玻璃真空系统价格
真空系统需求计算 -V2

86.48 2
9.81 1
0.5
4
1.根据以上单台设备吸取单个产品吸力查表需要直径40MM吸盘
2.根据以上数据查表可以得出真空压力是-70kPa
吸盘直径ø
至60mm
至120mm 至215mm 至450mm
不同吸盘直径下的抽吸能力 抽吸能力VS
0.5m³/h
1.0m³/h 2.0m³/h 4.0m³/h
单台设备吸取单个产品吸力
FTH= (M(重量)/µ摩擦系数)x(g+a)Xs
FTH= 理论吸力(N)
M= 重量(KG)
g= 重力加速度(9.81m/s2)
a= 系统加速度(m/s2)
摩擦系数(0.1油性表面、0.2-0.3潮
µ= 湿表面、0.5木材/金属/玻璃/石材表
面、0.6粗糙表面
S=
安全系数(水平提升=4,垂直提升 =8)
4
8
2
4
0.07 2 80
29.85410661 >理论直径
kg
=
上表面吸附≥4
Mpa
=
个
63-
mm
mm
19.6
N
侧面吸附≥8
-70
Kpa
吸盘直径ø (mm)
40
预估需要真空 抽吸容量(m³
/h)
4.8
40
1.2
40
0.3
40
2.4
10
0.4
10
0.4
40
0.6
40
0.6
2
0.96
11.66
8.3L/min
16.6L/min 33.3L/min 66.6L/min
真空抽吸容量V{m³/h、L/min} V= NxVS
SMC真空系统

T
1.0
V:真空发生器或真空切换阀至吸盘的配容积
v d 2l
4000
d:配管的内径(mm)
L:配管的长度(m)
T:真空到达时间
39
真空系统
真空系统案例选型
响应时间
T1
60v Q
T2 3T1
供给阀 (切换阀)
的动作
ON OFF
Pv
真 空
Pvx95%
压力
Pvx63%
P
T1
2T1
3T1
T1 达到时间(sec) T2
1.13 2.01 3.14 5.32
8.04
12.6
19.6
32.2
50.4
78.4 38
真空系统
真空系统案例选型
2.选用标准型发生器,其最大真空度PV=88kpa,因P/PV=0.757,由图1-1 查得到达时间T=1.41T,算出平均吸入流量Q1;
Q 1.4160v 1.41 60 0.1 8.5L / min
48
真空扩展产品
工作原理
49
真空扩展产品
规格
50
真空扩展产品
型号表示
51
真空系统案例选型
• 例:水平上吊20kg平板玻璃,已知吸附容积V=0.1L,连接管长L=1m,要求 吸着响应时间T≤1.0s,选吸盘及真空发生器.
解:1.工件重W=20X9.8=196N,因板玻璃面积较大,预选6个直径为 50 mm的吸盘,选安全率t=4,求出吸吊所需的真空度
p
4wt D2n
4196 4 502 6
11
12
真空发生器系统----组件
13
真空发生器系统----组件
制程真空系统简介

7
下表为详细之真空压力换算表:
8
一般言之,国内真空单位仍大多使用Torr,欧洲 国家使用mbar,而美国仍大都采英制,多以in″-Hg表 示。
9
三、大气压力与表压力: 1.大气压力: 大气(Atmosphere)即为围绕地球的空气,我们以在 海平面高度,温度为0℃时的空气作标准大气,而标准 大气对物体上所施的压力我们定为一个大气压力间称为 1 atm。 一标准大气压值随应用场合之不同而使用不同之单位, 常见者如下:
17
1.抽气速率(Pumping Speed): 单一泵浦的抽气速率,是指该泵浦于正常运转下,
单位时间内,通过进口截面的气体体积流率。因此泵浦 抽气速率之单位应为:体积/时间。经由理论推导,亦可 得知:抽气速率(Pumping Speed,S)=气流通量 (Throughput,Q)/压力(Pressure,P)于抽气过程中,逢 到泵浦之终极压力时抽气速率会急速下降。泵浦出厂时, 制造厂商所给之抽气速率是指于进气口截面所量得之抽 气速率,称为量测抽气速率(measured pumped speed)。
单位(Torr) 单位(mbar)
1.粗略真空(Rough Vacuum) 2.中度真空(Medium Vacuum) 3.高度真空(High Vacuum) 4.超高度真空(Ultra-High Vacuum)
5.极超高度真空(Extremely-High Vacuum)
760~1 torr 1000~1 mbar
dt
dt
21
4.有效压力范围(Effective pressure range) 到目前为止,还没有任何一种泵浦,可以直接将真 空腔内之压力,从一大气压力抽至超高真空或是极高真 空,每一种泵浦只有在特定的压力范围,其抽气速率和 抽气能量才被认为是有足够效益的,此特定的压力范围, 称为该泵浦的有效压力范围。 5.排气压力(Exhaust pressure) 使用压缩或动量转移方式抽气的泵浦,必须将所抽 气体排至泵浦外,但有些泵浦能将气体排至大气压力, 有些则否。每种泵浦排气口所需要棉队的压力,称为该 泵浦之排气压力。
真空系统元件及连接

起源进入气缸上下部。密封垫片13、华 赛胶圈14、活塞15,将气缸分为两部分, 并移动与气缸之中,从而控制阀门的开
闭
5、挡板阀
6、翻板阀
下图为三种不同结构的真空翻板阀。他们利用压缩空气作为阀板翻转的 动力源。在阀门发开或关闭的过程中,阀板的运动有一个翻转过程,能 翻转一个角度。图13-10所示的阀门结构中,阀盖的翻转靠四连杆机构 实现,阀盖能实现90°翻转。13-11的结构中,靠滚轮将阀盖档翻,此结 构的发明阀盖不能翻转90°。图13-12的阀门结构简单,总高度低,阀板 能翻转90°在翻板阀中,当阀板翻转90°是流导较大
超高真空针阀结构如图。针 阀是一种微调阀,其阀塞维 针形,主要用做调节气流量, 微调阀要求阀口开启逐渐变 大,从关闭到开启最大能连 续细微地调节。针形阀塞既 能实现这种功能。针形阀塞 一般用经过淬火的钢制长针, 而阀座是用锡、通等软质材 料制成。阀针与阀座见的密 封是依靠其锥面紧密配合大 道的。阀针的锥度有1:50 和6°两种,阀椎体表面要经 过精细研磨。途中的阀杆与 阀座间的密封是靠波纹管实 现的。
1、开关电路。如图13-1,当高真空阀2和前级阀4关闭,预抽阀7打开时,机 械真空阀抽真空,气流流经预真空抽气管道。当阀7打开,机械阀可单独对扩 散阀抽真空。当阀2和阀4同时打开时,扩散泵和机械泵可同时工作,对容器 进行抽真空,此时气流刘静扩散阀。阀门在这种工艺操作中的作用是开关气 路,改变气流的流经路线。
8、针阀
通常的高、低真空阀门,密封 垫圈的材料为橡胶,不能承受 高温烘烤。因而不能使用在高 真空设备上。能使用在超高真 空设备上的超高真空阀门必须 满足:
真空封接技术中的玻璃-玻璃封接工艺

书山有路勤为径,学海无涯苦作舟
真空封接技术中的玻璃-玻璃封接工艺
在真空技术中有时会用到玻璃与玻璃、石英与石英的封接工艺。
在设计和制造玻璃真空系统时,需要考虑系统的玻璃管道封接、管道与真空零件的封接。
同种和不同种玻璃材料之间靠熔融过程实现封接,温度应升高到超过玻璃的软化点。
玻璃是脆性材料,封接成功的关键参量是膨胀系数。
在很宽的温度变化范围内,膨胀系数必须相匹配。
不同组分玻璃间封接成功的条件是:平均膨胀系数之差小于10%;转变温度相近;彼此互溶。
玻璃之间的封接是借助于氧煤气火焰进行烧熔连接的。
真空系统的玻璃零件和管道通常均用DW2211、DW2308、95 号等硬质玻璃材料制作。
连接时采用特制的氧煤气火焰手灯进行操作,先用煤气火焰烘烤玻璃的加工部位,防止玻璃内部的局部应力剧增引起炸裂,然后加氧气,使手灯中喷出尖而细的高温火焰,烧熔欲连接部位,使接头熔烧在一起,待整个接头都连在一起时略微降温并吹气,使连接部位的玻璃熔烧均匀,得到良好的成形,并用略带氧气的煤气火焰退火,最后去掉氧气用煤气火焰烘烤退火。
两件玻璃因其膨胀系数之差过大而不能封接时,可使用膨胀系数处于它们之间的过渡玻璃,形成分级过渡封接。
软硬玻璃间的封接,需要使用多级(可达7 级)过渡玻璃,在每级的接头处平均膨胀系数之差必须小于10%,并且要求玻璃壁厚相等。
过渡封接的每级长度L 应足够长,充分消除端部应力。
每级封接长度的安全条件为
L ≥ 0.85(ah)1/2
式中 a 管子半径
h 壁厚。
大学物理实验--低温和真空技术系列实验

低温和真空技术系列实验
玻璃真空系统
图 1 : 玻璃真空系统
这是一套玻璃低真空系统,用来作为学生实验,方便、直观,一目了然。
它由机械泵、橡皮管道、玻璃管道、玻璃活塞、玻璃容器、U型计、放电管、高频电火花真空测定仪、热偶真空计组成。
本系统可以用来做真空的获得和测量。
图 2 : 热偶真空计
是一种热传导真空计,利用低气压下气体的热传导与压强间的依赖关系,间接测量真空的仪器,测量范围在100-0.1Pa
图 3 : 旋片式机械泵
旋片式机械泵是一种气压传输泵,它用油来保持密封并依靠机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体
积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
它是一种低真空泵,常被作为粗抽泵和前级泵。
其性能参数主要有极限压强和抽气速率。
图 4 : 热偶规管
管中封一加热丝,及一热电偶并使二者保持热接触,在热丝上加一恒定电流,在热电偶两端用毫伏表测量热电动势,管中真空度升高,热丝温度升高,热电动势增高,经校准可由热电动势读出真空度。
图 5 : 高频电火花真空测定仪
高频电火花真空测定仪对玻璃真空系统,可大概估计真空度的数量级。
利用低真空辉光放电现象,其放电颜色与真空系统中气压和气体成分有关,不同的颜色对应于不同的真空度,测量范围在104-10-1Pa 。
也可对玻璃真空系统进行捡漏。
图 6 : FZh-2B型复合真空计。
真空试验

大学物理仿真实验院系名称:信息科学与工程学院专业班级:姓名:学号:2011年11月3日实验项目名称:真空试验一、实验目的1、学会用机械泵获得低真空以及观测不同真空度时辉光放电现象;2、用U型计和热偶计测量真空以及用定容法测量机械泵的有效抽速。
二、实验原理1、真空的基本概念(1)真空:低于一个大气压的气体状态。
自然真空:气压随海拔高度增加而减小,存在于宇宙空间。
人为真空:用真空泵抽掉容器中的气体。
(2)真空量度单位1标准大气压=760mmHg=760Torr 1标准大气压=1.013×105 Pa 1Torr=133.3Pa (3)真空区域的划分目前尚无统一规定,常见的划分为:粗真空 105—103 Pa 低真空103—10-1 Pa高真空 10-1—10-6 Pa 超高真空10-6—10-10 Pa极高真空 <10-10 Pa2、真空的获得—真空泵原理:如图所示,当泵工作后,形成压差,p1 >p2,实现了抽气真空泵的分类气体传输泵是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以达到抽气目的的真空泵,例如旋片机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。
气体捕集泵是一种使气体分子短期或永久吸附、凝结在泵内表面的真空泵,例如分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵和吸气剂泵。
自学真空泵的主要参数3、真空测量(1)U型压力计水银U型压力计构造简单,无需校准,可以在气压不太低时使用。
一般压力计一端封闭,另一端接入真空系统,封闭端为真空,这样压力计可直接指示总压力,两边水银柱的高度差即为总压力。
对于精密工作则需进行温度修正。
对于压力较低(低于10-3 Pa)的测量,油压力计比水银压力计更精确,因为油的密度低得多。
绝对压力由p=ρgh给出期中h是油压力计的读数。
3. 真空测量(2).高频电火花真空测定仪(又叫检漏仪)高频电火花真空测定仪(又叫检漏仪)是一种粗略测量玻璃真空系统的仪器,原理图如图所示。
接通电源后,调节放电火花间隙G,当产生击穿放电时,将高频放电探头在被抽容器处不停的移动。
全玻璃真空太阳集热管U型管集热器

各种类型集热器性能优劣比较太阳能光热产业经过几十年的发展,现在已经呈现产品多样、类型多样、系统多样的格局,太阳能光热系统的核心元件一一集热器也出现多种产品,概况起来有以下几种:图0、集热器种类结构图一、结构特点和使用性能1、真空管型集热器真空管型集热器包括全玻璃真空管型太阳能集热器、玻璃-金属结构真空管型集热器;全玻璃真空管型太阳能集热器根据使用的方式又可以细分为直插式集热器、U型管式集热器和热管式集热器三种。
总体来说,真空管型集热器的吸热部件是真空管,具有以下特点:真空集热管具有真空夹层,空气对流和传导几乎为0,保温性能非常好(就象保温瓶一样),热损系数非常小,空晒温度达到200r以上,部分达到280C左右。
真空集热管是圆柱形的管状,太阳从不同方向入射时其截面不变,因此具有准跟踪性能,即早晚阳光较偏时得热量也较高。
同时对各个角度的光线都有吸收,对散射光吸收也较好,因此在散射光较多的多云天气和略阴的天气,效率也较高。
图1、真空管接收光照示意图具体来讲,各种类型又具有各自的特点:1.1直插式真空管集热器此种类型集热器是水工质直接在真空管内流通,然后通过自然/强制循环,将热量存储并使用。
这种集热器在非承压状态下运行,对系统要求不高,安装方便。
但是直插式真空管集热器也有自身的缺点:系统抗冻性能差,对冬季防冻要求比较高;一旦发生真空管破裂,整个系统将停止运行,对维护要求比较及时;严禁在空晒状态下补水,避免发生真空管炸裂。
这种系统主要使用在低端家用系统、低端小工程和防冻要求不高的地区。
1.2 U型管式和热管式真空管集热器U型管式和热管式真空管集热器是在真空管内装配U型铜管或者热管,对集热器进行空晒,通过循环在U型铜管或热管中的工质将热量带出,直接加热水或者在水箱内经过盘管换热加热水。
相变热管铝翼铜管真空管图3、U型管式真空管结构及传热示意图这种系统由于使用大量金属,所以初期投资相对较高,但总体的性价比仍然处于较高的水平,相比平板和玻璃-金属集热器具有优势;系统要经过两次换热,相比于直插式集热器,升温速度稍慢,但是从能量守恒的角度来讲,系统的得热量并没有减少,并且在继承了全玻璃真空管的高性能、可靠性高和准跟踪的优点的同时,还具有直插式集热器不可比拟的优势:a.运行安全系数高,工质在铜管和热管内循环,不直接在真空管内循环,整套系统可以承压运行,并且发生真空管破裂时整套系统正常运行; b.对防冻要求不高,由于管路中循环的是防冻液,工质冰点低;c.现场安装容易,装配简单。
玻璃真空系统

玻璃真空管是实验室的玻璃器皿之一,尤其是化学实验室,每天都要跟这些瓶瓶罐罐打交道,使用它们该注意些什么呢?玻璃真空系统哪家好?接下来就给大家介绍一下。
实验室玻璃反应釜的真空状况很重要,使用过程中很多反应需要在真空状态下完成,那么真空状况不好就会影响反应效果。
实验室玻璃反应釜真空度不好的原因是什么?真空度不好要怎么办呢?表现:真空突然消失。
这种情况有可能是玻璃有裂痕或开关有破损,请检查玻璃部件或调换开关。
表现:有真空但抽不上。
这种情况极有可能是密封圈磨损或者连接真空开关泄漏。
请更换密封圈或开关。
表现:真空时有时无。
这种情况有可能是钢轴上有污垢、连接器有松动。
请清除污垢检查真空表、真空泵。
表现:真空软管老化。
这种情况请及时更换真空软管。
真空度不好是实验室玻璃反应釜故障的一种,在反应釜的长期的使用过程中还会出现一些其他难以避免的小故障,那么接下来兰帆为大家简单介绍下其他可能发生的故障现象:1. 开启电源开关但指示灯不亮。
可能是外接电源未通或接触不良,请专业电工检查电源和插座。
2. 保险管短路时请将电源开关置于OFF位置再换置保险管。
3. 电源指示灯亮但不旋转。
原因是旋转轴生锈停止使用与供应商联系。
4. 主机芯轴左右松动、紧定螺丝松动。
请及时旋紧。
5. 电机温度过高(室温至40℃属于正常范围)、超负荷停机。
清除密封圈与玻璃轴接触部上的污垢并涂上真空脂。
天长市华玻实验仪器厂(原天长市长城玻璃仪器制造厂)位于长江之滨的皖东明珠——天长市。
东临扬州与南京接壤。
本厂是国内专业制造高品质,复杂型玻璃仪器的厂家,已有18年生产经验,在国内及周边地区玻璃仪器行业具有影响力,本厂具有高仿进口产品的能力,本厂为了达到进口质量和外观,不惜重金购买德国B2B全自动玻璃机床2台,高薪聘用高级工程师数名,这些技术人才,具有非标模具设计及开发的能力,制造工艺的创新,机床的操作技能及国外加工的理念。
另外我们对玻璃选材及厚度,清洗,包装,一些细节也十分苛刻。
FROM乙方设备报价表

设备报价表TO:(甲方)FROM:(乙方)COMPANY:DATE:年月日TELL:TELL:FAX: FAX:MOB: MOB:设备名称规格型号单价(万元)说明1 中空玻璃生产线ZK1800BZ-JC-012 中空玻璃生产线ZK1800BZ-JC-023 双组分打胶机SYS-054 自动丁基胶涂布机DJ02(Y)-085 运输及保险费用一、发货期:收到定金之日起___天。
二、付款方式:定金30%;提货款67%;余款3%6个月满一次性付清。
三、购买中空玻璃设备本公司免费提供办理“中空玻璃检测报告”和国家颁发的“中空玻璃三项合格证书”四、国内包装:采用防雨薄膜材料;海外包装:采用出口标准包装。
五、运费及保险费用甲方负责,乙方开具设备发票。
六、保修期:两年七、质量及服务承诺:(1)甲方使用的原材料(浮法玻璃及辅助材料)符合国家中空玻璃用料标准及规范的生产工艺前提下,乙方承诺由其提供的中空生产线整套设备生产的成品达到中国国家中空玻璃标准(单一设备除外)。
(2)乙方接到买方维修设备通知后,48小时内到达甲方工厂;在保修期满后,乙方所提供的设备配件按平价提供给甲方。
系列产品介绍:中空生产线LBZ1800型性能特点:1 全程采用PLC控制,清洗机、上框机、合片机、压片机采用数字化输入控制系统, 设备运行采用间断式工作方式,更具人性化。
自动化程度高,操作简便。
2 采用人机界面触摸屏,自动手动方便转换,并具有单段操作显示功能,能准确显示设备运转及故障情况,方便检修。
3 自动识别镀膜玻璃功能(选装)、自动识别离线Low-E玻璃功能(选装),膜层错误时具有自动报警和停止传送功能。
4 清洗机主体全部采用工业不锈钢板折弯焊接成型。
清洗机门采用可视钢化玻璃,毛刷、胶辊、喷淋工作运转情况一目了然;清洗机门装有安全信号开关,开启时设备自动停止运转,保障操作人员的安全。
5 清洗机进片段设有主动轮进片方式,溅水烘干区采用底辊轮传动方式,镀膜或L ow-E玻璃表面无胶辊挤压痕迹,可有效防止脱膜现象发生。
真空吸盘系统介绍及各部件选型

Pvx95%
压力
Pvx63%
P
T1
2T1
3T1
T1 达到时间(sec) T2
Pv:最终真空压力
T1:到达最终真空压力Pv的63%的时间 3T1:到达最终真空压力Pv的95%的时间
真空系统
真空系统案例选型
3.计算真空发生器最大吸入流量Qe
Qe 28.5 17 L / min
真空发生器:Q1 CQ • Qe
Q 1.4160v 1.41 60 0.1 8.5L / min
T
1.0
V:真空发生器或真空切换阀至吸盘的配容积
v d 2l
4000
d:配管的内径(mm)
L:配管的长度(m)
T:真空到达时间
真空系统
真空系统60v Q
T2 3T1
供给阀 (切换阀)
的动作
ON OFF
Pv
真 空
1.84 3.27 5.10 8.65
13.1
20.4
31.9
52.3
81.9
127
1.70 3.02 4.71 7.98
12.1
18.8
29.5
48.2
75.6
118
1.56 2.77 4.32 7.32
11.1
17.3
27.0
44.2
69.3
108
1.42 1.27
2.52 2.26
3.93 3.53
真空系统
真空系统案例选型
• 例:水平上吊20kg平板玻璃,已知吸附容积V=0.1L,连接管长L=1m,要求 吸着响应时间T≤1.0s,选吸盘及真空发生器.
解:1.工件重W=20X9.8=196N,因板玻璃面积较大,预选6个直径为 50 mm的吸盘,选安全率t=4,求出吸吊所需的真空度
LOW-E玻璃的情况介绍

LOW-E玻璃玻璃是重要的建筑材料,随着对建筑物装饰性要求的不断提高,玻璃在建筑行业中的使用量也不断增大。
然而,当今人们在选择建筑物的玻璃门窗时,除了考虑其美学和外观特征外,更注重其热量控制、制冷成本和内部阳光投射舒适平衡等问题。
这就使得镀膜玻璃家族中的新贵——Low-E玻璃脱颖而出,成为人们关注的焦点。
Low-E玻璃又称低辐射玻璃,是在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的膜系产品。
其镀膜层具有对可见光高透过及对中远红外线高反射的特性,使其与普通玻璃及传统的建筑用镀膜玻璃相比,具有以下明显优势:优异的热性能外门窗玻璃的热损失是建筑物能耗的主要部分,占建筑物能耗的50%以上。
有关研究资料表明,玻璃内表面的传热以辐射为主,占58%,这意味着要从改变玻璃的性能来减少热能的损失,最有效的方法是抑制其内表面的辐射。
普通浮法玻璃的辐射率高达0.84,当镀上一层以银为基础的低辐射薄膜后,其辐射率可降至0.1以下。
因此,用Low-E玻璃制造建筑物门窗,可大大降低因辐射而造成的室内热能向室外的传递,达到理想的节能效果。
室内热量损失的降低所带来的另一个显著效益是环保。
寒冷季节,因建筑物采暖所造成的CO2、SO2等有害气体的排放是重要的污染源。
如果使用Low-E玻璃,由于热损失的降低,可大幅减少因采暖所消耗的燃料,从而减少有害气体的排放。
良好的光学性能Low-E玻璃对太阳光中可见光有高的透射比,可达80%以上,而反射比则很低,这使其与传统的镀膜玻璃相比,光学性能大为改观。
从室外观看,外观更透明、清晰,即保证了建筑物良好的采光,又避免了以往大面积玻璃幕墙、中空玻璃门窗光反射所造成的光污染现象,营造出更为柔和、舒适的光环境。
Low-E玻璃的上述特性使得其在发达国家获得了日益广泛的应用。
我国是一个能源相对匮乏的国度,能源的人均占有量很低,而建筑能耗已经占全国总能耗的27.5%左右。
因此,大力开发Low-E玻璃的生产技术并推广其应用领域,必将带来显著的社会效益和经济效益。
真空系统中常用材料和真空卫生

真空系统中常用材料和真空卫生
一、真空材料的要求和分类 二、金属及其合金材料 三、非金属材料 四、真空卫生
一、真空材料的要求和分类
1、材料的真空性能要求 2、真空材料的其他性能要求 3、真空材料的分类 4、真空材料的选材原则
材料的真空性能要求
1、气体渗透率:气体从密度大的一侧向密度小的一侧渗入、扩散、通过和溢 出固体阻挡层的过程成为渗透。该情况的稳态流率称为渗透率。
显然,不能采用在真空系统的工作温度范围内蒸汽压力很高的材料。 在工作温度范围内,所有面对真空的材料的饱和蒸汽压力应该足够低, 不应因为其本身的蒸汽压或放气特性而使真空系统达不到所要求的工 作真空度()。尽管室温下某些材料的蒸汽压很低,甚至有时觉察不 出来,但随着温度的升高,蒸汽压力最终可以上升到测得出来的值。 例如,某些难溶金属需要升高到1500℃以上才能测出其蒸汽压力值。 但是某些金属(如锌、镉、铅等)在300~500℃时的蒸汽压力值就很 高,超过了高真空系统所要求的压力。例如镉在300℃时的蒸汽压力 值是10Pa,所以这些金属(或其合金)不能在烘烤的高真空系统或 超高真空系统中使用。其他一些材料,如某些塑料或橡胶,由于其不 能加温烘烤及蒸汽压过高,则根本不能在超高正空环境下使用。
1、铸件 2、碳钢及不锈钢 3、有色金属 4、贵重金属 5、软金属 6、难熔金属 7、汞 8、合金材料
二、金属及其合金材料
金属及其合金材料
在真空系统设计与制造中常用的金属及其合金材料主要 有:低碳钢、不锈钢、铜、铝、镍、金、银、钨、钼、钽、 铌、钛、铟、镓、可伐合金,镍铬(铁)合金、铜合金。 铸铁、铸铜、铸铝等。
(4)其他性能。光学性能(如观察窗)、硬度、抗腐蚀性、热导率和 热膨胀等性能在真空系统中也常常起着十分重要的作用。
真空系统结构

真空系統由許多不同的組件組合而成。
如各種的閥、壓力計、腔體以及最重要的pump。
Base pressure :一般指此真空系統能夠抽到的最低壓力。
製程氣體尚未進腔體前Process pressure 指: 製程壓力。
反應氣體進入腔體後,反應時所需維持的壓力。
Base pressure 會比Process pressur低。
閥門(Valve) :在真空系統中用來改變氣流方向,調節氣流量大小,切斷或接通管路的元件。
Soft valve : 細(慢)抽閥,防止壓差過大而起塵。
腔體於大氣時,一般先用此閥抽。
Foreline Valve :位於pump出氣口,真空異常時,開關速度及是否緊閉是保護pump 的關鍵。
同時管徑小,易積塵,需定期清洗保養測試。
Rough valve : 粗抽閥,當腔體真空較低時,絕對不能打開Gate Valve 用分子pump抽真空。
在確認Gate Valve和Foreline Valve關閉的情況下,開啟Rough Valve ,抽腔體真空到300 mTorr 以下。
Purge gas valve :有些製程會產生大量粉塵,因pump底部有用於冷卻pump的冷卻盤,會致大量積塵於冷卻部分,用N2吹掃可減少這方面的影響,另外也作冷卻軸承等用途。
真空閥門有幾個典型的結構如: 隔膜閥、真空球閥、真空蝶閥、插板閥、擋板閥、電磁閥、針閥、超高真空閥、玻璃真空活塞、無油玻璃真空閥而真空閥門的設計也很重要。
對於構成管路一部分的閥門,其流導大小是一個重要的性能參數。
對於主要用來起開關氣路作用的閥門,閥板關閉的密封性能也是重要的性能參數之一。
密封性能是用其漏氣率來衡量的。
對於主要用來調節氣流大小的閥門,能夠調節氣流量的精度及範圍,則是一項重要的性能參數。
對於全金屬超高真空閥門,每次關閉是否性能穩定?使用壽命是否長?是其主要的性能指標。
一般對真空閥門的要求:1. 閥門的密封性能要好,閥板密封處的漏氣率要小2. 閥板開啟後應盡可能有較大的流導、閥門內所用材料應有較低的飽和蒸氣壓,高抗腐蝕性能和高化學穩定性、耐磨損、壽命長,超高真空閥門應能耐烘烤(400 〜450 C)3. 閥門結構要簡單,開關輕便省力,有標誌,傳動機構在高壓側4. 真空閥門的型式、基本參數、連接尺寸和技術條件應按國家專業標準執行。
真空检漏

3.氨检漏法 氨检漏法
示漏气体:氨气(碱性) 外涂试剂或贴试纸(溴酚蓝最好) 原理:漏孔处变色 优点:简单方便,灵敏度高,一次充氨可以检完所 有部位。 缺点:有毒!不能用于铜银等金属容器。
(二)真空检漏法
• 真空检漏法:被检件和检漏器的敏感元件处于真空 真空检漏法: 状态,在被检件的外部施加示漏物质,如果有漏孔, 状态,在被检件的外部施加示漏物质,如果有漏孔, 示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空 由敏感元件检测出示漏物质, 间,由敏感元件检测出示漏物质,从而可以判定漏 孔的存在位置及漏率的大小,这就是真空检漏法。 孔的存在位置及漏率的大小,这就是真空检漏法。 常见的有三种: 常见的有三种: • 1.高频火花检漏法 1.高频火花检漏法 • 2.真空计检漏法 2.真空计检漏法 • 3.质谱仪检漏法 3.质谱仪检漏法
双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪
由于两次分析,减少了非氦离子到达收集器的机率。并 且,如在两个分析器的中间,即中间缝隙S2与邻近的挡 板间设置加速电场,使离子在进入第二个分析器前再次 被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子,虽然可以 通过第一个分析器,但是,经第二次加速进入第二个分 析器后,由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由 于二次分离,仪器本底及本底噪声显著地减小,提高了 仪器灵敏度。
(1)工作原理与结构 )
操作时在真空泵入口的空气管上接一根软管至氦质谱检漏 仪,在真空系统的漏点处喷氦气,由于氦质谱检漏仪工作时 能形成比真空泵更高的真空,因此,漏入真空泵入口管上氦 气与空气的混合元体,有一部分被吸入到氦质谱检漏仪,由 于氦分子质量与其他分子质量不一样,通过磁场产生的偏 转磁力不一样,仪器上设计有一狭缝,刚好使氦分子通过而 其他分子无法通过,这样,通过狭缝后的氦分子打在收集板 上,通过靶板计数,即可知道通过的分子数泄漏量的相对大 小 。
一种抽真空玻璃加工方法

一种抽真空玻璃加工方法
一种常见的抽真空玻璃加工方法是通过真空抽吸和加热来制造真空玻璃。
以下是详细步骤:
1. 准备玻璃材料:选择适当尺寸和形状的玻璃片。
确保玻璃片的表面没有任何杂质或损坏。
2. 设计和准备玻璃件:根据需求设计并制备出需要使用真空的玻璃件。
可以在玻璃片上打孔或加工出所需的形状。
3. 搭建真空系统:安装一个真空泵和真空计以建立一个真空系统。
确保真空系统的密封性良好。
4. 安装玻璃片:将玻璃片安装在加工设备的工作台上。
确保玻璃片能够紧密接触并与设备连接。
5. 启动真空系统:打开真空泵并调整真空度。
真空度必须达到所需的级别,通常为高度抽真空。
6. 加热玻璃片:使用加热设备加热玻璃片。
加热温度应该根据玻璃材料和加工要求进行调整。
加热可以提高玻璃的柔软度和可塑性。
7. 抽真空:当玻璃片达到所需温度时,开始抽真空。
通过真空泵吸气,从玻璃片中除去空气和其他杂质。
8. 完成加工:当抽真空完成后,可以停止真空系统的工作。
使玻璃片自然冷却至室温,并从设备上取下。
以上是一种常见的抽真空玻璃加工方法。
实际操作中,可能会有一些细微的差别和调整,具体取决于所需的加工结果和设备的特点。
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玻璃真空系统的主要作用是将凝汽器内的不凝结气体、空气混合气体抽出,以维持凝汽器的高真空。
玻璃真空系统价格哪家好?接下来给大家介绍一下。
真空泵及成套机组可用于冷凝器的抽真空和真空维持两个过程. 抽真空阶段,-在冷凝器内尚未引入蒸汽时的初始抽真空,抽出冷凝器内的空气和其它不凝结气体;真空维持阶段,在冷凝器运行中,真空泵继续工作以抽出泄漏的干空气.维持凝汽器背压在最佳工作点,确保汽轮机的高效率运行,改善热效率。
真空吸水在这方面,真空泵用来在发电设备的冷却水系统内始终保持有一个虹吸管,使冷却水循环泵能够保持在设计流量工作,功率消耗最低。
真空排气锅炉水进入系统之前,必须进行排气处理,通常采用脱气机进行。
在脱气机上放置一个真空装置,配制水流经真空装置,在进入系统之前去除所有溶解气体。
排出地热气和冷凝器排气类似,排出地热气包括从冷凝器的蒸汽空间排出空气和其它不凝结气体。
但是,在地热发电设备中,用来驱动涡轮的蒸汽来自于大地,包含大量的腐蚀性气体。
必须尽可能采取最有效的方式将这些气体排出。
天长市华玻实验仪器厂(原天长市长城玻璃仪器制造厂)位于长江之滨的皖东明珠——天长市。
东临扬州与南京接壤。
本厂是国内专业制造高品质,复杂型玻璃仪器的厂家,已有18年生产经验,在国内及周边地区玻璃仪器行业具有影响力,本厂具有高仿进口产品的能力,本厂为了达到进口质量和外观,不惜重金购买德国B2B全自动
玻璃机床2台,高薪聘用高级工程师数名,这些技术人才,具有非标模具设计及开发的能力,制造工艺的创新,机床的操作技能及国外加工的理念。
另外我们对玻璃选材及厚度,清洗,包装,一些细节也十分苛刻。
由于质量过关和服务到位,一直为国内玻璃仪器制造商做贴牌生产,也为国外客户生产了大批优质玻璃仪器。