作用转化为电信号的变化，从而实现对物体的加速度测量。
MEMS加速度计的原理是利用微机械结构和微运动质量的特性。
一般来说，MEMS加速度计由微型质量块和弹簧支撑系统组成，当物体发生加速度改变时，弹簧支撑系统会受到力的作用，从而导致微型质量块产生相应的位移。
这个位移可以通过微电子传感器转化为电信号，进而进行处理和分析。
1.手机和消费电子产品：MEMS加速度计被广泛应用在手机和其他消费电子产品中，用于实现自动屏幕旋转、运动感应游戏、姿势识别和手势控制等功能。
2.汽车安全系统：MEMS加速度计可用于汽车安全系统中，如气囊部署系统。
当车辆发生碰撞或急刹车等意外情况时，加速度计可以检测到车辆的加速度变化，并触发相应的安全机制。
3.工业监测：MEMS加速度计可以用于工业监测中，如机械设备的振动监测。
通过检测设备振动的频率和幅度，可以预测设备的健康状况和可能的故障。
4.体感游戏和虚拟现实（VR）设备：MEMS加速度计可以用于体感游戏和虚拟现实设备中，如头戴式显示器。
通过感应用户的头部和身体的运动，可以实现更加真实和沉浸式的游戏和虚拟体验。
5.医疗领域：MEMS加速度计可以用于医疗监测和诊断中，如运动追踪和睡眠监测。
通过监测运动和睡眠的模式和质量，可以帮助医生评估患者的健康状况。
6.运动跟踪器：MEMS加速度计在运动跟踪器中被广泛应用，如智能手环和运动手表。
它可以实时监测用户的步数、距离、卡路里消耗和睡眠质量等信息。
总结起来，MEMS加速度计是一种基于微电子机械系统的加速度测量器件，它通过微机械结构和微运动质量的特性，将加速度的作用转化为电信号的变化。
这种技术在手机、汽车安全系统、工业监测、体感游戏、医疗领域和运动跟踪器等领域有着广泛的应用。
MEMS加速度计
MEMS加速度计MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）加速度计是一种集成了微电子技术、微机械技术和传感器技术的微型加速度计。
MEMS加速度计以微机电系统技术为基础，利用微型机械结构和微电子技术制作而成的一种传感器。
其结构通常包括一个质量并且可以在三个不同方向上移动的臂梁，一些感应电极以及一个基座。
当加速度计受到外部加速度作用时，质量会受力发生偏移，从而导致感应电极的电荷和电场发生变化，通过测量这些变化，就可以得到外部加速度的信息。
MEMS加速度计主要有压电加速度计和电容加速度计两种类型。
压电加速度计是利用压电效应实现加速度测量的，当受到外部加速度作用时，压电材料产生电荷，从而产生电压输出。
电容加速度计是基于电容变化原理设计的，当加速度计产生加速度时，微机械结构中的电容会发生变化，通过测量电容变化就可以得到加速度的信息。
由于压电加速度计和电容加速度计都是微型化设计，制作工艺成熟，因此MEMS加速度计具有尺寸小、功耗低、成本低和可靠性高等特点。
MEMS加速度计广泛应用于许多领域，特别是在移动设备、汽车、航空航天、智能穿戴设备和工业自动化等领域。
在移动设备方面，MEMS加速度计可用于屏幕旋转、晃动控制和跌落检测等功能。
在汽车领域，MEMS加速度计能够实现碰撞检测、车身稳定控制和自动泊车等功能。
在航空航天领域，MEMS加速度计可用于姿态测量和导航系统。
在智能穿戴设备方面，MEMS加速度计可用于步数统计、睡眠监测和运动追踪等功能。
在工业自动化领域，MEMS加速度计可用于振动检测和故障诊断等应用。
然而，MEMS加速度计也存在一些问题。
首先，由于其微小尺寸，对温度、湿度和振动等环境因素的影响较大，可能会导致测量误差。
其次，MEMS加速度计的精度和分辨率相对较低，对微小加速度的测量不够敏感。
此外，MEMS加速度计的线性度和漂移等问题也需要进一步优化和改进。
综上所述，MEMS加速度计作为一种集成了微电子技术、微机械技术和传感器技术的微型加速度计，在各个领域有着重要的应用价值。
mems电容式加速度计原理
MEMS电容式加速度计原理一、工作原理MEMS电容式加速度计是一种基于微机械加工技术制成的传感器，用于测量加速度。
其核心部分是可移动的感应质量块和固定电极，它们之间存在微小的间距。
在工作状态下，当被测物体发生加速度时，感应质量块会受到力的作用，从而产生位移。
这个位移量会改变感应质量块与固定电极之间的距离，从而引起电容值的改变。
通过测量电容值的变化，可以推导出物体的加速度。
二、结构设计MEMS电容式加速度计的典型结构包括一个可移动的感应质量块和两个对称的固定电极。
感应质量块通常采用单晶硅材料制成，形状为长方形或圆形，其两端固定在弹性梁上。
弹性梁的材料一般为氮化硅或石英，它们具有良好的弹性性能和稳定的热性能。
固定电极一般采用金属材料制成，与硅衬底形成电容器。
当加速度作用在感应质量块上时，感应质量块会沿着敏感轴方向产生位移，从而改变电容器的电容值。
三、电容变化当感应质量块发生位移时，它与固定电极之间的距离会发生变化，导致电容值的改变。
这个电容变化量可以通过外部电路检测并转换为电压信号输出。
在MEMS电容式加速度计中，通常采用差分电容检测方式来提高检测灵敏度和减小外界干扰的影响。
差分电容检测方式是将两个对称的电容器串联在一起，通过测量两个电容器的电容差值来推导出加速度值。
四、测量范围MEMS电容式加速度计的测量范围取决于其结构设计、制造工艺和材料选择等因素。
一般来说，MEMS电容式加速度计的测量范围在±2g 至±10g之间。
在实际应用中，可以根据需要选择适合测量范围的加速度计。
此外，为了减小测量误差和提高测量的稳定性，可以对加速度计进行温度补偿和线性补偿等处理。
五、方向测量MEMS电容式加速度计一般只能测量单一方向的加速度值，而要实现方向测量则需要使用多个加速度计。
一般来说，将多个MEMS电容式加速度计按不同的方向布置在同一个被测物体上，每个加速度计负责测量一个方向的加速度值。
通过对这些加速度值进行处理和分析，可以获得物体在三维空间中的运动状态和方向信息。
mems三轴加速度计原理
mems三轴加速度计原理MEMS三轴加速度计原理1. 什么是MEMS三轴加速度计？MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）三轴加速度计是一种微型化的传感器设备，用于测量物体在三个方向上的加速度。
它的工作原理基于微机电系统技术，通过微型电子组件和微机械结构实现加速度的检测与测量。
该设备通常由微加速度感应器、信号处理电路和数据输出接口组成，能够广泛应用于移动设备、汽车安全系统、运动监测等领域。
2. MEMS三轴加速度计的工作原理微加速度感应器微加速度感应器是MEMS三轴加速度计的核心部件。
它通常由微结构和敏感电路组成。
微结构由多个微机械振动结构组成，其中包括微型质量块和弹簧。
当发生加速度时，微加速度感应器内的质量块会受到惯性力的作用而发生位移，从而引起弹簧的变形。
敏感电路敏感电路是用于检测和测量微加速度感应器产生的位移的电路部分。
它通常由压电传感器和信号放大器组成。
压电传感器可以将微加速度感应器的位移转化为电荷信号。
当微加速度感应器发生位移时，压电传感器产生电荷信号，这个信号会被传递到信号放大器。
信号放大器会放大压电传感器产生的微弱电荷信号，使之成为可以被读取和处理的电压信号。
3. MEMS三轴加速度计的工作过程MEMS三轴加速度计的工作过程可以分为三个阶段：感应阶段、转换阶段和读数阶段。
感应阶段在感应阶段，当加速度发生变化时，微加速度感应器内的质量块会受到惯性力作用而发生位移。
这个位移将被压电传感器转化为电荷信号。
转换阶段在转换阶段，压电传感器产生的电荷信号被信号放大器放大为可以进行读数和处理的电压信号。
信号放大器通常采用运算放大器等电路进行放大。
读数阶段在读数阶段，通过数据输出接口可以读取和处理由信号放大器产生的电压信号。
这些信号可以被转换成数字信号，从而得到物体在三个方向上的加速度数值。
MEMS三轴加速度计通过微机电系统技术，利用微加速度感应器和敏感电路实现对物体加速度的检测和测量。
手机中的微加速度计的原理和应用
手机中的微加速度计的原理和应用1. 引言手机中的微加速度计是一种重要的传感器，可以测量手机在空间中的加速度。
它常被应用于智能手机的倾斜感应、步数统计以及游戏控制等领域。
本文将介绍手机中微加速度计的原理和应用。
2. 微加速度计的原理手机中的微加速度计主要基于MEMS（Microelectromechanical systems）技术。
它采用微型力传感器，通过测量微小的质量加速度来确定手机在空间中的加速度。
微加速度计通常由微喷射器、微型质量块、压电传感器和信号处理电路等组成。
当手机发生加速度变化时，微喷射器会向质量块喷射精确的微量燃料，使质量块发生微小的位移。
压电传感器可以测量质量块的位移，并将其转化为电信号。
信号处理电路对电信号进行放大和滤波等处理，最终输出手机的加速度数据。
3. 微加速度计的应用3.1 倾斜感应手机中的微加速度计可以用于倾斜感应，通过测量手机的加速度变化来判断手机的倾斜角度。
例如，在游戏中，玩家可以通过倾斜手机来控制游戏角色的移动方向。
此外，倾斜感应还可以应用于手机的自动旋转屏幕功能，当手机被倾斜时，屏幕会自动旋转以适应用户的观看角度。
3.2 步数统计手机中的微加速度计可以用于步数统计。
利用手机的加速度变化，可以分析用户的步态并计算出用户的步数。
这对于健康监测和步行健身等应用非常重要。
手机中的微加速度计通常与其他传感器（如陀螺仪）协同工作，提高步数统计的准确性。
3.3 游戏控制手机中的微加速度计在游戏控制中有广泛的应用。
通过感知手机的加速度变化，玩家可以通过倾斜手机或摇晃手机的方式来控制游戏角色的行动。
这种交互方式使得游戏更加具有沉浸感，并且对于某些类型的游戏（如赛车游戏）来说尤为适用。
3.4 动作识别手机中的微加速度计可以用于动作识别。
通过分析手机的加速度变化，可以判断用户当前所处的动作状态。
这对于一些健身应用或虚拟现实应用具有重要意义。
例如，在健身应用中，可以通过手机的加速度变化来记录用户的运动情况，从而帮助用户更好地掌握运动状态。
MEMS加速度计的原理和运用
MEMS加速度计的原理和运用MEMS加速度计（Micro-Electro-Mechanical Systems Accelerometer）是一种基于微机电系统技术的加速度传感器。
它可测量物体在三个坐标轴上的加速度，并广泛应用于许多领域，如智能手机、运动追踪、汽车安全系统等。
本文将详细介绍MEMS加速度计的原理和运用。
一、MEMS加速度计原理静态感应器通常由一个固定不动的基板、附着在基板上的引力传感器，以及一个用于测量引力传感器偏转的电容器或压阻器组成。
在无外力作用时，引力传感器受到引力的作用，不会发生偏转。
移动感应器通常由一个能够相对于基板移动的质量块和一个弹簧组成。
当物体在一些方向上加速时，质量块由于惯性而相对于基板发生位移，这一位移会引起弹簧产生恢复力。
通过测量恢复力的大小，可以确定加速度的大小。
MEMS加速度计一般采用压电效应或电容效应来实现测量。
在压电效应中，当质量块位移时，压电材料会产生电荷。
而在电容效应中，质量块的位移会改变电容器的电容值。
通过测量电荷或电容的改变，可以确定加速度的大小。
二、MEMS加速度计的运用1.智能手机和移动设备MEMS加速度计广泛应用于智能手机和移动设备中。
它可以检测手机的姿态、方向和动作。
例如，当手机倾斜时，加速度计可以检测到这一变化，并通过软件算法实现屏幕自动旋转功能。
此外，加速度计还用于运动游戏和步数计数等应用。
2.运动追踪3.汽车安全系统4.工业应用5.医疗设备6.飞行器和航天器总结：MEMS加速度计基于质量的惯性效应实现加速度测量，通常采用压电效应或电容效应来实现。
它在智能手机、运动追踪、汽车安全系统、工业应用、医疗设备和航天领域等方面都有广泛的应用。
随着技术的不断进步和成本的降低，MEMS加速度计的应用将更加普及和多样化。
mems加速度计原理
mems加速度计原理
MEMS加速度计是一种利用微电子机械系统技术制造的加速
度传感器。
它采用微小的质量偏转来测量物体的加速度。
MEMS加速度计的原理基于牛顿第二定律，即力等于质量乘
以加速度。
它包括一个微小的质量块，在加速度作用下会偏转。
具体原理如下：
1. 弹性梁原理：MEMS加速度计的核心部件是微小的弹簧梁
结构。
当加速度作用于传感器时，其内部的弹簧梁会受到力的作用而发生形变。
通过测量形变量的变化，可以计算出加速度大小。
2. 微机电系统技术：MEMS加速度计通过微电子加工工艺制
造出微小的机械结构，这些结构可以识别并测量加速度。
常见的结构包括悬臂梁、微型质量块等。
当加速度发生改变时，这些微小结构会产生微小位移，通过测量位移的变化，可以得到加速度的值。
3. 电容变化原理：MEMS加速度计中的微小结构内部设置了
电容，当加速度发生变化时，结构的位移会导致电容发生改变。
通过测量电容的变化，可以得到加速度的值。
总之，MEMS加速度计利用微小结构的位移或形变来测量加
速度，具有体积小、功耗低和响应速度快等优势，广泛应用于移动设备、汽车电子系统和航空航天等领域。
不同微加速度计都有哪些特点
不同微加速度计都有哪些特点微加速度计（Micro- Accelerometer）是一种可以测量并监测小量加速度的设备。
它在现代工业、交通运输、医疗、科学研究等领域中都扮演着重要的角色。
不同的微加速度计在设计和制造上有着不同的特点和优劣势。
本文将介绍几种常见的微加速度计以及它们各自的特点。
电容式微加速度计电容式微加速度计是测量微振动加速度的重要设备。
它的测量原理是根据加速度引起的质量变化来改变电容器中的电容量。
具有较高的分辨率和较好的线性性，同时能够在高频范围内工作。
此外，电容式微加速度计的响应时间相对较快，可以非常准确地测量运动中的微小加速度变化。
但是，电容式微加速度计也有一些缺点。
电容式微加速度计通常在环境温度变化明显时误差较大，需要对其进行补偿。
此外，由于电容式微加速度计的灵敏度较高，所以在安装和使用时应注意减少对其的振动和冲击。
压电微加速度计压电微加速度计是一种利用压电转换器材料测量振动加速度的设备。
在加速度发生变化时，压电材料会产生电荷输出，这种输出可以用来衡量加速度的大小。
与电容式微加速度计相比，压电微加速度计的特点是体积小、重量轻，同时能够在较高温度下工作。
此外，压电式微加速度计具有较大的阻尼比，对于低频加速度响应比较好。
但是，压电微加速度计也存在一些缺点。
压电式微加速度计的频率响应范围较狭窄，而且对温度的变化较为敏感，因此在使用时需要进行温度补偿。
磁致伸缩微加速度计磁致伸缩微加速度计是一种利用反铁磁性材料的磁致伸缩效应来测量加速度的设备。
在加速度发生变化时，反铁磁性材料会发生微小的长度变化，这种变化是由外加加速度引起的。
因此，磁致伸缩微加速度计可以通过测量反铁磁性材料的长度变化来衡量加速度大小。
与电容式微加速度计和压电式微加速度计相比，磁致伸缩微加速度计具有以下特点：在高频范围内工作，响应时间短，测量精度较高，抗干扰能力强等。
此外，磁致伸缩微加速度计也具有较小的失调和漂移。
总的来说，不同类型的微加速度计在测量范围、温度变化、响应时间、响应频率等方面都具有各自的优缺点。
mems加速度计参数
mems加速度计参数
MEMS加速度计是一种微型机电系统，用于测量物体的加速度。
它由微型机械结构、传感器和信号处理器组成。
以下是常见的MEMS 加速度计参数：
1. 测量范围：表示MEMS加速度计可以测量的加速度范围，通常以重力加速度g为单位，例如±2g、±4g、±8g等。
2. 灵敏度：表示MEMS加速度计在单位加速度下输出的电压变化量，通常以mV/g为单位，例如200mV/g。
3. 分辨率：表示MEMS加速度计可以测量的最小加速度变化量，通常以mg为单位，例如1mg。
4. 器件带宽：表示MEMS加速度计可以测量加速度信号的频率范围，通常以Hz为单位，例如100Hz。
5. 器件噪声：表示MEMS加速度计在无加速度信号时输出的电压噪声水平，通常以mg为单位，例如0.1mg。
6. 线性度：表示MEMS加速度计输出与实际加速度之间的误差程度，通常以百分数或mg为单位，例如±0.2%FS或±2mg。
MEMS加速度计是一种常见的传感器，广泛应用于汽车、手机、游戏机、医疗器械等领域。
了解其参数可以帮助工程师选择适合的加速度计，以满足不同应用的需求。
- 1 -。
MEMS加速度计
MEMS加速度计
MEMS（Micro Electro Mechanical System）加速度计是一种小型的微电子机械系统，它是一种集成在小尺寸的容器中的微型传感器。
它的一个主要功能是用于测量自身被作用力的改变。
MEMS加速度计通常用来测量一个物体的速度和加速度。
MEMS加速度计可以用来测量其中一种受力是否存在，或者可以用来测量其中一种力的大小和方向。
这种受力可以指物体的重力、运动或者是重力或运动之外的力，例如机械弹簧或气动弹簧等。
MEMS加速度计的输出信号可以经过处理，反映物体的运动状态，使制造者可以做出恰当的决定和行动。
MEMS加速度计无论在工业界还是日常生活中都有着很广泛的应用，它可以用来测量汽车、机器人、运动和其他各种运动的加速度，以及许多智能装置实现自由度控制。
它可以用来检测碰撞、行车轨迹和定位，从而应用到汽车安全系统中，使汽车安全变得有效。
此外，它还可以用来测量人体的运动，帮助科学家进行运动分析研究。
MEMS加速度计分析
MEMS加速度计分析MEMS加速度计是一种常见的微电子机械系统（MEMS）的类型，它能够测量物体的加速度。
由于其小尺寸、重量轻、功耗低等特点，MEMS加速度计已广泛应用于各种领域，如移动设备、汽车、工业控制等。
本文将对MEMS加速度计进行深入分析，包括其原理、结构、工作模式以及应用等方面。
一、MEMS加速度计的原理二、MEMS加速度计的结构MEMS加速度计的结构基本上由四个部分组成：质量块、弹簧、感应电路和封装。
其中，质量块是用来感应加速度的核心部件，弹簧用于支撑和约束质量块的运动，感应电路用于将机械位移转化为电信号，封装则用于保护MEMS加速度计的结构和电子器件。
三、MEMS加速度计的工作模式四、MEMS加速度计的应用MEMS加速度计在各个领域都有广泛的应用。
在移动设备领域，MEMS 加速度计被用于导航、姿态检测、图像稳定等方面。
在汽车领域，MEMS 加速度计可以用于车辆稳定性控制、碰撞检测等。
在工业控制领域，MEMS 加速度计可以应用于振动监测、机器人导航等。
五、MEMS加速度计的优缺点MEMS加速度计有许多优点，如小尺寸、重量轻、功耗低、价格低廉等。
此外，MEMS加速度计还具有高灵敏度、较大的测量范围以及良好的线性度。
然而，MEMS加速度计也存在一些缺点，例如温度漂移大、噪声较大、灵敏度不稳定等。
六、MEMS加速度计的发展趋势随着技术的不断进步，MEMS加速度计在性能和应用方面还有很大的发展空间。
目前，研究者们正在努力解决MEMS加速度计的噪声、温度漂移等问题，并且不断提高其灵敏度和稳定性。
总结：MEMS加速度计是一种应用广泛的传感器，其基本原理是利用微机电系统技术测量被测物体的加速度。
它的结构简单，可以通过单轴、双轴和三轴等不同模式来测量加速度，具有很多优点，但也存在一些缺点。
随着技术的不断进步，MEMS加速度计的性能和应用还将不断发展。
ENDEVCO 2222D 微型颗粒体加速度计说明书
Piezoelectric accelerometer Model 2222DKey features• NEW! 2222D-R available as a replacement sensor • Industry standard • Lightweight (1 gm)• Ground isolated with supplied mounting accessory • Adhesive mounting• Small structure vibration measurement• Broad linear frequency responseThe Endevco ® model 2222D is the world’s most popular minature piezoelectric accelerometer for vibration measurement on mini-structures and small objects. Its light weight (1 gm) minimizes mass loading. The accelerometer is a self generating device that requires no external power source for operation.The model 2222D features Endevco’s Piezite ® type P-8 crystal element operating in shear mode. This sensor exhibits excellent output sensitivity stability over time. Signal ground is isolated from the mounting surface of the unit with a supplied hard-anodized mounting adapter . An incredibly flexible low-noise coaxial cable is supplied for error-free operation. Accelerometer and cable removal tools are included in the package to ensure proper removal in the field.Endevco signal conditioner models 2771C, 2775B or OASIS 2000 computer-controlled system are recommended for use with this high impedance accelerometer.STANDARD TOLERANCE INCHES (MILLIMETERS).XX = .02 (.XX = .5) .XXX = .010 (.XX = .25)+Piezoelectric accelerometerModel 2222DSpecificationsThe following performance specifications conform to ISA-RP-37.2 (1964) and are typical values, referenced at +75˚F (+24˚C) and 100 Hz, unless otherwise noted. Calibration data, traceable to National Institute of Standards and Technology (NIST), is supplied.Dynamic characteristics UnitsCharge sensitivityTypical pC/g 1.1Minimum pC/g 0.95Frequency response See typical amplitude responseResonance frequency kHz 45Amplitude response [1]± 5% Hz 3 to 10 000± 1dB Hz 0.1 to 12 000Temperature response See typical curveTransverse sensitivity % ≤ 5Amplitude linearity % < 1Electrical characteristicsOutput polarity Acceleration directed into the base of unit produces positive output Resistance GΩ ≥ 10Capacitance pF 120Grounding Signal ground connected to caseEnvironmental characteristicsTemperature range -67˚F to +347˚F (-55˚C to +175˚C)Humidity Hermetically sealedSinusoidal vibration limit g pk 1000Shock limit [2] [3] g pk 10 000Base strain sensitivity at 250 μ strain equiv. g pk/μ strain 0.04Physical characteristicsDimensions See outline drawingWeight gm (oz) 1 (0.035)Case material Titanium alloy 6AI-4VConnector M3 coaxial side mountMounting [4] AdhesiveCalibration [5]Supplied:Charge frequency response % 20 to 10 000 HzCharge sensitivity pC/gMaximum transverse sensitivity%Piezoelectric accelerometer Model 2222DContactENDEVCO T el: +1 (866) ENDEVCO [+1 (866) 363-3826]Notes1. Low-end response of the transducer is a function of its associated electronics.2. When exposed to high g and large displacement, the cable must be tied down as close to the accelerometer as possible to prevent cable whip and subsequent cable failure.3. Short duration shock pulses, such as those generated by metal-to-metal impacts, may excite transducer resonance and cause linearity errors. Send for TP290 for more details.4. Adhesives such as petro-wax, hot melt glue, and cyanoacrylate epoxy (super glue) may be used to mount the accelerometer temporarily to the test structure. An adhesive mounting kit (P/N 31849) is available as an option from Endevco. To remove an epoxy-mounted accelerometer, first soften the epoxy with an appropriate solvent and then twist the unit off with supplied removal wrench. Damage to sensors caused by inappropriate removal procedures are not covered by Endevco’s warranty.5. Maintain high levels of precision and accuracy using Endevco’s factory calibration services. Call Endevco’s inside sales force at 866-ENDEVCO for recommended intervals, pricing and turn-around time for these services as well as for quotations on our standard products.Accessories。
MEMS加速度计的原理及运用
MEMS加速度计的原理及运用MEMS加速度计（Micro-electromechanical Systems accelerometer）是一种使用微型机电系统技术制造的加速度计。
它利用微型机电系统的微小尺寸和集成度高的特点，能够在小尺寸装置中提供高精度的加速度测量。
本文将介绍MEMS加速度计的原理及其在各个领域中的运用。
首先，要了解MEMS加速度计的原理，需要了解几个基本概念。
加速度是物体在单位时间内速度的改变量。
MEMS加速度计利用了惯性原理来测量加速度。
惯性原理指的是物体具有一种固有的抵抗力，使得它们很难改变其状态的性质。
根据牛顿第一定律，当一个物体保持静止或匀速直线运动时，它的加速度为零。
而当一个物体的速度或方向发生变化时，它将经历一个加速度。
MEMS加速度计利用质量的惯性来测量物体的加速度。
它通常由质量块、弹簧和电容器组成。
当一个物体加速时，质量块会受到惯性力的作用，从而相对于基准点发生位移。
这个位移会导致弹簧发生伸缩，并改变电容器之间的距离。
通过测量这个电容器之间的距离的变化，就可以推断出加速度的大小。
MEMS加速度计的一个重要特点是它的微小尺寸和高集成度。
由于其微型机电系统的制造工艺，MEMS加速度计可以大量集成在一个小芯片上，使其适用于移动设备、汽车、航空航天等领域。
此外，MEMS加速度计具有高精度、低功耗和低成本的优势，因此它被广泛应用于智能手机、平板电脑、游戏控制器等消费电子产品中。
下面我们将介绍MEMS加速度计在几个重要领域的运用。
1.物体运动监测：MEMS加速度计可以测量物体的加速度和姿态，用于监测和分析物体的运动状态。
在运动追踪、姿势检测、运动游戏等领域有广泛应用。
2.防抖动技术：在消费电子产品中，MEMS加速度计常用于防抖动技术。
通过对设备的加速度和方向进行实时监测和调整，可以消除震动对图像和视频的干扰，提供稳定和清晰的图像质量。
3.汽车安全系统：MEMS加速度计常用于汽车安全系统中，用于检测车辆的碰撞和突然变速。
mems加速度计工作原理
mems加速度计工作原理Mems加速度计指的是微机电系统加速度计，是采用微机电技术生产的小型传感器，用于测量和监测加速度和带方向的力。
下面介绍mems 加速度计的工作原理：一、工作原理：1. 基本原理：Mems加速度计本质上是一种检测物体换向位移的设备，原理是当物体施加加速度或力时，会产生换向位移。
2. 具体设计：Mems加速度计的结构基于微机电原理和原子层结构，它包括换向传感器、滤波和滞后控制部件、加速度计放大器以及控制/数据处理模块。
3. 传感器的作用：Mems加速度计的传感器主要负责对物体产生的换向位移进行检测，它可根据物体的换向位移产生换向信号，该信号被传输至控制/数据处理模块。
二、加速度计放大器：1. 功能：加速度计放大器的作用是将传感器产生的换向信号进一步放大后传输至控制/数据处理模块。
2. 结构：Mems加速度计中的放大器主要由电路和微机电器件组成，其中电路主要为集成电路，微机电器件是实现加速度传感效果所必需的元件。
三、滤波与滞后控制部件：1. 功能：滤波部件的功能是过滤杂散信号，保留有效信号，以获得准确精确的加速度数据；滞后控制部件的功能是通过设置滞后时间来减小瞬变换向影响加速度测量的误差；2. 结构：滤波部件和滞后控制部件是一定的集成电路，内部核心元件是电容元件和一些晶体管等；3. 联系：滤波元件与加速度计放大器、滞后控制部件与加速度计放大器之间存在联系，加速度计放大器可以根据滤波和滞后控制部件产生的信号来进行改变加速度测量的特性。
四、控制/数据处理模块：1. 作用：控制/数据处理模块的作用是根据传感器的换向信号以及加速度计放大器和滤波、滞后控制部件所产生的信号，分析、处理、记录和传输加速度和带方向的力的测量数据；2. 结构：控制/数据处理模块由微处理器和一些周边电路组成，周边电路主要包括存储电路、发射电路和数字/模拟转换电路等。
MEMS加速度计简介
MEMS加速度计简介1、什么是MEMS加速度计？加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。
加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就比如地球引力，也就是重力。
加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。
由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。
MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。
2、MEMS加速度计一般用在哪里？通过测量由于重力引起的加速度，你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。
通过分析动态加速度，你可以分析出设备移动的方式。
现在工程师们已经想出了很多方法获得更多的有用的信息。
MEMS加速度计可以帮助你的机器人了解它现在身处的环境。
是在爬山？还是在走下坡，摔倒了没有？或者对于飞行类的机器人来说，对于控制姿态也是至关重要的。
更要确保的是，你的机器人没有带着炸弹自己前往人群密集处。
一个好的工程师能够使用MEMS加速度计来回答所有上述问题。
目前最新IBM Thinkpad手提电脑里就内置了MEMS加速度计，能够动态的监测出笔记本在使用中的振动，并根据这些振动数据，系统会智能的选择关闭硬盘还是让其继续运行，这样可以最大程度的保护由于振动，比如颠簸的工作环境，或者不小心摔了电脑所造成的硬盘损害，最大程度地保护里面的数据。
目前在一些先进的移动硬盘上也使用了这项技术。
另外一个用处就是在目前的数码相机和摄像机里，用MEMS加速度计来检测拍摄时候的手部的振动，并根据这些振动，自动调节相机的聚焦。
MEMS加速度计还可以用来分析发动机的振动。
汽车防撞气囊的启动也可以由MEMS加速度计控制。
由此可见MEMS加速度计可以在我们的生活中发挥重要作用。
归纳其应用主要有以下几个方面：振动检测、姿态控制、安防报警、消费应用、动作识别、状态记录等。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
加速器计的分类
微型压电式加速度计
压电式加速度计是利用弹簧质量系统原理。敏感芯体质量受振动加 速度作用后产生一个与加速度成正比的力，压电材料受此力作用后 沿其表面形成与这一力成正比的电荷信号。压电式加速度计具有动 态范围大、频率范围宽、坚固耐用、受外界干扰小以及压电材料受 力自产生电荷信号不需要任何外界电源等特点，是被最为广泛使用 的振动测量传感器。虽然压电式加速度计的结构简单，商业化使用 历史也很长，但因其性能指标与材料特性、设计和加工工艺密切相 关，因此在市场上销售的同类传感器性能的实际参数以及其稳定性 和一致性差别非常大。与压阻和电容式相比，其最大的缺点是压电 式加速度传感器不能测量零频率的信号。
加速器计的分类
微型电容式加速度计
电容式加速计的结构形式一般也采用弹簧质量系统。当质量受 加速度作用运动而改变质量块与固定电极之间的间隙进而使电 容值变化。电容式加速度计与其它类型的加速度传感器相比具 有灵敏度高、零频响应、环境适应性好等特点，尤其是受温度 的影响比较小；但不足之处表现在信号的输入与输出为非线性， 量程有限，受电缆的电容影响，以及电容传感器本身是高阻抗 信号源，因此电容传感器的输出信号往往需通过后继电路给于 改善。在实际应用中电容式加速度传感器较多地用于低频测量， 其通用性不如压电式加速度传感器，且成本也比压电式加速度 计高得多。
Thank you!
谢谢观看
加速器计工作原理
加速度计是根据惯性原理相对惯性空间工作。直接 测量加速度本身是很困难的，虽然载体的加速度可 以通过位移传感器或速度传感器获得，但通常大多 数加速度计是借助敏感质量将加速度变成力进行间 接测量的。根据牛顿第二定律，作用于物体上的力 等于该物体的质量乘以加速度。换言之，加速度作 用在敏感质量上，敏感质量将其感应为惯性力，测 量该惯性力，就可以间接地测量到载体的加速度。
02
灵敏度 ： 一般来 说， 越灵敏越好 。 越灵敏的传 感 器对一定 范 围 内 的 加 速度变 化 更敏 感，输 出电压的变 化 也越大 ， 这样就比较容 易测量 ， 从 而获得更精确的测量值。
带宽 ： 这里的带宽实际上指的是刷 新频率 范 围 。 也就是说 每秒钟 ， 传 感 器会产 生 多少次读数。 对于一般 只 要 测量倾角的应用 ， 50HZ 的带宽 应该足够了 ， 但是对于需 要 进行动 态性能 ， 比如振动 ， 你会需 要 一个 具有上百HZ带宽的传感器。
微型 加 速器计
电科142 唐延刚 14461223
基于 MEMS 技 术 的微型传 感 器是微机电系 统研究中最 具 活力与现实意义的领域 。 微 加 速度传 感 器作为微传 感 器的重 要 分支一 直是热门的研究 课题。 采用微机电技 术 制 造的微 加 速度传 感 器 在 寿命、可靠性、成 本、体积和重量等 方面都要大大优于常规 的 加 速度传 感 器 ， 使得其无 论在 民用领域 ， 还是 在 军用领域都有着广泛的应用 。在 军 用上可用于各种飞行装置的 加 速度测量、 振动测量、冲 击 测量，尤其在武器系统的 精确制导系统、弹药的安全系统、弹药的 点火控制系统有着极其广泛的应用前景。
04
全球的传感器市场在不断变化的创新之中呈现出快速 增长的趋势。有关专家指出，传感器领域的主要技术 将在现有基础上予以延伸和提高，各国将竞相加速新 一代传感器的开发和产业化，竞争也将日益激烈。新 技术的发展将重新定义未来的传感器市场，比如无线 传感器、光纤传感器、智能传感器和金属氧化传感器 等新型传感器的出现与市场份额的扩大。
加速器计的分类
微型压阻式加速度计 压电式加速度传感器的性能和参数与压阻式加速度传感器 的性能和参数一样，包括灵敏度、频率响应、精度误差等。 但是，两者性能有较大差别，例如压电式加速度传感器是 电容性的，高阻抗，而压阻式加速度传感器是电阻性，低 阻抗;压电式加速度传感器的频响范围较窄，在恒定方向 加速度下压电式加速度传感器不输出信号，通常其频响范 围为2～270Hz;压电式加速度传感器的误差较小，通常约 为压阻式加速度传感器的一半。
01
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
测量轴 数 量 ： 对于多 数 项目来 说， 两轴的 加 速度传 感 器已经能满足多 数 应用了 。 对于某些特殊的应用 ， 比如 UAV ， ROV 控制 ， 三轴的 加 速度 传感器可能会适合一点。
03
最大测量值：如果你只要测量机器 人相对于地面的倾角，那一个 ±1.5g加速度传感器就足够了。但 是如果你需要测量机器人的动态性 能，±2g也应该足够了。要是你的 机器人会有比如突然启动或者停止 的情况出现，那你需要一个±5g的 传感器。
惯性式加速度传感器工作原理
力学模型图
加速度计一般是利用质量为m的敏感质量块（振动块） 来测加速度的。外部加速度对质量块发生作用，我们通 过测量质量块的位移（振幅）。其动态特性可由二级微 分方程表示。也可以测量保持其位置不变所需的力，这 时，需要有一个闭环控制系统，也称为有源加速计，基 于牛顿第二定律，来得出加速度值。加速度计是一种高 固有频率的传感器，而微加速度传感器，由于尺寸微小， 刚度大，其固有频率是很高的，所以被广泛应用。 微型加速度计的基本原理大致相同，但有很多种类型， 如压阻式、电容式、压电式、热传导式、隧道式等。
加速器计的分类
微型隧道式加速度计
隧道电流型加速度计是一种高精度的微机械加速度计，它是将 微硅机械结构与基于电子隧道效应的高灵敏测量新技术结合在 一起形成的。其基本原理是利用在窄的真空势垒中的电子隧道 效应，利用原子线度针尖与电极之间的隧道电流变化来检测加 速度。隧道电流对针尖与电极之间的距离变化非常敏感，外界 加速度引起针尖与电极之间的相对位移，会导致隧道电流对位 移的指数变化。可以用力反馈的方法保持隧穿电流的恒定。这 样加速度变化引起的惯性力变化就可以通过静电平衡力来检测。 其缺点是需要闭环控制电路和电压的长期漂移，而且该类型的 加速度计不能检测静态加速度输入。