洁净区环境检测规程

洁净区环境检测规程

1 目的

规定洁净区的控制指标和检测方法，有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度，满足生产和检测环境的要求。

2 范围

本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。

3 职责

化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。

4.定义

无

5.程序

5.1检验项目

温度、湿度、压差、风速（换气次数）、尘埃粒子数、菌落数。

5.2温度、湿度

5.2.1要求

洁净区温度（18-28）℃，相对湿度（45-65）%

5.2.2仪器与设备

温度计湿度计

5.2.3操作方法

目测温度计和湿度计

5.2.4测定频次

1次/班

5.3压差

5.3.1要求

洁净室与室外压差≥10Pa，洁净室与非洁净室≥5Pa不同级别洁净室之间≥5Pa

5.3.2仪器与设备

微压计

5.3.3操作方法

用微压计或数显压差计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。

5.3.4测定频次

1次/月

5.4换气次数

5.4.1要求如表1所示：

表1 各级别洁净区风速的技术指标

5.4.2 风速计 5.4.3操作方法

5.4.3.1用风速计距风口下25cm 处测量风速，采样点为风口的四个顶角及中心位置（不少于5点）。计算5个点风速平均值，为一个风口的风速。 5.4.3.2换算公式： 被测间体积

高效风口面积）（高效风口风速换气次数∑⨯=

5.4.4测定频次： 1次

/月 5.5尘埃粒子数 5.5.1要求如表2所示：

表2 各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标

尘埃粒子计数仪 5.5.3内容

（1）用尘埃粒子计数仪在高度0.8米水平面上的位置采样，总采样次数不少于5次。

（2）最少采样点数目的确定如3表所示：

表3：最少采样点数目

面积㎡

洁净度级别

100级10 000级100 000级300 000级

＜10 2～3 2 2 2

≥10～＜20 4 2 2 2

≥20～＜40 8 2 2 2

≥40～＜100 16 4 2 2

≥100～＜200 40 10 3 3

≥200～＜400 80 20 6 6

≥400～＜1000 160 40 13 13

≥1000～＜2000 400 100 32 32

≥2000 800 200 63 63 注：对于100级的单向流洁净室（区）包括100级洁净工作台（bench），面

积是指送风口面积；对于10 000级以上的非单向流洁净室（区），面积是指

房间面积。

对任何小洁净室（区）或局部空气净化区域，采样点的数目不得小于2个，总采样次数不得小于5次。每个采样点的采样数目可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。

（4）采样量：不同洁净度级别每次最小的采样量见表4。

表4：最小采样量

最少采样量

L/次

洁净度级别

100级10 000级100 000级300 000级

≥0.5μm 5.66 2.83 2.83 2.83

≥5μm 8.5 8.5 8.5 8.5 A）采样点的平均悬浮粒子浓度A按右式计算：

式中：A —某一采样点的平均粒子浓度，粒每立方米（粒/m ³）；

C i —某一采样点的粒子浓度（i=1,2，…，n ），粒每立方米（粒/m ³）； N —某一采样点的采样次数，次。 b ）平均值的均值M 按下式计算：

L A M L ⎪⎭

⎫ ⎝⎛=∑=1i i

式中：M —平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒每立方米（粒/m ³）； i A —某一采样点的平均粒子浓度（i=1,2，…，L ），粒每立方米（粒/m ³）； N —某一洁净室（区）内的采样点数，个。 c ）标准差SE 按按下式计算：

()()()()

1-2

2221--+⋯+-+=

L L M A M A M A SE L

式中：SE —平均值均值的标准误差，粒每立方米（粒/m ³）。 d ）95%置信上限（UCL ）按下式计算：

UCL=M+SE ×t

式中：UCL —平均值均值的95%置信上限，粒每立方米（粒/m ³）； t —95%置信上限的t 分布系数，见表5。

表5：95%置信上限的t 分布系数

a ）对于单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口应正对气流方向；对于非单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口宜向上。

b ）布置采样点时，应尽量避开回风口。

c ）采样时，测试人员应在采样口的下风侧，并尽量减少活动。

d ）采样完毕后，要对粒子计数器进行自净。 5.5.4结果评定

判断悬浮粒子的洁净度级别应同时满足以下两个条件：

a）每个采样点的平均悬浮粒子浓度必须不大于规定的级别界限，即

A≤级别界限；

i

b）全部采样点的悬浮粒子浓度平均值均值的95%置信上限必须不大于规定的级别界限，

即UCL≤级别界限。

5.5.5测定频次

1次/季

5.6菌落数

5.6.1要求如表6所示：

表6 各级别洁净区菌落数的技术指标

直径9cm培养皿

5.6.3沉降菌检测方法

（1）用直径9cm的培养皿，在人的呼吸带高度打开培养皿于空气中暴露30min，在30-35 ℃条件下培养48h，数出菌落数。

5.6.4最少培养皿数

在满足最少采样点数目（参照表3）的同时，还宜满足最少培养皿数，见表7。

表7 最少培养皿数

5.6.5

沉降菌 1次/周