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因此，洁净室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池 板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要
求。
3
相关术语
❖ 悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在 0.1～5μm 之间。
❖ 洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区 分空间洁净程度的标准。
准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程 中，洁净室等级要求也越来越高。
但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）， 只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
6
感性认知
一般微粒粒径对比
0.3μm 微尘粒径
肉眼可视 (5μm)
人类头发 (15μm)
无尘车间培训教材
一、洁净室基础知识
1.洁净室定义 2.相关术语 3.洁净等级标准 4.感性认知
二、洁净室设计简介
1、洁净室分类（形式） 2、洁净室设计基础
➢气流组织型式及换气次数 ➢滤网过滤流程 ➢送风量及FFU数量计算 ➢滤网寿命 ➢温湿度控制
➢正压
摘要
三、洁净室管控手段
1.监测采样 2.制定监测表
N—洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间
数可以按0.1 为最小允许递增量。
D—要求的粒径(μm)。 0.1—常数，其量纲为μm。
5
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
1m3=35.3ft3。 对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标
13
适用洁净等级 10-100000级并装
复合式典型结构形式
14
洁净室设计基础
气流组织型式及换气次数
空气洁净度
100级
10000级
100000级 大于100000级
气流流型
气 主要
流 送风
组 织
方式
型
式 主要
回风
方式
垂直单向流
1.顶送(高效过滤 器占顶棚面积 ≥60%) 2.侧布高效过滤 器顶棚设阻尼层 送风
优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要 求，稳定运转。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之 洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可 快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
❖ 超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在 99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。
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洁净度等级标准
国家标准GB50073-2001
式中 ：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。
Cn 是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。
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适用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式典型结构形式
10
2.层流式
FFU
垂直单方向流方式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹 出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向 排出室外，一般在下流侧污染较严重。
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感性认知
一般自然界气体等级 外大气层
1,000
大气层
Biblioteka Baidu
10,000
田园地带 街市区
100,000
工业地带
1,000,000
10,000,000
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洁净室之分类(按形式）
1.乱流式
非单方向流方式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气 过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室 两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非 直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状 态。此型式适用于洁净室等级1,000100,000级。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁 净室扩充比较容易 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间 飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定 要求之洁净度，往往须耗时相当长一段 时间。
❖ 气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置 的缓冲间。
❖ 风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进 行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。
❖ 洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的 洁净服装。
❖ 高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集 效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。
四、洁净室人员管理
1、洁净室最主要的污染源 ➢发尘源及量
➢人的污染--发菌量
2、洁净室人员管理规定
洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、
细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、 气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需 求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条 件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿 度及压力等生产所需环境因素性能的特性。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天 花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻 烦。
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适用洁净等级 1-100级
层流式典型结构形式
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3.复合式
混流方式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可 提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过 滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度 等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此 型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予 以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B. 维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自 动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔 离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省 能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。 药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级 10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的 洁净度等级提高为10~1000级以上。
求。
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相关术语
❖ 悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在 0.1～5μm 之间。
❖ 洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区 分空间洁净程度的标准。
准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程 中，洁净室等级要求也越来越高。
但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）， 只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
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感性认知
一般微粒粒径对比
0.3μm 微尘粒径
肉眼可视 (5μm)
人类头发 (15μm)
无尘车间培训教材
一、洁净室基础知识
1.洁净室定义 2.相关术语 3.洁净等级标准 4.感性认知
二、洁净室设计简介
1、洁净室分类（形式） 2、洁净室设计基础
➢气流组织型式及换气次数 ➢滤网过滤流程 ➢送风量及FFU数量计算 ➢滤网寿命 ➢温湿度控制
➢正压
摘要
三、洁净室管控手段
1.监测采样 2.制定监测表
N—洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间
数可以按0.1 为最小允许递增量。
D—要求的粒径(μm)。 0.1—常数，其量纲为μm。
5
美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
1m3=35.3ft3。 对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标
13
适用洁净等级 10-100000级并装
复合式典型结构形式
14
洁净室设计基础
气流组织型式及换气次数
空气洁净度
100级
10000级
100000级 大于100000级
气流流型
气 主要
流 送风
组 织
方式
型
式 主要
回风
方式
垂直单向流
1.顶送(高效过滤 器占顶棚面积 ≥60%) 2.侧布高效过滤 器顶棚设阻尼层 送风
优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要 求，稳定运转。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之 洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可 快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
❖ 超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在 99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。
4
洁净度等级标准
国家标准GB50073-2001
式中 ：Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。
Cn 是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数。
9
适用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式典型结构形式
10
2.层流式
FFU
垂直单方向流方式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹 出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向 排出室外，一般在下流侧污染较严重。
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感性认知
一般自然界气体等级 外大气层
1,000
大气层
Biblioteka Baidu
10,000
田园地带 街市区
100,000
工业地带
1,000,000
10,000,000
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洁净室之分类(按形式）
1.乱流式
非单方向流方式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气 过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室 两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非 直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状 态。此型式适用于洁净室等级1,000100,000级。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁 净室扩充比较容易 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间 飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定 要求之洁净度，往往须耗时相当长一段 时间。
❖ 气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置 的缓冲间。
❖ 风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进 行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。
❖ 洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的 洁净服装。
❖ 高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集 效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。
四、洁净室人员管理
1、洁净室最主要的污染源 ➢发尘源及量
➢人的污染--发菌量
2、洁净室人员管理规定
洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、
细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、 气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需 求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条 件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿 度及压力等生产所需环境因素性能的特性。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天 花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻 烦。
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适用洁净等级 1-100级
层流式典型结构形式
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3.复合式
混流方式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可 提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过 滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度 等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此 型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予 以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B. 维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自 动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔 离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省 能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。 药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级 10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的 洁净度等级提高为10~1000级以上。